JP2006258606A - 蛍光分析装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】光源光の変動や外乱ノイズが低減され、励起光及び蛍光の分光波長を連続して変化させながら、高精度に蛍光スペクトル測定が可能な蛍光分析装置を実現する。
【解決手段】蛍光光量信号と励起光量信号とADC12、13でAD変換してデータ処理部14に取込む度に、蛍光光量信号と励起光量信号のAD変換データが同じ精度のデータになるように励起光信号の増幅器9の増幅度(G)を演算する。演算された増幅度(G)により励起光信号を増幅しAD変換する。これにより、同じ精度の励起光データと蛍光データが得られる。得られた蛍光データを励起光データで割算することにより得られたデータに、増幅度(G)を乗算する。この処理により、スペクトルデータを低ノイズで得ることが可能になる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、試料に励起光を照射し試料からの蛍光を測定し、分析する蛍光分析装置に関する。
従来技術における蛍光分析装置は、特許文献1に記載されているように、励起光の一部の光を検知器で検出し、励起光信号として取り込み、この励起光信号の増幅度を、スリット幅の変更と波長変更のいずれか一方の変更に連動して可変して、励起光の信号を一定レベル以上にしている。
試料から発する蛍光量が励起光量に比例して変動するため、試料の定量測定を行う場合には、(蛍光量)/(励起光量)を計算することにより、励起光量の変動を補正した定量値を求める。このようにすれば、計算精度を向上させ、測定精度を高める効果がある。
特開平53−50885号公報
ところで、蛍光分析装置においては、励起光を試料に照射して試料から発せられる蛍光を測定するが、試料に含まれる物質の量を物質が発する蛍光量から求める定量分析のみならず、励起光の波長をスキャンさせながら、蛍光スペクトルを測定して、試料に含まれる物質の種類の存在を確認する定性分析が要求されている。
しかしながら、励起光の波長をスキャンさせながら、蛍光スペクトルを測定して定性分析する場合、上記従来技術では、以下に示す問題点(1)、(2)を有する。
(1)励起光の波長をスキャンさせながら蛍光スペクトルを測定する場合には、正しい蛍光スペクトルが得られなくなる。この理由は、励起波長を変化させた時に励起光信号の増幅度を変えると励起光の信号レベルは一定になるが、試料に照射される実際の励起光量の変動はそのままであるため、励起波長を変化させる前と後では、励起光量と励起光信号との比率が異なってしまうからである。蛍光3次元スペクトル測定のように、励起波長を変えながら蛍光物質濃度を測定する分析手法では、上記従来技術を使用することができない。
(2)試料による蛍光発光量の違いが配慮されていないために蛍光信号と、励起光信号の大きさが大きく異なる測定条件が発生する。この場合に両者の信号の分解能が異なり、励起光変動の補正精度を悪化させてしまう。
ここで、試料が発する蛍光光量は、励起光量に比例して変化するために、試料に含まれる物質の量だけに比例して変化する信号(定量信号)を得るためには、蛍光光量を励起光量で割算をすればよい。つまり、定量信号は、(蛍光光量信号)/(励起光量信号)の計算により得ることができる。
また、上記計算によって、励起光変動により蛍光光量が変動するノイズ成分を取り除く効果がある。
励起光は、キセノンランプが発する波長190nm〜900nmの光を分光して得る場合が多い。この波長を変化させながら各励起光波長における蛍光光量の測定を行うが、光源が発生する各波長の光量差、及び試料による蛍光光量差、分光器の波長特性、検知器の波長特性が影響し、励起光量は波長依存で1000倍以上、蛍光光量は波長と試料依存で1,000,000倍以上変化する。
このため、励起光量信号の大きさが蛍光光量信号の大きさの1/100以下になる条件も発生する。
図7に示す蛍光スペクトルは、試料に照射させる(励起光量信号)/(蛍光光量信号)が1/50になる測定条件で測定したものである。ただし、励起光信号の増幅は行われていない。
図8は図7に示した蛍光スペクトルのピーク波長(450nm)における定量値信号((蛍光光量信号:DEF)/(励起光量信号:DEX))の時間変化を測定した結果であり、大きいノイズ成分が含まれていることが分かる。
このノイズの主原因は2つあり、1つは光源光量の変動補正精度が悪化しているためである。この原因は、定量値信号=(蛍光光量信号)/(励起光量信号)の計算における蛍光光量信号に対し励起光量信号の分解能が1/50しか無いところにある。
例えば、蛍光光量信号のAD変換値が5000だとすると、1/50の励起光量信号のAD変換値は100になり、励起光量信号のAD変換値からは1/100以下の分解能は得られなくなるために、1/100以下の光源光量の変動を補正することが不可能になるためである。
2つ目の原因は、アナログ信号回路系ノイズの影響によるものである。アナログ信号回路系ノイズは、ほぼ一定レベルのノイズが測定信号に加算されるために、蛍光光量信号と比較して1/50の励起光量信号への影響はほぼ50倍になるためである。
以上のノイズ発生の2つの原因を解決するために、励起光量信号が小さい時に増幅度を上げる技術を提案することが考えられる。
上記提案技術について、以下に考察してみる。
図9は、図7に示した蛍光スペクトル測定と同等の条件において、励起光量信号を50倍に増幅して測定した結果である。定量信号=(蛍光光量信号)/(励起光量信号)×50になるために、定量値信号ピーク波長の値は、図7に示したピーク波長の1/50の値になってしまう。
このことは、測定条件により励起光量信号の増幅度を変えると、定量値信号が変わるために、定量値信号との相関が得られなくなるという大きな問題が残っていることを示す。
特に、蛍光スペクトル測定においては、励起光及び蛍光の分光波長を連続して変化させながら、連続して変化する定量値を得る必要があり、分光波長を変更させる途中で、励起光量信号の増幅度を変更することは、連続的に変化するスペクトル測定ができなくなるという問題がある。
本発明の目的は、光源光の変動や外乱ノイズが低減され、励起光及び蛍光の分光波長を連続して変化させながら、高精度に蛍光スペクトル測定が可能な蛍光分析装置及び方法を実現することである。
本発明においては、蛍光光量信号と励起光量信号をAD変換して演算処理部に取り込む度に蛍光光量信号と励起光量信号のAD変換データが同じ精度のデータになる励起光信号の増幅度(G)を計算し、求められて増幅度(G)により励起光信号を増幅しAD変換する。
これにより同じ精度の励起光データと蛍光データが得られる。
このようにして得られた蛍光データを励起光データで割算することにより得られたデータに、このデータを得るために励起光信号を増幅した増幅度(G)を乗算する。
この処理により、スペクトルデータを低ノイズで得ることが可能になる。
但し、励起光の波長と蛍光波長によっては、蛍光量が0になる。この場合、求められた増幅度(G)が1以下になり、0になる場合もある。このように蛍光量が一定以下の値になった場合は、励起光信号の増幅度を予め定めた一定値にする。
また、励起光信号が0に近い値になる条件では、求められた増幅度(G)が設定不能な大きな増幅度になるために、励起光信号の増幅度を予め定めた一定値にする。
本発明によれば、光源光の変動や外乱ノイズが低減され、励起光及び蛍光の分光波長を連続して変化させながら、高精度に蛍光スペクトル測定が可能な蛍光分析装置及び方法を実現することができる。
光源光の変動や外乱ノイズの影響を大幅に低減した蛍光スペクトル測定を可能にし、極微量試料の分析が可能になる。
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態である蛍光分析装置の概略構成図である。図1において、光源1からの光は、分光器2により分光される。この分光器2はモータ15により回転され、分光波長を変えることができる。また、モータ15はモータ駆動回路17により駆動される。このモータ駆動回路17は、データ処理部14により回転速度と回転角度が指定され、指定された回転速度と回転角度となるようにモータ15を駆動する。
分光器2により分光された光は、ミラー3により反射され、石英板4、スリット21を通り、励起光として試料6に照射される。ミラー3により反射された励起光の一部は、石英板4の表面反射により、検知器5に照射される。
試料6から発せられる蛍光は、スリット22を介して分光器7に照射され、分光器7により分光される。この分光器7は、モータ16により回転され、分光波長を変える。モータ16はモータ駆動回路18により駆動される。モータ駆動回路18はデータ処理部14により、モータ16の回転速度と回転角度が指定され、指定された回転速度と回転角度となるようにモータ16を駆動する。分光器7により分光された光は検知器8に照射される。
検知器5からの検知信号は、AMP9により増幅される。このAMP9の増幅度は、増幅度可変回路10により可変可能である。AMP9からの信号は、ADC12によりAD変換される。
検知器8からの検知信号は、AMP11により増幅され、ADC13によりAD変換される。ADC12とADC13とは、タイマー19からの信号により、一定時間周期でAD変換を行う。タイマー19のタイマー周期はデータ処理部14により指定される。
ADC12からのデータは、励起光量をモニタする励起光データ(DEX)としてデータ処理部14が読み取る。また、ADC13からのデータは、試料からの蛍光量をモニタする蛍光データ(DEF)としてデータ処理部14が読み取る。CPUであるデータ処理部14はADC12とADC13とから読み取ったデータを処理し、表示装置20に表示させる。
本発明の一実施形態におけるデータ処理部14は、図2に示すデータ処理機能を有し、図3に示すタイムチャートに従った動作を行う。
本発明の一実施形態においては、測定のためのAD変換の度に、励起光光量信号と蛍光光量信号との大きさを同等とする処理と、この処理により発生する測定信号の変化を補正する処理を行う。
最初に、励起光光量信号と蛍光光量信号との大きさを同等とする処理について説明する。
データ処理部14は、図3の(1)に示す初期分光波長を設定するためにモータ駆動回路17、18を制御する。次に、図3の(2)に示すAMP9の増幅度を1にするために、AMP増幅度可変回路10を制御する。次に、図3の(3)に示すAD変換周期時間の設定を行うためにタイマー19を制御する。これにより、タイマー19は、ADC12及びADC13の高速AD変換スタート信号を出力する(図3の(4))。この例においては、高速AD変換は、例えば、16ビット、10μs〜50μsとする。
高速AD変換スタート信号により、ADC12及びADC13は、励起光光量信号と蛍光光量信号との高速AD変換を行い、AD変換が終了した事をデータ処理部14に知らせる。データ処理部14は、ADC12及びADC13から高速AD変換が終了信号を受け取ると、図3の(5)に示されるように変換データの読取を行う。
読み込まれたデータは、図2の割算部54により励起光光量信号の大きさを蛍光光量信号と同等にするための増幅度(G)が得られる。この増幅度(G)は増幅度設定処理部52により、増幅度可変回路10に設定される。また、この増幅度(G)はメモリ55に保存される。
以上の動作により、ADC12及びADC13に入力される励起光光量信号と蛍光光量信号との大きさは同等になる。
ここで、ADC12及びADC13が高速AD変換をする理由は、主目的である試料濃度に比例する信号を得るための測定時間を減少させ、信号精度を低下させないためである。
励起光光量信号が小さ過ぎて増幅度可変回路10により設定可能な増幅度を超えてしまう場合の処理として、本発明の一実施形態においては、図2の大小比較部53により、励起光光量信号と固定値(D)と比較して、設定可能な増幅度(D)を超えるか否かの判定を行う。
その判定結果、設定可能な増幅度を超えてしまう場合は、大小比較部53は、増幅度を固定値(E)(本発明の一実施形態では100倍とする)に設定する。
この処理の効果は、AMP9の増幅度を一定以上に大きくするとAMP系のノイズが増加してしまい、S/Nを悪化させてしまう事を防止するところにある。
また、蛍光光量信号が小さく、励起光光量信号の増幅度が1以下になるか否かを、図2の大小比較部51により、蛍光光量信号と固定値(A)とを比較することにより判定する。この結果、蛍光光量信号が小さいと判定された場合は、増幅度を固定値(B)(本発明の一実施形態では1倍)に設定する。
この処理の効果は、励起光光量信号の増幅度を1以下にすると励起光光量信号の分解能が減少し、S/Nを悪化させてしまう事を防止するところにある。
次に、主目的の測定と、励起光光量信号と蛍光光量信号の大きさを同等にする処理により発生する測定信号の変化を補正する処理を説明する。
AMP9の増幅度が設定された後、タイマー制御部57の制御動作に従って、タイマー19から低速高精度AD変換スタート信号がADC12及びADC13に出力される(図3の(6))。ここで、この例のおいては、低速高精度AD変換は、例えば、24ビット、10ms〜50msとする。
この低速高精度AD変換が終了した事が、タイマー19からデータ処理部14に伝えられると、ADC12及びADC13によるAD変換データをデータ処理部14が読取る。
そして、図2の割算部54による割算処理により、主目的である試料濃度に比例する信号を得る測定と処理を行う。
但し、この時点で得られた値には、励起光光量信号の増幅度を変更した事による誤差が含まれるため、メモリ55に保存された増幅度(G)の値を乗算部56により乗算する。
図4は、信号処理のフローチャートである。
図4において、まず、励起光AMP9の増幅度が1に設定され(ステップ(a))、ADC12とADC13において高速AD変換が行われる(ステップ(b))。
データ処理部14は、ADC12とADC13からのAD変換終了信号を受信した時点で、励起光信号が増幅度1で増幅された信号(AEX1n)がAD変換された信号(DEX1n)と、蛍光信号(AEFn)がAD変換された信号(DEFn)とを読み取る(ステップ(c)、(d))。
ステップ(ca)において、データ処理部14は励起光のAD変換データ(DEX1n)の値と固定値(D)とを比較する。この結果、AD変換データ(DEX1n)が固定値(D)以下の場合は、データ処理部14のメモリ55に予め記憶させて置いた固定値(E)により、励起光AMPの増幅度(G)を定める(ステップ(cb))。
次に、データ処理分14は、ADC13からの蛍光信号AD変換データ(DEFn)を、データ処理部14のメモリに予め記憶させておいた固定値(A)と比較する(ステップ(e))。
この結果、固定値(A)よりも蛍光信号のAD変換データ(DEFn)の値が大きい場合は、(DEFn)/(AEX1n)を計算することにより、励起光AMP9の増幅度(G)を得る(ステップ(f))。
蛍光信号のAD変換データ(DEFn)の値が固定値(A)以下の場合は、データ処理部14のメモリに予め記憶させて置いた固定値(B)を、励起光AMP9の増幅度(G)として定める(ステップ(g))。
次に、励起光AMP9からの信号増幅度を、ステップ(f)、(g)、(cb)のいずれかで計算された増幅度(G)に設定する(ステップ(h))。
これにより、励起光信号(AEX1n)は増幅度(G)で増幅され、低速高精度でAD変換され(ステップ(i))、AD変換データ(DEXn)としてデータ処理部14が読み取る(ステップ(j))。同時に、蛍光信号は、AD変換データ(DEFn)としてデータ処理部14が読み取る(ステップ(k))。
データ処理部14は、(DEFn)/(DEXn)を計算した後の結果に増幅度(G)を乗算することにより、(DEFn)×G/(DEXn)の計算を行いDATAnを得る(ステップ(l))。
以上の処理により、励起光信号を増幅度(G)で増幅しない時と同じ測定信号レベルの信号を高精度に得ることができる。
そして、データ処理部14は、DATAnをメモリに保存し(ステップ(m))、表示装置20にDATAnを表示させる(ステップn)。続いて、励起光の波長を変えた後(ステップo)、ステップ(a)に戻る。
図5は、本発明の一実施形態で、図7に示したデータが得られた試料をスキャン測定した蛍光スペクトルであり、図6は、本発明の一実施形態で上記試料の蛍光スペクトルピーク波長における時間変化測定データであり、ピークデータのS/Nを測定したデータである。
本発明の一実施形態により得られたデータ(図5、図6)と、従来技術により得られたデータ(図7、図8)とを比較すれば理解できるように、本発明の一実施形態によれば、従来技術の5倍以上のS/Nで、かつ、ピーク値が従来技術と同じ値が得られる結果を得ることができる。
また、本発明によれば、分析条件によっては光源光量の変動及び電気系ノイズの影響を従来技術の1/6以下にすることが可能になり、従来はノイズに埋もれて測定できなかった、微量物質の測定が可能になり、研究開発・高精度品質管理・他への適用分野を広げることが可能となる。
なお、図1に示したスリット21、22は、波長分解能を向上するため、その幅が調整されるが、上記増幅度(G)の算出は、各波長の設定毎及びスリット21、22の幅の調整毎に行なわれるように構成することも可能である。
本発明の一実施形態である蛍光分析装置の概略構成図である。 図1に示した蛍光分析装置におけるデータ処理部の内部機能構成図である。 本発明の一実施形態におけるデータ処理部の動作説明図である。 本発明の一実施形態における信号処理の動作フローチャートである。 本発明の一実施形態における蛍光分析装置により試料をスキャン測定した蛍光スペクトルを示す図である。 図5に示した蛍光スペクトルピーク波長における定量値の時間変化の測定データを示す図である。 従来技術において試料を波長スキャンして測定した蛍光スペクトルを示す図である。 従来技術において図7に示した蛍光スペクトルピーク波長における定量値の時間変化の測定データを示す図である。 従来技術において励起光信号を50倍増幅して試料を測定した蛍光スペクトルを示す図である。
符号の説明
1 光源
2 分光器
3 ミラー
4 石英板
5 検知器
6 試料
7 分光器
8 検知器
9、11 AMP
10 AMP増幅度可変回路
12、13 ADC
14 データ処理部
15、16 モータ
17、18 モータ駆動回路
19 タイマー
20 表示装置
21、22 スリット
51、53 大小比較部
52 増幅度設定処理部
54 割算処理部
55 メモリ
56 乗算部
57 タイマー制御部

Claims (6)

  1. 光源と、この光源から発せられる光を分光し、励起光として、その波長を変更させて試料に照射する分光手段と、上記励起光の一部を励起光検知器に照射する手段と、上記励起光検知器からの信号を増幅する励起光信号増幅器と、この励起光信号増幅器からの信号をAD変換する励起光AD変換器と、上記試料が発する蛍光を検出する蛍光検知器と、この蛍光検知器からの蛍光信号を増幅する蛍光信号増幅器と、この蛍光信号増幅器からの信号をAD変換する蛍光AD変換器とを有し、上記蛍光AD変換器からの蛍光信号に基づいて、試料を分析する蛍光分析装置において、
    上記励起光AD変換器の出力データと上記蛍光AD変換器の出力データとに基づいて上記励起光信号増幅器の増幅度を、上記励起光の波長変更毎に算出する増幅度手段と、
    上記算出した増幅度を記憶する記憶手段と、
    上記励起光信号増幅器の増幅度を上記算出した増幅度とする増幅度変更手段と、
    上記算出した増幅度の励起光信号増幅器により増幅された励起光信号が上記励起光AD変換器によりAD変換されたデータにより、上記蛍光AD変換器によりAD変換されたデータを割算し、この割算により得られたデータに、上記記憶手段に記憶された増幅度を乗算し、試料を分析するデータ処理手段と、
    を備えることを特徴とする蛍光分析装置。
  2. 請求項1記載の蛍光分析装置において、
    上記蛍光AD変換器の出力信号を所定値と比較する手段と、
    上記比較手段の比較結果に従って、上記励起光信号増幅器の増幅度を、上記励起光AD変換器の出力データと上記蛍光AD変換器の出力データとが同等の精度となるための増幅度にするか、所定の固定増幅度値にするかを決定する手段とを備えることを特徴とする蛍光分析装置。
  3. 請求項2記載の蛍光分析装置において、
    上記励起光AD変換器の出力信号を所定値と比較する手段と、
    上記比較手段の比較結果、上記励起光AD変換器の出力信号が所定値より小さい場合は、上記励起光信号増幅器の増幅度を所定の固定増幅度値にする手段とを備えることを特徴とする蛍光分析装置。
  4. 請求項1記載の蛍光分析装置において、上記増幅度を算出する手段により増幅度を算出する期間における上記励起光AD変換器及び蛍光AD変換器のAD変換速度は、上記励起光信号増幅器の増幅度が算出された増幅度に変更された後の、上記励起光AD変換器及び蛍光AD変換器のAD変換速度より速いことを特徴とする蛍光分析装置。
  5. 請求項1記載の蛍光分析装置において、上記分光手段からの励起光を通過し、上記試料に照射させるスリット手段を備え、このスリット手段は、スリット幅を変更でき、上記増幅度算出手段は、上記波長変更毎及びスリット幅変更毎に上記増幅度を算出することを特徴とする蛍光分析装置。
  6. 光源と、この光源から発せられる光を分光し、励起光として、その波長を変更させて試料に照射する手段と、上記励起光の一部を励起光検知器に照射する手段と、上記励起光検知器からの信号を増幅する励起光信号増幅器と、この励起光信号増幅器からの信号をAD変換する励起光AD変換器と、上記試料が発する蛍光を検出する蛍光検知器と、この蛍光検知器からの蛍光信号を増幅する蛍光信号増幅器と、この蛍光信号増幅器からの信号をAD変換する蛍光AD変換器とを用いて、上記蛍光AD変換器からの蛍光信号に基づいて、試料を分析する蛍光分析方法において、
    上記励起光AD変換器の出力データと上記蛍光AD変換器の出力データとに基づいて上記励起光信号増幅器の増幅度を算出し、
    上記励起光信号増幅器の増幅度を上記算出した増幅度とし、
    上記算出した増幅度の励起光信号増幅器により増幅された励起光信号が上記励起光AD変換器によりAD変換されたデータにより、上記蛍光AD変換器によりAD変換されたデータを割算し、この割算により得られたデータに、上記算出した増幅度を乗算し、試料を分析することを特徴とする蛍光分析方法。
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JP2010525313A (ja) * 2007-04-18 2010-07-22 ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル 蛍光測定

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008197088A (ja) * 2007-01-19 2008-08-28 Shimadzu Corp 蛍光検出器
JP2010525313A (ja) * 2007-04-18 2010-07-22 ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル 蛍光測定

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