JP2006305697A - ワークの製造方法およびワークの製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ワークを載置する載置台を軽量化して、載置台を交換する作業効率を高めたワークの製造方法およびワークの製造装置を提供すること。
【解決手段】 液晶パネルなどの基板等のワーク1を載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造方法で、ワーク1が異なる形状や大きさであっても、ワーク1を加工したり検査することができるように、異なる形状や大きさのワーク1に対応するワーク1を載置する複数の載置台4を用いてワーク1を加工したり検査したりするワークの製造方法であって、載置台4に適宜孔40を設けて軽量化した複数の載置台4に異なる形状や大きさのワーク1を載置してワーク1を加工したり検査することができるようにするものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 液晶パネルなどの基板等のワーク1を載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造方法で、ワーク1が異なる形状や大きさであっても、ワーク1を加工したり検査することができるように、異なる形状や大きさのワーク1に対応するワーク1を載置する複数の載置台4を用いてワーク1を加工したり検査したりするワークの製造方法であって、載置台4に適宜孔40を設けて軽量化した複数の載置台4に異なる形状や大きさのワーク1を載置してワーク1を加工したり検査することができるようにするものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、液晶パネルなどの基板等のワークを加工したり検査したりするワークの製造方法およびワークの製造装置に関するものである。
従来、液晶パネルなどの基板等の平板状ワークの外周縁部を面取り加工するワークの面取り加工方法、あるいはワークの面取り加工装置として、特開平10−118907号公報、特許第3470057号公報、特開2001−138195号公報、特開2003−181751号公報などに記載されたものがあり、それらの主要部の概略構成は、図1に図示したものである。
そして、ワーク1の面取り加工を行う際、ワーク1を載置台4に載置して、ワーク1を吸引方式などにより支持している。載置台4は移動装置5に取り付け固定している。
また、異なる形状や大きさのワーク1を加工する際には、そのワーク1に対応した大きさの載置台4を通常用いており、複数の異なる形状や大きさのワーク1に対応した複数の載置台4を準備して、ワーク1の形状や大きさに合わせた載置台4を移動装置5にその都度取り付け固定している。
従って、複数の異なる形状や大きさのワーク1を加工する際には、ワーク1の形状や大きさに合わせた載置台4をその都度交換して移動装置5に取り付け固定する必要がある。
しかしながら、載置台4を移動装置5から取り外し、別の載置台4を移動装置5に取り付け固定する場合には、載置台4の重量が重く、例えば通常40Kg程度の場合が多いが、載置台4の取り外し取り付け作業は通常一人では作業することができず、複数の作業者が協力して作業する必要があり、作業工数も多くかかり大変である。また、重量を軽減するために、載置台4を分割して対応している場合もあるが、この場合には、載置台4のコストが高くなってしまうことや、載置台4の取り付け工数が多くかかってしまうこと、あるいは、載置台4の上面12の平坦度が悪くなるなどの問題もある。
特開平10−118907号公報
特許第3470057号公報
特開2001−138195号公報
特開2003−181751号公報
解決しようとする課題は、ワークを載置する載置台を軽量化して、載置台を交換する作業効率を高めたワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することである。
本発明は、前記課題を解決するために、液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造方法で、前記ワークが異なる形状や大きさであっても、前記ワークを加工したり検査することができるように、前記異なる形状や大きさのワークに対応する前記ワークを載置する複数の載置台を用いて前記ワークを加工したり検査したりするワークの製造方法であって、前記載置台に適宜孔を設けて軽量化した前記複数の載置台に前記異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査することを特徴とするものである。
また、液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造装置で、前記ワークが異なる形状や大きさであっても、前記ワークを加工したり検査することができるように、前記異なる形状や大きさのワークに対応する前記ワークを載置する複数の載置台を用いて前記ワークを加工したり検査したりするワークの製造装置であって、前記載置台に適宜孔を設けて軽量化した前記複数の載置台に前記異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査したりすることができるように構成したことを特徴とするものである。
本発明のワークの製造方法は、液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造方法で、ワークが異なる形状や大きさであっても、ワークを加工したり検査することができるように、異なる形状や大きさのワークに対応するワークを載置する複数の載置台を用いてワークを加工したり検査したりするワークの製造方法であって、載置台に適宜孔を設けて軽量化した複数の載置台に異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査するようにしたので、ワークを載置する載置台を軽量化することができ、載置台を交換する作業効率を高めたワークの製造方法を提供することができる。
本発明のワークの製造装置は、液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造装置で、前記ワークが異なる形状や大きさであっても、前記ワークを加工したり検査することができるように、前記異なる形状や大きさのワークに対応する前記ワークを載置する複数の載置台を用いて前記ワークを加工したり検査したりするワークの製造装置であって、前記載置台に適宜孔を設けて軽量化した前記複数の載置台に前記異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査したりすることができるように構成したものである。このように構成することにより、ワークを載置する載置台を軽量化することができ、載置台を交換する作業効率を高めたワークの製造装置を提供することができる。
図1は、本発明の一実施例の主要部概要構成を示す正面図である。
本発明のワークの製造装置としての一実施例について、ワークの面取り加工装置について説明する。ワークの面取り加工装置は、図1に図示したように、液晶パネルなどの基板等の平板状ワーク1の外周縁部11を面取り加工するワークの面取り加工装置であって、ワーク1を載置する載置台4は移動装置5に載置され、移動装置5は前後方向に移動可能に構成すると共に水平方向に回転可能に構成し、載置台4に載置されたワーク1の外周縁部11に砥石2を当接して、ワーク1の上面12および下面13の外周縁部11を面取り加工できるように構成したものである。
ワーク1を載置台4に載置し、ワーク1の外周縁部11を面取り加工するワークの面取り加工装置について、以下に、より具体的に説明する。
ワークの面取り加工装置は、ワーク1を載置台4に搬入して位置決め固定を行う搬入工程と、載置台4に固定されたワーク1の位置寸法を測定してワーク1の外周縁部11を面取り加工する加工条件を設定する測定工程と、ワーク1の外周縁部11を面取り加工する加工工程と、外周縁部11を面取り加工したワーク1を搬出する搬出工程とを有している。
そして、搬入工程で載置台4に位置決め固定されたワーク1を、載置台4と共に測定工程に移動させ、その後、載置台4を加工工程に移動させワーク1の外周縁部11を面取り加工した後、ワーク1を載置した載置台4を搬出工程に移動させるように構成しており、搬入工程、測定工程、加工工程、搬出工程とは、載置台4が移動できるように、例えば、載置台4の下面に移動装置5を設け、移動装置5の下面に移動装置5を移動させるためのレールなどを設け、このレールに沿って移動装置5が移動できるように構成している。
搬入工程で、ワーク1を載置台4に位置決め固定する場合には、ワーク1を吸引方式などにより載置台4に位置決め固定する。
測定工程では、載置台4に載置されたワーク1の面取り寸法を測定し、所望の面取り加工寸法にワーク1の外周縁部11を面取り加工できるように、載置台4に固定されたワーク1の位置寸法を測定してワーク1の外周縁部11を面取り加工する加工条件を設定する。
加工工程では、載置台4に載置されたワーク1の外周縁部11に砥石2を当接してワーク1の外周縁部11を面取り加工できるように構成し、砥石2をワーク1の外周縁部11の上面12および下面13に当接して面取り加工を行うように構成している。
ワーク1の外周縁部11を面取り加工する場合の一例としては、まず、ワーク1の両側面の外周縁部11に砥石2を当接して、具体的には、図1に図示したように、左側の砥石2をワーク1の左側外周縁部11の上面12側に当接し、右側の砥石2をワーク1の右側外周縁部11の下面13側に当接して各々面取り加工を行い、次に、左側の砥石2をワーク1の左側外周縁部11の下面13側に当接し、右側の砥石2をワーク1の右側外周縁部11の上面12側に当接して各々面取り加工を行う。なお、ワーク1の左右の外周縁部11の上面12及び下面13に各々砥石2を当接して、同時に面取り加工を行うように設定することもできる。面取り加工を行う際には、砥石2は駆動軸21を回転中心にして回転し、載置台4に載置されたワーク1は前後方向に載置台4が移動することによりワーク1の左右の外周縁部11を面取り加工することができる。
次に、ワーク1の前後方向の外周縁部11に砥石2を当接して面取り加工を行うが、この際には、両側面の外周縁部11を面取り加工したワーク1を載置した載置台4を90度回転させた後、ワーク1の前後方向の外周縁部11に砥石2を当接して面取り加工を行う。
また、ワーク1の四箇所のコーナー部分の外周縁部11に砥石2を当接して面取り加工を行う場合は、例えば、図1に図示した状態のワーク1を載置した載置台4を水平方向に右回り及び左回りに各々45度程度回転させた状態でコーナー部分の外周縁部11に砥石2を当接して面取り加工を行う。
以上のように、ワーク1の両側面と前後方向および四箇所のコーナー部分の上面12及び下面13の外周縁部11に砥石2を当接して面取り加工を行うことができるが、面取り加工のやり方は、砥石2を適宜設定することにより、種々のやり方を行うことができる。
また、本発明の面取り加工装置は、ワーク1の形状や大きさに合わせて加工条件を適宜設定できるように構成してあるので、多種のワーク1の面取り加工を行うことが出来る。
次に、ワーク1が異なる形状や大きさであっても、ワーク1を加工したり検査することができるように、異なる形状や大きさのワーク1に対応するワーク1を載置する複数の載置台4を用いてワーク1を加工したり検査したりするワークの製造方法について説明する。なお、載置台4に適宜孔40を設けて軽量化した複数の載置台4に異なる形状や大きさのワーク1を載置してワーク1を加工したり検査することができるようにするものである。
ワーク1が異なる形状や大きさであるため、載置台4を変更する場合には、今まで使用していた載置台4を移動装置5から取り外し、次に加工したり検査するワーク1に対応する載置台4を移動装置5に取り付け固定した後、ワーク1を載置台4に取り付け固定してワーク1を加工したり検査する。
載置台4に適宜孔40を設けて軽量化した場合について説明する。従来との比較のため従来用いていた載置台4を図4に図示し、本発明で使用した載置台4を図2および図3に図示した。図2の載置台4をサンプルA、図3の載置台4をサンプルBとする。
図4に図示した従来の載置台4の外形形状は、905mm(横)×514mm(縦)×30mm(厚さ)の形状で、体積が約14000cm3、質量が約39Kgである。
図2に図示したサンプルAの載置台4は、外形形状は従来の載置台4と同じとし、図2に図示したような孔を複数設けたものであり、体積が約4400cm3、質量が約12Kgである。
図3に図示したサンプルBの載置台4は、外形形状は従来の載置台4と同じとし、図3に図示したような孔を複数設けたものであり、体積が約5100cm3、質量が約14Kgである。
次に、本発明の載置台4に孔40を設けて軽量化したが、これにより載置台4の機械的強度が劣化しては困るので、載置台4の構造解析を行った。従来の載置台4とサンプルA、サンプルBの載置台4各々に対して、載置台4の角部に所定の力を加え、その荷重と合成変位について調べた。荷重と合成変位との結果については、従来の載置台4に対する結果は図7に、サンプルAの結果は図5に、サンプルBの結果は図6に示した。
従来の載置台4については、荷重2Kgfで合成変位が0.011mm程度であり、サンプルAでは、荷重2Kgfで合成変位が0.013mm程度であり、孔を設けたことによる機械的劣化はほとんどないことがわかる。サンプルBでは、荷重2Kgfで合成変位が0.032mm程度であり、サンプルAに比べ機械的劣化がやや大きいが、この載置台4を用いてワーク1の加工を行った場合には特に問題は発生しなかった。
以上のように、載置台4に適宜孔40を設けることにより、載置台4の重量を1/3程度に軽量化でき、載置台4の交換作業を非常に容易にすることができる。従って、ワーク1を載置する載置台4を軽量化して、載置台4を交換する作業効率を高めたワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することができる。
前述の説明では、ワークの面取り加工装置について詳述したが、他にワークのコーナー切断装置などの加工装置やワークの検査装置など、載置台4を交換して作業を行う製造装置全般に本発明を適用することができる。
1 ワーク
4 載置台
40 孔
4 載置台
40 孔
Claims (2)
- 液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造方法で、前記ワークが異なる形状や大きさであっても、前記ワークを加工したり検査することができるように、前記異なる形状や大きさのワークに対応する前記ワークを載置する複数の載置台を用いて前記ワークを加工したり検査したりするワークの製造方法であって、前記載置台に適宜孔を設けて軽量化した前記複数の載置台に前記異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査することを特徴とするワークの製造方法。
- 液晶パネルなどの基板等のワークを載置台に載置して加工したり検査したりするワークの製造装置で、前記ワークが異なる形状や大きさであっても、前記ワークを加工したり検査することができるように、前記異なる形状や大きさのワークに対応する前記ワークを載置する複数の載置台を用いて前記ワークを加工したり検査したりするワークの製造装置であって、前記載置台に適宜孔を設けて軽量化した前記複数の載置台に前記異なる形状や大きさのワークを載置してワークを加工したり検査したりすることができるように構成したことを特徴とするワークの製造装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005133488A JP2006305697A (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | ワークの製造方法およびワークの製造装置 |
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JP2005133488A JP2006305697A (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | ワークの製造方法およびワークの製造装置 |
Publications (1)
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Citations (2)
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JPH05237734A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Hitachi Seiko Ltd | パレット交換方式の加工システム |
JP2003249542A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-09-05 | Nikon Corp | 基板保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
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2005
- 2005-04-28 JP JP2005133488A patent/JP2006305697A/ja active Pending
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