JP2006208150A - 液晶基板目視検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】寿命が長く、しかも環境性能にも優れた液晶基板目視検査装置を提供する。
【解決手段】液晶基板5の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置である。照明用光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯19を用いる。これによって、ON・OFFの頻繁なスイッチング操作によっても照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。照明用光源の色を色混合によって変化させる。反射用照明1と透過用照明2とを備え、ロッド形状の発光灯19を反射用照明1と透過用照明2とに用いる。
【選択図】図1
【解決手段】液晶基板5の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置である。照明用光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯19を用いる。これによって、ON・OFFの頻繁なスイッチング操作によっても照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。照明用光源の色を色混合によって変化させる。反射用照明1と透過用照明2とを備え、ロッド形状の発光灯19を反射用照明1と透過用照明2とに用いる。
【選択図】図1
Description
この発明は、液晶基板の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板目視検査装置に関し、特にLED照明を使用した液晶基板目視検査装置に関する。
液晶基板を製造する場合、ガラス基板製造工程、パターン成形工程、カラーフィルタ製造工程、セル組立工程、モジュール組立工程等の複数の工程を必要とする。このため、カラーフィルタ製造工程にて製造されたカラーフィルタにおいて、セル組立工程や最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす種々の欠陥が発生するおそれがある。このため、従来から、液晶基板目視検査装置(例えば、特許文献1参照)を使用して、製造されたカラーフィルタの目視検査を行っていた。
すなわち、検査装置としては、図4に示すような透過検査用照明51と、図5に示すような反射検査用照明52とを備える。そして、透過検査用照明51からの検査光を基板53の裏面54に照射して、その透過光を作業者Sが目視によって観察し、膜面55の汚れや膜のむら、パターンのずれ等の欠陥56を検査する。また、反射検査用照明52からの検査光を基板53の裏面54に照射して、この裏面54を作業者Sが目視によって観察して裏面54の欠陥56を検査する。この場合、透過検査用照明51としては複数本の蛍光管(蛍光灯)を使用し、反射検査用照明52としてはハロゲンランプ等を用いた投光機を使用している。
特開平7−270339号公報
ところで、近年、液晶基板の大型化に伴い、液晶製造装置が大型化し、製造に必要なクリーンルームも大きくなっている。また、デジタル放送高品質TV用途拡大による液晶大型化に伴い、光源として従来から使用している蛍光管も大きくなってきた。上記の検査装置を使用する場合、照明はスイッチの頻繁なON・OFF操作が行われる。しかしながら、ON・OFF操作が頻繁に行われた場合、光源として蛍光管を使用していれば、この蛍光管の寿命は2000時間程度となる。このため、使用できなくなって廃棄等すべきものとなる蛍光管が頻繁に発生し、これでは最近の環境対応工場には適合しない。ところで、カラーフィルタは、赤、緑、青のフィルタで構成されているので、それぞれの色に対してむらの見やすい照明の色がある。そこで従来の蛍光灯を用いた装置では、色のついたフィルタを複数種類用意して、各色に応じてフィルタ(色のついたフィルタ)を交換してむらの見やすい色としていた。このため、交換作業に手間がかかると共に、色を連続して変化させることができず、カラーフィルタの色に起因するむらの検出が困難であった。
この発明は、上記従来の欠点を解決するためになされたものであって、その目的は、寿命が長く、しかも環境性能にも優れた液晶基板目視検査装置を提供する。
そこで請求項1の液晶基板目視検査装置は、液晶基板5の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置であって、照明用光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯19を用いることを特徴としている。
請求項2の液晶基板目視検査装置は、上記照明用光源の色を色混合によって変化させることを特徴としている。
請求項3の液晶基板目視検査装置は、発光色が異なるLED基板20の発光灯19を複数個備え、この複数個の発光灯19の組み合わせによる上記照明用光源の色の変化を可能にしたことを特徴としている。
請求項4の液晶基板目視検査装置は、発光色が同じLED基板20の発光灯19を複数種類備えると共に、発光灯19の種類毎にLED基板20の発光色を異ならせ、この複数種類の組み合わせによる上記照明用光源の色の変化を可能にしたことを特徴としている。
請求項5の液晶基板目視検査装置は、反射用照明1と透過用照明2とを備え、上記ロッド形状の発光灯19をこれらの照明1、2に用いることを特徴としている。
請求項1の液晶基板目視検査装置によれば、照明用光源にLEDを使用した発光灯を用いたので、ON・OFFの頻繁なスイッチング操作によってもこの照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。このため、使用できなくなって廃棄等すべきものとなる発光灯が長期にわたって生じず、環境性能に優れた装置となる。また、発光灯は、LED基板と、光軸調整光学系と、散乱管等にて構成することができ、故障等した際にその不良となった部品を交換することによって、再度使用でき、さらに、廃棄等する場合においても、故障等した際にその不良となった部品のみを廃棄すればよいので、一層環境性能に優れた検査装置となる。また、ロッド形状の発光灯を使用するので、蛍光管を使用していた既存の装置の照明に対してあまり改良せずにこの発光灯を簡単に装着することができる。このため、装置の簡略化及び組立性の容易化を図ることができる。
請求項2の液晶基板目視検査装置によれば、色合いを変えることができるので、高精度の検査を行うことができる。しかも、照明用光源にLEDを使用したので、赤、青、緑の輝度を変えることで、白色から種々の色に調色して、色を連続して変化させることが可能であって、カラーフィルタの色に起因するむらを検出できるようになり、観察性能の向上を図ることができ、工場管理上においても有効である。
請求項3又は請求項4の液晶基板目視検査装置によれば、色合いの変更を正確に行うことができ、カラーフィルタの色に起因するむらを一層高精度の検出できる。
請求項5の液晶基板目視検査装置によれば、透過光による観察と反射光による観察を行うことができ、液晶基板に対して種々の検査を行うことができ、製品検査の信頼性が向上する。
次に、この発明の液晶基板目視検査装置の具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は液晶基板目視検査装置の全体図であり、この液晶基板目視検査装置はLED照明を使用した検査装置であって、反射用照明1と透過用照明2とを備え、支持構造体3にて支持された液晶基板5(製膜工程後の基板)を作業者Sの目視によって観察するものである。
すなわち、検査装置は、観察窓4が形成された検査室6を備え、この検査室6に反射用照明1と透過用照明2と支持構造体3等が配置される。そして、支持構造体3は、液晶基板5を支持する枠体7と、この枠体7を支持する基台8等を備える。また、基台8は検査室6の床面9に配置されたガイドレール10に沿って移動することができる。この場合、基台8は、ガイドレール10に沿って移動する基盤11と、この基盤11上を上記ガイドレール10を直交する方向に移動できる基部12と、この基部12から立設される支柱部13とを備える。なお、この実施の形態において、観察窓4が形成された壁を前面壁15と呼び、反観察窓側の壁を背壁16と呼ぶ。
基盤11をガイドレール10に沿って移動させることによって、液晶基板5を支持している枠体7を前後動させることができ、支柱部13をガイドレール10と直交する方向に沿って移動させることによって、枠体7を左右方向に移動させることができる。さらに、支柱部13は上下方向に伸縮することができる。このため、液晶基板5を、前後左右に移動させることができると共に、上下動させることができる。
枠体7は、液晶基板5の外周を包囲状として保持する第1部と、この第1部を基台8に対して水平状態としたり鉛直状態としたりする第2部とを備える。すなわち、第2部はその水平状の中心線廻りに回転でき、第1部は第2部に対してこの第1部の中心線廻りに回転できる。このため、図1に示すように、枠体7が水平状に配置された状態から、仮想線Aに示すように水平面に対して所定角度で傾斜する状態としたり、仮想線Bで示すように鉛直状態としたりすることができ、また、液晶基板5をその膜面が上方に向くようにしたり、その膜面が下方に向くようにしたりすることができる。
反射用照明1は検査室6の天井17側に配置され、透過用照明2は反観察窓側に配置されている。反射用照明1と透過用照明2とは、それぞれ図2に示すようないわゆる面照明(面光源)が使用される。すなわち、各照明1、2は、照明用光源にLED(発光ダイオード)を使用したロッド形状の発光灯19を用いるものであって、ケーシング18と、このケーシング18内に収納されるロッド形状の複数の発光灯19・・とを備える。
発光灯19は、図3に示すように、LED基板20と、光軸調整光学系21と、これらを収納して拡散光学系を構成する外管(散乱管)22とを備える。外管22は例えば透明樹脂管やガラス管からなる。また、外管22の端面には口金部23、23が設けられ、この口金部23、23が、ケーシング18に設けられたソケット部に差し込まれる。すなわち、LED基板20に電流が供給されると、LED基板20が発光して後述するように検査光を照射することになる。この場合、発光灯19の外観形状は通常の蛍光管を同様であって、ケーシング18として、蛍光管を使用した際に使用したケーシングをあまり改良することなく用いることができる。そして、発光灯19は、LED基板20と、光軸調整光学系21と、外管(散乱管)22とを分離することができる。なお、LED基板20のLED材料としては、波長の異なる種々のものを使用することができる。材料を相違させることによって、発光灯19から照射される検査光の色を変更することができる。また、LED材料を相違させることによって、反射用照明1用と透過用照明2用とに使用することができる。さらに、各照明1、2において、照明用光源の色を色混合によって変化させることができる。この場合、複数の波長の異なるLED(発光色が異なるLED)を有する基板20の発光灯19を複数個用意して構成してもいいし、又は同じ波長のLED(発光色が同じLED)を有する基板20の発光灯19を複数種類(種類毎に発光色が相違する)用意して組み合わせても構成することができる。この際の各発光灯19の数は、照射する検査光等に応じて任意に設定することができる。
反射用照明1は検査室6の天井17に固定され、透過用照明2は基台25に支持されている。この基台25は、上記基台8と同様、ガイドレール10に沿って移動する基盤26と、この基盤26上を上記ガイドレール10を直交する方向に移動できる基部27と、この基部27から立設される支柱部28とを備える。また、支柱部13は上下方向に伸縮することができる。このため、透過用照明2を前後左右に移動させることができると共に、上下動させることができる。
次に、上記のように構成された液晶基板目視検査装置を使用した目視による液晶基板5の検査方法を説明する。まず、反射用照明1を使用した液晶基板5の検査を説明する。この場合、液晶基板5の膜面側が上方を向くように、支持構造体3に支持させ、この状態で、図1の仮想線Aのように、液晶基板5を水平面に対して所定角度で傾斜させた状態とする。このため、反射用照明1からの検査光にて液晶基板5の膜面が照明され、この液晶基板5の膜面を観察窓4を介して作業者Sが観察することができる。この際、支持構造体3を移動させることによって、液晶基板5を前後左右及び上下に移動させることができ、これによって、膜面全体に対する反射検査(膜面に発生した汚れや傷等の検査)を行うことができる。
また、液晶基板5の膜面側が下方を向くように配置すれば、液晶基板5の裏面の観察が可能である。そして、この場合も、液晶基板5を前後左右及び上下に移動させることができる。このため、裏面全体に対する反射検査(裏面に発生した汚れや傷等の検査)を行うことができる。
次に透過用照明2を使用した液晶基板5の検査を説明する。この際、図1の仮想線Cのように、支持構造体3を観察窓4側に前進させると共に、液晶基板5を鉛直状に配置する。また、液晶基板5の裏面が反観察窓側に向くように配置する。この状態で透過用照明2から検査光が照射されれば、この透過用照明2からの検査光が液晶基板5の裏面側から入光して、この液晶基板5を透過することになり、作業者Sは観察窓4を介して、透過光を観察することができる。この際、液晶基板5の膜面に汚れやごみ等が付着している欠陥があれば、この欠陥によって透過光が弱められ、この欠陥を把握することができる。すなわち、透過検査(裏面から光を入射させた透過光検査)を行うことができる。
この場合も、支持構造体3を移動させることによって、液晶基板5を前後左右及び上下に移動させることができると共に、基台25を移動させることによって、透過用照明2を前後左右及び上下に移動させることができる。このため、透過用照明2による検査(観察)を液晶基板5の全体に対して行うことができる。なお、透過検査において、液晶基板5の裏面が観察窓4側に向くように配置して検査することも可能である。
このように、膜面に対する反射検査にて、膜面に発生した突起不良、汚れ、傷等を検査することができ、裏面に対する反射検査にて、裏面に発生した汚れ、傷、ガラス欠け等を検査することができ、透過検査にて、ムラ(着色材の塗布ムラ等)、白抜け(着色層の欠落等)、汚れ、傷等を検査することができる。
ところで、上記実施の形態においては、透過用照明2に移動の操作は、観察窓4の近傍に設けられる照明操作バー30にて行えるようになっている。すなわち、基台25には移動手段が設けられ、操作バー30を操作することによって移動手段が作動して基台25は移動することになる。なお、移動手段としては、ネジ部材と、このネジ部材に螺合するナット部材と、ネジ部材又はナット部材を回転させる駆動機構等から構成できる。
また、支持構造体3を使用して液晶基板5を上下前後左右に移動させる場合、予めその動きを制御手段(図示省略)に登録しておき、この登録した動きに基づいて基板5を移動させつつ観察するようにしても、基板操作バーを設け、この操作バーを作業者Sが操作することによって、液晶基板5を移動させつつ観察するようようにしてもよい。上記のように、液晶基板5を自動的に移動させる場合には、照明1、2のON・OFFもこの移動に追従させて自動的に行わせるようにしてもよい。
上記液晶基板目視検査装置では、照明用光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯19を用いたので、ON・OFFの頻繁なスイッチング操作によってもこの照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。具体的には、LED(発光ダイオード)を使用した発光灯19を用いれば、1個の発光灯19は長期(例えば6年程度)の寿命を持つことになって、照明としての寿命を大幅に延ばすことができる。これによって、使用できなくなって廃棄等すべきものとなる発光灯19が長期にわたって生じず、環境性能に優れた検査装置となる。これに対して、蛍光管(蛍光灯)を使用した場合、その寿命により、各照明において、年間50〜100本程度の蛍光管を必要とする。このため、使用できなくなって廃棄等すべきものとなる蛍光管が頻繁に発生して、環境性能に劣る検査装置となっていた。
また、上記液晶基板目視検査装置では、ロッド形状の発光灯19を使用するので、蛍光管を使用していた既存の装置の照明に対してあまり改良することなくこの発光灯19を簡単に装着することができる。このため、装置の簡略化及び組立性の容易化を図ることができる。さらに、透過光による観察と反射光による観察を行うことができるので、液晶基板5に対して種々の検査を行うことができ、製品検査の信頼性が向上する。また、発光灯19は、LED基板20と、光軸調整光学系21と、外管(散乱管)22とを分離することができるので、故障等した際にその不良となった部品を交換することによって、再度使用でき、また、廃棄等する場合においても、その不良となった部品のみを廃棄等すればよいので、一層環境性能に優れた検査装置となる。さらに、各照明1、2において、照明用光源にLEDを使用したので、色合い変更を簡単に行うことができ、工場管理上においても有効である。しかも、色合いを変えることによって、反射用照明1や透過用照明2からの検査光の色を種々変更することができ、特にLEDを使用したので、赤、青、緑の輝度を変えることで、白色から種々の色に調色して、色を連続して変化させることが可能であって、カラーフィルタの色に起因するむらを検出できるようになり、観察性能の向上を図ることができ、高精度の検査を行うことができる。
以上にこの発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。例えば、各照明1、2に使用される発光灯19の数、配設ピッチ等は任意に変更することができる。また、欠陥を検出した場合に、液晶基板5上での欠陥位置を登録できるようにすることも可能である。このように、登録できれば、汚れ等の除去作業を正確に行うことができる。さらに、目視検査で発見した欠陥を顕微鏡等の観察手段にて拡大表示するようにしてもよい。このように拡大表示することによって、欠陥の位置や欠陥の種類を正確に確認することができる利点がある。また、上記実施の形態では、反射用照明1及び透過用照明2の各光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯19を用いたが、どちらか一方のみを他の光源を使用したものを用いるものであってもよい。さらに、液晶基板5を支持する支持構造体3としては、反射用照明1及び透過用照明2からの検査光が液晶基板5へ照射(入光)される際に支障をきたさず、また液晶基板5の位置及び姿勢が作業者Sによって観察可能なように変更できるものであればよい。
1・・反射用照明、2・・透過用照明、5・・液晶基板、19・・発光灯、20・・LED基板
Claims (5)
- 液晶基板(5)の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置であって、照明用光源にLEDを使用したロッド形状の発光灯(19)を用いることを特徴とする液晶基板検査装置。
- 上記照明用光源の色を色混合によって変化させることを特徴とする請求項1の液晶基板検査装置。
- 発光色が異なるLED基板(20)の発光灯(19)を複数個備え、この複数の発光灯(19)の組み合わせによる上記照明用光源の色の変化を可能にしたことを特徴とする請求項2の液晶基板検査装置。
- 発光色が同じLED基板(20)の発光灯(19)を複数種類備えると共に、発光灯(19)の種類毎にLED基板(20)の発光色を異ならせ、この複数種類の組み合わせによる上記照明用光源の色の変化を可能にしたことを特徴とする請求項2の液晶基板検査装置。
- 反射用照明(1)と透過用照明(2)とを備え、上記ロッド形状の発光灯(19)をこれらの照明に用いることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかの液晶基板検査装置。
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20101102 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |