KR101578876B1

KR101578876B1 - 기판이송용 로봇핸드

Info

Publication number: KR101578876B1
Application number: KR1020150156506A
Authority: KR
Inventors: 김상봉
Original assignee: 에스비로보텍 주식회사
Priority date: 2015-11-09
Filing date: 2015-11-09
Publication date: 2015-12-28

Abstract

기판의 이/적재시 사용되는 로봇핸드의 정밀성이 유지되면서도 제조성 및 경제성이 개선되도록, 본 발명은 상면에 기판을 적재하여 이송하도록 기설정된 간격으로 이격된 복수개의 중공형 핑거와, 상기 중공형 핑거의 일측을 연결하는 고정프레임을 포함하는 포크부; 상기 중공형 핑거의 일면에 형성된 개구공 내측으로 삽입되며 상면에 정렬고정수단이 선택적으로 구비되는 평판형 패드부; 및 상기 평판형 패드부에 형성된 체결공에 나사체결되는 나사연장부와, 상기 나사연장부의 일측에 구비되되 상기 정렬서포트수단의 상면과 상기 포크부 상면 사이가 기설정된 제1간격을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부의 상면과 상기 개구공 테두리 내면 사이의 제2간격과 대응되는 두께로 형성되는 정렬헤드부를 포함하는 간격지지볼트를 포함하는 기판이송용 로봇핸드를 제공한다.

Description

기판이송용 로봇핸드{robot hand for transferring glass}

본 발명은 기판이송용 로봇핸드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 이/적재시 사용되는 로봇핸드의 정밀성이 유지되면서도 제조성 및 경제성이 개선된 기판이송용 로봇핸드에 관한 것이다.

일반적으로, 기판이라 함은 액정디스플레이(LCD, Liguid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel) 및 유기 EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 의미한다.

이때, 평판표시소자로서의 기판과 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다.

한편, 상기 기판은 기판 제조사에서 제조된 후 기판 가공업체로 공급된다. 이처럼 기판 제조사에서 기판 가공업체로 기판이 공급될 때는 적재함에 적재되어 이송된다. 그리고, 상기 기판을 이송하기 위한 이송장치의 일측에는 로봇핸드가 구비된다.

이때, 상기 기판을 이/적재시 상기 기판의 손상을 최소화되도록 상기 로봇핸드에는 진공흡착 패드유닛이 구비되며, 상기 진공흡착 패드유닛 외에도 상기 기판의 안정적인 이/적재를 위해 상기 기판의 위치 및 무게를 검출하는 센서 패드유닛이 설치된다.

한편, 종래의 로봇핸드는 상기 기판을 이/적재하기 위한 장치의 일측에 복수개의 핑거부가 일방향으로 연장된 포크부가 구비된다. 그리고, 상기 핑거부의 길이방향을 따라 상기 진공흡착 패드유닛 내지 센서 패드유닛이 설치된다.

상세히, 도 1은 종래의 기판이송용 로봇핸드의 일부분을 나타낸 개략도이다. 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 핑거부(2)는 내부가 중공형으로 형성되며 상기 패드유닛이 체결되는 부분에 개구공(2a)이 형성된다. 그리고, 상기 패드유닛은 상기 개구공(2a) 내측으로 삽입되어 상기 개구공(2a) 테두리부에 체결부재(5)에 의해 체결된다.

이때, 상기 패드유닛은 상기 기판(G)에 흡착되어 고정시키는 진공흡착부 내지 상기 기판의 위치, 무게 등을 검출하는 센싱부와 같은 정렬고정수단(4)과, 일면에 상기 정렬고정수단(4)이 구비되며 상기 개구공(2a) 내측에 체결되는 패드부(3)를 포함한다. 여기서, 상기 패드부(3)는 상기 정렬고정수단(4)이 실질적으로 설치되는 고정면부(3a)와 상기 고정면부(3a)의 외곽측으로 상기 체결부재(5)의 단부가 결합되는 체결단턱부(3b)를 포함한다.

이때, 상기 개구공(2a) 외측으로 노출되는 상기 정렬고정수단(4)의 돌출높이가 기설정된 간격으로 제한되도록 상기 고정면부(3a)는 상기 체결단턱부(3b)보다 낮은면으로 단차지게 형성된다. 이는, 상기 고정면부(3a)에 설치되는 상기 정렬고정수단(4)이 과도하게 돌출되어 상기 로봇핸드(1)에 적재되는 기판(G)이 휘거나 파손됨을 방지하기 위함이다.

그리고, 상기와 같이 고정면부(3a)가 상기 체결단턱부(3b)의 상면과 기설정된 단차간격(h0)으로 낮게 형성되도록 종래에는 머시닝센터(machining center)라는 기계를 이용하여 가공 제조되었다.

상세히, 상기 머시닝센터란 공구의 자동 교환장치 또는 자동선택기능을 갖추고 공작물의 작업 준비 및 교체 없이 공작물의 2면 이상에서 여러 종류의 가공을 할 수 있는 복합 수치제어 공작기계를 의미한다.

즉, 종래의 상기 패드부(3)는 상기 체결단턱부(3b)를 포함하는 두께에 대응되는 플레이트 원판을 상기 머시닝센터를 이용하여 원하는 외곽 형상으로 절단하고 상기 정렬고정수단(4)의 두께가 고려되어 산출된 상기 단차간격(h0)에 대응하는 깊이로 일면을 밀링 가공하여 제조된다.

그러나, 이러한 가공 방법은 두꺼운 플레이트 원판을 깍아내기 위하여 상기 머시닝센터를 이용하여 가공하는 가공공정 및 가공비용이 증가되는 문제점이 있었다. 또한, 상기와 같이 고정면부(3a)를 깍아내기 위해 두꺼운 소재를 필요로 하고, 깍여진 파편은 재사용이 어려우므로 과도한 소재가 낭비되어 상기 로봇핸드(1)을 제조하는데 소요되는 전체적인 코스트를 증가시키는 문제점이 있었다.

한국 공개특허 제10-2005-0027497호

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 기판의 이/적재시 사용되는 로봇핸드의 정밀성이 유지되면서도 제조성 및 경제성이 개선된 기판이송용 로봇핸드를 제공하는 것을 해결과제로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 상면에 기판을 적재하여 이송하도록 기설정된 간격으로 이격된 복수개의 중공형 핑거와, 상기 중공형 핑거의 일측을 연결하는 고정프레임을 포함하는 포크부; 상기 중공형 핑거의 일면에 형성된 개구공 내측으로 삽입되며 상면에 정렬고정수단이 선택적으로 구비되는 평판형 패드부; 및 상기 평판형 패드부에 형성된 체결공에 나사체결되는 나사연장부와, 상기 나사연장부의 일측에 구비되되 상기 정렬고정수단의 상면과 상기 포크부 상면 사이가 기설정된 제1간격을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부의 상면과 상기 개구공 테두리 내면 사이의 제2간격과 대응되는 두께로 형성되는 정렬헤드부를 포함하는 간격지지볼트를 포함하는 기판이송용 로봇핸드를 제공한다.

여기서, 상기 제2간격은 상기 정렬고정수단의 두께를 상기 제1간격 및 상기 개구공 테두리의 두께와 비교하여 설정됨이 바람직하다.

이때, 상기 정렬고정수단의 두께에 따라 선택적으로 조절되는 상기 제2간격을 보완 지지하도록 상기 정렬헤드부와 상기 평판형 헤드부 사이에는 적어도 하나 이상의 와셔가 더 구비됨이 바람직하다.

또한, 상기 개구공 테두리에는 상기 체결공과 대응되는 위치에 관통되되 내측테두리로 갈수록 직경이 좁아지는 관통공이 형성되며, 상기 관통공을 관통하는 체결부재의 체결헤드부와 상기 간격지지볼트의 일측 사이에 상기 관통공의 내측테두리가 클램핑 결합되어 상기 패드부가 상기 개구공 내측에 고정되도록, 상기 간격지지볼트는 상기 체결부재의 체결헤드부로부터 일측으로 연장된 체결연장부가 체결되는 체결홈부가 길이방향을 따라 형성된 이중 체결 볼트로 형성됨이 바람직하다.

한편, 상기 나사연장부는 상기 평판형 패드부 두께보다 길게 연장되며, 상기 정렬헤드부의 상면과 하면 및 상기 나사연장부의 단부면은 상기 평판형 패드부의 일면과 상호 평행하게 대응됨이 바람직하다.

상기의 해결 수단을 통하여, 본 발명에 따른 기판이송용 로봇핸드는 다음과 같은 효과를 제공한다.

첫째, 상기 포크부와 상기 정렬고정수단이 기설정된 제1간격을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부와 상기 개구공 내면 사이 제2간격을 지지하는 구조가 기존의 두꺼운 원판을 상기 각 간격에 대응하여 깍아내던 복잡하고 번거로운 공정이 아니라, 상기 정렬고정수단을 지지할 수 있는 정도의 얇은 판재에 간격지지볼트를 체결하는 간단한 구조로 이루어지므로 제조성 및 경제성이 현저히 개선될 수 있다.

둘째, 상기 정렬헤드부는 상기 정렬고정수단의 두께를 상기 제1간격 및 상기 개구공 테두리의 두께와 비교하여 산출된 상기 제2간격과 대응하는 두께로 형성되므로, 상기 간격지지볼트가 상기 평판형 패드부에 체결된 상태로 상기 정렬헤드부의 상면이 상기 개구공 내측에 밀착 고정시키기만 하면 별도의 치수정렬수단 없이도 상기 패드유닛을 상기 제1간격에 대응하여 용이하게 설치할 수 있다.

셋째, 상기 간격지지볼트는 상기 평판형 패드부와 상기 개구공 내면 사이 간격을 지지하면서도, 상기 패드유닛을 상기 개구공 내측에 고정시키도록 체결부재의 단부가 체결되는 체결홈부가 형성된 이중 볼트 구조로 형성되어 상기 평판형 패드부에는 실질적으로 최소한의 체결공만 형성되므로 상기 평판형 패드부의 제조시간 및 공정이 단축되며 내구성이 현저히 개선될 수 있다.

넷째, 상기 정렬고정수단의 두께에 따라 조절된 상기 제2간격과 기준비된 상기 간격지지볼트의 정렬헤드부 두께 간의 차이에 의해 유격이 발생하더라도 상기 와셔를 적어도 하나 이상 적층하여 간단하고 용이하게 보완 지지할 수 있으므로 작업효율이 현저히 개선될 수도 있다.

도 1은 종래의 기판이송용 로봇핸드의 일부분을 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송용 로봇핸드를 나타낸 개략도.
도 3은 도 2의 A부분을 나타낸 투영도.
도 4는 도 3의 C-D방향에서 바라본 단면도.
도 5는 도 4의 변형예를 나타낸 개략도.
도 6은 도 2의 B부분을 나타낸 단면도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송용 로봇핸드를 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송용 로봇핸드를 나타낸 개략도이고, 도 3은 도 2의 A부분을 나타낸 투영도이며, 도 4는 도 3의 C-D방향에서 바라본 단면도이다.

도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 기판이송용 로봇핸드(100)는 포크부(10), 평판형 패드부(20) 및 간격지지볼트(30)를 포함하여 구비된다. 여기서, 상기 기판이송용 로봇핸드(100)는 상기 기판(G)을 이송하기 위한 이송장치(미도시)의 일측에 구비된다. 상세히, 상기 이송장치(미도시)의 일측에는 암부(미도시)가 연장되며, 상기 암부(미도시)에 상기 로봇핸드(100)가 체결된다. 그리고, 상기 이송장치(미도시)의 제어부로부터 인가되는 신호에 의해 상기 암부(미도시)가 전후좌우 및 상하로 구동됨에 따라 상기 기판(G)을 원하는 위치로 이송시킬 수 있다.

상세히, 상기 포크부(10)는 기설정된 간격으로 이격된 복수개의 중공형 핑거(11)와, 상기 복수개의 중공형 핑거(11)의 일측을 연결하는 고정프레임(12)을 포함하여 구비됨이 바람직하다. 이때, 상기 복수개의 중공형 핑거(11)는 이송하고자 하는 상기 기판(G)의 면적에 대응하여 각 핑거(11)의 길이, 수량 및 각 핑거(11) 간의 간격이 결정될 수 있다. 더욱이, 상기 중공형 핑거(11)는 경량이고 상기 기판(G)을 적재하여 지탱할 수 있는 강도를 가지면서도 내구성, 내염성, 내식성, 가공성 및 비자기성, 비전도성의 섬유강화플라스틱(fiber reinforced plastics, FRP)과 같은 고강도 합성수지재질로 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 고정프레임(12)은 상기 암부(미도시)와 연결되어 상기 신호에 대응하여 구동될 수 있다.

한편, 상기 포크부(10)에는 상기 기판이 적재된 상태에서 상기 기판이 안착된 위치를 검출하거나 상기 기판을 상기 포크부(10)에 고정시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 패드유닛이 구비됨이 바람직하다.

예컨대, 상기 포크부(10)에는 복수개의 진공흡착 패드유닛(P1)이 구비될 수 있다. 상세히, 상기 진공흡착 패드유닛(P1)은 진공흡착부와 패드부를 포함하여, 상기 진공흡착부에 구비된 공압실린더를 구동시켜 상기 기판(G)의 하면과 상기 진공흡착부 사이에 발생한 진공흡착력으로 상기 기판을 상기 포크부(10) 상면에 고정시킬 수 있다.

또한, 상기 포크부(10)에는 적어도 하나 이상의 센서 패드유닛(P2,P3,P4)이 구비될 수 있다. 상세히, 상기 센서 패드유닛(P2,P3,P4)은 센싱부와 패드부를 포함하며, 상기 포크부(10)의 상면에 상기 기판(G)이 바람직한 위치에 정렬 안착될 수 있도록 상기 센싱부에서 상기 기판(G)의 테두리부 위치를 감지할 수 있다.

즉, 상술한 각 패드유닛은 상기 패드부와, 상기 패드부의 일면에 상기 진공흡착부 내지 상기 센싱부와 같이 상기 기판(G)을 정확한 위치에 정렬시키고 고정시킬 수 있는 정렬고정수단(21)을 포함함이 바람직하다. 그리고, 상기 각 패드유닛의 목적에 따라 상기 진공흡착부 내지 상기 센싱부가 상기 패드부에 선택적으로 설치될 수 있다.

이때, 상기 정렬고정수단(21)은 구조에 따라 각각 상이한 두께를 가지는 장치로 구비될 수 있다. 그리고, 상기 포크부(10)의 상면에 상기 기판(G)이 적재되더라도 상기 정렬고정수단(21)에 의한 간섭이 최소화되도록, 상기 패드유닛은 상기 각 중공형 핑거(11)의 내측으로 구비됨이 바람직하다.

상세히, 상기 패드유닛을 설치하기 위하여 상기 중공형 핑거(11)의 길이방향으로 적어도 하나 이상의 개구공(13)이 형성된다. 그리고, 상기 개구공(13)의 내측으로 상기 정렬고정수단(21)이 선택적으로 설치된 평판형 패드부(20)가 삽입되어 고정됨이 바람직하다.

여기서, 상기 평판형 패드부(20)는 상면과 하면이 실질적으로 평행한 평판으로 구비되며 기설정된 외곽형상(20e)에 대응하여 얇은 원판 플레이트를 절단하거나 프레스 펀칭 가공하여 손쉽게 형성될 수 있다. 더욱이, 상기 평판형 패드부(20)는 상기 정렬고정수단(21)이 설치된 상태에서 상기 개구공(13) 내측에 삽입되어 고정된 상태가 유지될 수 있을 정도의 두께로만 구비되면 되므로 소재비용이 현저히 절감되어 경제적이다.

이때, 상기 평판형 패드부(20)는 상기 개구공(13)을 통하여 상기 중공형 핑거(11) 내측으로 삽입되되, 적어도 두군데 이상의 외곽 단부측이 상기 개구공(13)의 테두리와 중첩될 수 있는 형상으로 형성됨이 바람직하다. 이를 통해, 후술되는 체결부재(50)에 의해 상기 평판형 패드부(20)가 상기 개구공(13)의 테두리 내측에 고정될 수 있다.

한편, 상기 평판형 패드부(20)는 상면에 상기 정렬고정수단(21)이 설치된 상태로 상기 개구공(13)의 내측에 고정되거나, 상기 평판형 패드부(20)를 상기 개구공(13) 내측에 고정한 후 상기 평판형 패드부(20)의 상면에 상기 정렬고정수단(21)이 설치될 수 있다. 이때, 상기 정렬고정수단(21)의 상면과 상기 포크부(10)의 상면 사이가 기설정된 제1간격(h1)을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부(20)의 상면과 상기 개구공(13) 테두리 내면 사이의 제2간격(h2)을 지지하는 간격지지볼트(30)가 구비됨이 바람직하다. 여기서, 상기 포크부(10)의 상면과 상기 중공형 핑거(11)의 상면은 실질적으로 동일한 의미로 이해함이 바람직하다.

상세히, 상기 간격지지볼트(30)는 상기 평판형 패드부(20)에 형성된 체결공(22)에 나사체결되는 나사연장부(31)와, 상기 나사연장부(31)의 일측에 구비되는 정렬헤드부(32)를 포함한다. 여기서, 상기 정렬헤드부(32)는 상기 체결공(22)의 직경보다 크게 형성되며, 후술되는 상기 개구공(13) 테두리에 형성된 관통공(14)의 직경보다도 크게 형성됨이 바람직하다. 이에 따라, 상기 정렬헤드부(32)의 하면(32b)은 상기 평판형 패드부(20)에 형성된 상기 체결공(22)의 테두리에 접촉 구속되고, 상면(32a)은 상기 관통공(14)의 내측테두리(14a)에 접촉 구속될 수 있다. 이를 통해, 상기 간격지지볼트(30)가 상기 체결공(22)에 체결된 상태에서 상기 정렬헤드부(32)가 상기 개구공(13)의 테두리 내면과 상기 평판형 패드부(20) 상면 사이 간격을 안정적으로 지지할 수 있다.

이때, 상기 정렬헤드부(32)의 두께는 상기 제2간격(h2)과 대응되도록 형성됨이 바람직하다. 이를 통해, 상기 간격지지볼트(30)가 체결된 상기 평판형 패드부(20)를 상기 개구공(13) 내측으로 삽입한 후 상기 정렬헤드부(32)의 상면이 상기 개구공(13) 테두리 내면에 밀착되도록 체결하기만 하면 상기 정렬고정수단(21)의 상면과 상기 포크부(10) 상면이 기설정된 제1간격(h1)을 두고 배치될 수 있다.

여기서, 상기 제2간격(h2)은 상기 정렬고정수단(21)의 두께(w1)를 상기 제1간격(h1) 및 상기 개구공(13) 테두리의 두께(w2)와 비교하여 설정됨이 바람직하다. 상세히, 상기 포크부(10)의 상면에 상기 기판(G)이 적재된 상태에서 상기 기판(G)의 하면과 상기 정렬고정수단(21)의 상면은 상호 밀착되거나 경우에 따라 소정의 폭으로 이격되도록 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 정렬고정수단(21)이 상기 진공흡착부로 구비될 경우 상기 진공흡착부의 상면과 상기 기판(G)의 하면은 실질적으로 밀착되며 상기 공압실린더에 의해 선택적으로 진공흡착될 수 있다. 또는, 상기 정렬고정수단(21)이 센싱부로 구비될 경우 상기 센싱부의 상면과 상기 기판(G)의 하면은 기설정된 폭으로 이격될 수 있다.

그리고, 상기 평판형 패드부(20)에 설치되는 상기 정렬고정수단(21)의 종류 및 두께에 따라 상기 제1간격(h1)은 각각 변경될 수 있다. 이때, 목적에 따른 상기 정렬고정수단(21)의 각각의 두께에 따라 상기 제1간격(h1)에 대응하는 상단부를 제외한 나머지 하단부는 상기 개구공(13) 내측으로 삽입됨이 바람직하다. 그리고, 상기 평판형 패드부(20)는 상기 개구공(13) 내측으로 삽입된 상기 정렬고정수단(21)의 하면을 지지하도록 배치됨이 바람직하다.

이때, 상기 개구공(13) 내측으로 삽입되는 상기 정렬고정수단(21)의 하단부 폭에서 상기 개구공(13) 테두리의 두께(w2)를 제외한 부분이 상기 제2간격(h2)으로 설정됨이 바람직하다.

즉, 본 발명은 기존의 두꺼운 패드부를 머시닝센터와 같은 기계를 이용하여 일면을 상기 제2간격(h2)만큼 깍아내던 복잡하고 번거로운 공정이 생략되고, 단지 상기 정렬고정수단(21)을 지지할 수 있을 정도의 얇은 평판형 패드부(20)에 상기 간격지지볼트(30)를 체결하는 간단한 방법으로 제조되므로 제조성 및 경제성이 현저히 개선될 수 있다.

더욱이, 상기 정렬고정수단(21)의 두께를 상기 패드유닛이 설치되고자 하는 상기 포크부(10)의 단면두께, 더욱 상세하게는 상기 개구공(13) 테두리 두께(w2) 및 기설정된 상기 제1간격(h1)과 비교하면 상기 제2간격(h2)이 용이하게 산출될 수 있다. 그리고, 산출된 제2간격(h2)에 대응하는 두께로 설정된 상기 정렬헤드부(32)가 구비된 상기 간격지지볼트(30)를 상기 평판형 패드부(20)에 형성된 상기 체결공(22)에 체결하기만 하면 별도의 치수정렬수단이 없이도 상기 제1간격(h1)에 따라 상기 패드유닛을 상기 포크부(10)에 체결할 수 있다.

한편, 상기 개구공(13) 테두리에는 상기 관통공(14)이 관통되되, 상기 관통공(14)은 평판형 패드부(20)에 형성된 상기 체결공(22)과 대응되는 위치에 형성된다. 이때, 상기 관통공(14)은 내측테두리(14a)로 갈수록 직경이 좁아지도록 형성됨이 바람직하다.

또한, 상기 간격지지볼트(30)에는 중앙부 길이방향을 따라 체결홈부(33)가 형성됨이 바람직하다. 그리고, 상기 체결홈부(33)에는 상기 관통공(14)을 관통하며 단부가 상기 체결홈부(33)에 체결되는 상기 체결부재(50)가 구비됨이 바람직하다.

여기서, 상기 체결부재(50)는 체결연장부(51)와 체결헤드부(52)를 포함하여 구비된다. 이때, 상기 체결연장부(51)가 상기 관통공(14)을 관통하여 상기 체결홈부(33)에 체결되면, 상기 체결헤드부(52)의 하면은 상기 관통공(14)의 내측테두리(14a)에 밀착된다. 그리고, 상기 체결연장부(51)가 체결되는 방향에 대응하여 상기 체결헤드부(52)와 상기 정렬헤드부(32) 사이에 상기 관통공(14)의 내측테두리(14a)가 클램핑 결합될 수 있다.

즉, 본 발명의 간격지지볼트(30)는 상기 평판형 패드부(20)와 상기 개구공(13) 내면 사이 간격을 지지하면서도 상기 패드유닛을 상기 개구공(13) 내측에 체결시킬 수 있는 이중 볼트 구조로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 평판형 패드부(20)에는 상기 간격지지볼트(30)를 체결할 수 있는 최소한의 체결공(22)만 형성하면 되므로 상기 평판형 패드부(20)의 내구성이 현저히 개선될 수 있다. 또한, 상기 볼트부재(30,50)들이 체결되는 홀을 드릴링하는데 소요되는 시간 및 공정이 단축되므로 제조성이 현저히 개선될 수도 있다.

한편, 도 5는 도 4의 변형예를 나타낸 개략도이다. 본 변형예에서는 와셔(40)를 제외한 기본적인 구성은 상술한 일실시예와 동일하므로 동일한 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

도 5에서 보는 바와 같이, 상기 정렬고정수단(21)의 두께(w11)에 따라 선택적으로 조절되는 상기 제2간격(h22)을 보완 지지하도록 상기 정렬헤드부(32)와 상기 평판형 패드부(20) 사이에는 적어도 하나 이상의 와셔(40)가 더 구비됨이 바람직하다.

상세히, 상기 간격지지볼트(30)는 상기 정렬고정수단(21)에 따라 변경된 제2간격(h22)에 대응하여 상기 정렬헤드부(32)의 두께가 다양하게 형성되어 구비될 수도 있다. 그러나, 이는 조립 공정시 상기 간격지지볼트(30)를 구분하여 사용해야 하는 불편함이 발생하여 제조시간이 증가하므로 제조성이 저하될 수 있다.

이를 위해, 상기 간격지지볼트(30)는 상기 정렬헤드부(32)의 두께가 실질적으로 상기 패드유닛을 설치하는데 가장 많이 사용되는 두께로 규격화되어 사용될 수 있다. 이를 통해, 상기 작업자의 작업시간이 현저히 단축되며, 각 규격에 따라 상기 간격지지볼트(30)를 구분하여 사용하는 불편함이 해소될 수 있다.

여기서, 상기 정렬고정수단(21)의 다른 두께(w11)에 따라 산출된 상기 제2간격(h22)이 규격화된 상기 정렬헤드부(32)의 두께보다 클 경우, 상기 제2간격(h22)을 보완 지지하도록 적어도 하나 이상의 와셔(40)가 더 구비됨이 바람직하다. 즉, 상기 제2간격(h22)이 상기 정렬헤드부(32)보다 클 경우 상기 제2간격(h22)과 상기 평판형 패드부(20) 사이 유격을 상기 와셔(40)가 지지하여 보완할 수 있다. 이를 통해, 상기 제2간격(h22)과 상기 정렬헤드부(32)의 두께 간의 차이에 의해 유격이 발생하더라도 상기 와셔(40)를 이용하여 간단하고 용이하게 보완 지지할 수 있다. 이때, 상기 유격폭에 따라 상기 와셔(40)는 적어도 하나 이상 구비되며, 복수개가 적층되어 구비될 수도 있다.

한편, 도 6은 도 2의 B부분을 나타낸 단면도이다.

도 2내지 도 6에서 보는 바와 같이, 상기 나사연장부(31)는 상기 평판형 패드부(20)의 두께보다 길게 연장되며, 상기 정렬헤드부(32)의 상면(32a)과 하면(32b) 및 상기 나사연장부(31)의 단부면(31a)은 상기 평판형 패드부(20)의 일면과 상호 평행하게 대응됨이 바람직하다. 이에 따라, 상기 간격지지볼트(30)는 상기 정렬헤드부(32)의 두께에 대응하는 간격으로 상기 개구공(13) 테두리 내면과 상기 평판형 패드부(20) 사이 간격을 지지할 수 있지만, 상기 체결공(22)에 관통 체결되는 상기 나사연장부(21)의 단부가 돌출된 폭에 의해 지지될 수도 있다.

상세히, 도 4를 참조하면, 상기 제2간격(h2)이 상기 정렬헤드부(32)의 두께와 대응된다면 상기 개구공(13) 테두리 내면과 상기 평판형 패드부(20) 상면 사이는 상기 정렬헤드부(32)에 의해 지지될 수 있다.

그리고, 도 5를 참조하면, 상기 정렬고정수단(21)의 다른 두께(w11)에 따라 조절된 상기 제2간격(h22)이 규격화된 상기 정렬헤드부(32)의 두께보다 크다면 이를 보완하기 위해 상기 정렬헤드부(32)와 상기 평판형 패드부(20) 사이에는 상기 와셔가(40) 구비될 수 있다.

또는, 도 6을 참조하면, 상기 정렬고정수단(221)의 또 다른 두께(w211)에 따라 조절된 제2간격(h222)이 규격화된 상기 정렬헤드부(32)의 두께보다 작다면 상기 나사연장부(31)의 단부면(31a)이 상기 개구공(13)의 테두리 내면에 밀착 지지되는 형상으로 체결될 수도 있다.

즉, 상기 간격조절볼트(30)를 체결하는 방향을 바꾸는 간단한 조작만으로도 상기 정렬고정수단(21)의 두께(w1,w11,w211)에 따라 달라지는 상기 제2간격(h2,h22,h22))에 탄력적으로 대응할 수 있으므로, 상기 패드유닛이 상기 기판(G)과 항상 정확한 간격을 두고 설치될 수 있다.

이를 통해, 본 발명은 상기 포크부(10)와 상기 정렬고정수단(21)이 기설정된 제1간격(h1)을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부(20)와 상기 개구공(13) 내면 사이 제2간격(h2)을 지지하는 구조가 기존의 두꺼운 원판을 상기 각 간격에 대응하여 깍아내던 복잡하고 번거로운 공정이 아니라, 상기 정렬고정수단(21)을 지지할 수 있는 정도의 얇은 판재에 간격지지볼트(30)를 체결하는 간단한 구조로 이루어지므로 제조성 및 경제성이 현저히 개선될 수 있다.

이때, 상기 정렬헤드부(32)는 상기 정렬고정수단(21)의 두께(w1)를 상기 제1간격(h1) 및 상기 개구공(13) 테두리의 두께(w2)와 비교하여 산출된 상기 제2간격(h2)과 대응하는 두께로 형성된다. 이에 따라, 상기 간격지지볼트(30)가 상기 평판형 패드부(20)에 체결된 상태로 상기 정렬헤드부(32)의 상면이 상기 개구공(13) 테두리 내측에 밀착 고정시키기만 하면 별도의 치수정렬수단 없이도 상기 패드유닛을 상기 제1간격(h1)에 대응하여 용이하게 설치할 수 있다.

더욱이, 상기 간격지지볼트(30)는 상기 평판형 패드부(20)와 상기 개구공(13) 내면 사이 간격을 지지하면서도, 상기 패드유닛을 상기 개구공(13) 내측에 고정시키는 상기 체결부재(50)의 단부가 체결되는 체결홈부(33)가 형성된 이중 볼트 구조로 형성된다. 이를 통해, 상기 평판형 패드부(20)에는 실질적으로 최소한의 체결공(22)만 형성되므로 상기 평판형 패드부(20)의 제조시간 및 공정이 단축되며 내구성이 현저히 개선될 수 있다.

또한, 상기 정렬고정수단(21,221)의 두께(w1,w11,w211)에 따라 조절된 상기 제2간격(h2,h22,h222)과 기준비된 상기 간격지지볼트(30)의 정렬헤드부(32) 두께 간의 차이에 의해 유격이 다소 발생하더라도 상기 정렬헤드부(32)와 상기 평판형 패드부(20) 사이에 상기 와셔(40)를 적어도 하나 이상 적층함으로써 간단하고 용이하게 보완 지지할 수 있으므로 작업효율이 현저히 개선될 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 각 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 청구항에서 청구하는 범위를 벗어남 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형 실시되는 것은 가능하며, 이러한 변형예는 본 발명의 범위에 속한다.

10 : 포크부 11 : 중공형 핑거
12 : 고정프레임 13 : 개구공
20 : 평판형 패드부 21 : 정렬고정수단
22 : 체결공 30 : 간격지지볼트
31 : 나사연장부 32 : 정렬헤드부
33 : 체결홈부 40 : 와셔
50 : 체결부재 51 : 체결연장부
52 : 체결헤드부 100 ; 기판이송용 로봇핸드

Claims

상면에 기판을 적재하여 이송하도록 기설정된 간격으로 이격된 복수개의 중공형 핑거와, 상기 중공형 핑거의 일측을 연결하는 고정프레임을 포함하는 포크부;
상기 중공형 핑거의 일면에 형성된 개구공 내측으로 삽입되며 상면에 정렬고정수단이 선택적으로 구비되는 평판형 패드부; 및
상기 평판형 패드부에 형성된 체결공에 나사체결되는 나사연장부와, 상기 나사연장부의 일측에 구비되되 상기 정렬고정수단의 상면과 상기 포크부 상면 사이가 기설정된 제1간격을 두고 배치되도록 상기 평판형 패드부의 상면과 상기 개구공 테두리 내면 사이의 제2간격과 대응되는 두께로 형성되는 정렬헤드부를 포함하는 간격지지볼트를 포함하는 기판이송용 로봇핸드.
제 1 항에 있어서,
상기 제2간격은 상기 정렬고정수단의 두께를 상기 제1간격 및 상기 개구공 테두리의 두께와 비교하여 설정됨을 특징으로 하는 기판이송용 로봇핸드.
제 2 항에 있어서,
상기 정렬고정수단의 두께에 따라 선택적으로 조절되는 상기 제2간격을 보완 지지하도록 상기 정렬헤드부와 상기 평판형 패드부 사이에는 적어도 하나 이상의 와셔가 더 구비됨을 특징으로 하는 기판이송용 로봇핸드.
제 1 항에 있어서,
상기 개구공 테두리에는 상기 체결공과 대응되는 위치에 관통되되 내측테두리로 갈수록 직경이 좁아지는 관통공이 형성되며,
상기 관통공을 관통하는 체결부재의 체결헤드부와 상기 간격지지볼트의 일측 사이에 상기 관통공의 내측테두리가 클램핑 결합되어 상기 패드부가 상기 개구공 내측에 고정되도록, 상기 간격지지볼트는 상기 체결부재의 체결헤드부로부터 일측으로 연장된 체결연장부가 체결되는 체결홈부가 길이방향을 따라 형성된 이중 체결 볼트로 형성됨을 특징으로 하는 기판이송용 로봇핸드.
제 1 항에 있어서,
상기 나사연장부는 상기 평판형 패드부 두께보다 길게 연장되며,
상기 정렬헤드부의 상면과 하면 및 상기 나사연장부의 단부면은 상기 평판형 패드부의 일면과 상호 평행하게 대응됨을 특징으로 하는 기판이송용 로봇핸드.