JP3004748B2 - フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法 - Google Patents

フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定試料に対して赤外
光を照射し、そのとき得られる吸収スペクトル中の複数
の指定された波数ポイントにおける吸光度に基づいて測
定試料中に含まれる成分の濃度を分析するフーリエ変換
赤外分光計(FTIR)を用いた定量分析方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】上記FTIRは、例えば図1に示すよう
に構成されている。すなわち、この図において、1は分
析部、2はこの分析部1の出力であるインターフェログ
ラムを処理するデータ処理部である。分析部1は平行な
赤外光を発するように構成された赤外光源3と、ビーム
スプリッタ4,固定ミラー5,図外の駆動機構によって
例えばX−Y方向に平行移動する可動ミラー6からなる
干渉機構7と、測定試料などを収容し、干渉機構7を介
して赤外光源3からの赤外光が照射されるセル8と、半
導体検出器9とから構成されている。そして、データ処
理部2は例えばコンピュータよりなり、インターフェロ
グラムを加算平均し、その加算平均出力を高速でフーリ
エ変換し、さらに、このフーリエ変換出力に基づいて測
定対象成分に関するスペクトル演算を行うように構成さ
れている。
【0003】このように構成されたFTIRにおいて
は、次のようにして定量分析することができる。すなわ
ち、セル8に比較試料または測定試料をそれぞれ収容し
て赤外光源3からの赤外光をセル8に照射し、比較試料
または測定試料のインターフェログラムを測定する。こ
れらのインターフェログラムをデータ処理部2におい
て、それぞれフーリエ変換してパワースペクトルを得た
後、比較試料のパワースペクトルに対する測定試料のパ
ワースペクトルの比を求め、これを吸光度スケールに変
換することにより吸収スペクトルを得た後、この吸収ス
ペクトル中の複数の波数ポイントにおける吸光度に基づ
いて測定試料中に含まれる成分(単成分または多成分)
を定量分析するのである。
【0004】上記定量分析方法として、例えば本願出願
人に係る平成2年6月28日付けの特許出願(特願平2−
171038号)があり、その概要は、吸収スペクトル中の複
数の波数ポイントにおける局所的ピーク値と局所的バレ
ー値との差である相対吸光度の和を求め、この和に基づ
いて各成分の濃度を各別に得ると云うものであり、FT
IRによれば、吸収スペクトルにおける波数ポイント群
を適宜選ぶことにより測定試料中の単一の成分を、ある
いは、多成分を定量分析することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、FTIRを
用いて測定試料中の成分を定量分析する場合、濃度演算
に用いる波数ポイントは測定試料中に存在する成分及び
その濃度範囲を仮定したうえで選択するのが通常である
が、ある濃度計算用の波数ポイント群から精度よく濃度
計算できる濃度範囲は比較的狭い。つまり、低濃度対応
の濃度計算用の波数ポイント群では高濃度に対して正し
い分析値が得られず、高濃度対応のものでは最小検出感
度が落ちて低濃度が検出できない。すなわち、例えば濃
度レンジが0〜 100 ppm用でFS(フルスケール)1%
ゼロノイズであれば2 ppm程度まで検出できるが、濃度
レンジが0〜1000 ppm用の場合、FS1%のゼロノイズ
であっても20 ppm程度の濃度がなければ検出できない。
これは、フルスケールに対するゼロノイズのレベルは濃
度レンジによってそれほど変わらない場合が多いので、
高濃度用ではノイズの絶対値は大きくなってしまうから
である。
【0006】また、同時多成分分析、例えば図4(A)
に示すように、2つの測定対象成分A,Bを同時に分析
する場合において、一方の測定対象成分Aの濃度がその
測定限界LA を超えて高濃度になると、図4(B)に示
すように、測定対象成分Aの濃度計算値は勿論のこと、
測定限界LB を超えない低濃度の他方の測定対象成分B
の濃度計算値も不正確になってしまうことがある。従っ
て、自動車からの排ガスなどのように、その構成成分の
濃度が急激に変化するような測定試料の連続測定におい
ては、精度の高い分析を行えないことがあった。
【0007】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、測定対象成分の濃度
が急激に変化するような測定試料であっても、精度よく
連続分析することができるフーリエ変換赤外分光計を用
いた定量分析方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、分析部のセルに比較試料または測定試料
をそれぞれ収容して赤外光源からの赤外光をセルに照射
し、比較試料または測定試料のインターフェログラムを
測定した後、これらのインターフェログラムをデータ処
理部において、それぞれフーリエ変換してパワースペク
トルを得た後、比較試料のパワースペクトルに対する測
定試料のパワースペクトルの比を求め、これを吸光度ス
ケールに変換することにより得られる吸収スペクトル中
の複数の指定された波数ポイントにおける吸光度に基づ
いて測定試料中に含まれる成分の濃度を分析するフーリ
エ変換赤外分光計を用いた定量分析方法において、測定
対象成分の複数の濃度レンジにそれぞれ対応する複数種
の濃度計算用の波数ポイント群を予め指定しておき、
濃度対応から低濃度対応へのレンジ切換えのしきい値
と、低濃度対応から高濃度対応へのレンジ切換えのしき
い値に差をつけ、分析時に、先ず、前記複数種の濃度計
算用波数ポイント群のうち設定されている濃度レンジに
対応するものを用いて濃度計算を行い、その計算結果を
前記しきい値と比較し、その結果濃度レンジが不適切と
判断される場合には、より適切な濃度レンジに設定変更
して対応する濃度計算用の波数ポイント群を用いて各測
定対象成分の濃度を再計算し出力している。また、本発
明は、別の観点から、分析部のセルに比較試料または測
定試料をそれぞれ収容して赤外光源からの赤外光をセル
に照射し、比較試料または測定試料のインターフェログ
ラムを測定した後、これらのインターフェログラムをデ
ータ処理部において、それぞれフーリエ変換してパワー
スペクトルを得た後、比較試料のパワースペクトルに対
する測定試料のパワースペクトルの比を求め、これを吸
光度スケールに変換することにより得られる吸収スペク
トル中の複数の指定された波数ポイントにおける吸光度
に基づいて測定試料中に含まれる複数の測定対象成分の
濃度を同時分析するフーリエ変換赤外分光計を用いた定
量分析方法において、測定対象成分毎に複数の濃度レン
ジにそれぞれ対応する複数種の濃度計算用の波数ポイン
ト群を予め指定しておき、分析時に、先ず、前記複数種
の濃度計算用波数ポイント群のうち設定されている濃度
レンジに対応するものを用いて濃度計算を行い、その計
算結果を測定対象成分毎に設定したしきい値と比較し、
その結果濃度レンジが不適切と判断される場合には、よ
り適切な濃度レンジに設定変更して対応する濃度計算用
の波数ポイント群を用いて各測定対象成分の濃度を再計
算し出力することを特徴とするフーリエ変換赤外分光計
を用いた定量分析方法を提供する。
【0009】
【作用】上記方法によれば、最小検出感度を一定に保持
したままで、高濃度の測定対象成分の分析も可能とな
り、広い濃度範囲にわたって精度よく連続分析できる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
【0011】本発明に係るFTIRを用いた定量分析方
法が従来の方法と大きく異なる点は、ある測定対象成分
について、その濃度計算用の波数ポイント群の指定を希
望する濃度レンジに応じて複数種(例えば0〜 100 ppm
用、0〜1000 ppm用、0〜1%用など)用意し、高濃度
対応から低濃度対応へのレンジ切換えのしきい値と、低
濃度対応から高濃度対応へのレンジ切換えのしきい値に
差をつける。そして、測定開始時には、これらの波数ポ
イント群のうちある特定のもの(これは予め設定されて
いても、あるいは、そのとき設定するようにしてもよ
い)を用いて濃度計算する。そして、その計算値が予め
設定された前記しきい値と比較して適切でなければ、そ
の値に応じてより適切な濃度範囲に対応する濃度計算用
の波数ポイント群を用いて再計算を行う。そして、2回
目以降は原則として、先ず、前回と同一の波数ポイント
群を用いて濃度計算を行い、その計算値によっては、上
述と同様に濃度計算用の波数ポイント群を変更して再計
算する。
【0012】図2は、このことを表したフローチャート
で、FTIR干渉計から得られるスペクトルデータ(ス
テップS1)に基づいて、設定されている濃度レンジに
対応する濃度計算用の波数ポイント群を用いて演算を行
う(ステップS2)。そして、このときの計算値がその
まま出力できるか否かをしきい値と比較し(ステップS
3)、そのまま出力できる場合、つまり、計算値より設
定されていた濃度レンジが適切であったと判断される場
合(ステップS3においてYES)、前記計算値を濃度
計算値として出力し(ステップS4)、そうでない場合
(ステップS3においてNO)、濃度レンジをより適切
なものに設定変更して(ステップS5)対応する濃度計
算用の波数ポイント群の吸光度から再度演算を行うので
ある(ステップS2)。これらの計算・判断・レンジ変
更は全てコンピュータ2内で自動的に行われる。このよ
うにして、常に最も適切な濃度計算用の波数ポイント群
より濃度計算された結果のみを出力するのである。
【0013】そして、本発明では、前記計算値としきい
値と比較する場合、高濃度対応から低濃度対応へのレン
ジ切換えのしきい値と、低濃度対応から高濃度対応への
レンジ切換えのしきい値に差をつけてある。このように
することにより、切換え時のバラツキを抑えることがで
きる。
【0014】これを、2成分A,Bを同時に連続分析す
る場合について説明すると、今、図3に示すように濃度
が変化する2つの成分A,Bがあるものとし、2段階、
つまり、濃度レンジが低濃度、高濃度のいずれかによっ
て自動切換えするものとし、成分A,Bの濃度レンジの
組み合わせに対応する波数ポイント群4種類を表1のよ
うに決める。
【0015】
【表1】
【0016】測定試料中の成分A,Bの濃度が図3に示
すように変化し、そして、成分Aの低濃度から高濃度へ
のしきい値、高濃度から低濃度へのしきい値をそれぞれ
a,Da (但し、Ua >Da )とし、また、成分Bの
低濃度から高濃度へのしきい値、高濃度から低濃度への
しきい値をそれぞれUb ,Db (但し、Ub >Db )と
すると、 その切換えは時間T1 ,T2 ,T3 で生ず
る。従って、この例においては、時間T0 〜T1 は波数
ポイント群ll、時間T1 〜T2 は波数ポイント群h
l、時間T2 〜T3 は波数ポイント群hh、時間T3
は波数ポイント群lhでそれぞれ計算された濃度値が出
力される。
【0017】なお、本発明方法は、前述の特願平2−17
0138号に記載された手法のみに適用されるものではな
く、他の手法に適用してもよいことは云うまでもない。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、スペクトルデータを基にして成分濃度を計算するの
に用いる波数ポイント群を、測定試料に含まれる測定対
象成分の濃度の高い低いで切り換えるようにしているの
で、最小検出感度を一定に保持したままで高濃度の測定
対象成分も精度よく測定することができる。そして、前
記切換えは自動で行われるので、測定対象成分の濃度変
化が大きい測定試料であっても連続分析が可能である。
また、前記濃度変化が小さいときは再計算はあまり行わ
れないから、時間的ロスが少ないといった利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法を実施するための装置の一例を概略
的に示す図である。
【図2】本発明方法の動作の流れを示すフローチャート
である。
【図3】出力波形の一例を示す図である。
【図4】従来技術を説明するための図で、図4(A)
は、実際の濃度変化を表す波形図、図4(B)は、濃度
計算値の出力変化を表す波形図である。
【符号の説明】
1…分析部、2…データ処理部、3…赤外光源、8…セ
ル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−2637(JP,A) 特開 平2−87044(JP,A) 特開 昭61−202144(JP,A) 特開 平2−55938(JP,A) 特開 昭56−147042(JP,A) 特開 昭64−9339(JP,A) 特開 昭63−212827(JP,A) 実開 昭56−149945(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/61

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 分析部のセルに比較試料または測定試料
    をそれぞれ収容して赤外光源からの赤外光をセルに照射
    し、比較試料または測定試料のインターフェログラムを
    測定した後、これらのインターフェログラムをデータ処
    理部において、それぞれフーリエ変換してパワースペク
    トルを得た後、比較試料のパワースペクトルに対する測
    定試料のパワースペクトルの比を求め、これを吸光度ス
    ケールに変換することにより得られる吸収スペクトル中
    の複数の指定された波数ポイントにおける吸光度に基づ
    いて測定試料中に含まれる成分の濃度を分析するフーリ
    エ変換赤外分光計を用いた定量分析方法において、測定
    対象成分の複数の濃度レンジにそれぞれ対応する複数種
    の濃度計算用の波数ポイント群を予め指定しておき、
    濃度対応から低濃度対応へのレンジ切換えのしきい値
    と、低濃度対応から高濃度対応へのレンジ切換えのしき
    い値に差をつけ、分析時に、先ず、前記複数種の濃度計
    算用波数ポイント群のうち設定されている濃度レンジに
    対応するものを用いて濃度計算を行い、その計算結果を
    前記しきい値と比較し、その結果濃度レンジが不適切と
    判断される場合には、より適切な濃度レンジに設定変更
    して対応する濃度計算用の波数ポイント群を用いて各測
    定対象成分の濃度を再計算し出力することを特徴とする
    フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法。
  2. 【請求項2】 分析部のセルに比較試料または測定試料
    をそれぞれ収容して赤外光源からの赤外光をセルに照射
    し、比較試料または測定試料のインターフェログラムを
    測定した後、これらのインターフェログラムをデータ処
    理部において、それぞれフーリエ変換してパワースペク
    トルを得た後、比較試料のパワースペクトルに対する測
    定試料のパワースペクトルの比を求め、これを吸光度ス
    ケールに変換することにより得られる吸収スペクトル中
    の複数の指定された波数ポイントにおける吸光度に基づ
    いて測定試料中に含まれる複数の測定対象成分の濃度を
    同時分析するフーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析
    方法において、測定対象成分毎に複数の濃度レンジにそ
    れぞれ対応する複数種の濃度計算用の波数ポイント群を
    予め指定しておき、分析時に、先ず、前記複数種の濃度
    計算用波数ポイント群のうち設定されている濃度レンジ
    に対応するものを用いて濃度計算を行い、その計算結果
    を測定対象成分毎に設定したしきい値と比較し、その結
    果濃度レンジが不適切と判断される場合には、より適切
    な濃度レンジに設定変更して対応する濃度計算用の波数
    ポイント群を用いて各測定対象成分の濃度を再計算し出
    力することを特徴とするフーリエ変換赤外分光計を用い
    た定量分析方法。
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