JP2020012685A - プローブ、検査治具、及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(第一実施形態)
(第二実施形態)
3,3U,3D 検査治具
4,4U,4D 検査部
6 試料台
6a 載置部
6b 基板固定装置
8 検査処理部
31,31a 支持部材
32 検査側支持体
33,33a 電極側支持体
34 連結部材
35 規制孔
36 スペーサ孔
37 大径孔
38 小径部
39 大径部
40 大径部
41 小径部
100 検査対象物
101 検査点
321 ベースプレート
322 対向プレート
323 案内プレート
324 プローブ挿通孔
331 支持プレート
332 スペーサプレート
333,333a,333b プローブ支持孔
335 規制プレート
336 貫通孔
337 連通孔
351 孔本体部
352 拡張孔部
352,353 拡張孔部
361,512 配線
362,511 電極
A 側面図
B 正面図
C 軸心
D 直径
F1 対向面
F2 背面
Fa 面取り面
Fc 傾斜面
Fw 幅広面
K 幅方向
L1,L2 長さ
L3 幅
Pa 先端部
Pb,Pd 基端部
Pc,Pe 本体部
Pf 先端面
Pp,Pdp 頂部
Pr,Pr1,Pr2,Pr1a,Pr1b,Pr2a,Pr2b,Pr3 プローブ
Ps 周面
W,Wd 幅
Claims (12)
- 略棒状の形状を有するプローブであって、
検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、
前記先端部とは反対側の基端部と、
扁平な帯状形状を有し、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、
前記先端部には、前記プローブの軸心と傾斜して交差する先端面が形成されているプローブ。 - 前記先端面における側方の両縁部には、前記先端部の周面と連なる先窄まりの面取り面が形成されている請求項1に記載のプローブ。
- 前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略同一方向である請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略直交する請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記本体部は、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向に突出するように湾曲している請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブ。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブを複数と、
前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向であって、かつ同一方向に前記一対のプローブを撓ませた状態で、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備える検査治具。 - 前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きく、
前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、
前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さい請求項6に記載の検査治具。 - 略棒状の形状を有し、検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、前記先端部とは反対側の基端部と、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、前記先端部には前記棒状の軸心と傾斜して交差する先端面が形成され、前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きい複数のプローブと、
前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備え、
前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、
前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さい検査治具。 - 前記先端面の幅方向と、前記基端部の幅方向とが略同一方向である請求項7又は8に記載の検査治具。
- 前記各規制孔の、前記第二方向の長さは、前記本体部の最大幅よりも大きい請求項7〜9のいずれか1項に記載の検査治具。
- 前記規制プレートは、前記基端部の先端が突出する背面を有し、
前記各規制孔は、前記背面から所定距離離間した位置に配置されている請求項7〜10のいずれか1項に記載の検査治具。 - 請求項6〜11のいずれか1項に記載の検査治具と、
前記プローブを前記検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象物の検査を行う検査処理部とを備える検査装置。
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