KR101874209B1

KR101874209B1 - 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치

Info

Publication number: KR101874209B1
Application number: KR1020160178767A
Authority: KR
Inventors: 박종식
Original assignee: 박종식
Priority date: 2016-12-26
Filing date: 2016-12-26
Publication date: 2018-07-03

Abstract

본 발명은 챔버 내부에 배치된 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검사하는 텔레센트릭 광학장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 적어도 10배율을 가지며 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검출하는 광학렌즈부와, 상기 광학렌즈부를 통해서 상기 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 자외선광원부 및 상기 광학렌즈부의 내부에 상기 자외선광원부로부터 출력되는 자외선광원이 상기 광학렌즈부의 중심축과 일치하도록 상기 자외선광원을 반사하는 반투과성의 메인반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치에 의해 달성된다. 이에 따라, 10배율을 유지하면서 195mm의 워킹디스턴스를 형성할 수 있고, 챔버의 외부에서 유기발광다이오드의 형광 패턴을 세밀하게 검사할 수 있다.

Description

유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치{Telecentric optical devices for inspection of OLED fluorescent patterns}

본 발명은 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검사하는 텔레센트릭 광학장치에 관한 것이다.

일반적으로 유기발광다이오드(OLED)의 형광 패턴의 검사는 유기발광다이오드가 챔버의 내부에 있을 때 이루어진다.

이는 OLED 패널생산의 중요한 공정인 R,G,B 유기 화합물을 증착 챔버 내에서 패터닝을 하게 된다. 하지만, 패터닝 공정을 검사하는 광학 시스템을 증착 챔버 안에 삽입할 수 없어서, 외부에서 볼 수 있는 창을 만들어 확인하는 방법을 이용한다.

따라서, 검사하는 광학장치와 유기발광다이오드 사이의 거리 즉, 워킹디스턴스가 길어야 검사가 가능하다.

이를 해결하기 위해서 현재 4배율, 195mm의 워킹디스턴스를 가지는 광학장치 제품이 시중에 나와있다.

하지만, 워킹디스턴스는 길지만 고배율을 적용하기 어려워서 검사이미지가 열악하며, 이로인해 정밀한 검사를 할 수 없는 문제점이 있다.

물론 10배율의 광학장치 제품이 현재 나와 있지만, 워킹디스턴스가 10mm 이하라서 챔버 내부에 있는 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검사할 수 없는 문제가 있다.

유기발광다이오드 디스플레이 기술은 급속도로 성장하고 있으며 해상도가 점점 높아지면서 소형화되고 있기 때문에, 고배율에 긴 워킹디스턴스를 가지는 검사용 광학장치가 절실한 실정이다.

삭제

대한민국 공개특허공보 제10-2016-0065675호(2016.06.09.) 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0018217호(2011.02.23.) 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0073720호(2013.07.03.)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 10배율을 유지하면서 195mm의 워킹디스턴스를 형성할 수 있고, 챔버의 외부에서 미세하게 검사할 수 있는 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 측광램프의 조사각도 및 이동을 통해서 더욱 명확하면서도 폭넓게 검사할 수 있는 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

적어도 10배율을 가지며 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검출하는 광학렌즈부와, 상기 광학렌즈부를 통해서 상기 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 자외선광원부 및 상기 광학렌즈부의 내부에 상기 자외선광원부로부터 출력되는 자외선광원이 상기 광학렌즈부의 중심축과 일치하도록 상기 자외선광원을 반사하는 반투과성의 메인반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치에 의해 달성된다.

또한, 상기 메인반사부를 통해 반사되고 상기 광학렌즈부를 통해서 상기 유기발광다이오드로 백색광원을 공급하는 백색광원부를 더 포함할 수 있다.

또, 상기 광학렌즈부는,

상기 경통 내부의 끝단에 배치되는 제1이중접합렌즈와, 상기 경통 내부의 중간 부분에 배치되는 제4이중접합렌즈와, 상기 제1이중접합렌즈와 상기 메인반사부 사이에 배치되는 제2이중접합렌즈 및 상기 제2이중접합렌즈와 상기 메인반사부 사이에 배치되는 제3이중접합렌즈를 포함할 수 있다.

또, 상기 제1이중접합렌즈는 유효초점거리가 97.4 ~ 98.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -244.5 ~ -245.5mm, 굴절률이 1.47 ~ 1.57인 렌즈를 접합하고, 상기 제2이중접합렌즈는 유효초점거리가 119.7 ~ 120.7mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -138.2 ~ -139.2mm, 굴절률이 1.67 ~ 1.77인 렌즈를 접합하며, 상기 제3이중접합렌즈는 유효초점거리가 92.4 ~ 93.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -110.6 ~ -111.6mm, 굴절률이 1.66 ~ 1.76인 렌즈를 접합하고, 상기 제4이중접합렌즈는 유효초점거리가 -41.9 ~ -42.9mm, 굴절률이 1.52 ~ 1.62인 렌즈와, 유효초점거리가 61.9 ~ 62.9mm, 굴절률이 1.71 ~ 1.81인 렌즈가 접합되어 형성될 수 있다.

또, 상기 제2이중접합렌즈는 상기 제1이중접합렌즈로부터 83 ~ 85mm 이격되어 배치되고, 상기 제3이중접합렌즈는 상기 제2이중접합렌즈로부터 0.5 ~ 1.5mm 이격되어 배치되며, 상기 제4이중접합렌즈는 상기 제3이중접합렌즈로부터 108.4 ~ 110.4mm 이격되어 배치될 수 있다.

또한, 상기 자외선광원을 상기 메인반사부로 반사시키는 자외선반사부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 백생광원을 상기 메인반사부로 반사시키는 반투과성의 백생광원반사부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 광학렌즈부의 하부에 상기 광학렌즈부의 일측에서 상기 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 적어도 하나의 측광조명부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 측광조명부의 조사각도를 조절하는 각도조절부;를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 광학렌즈부로부터 상기 측광조명부가 슬라이드 이동하고 상기 측광조명부의 위치를 조절하는 위치조절부;를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 제1 내지 제4이중접합렌즈를 정밀하게 배치하여 구성함으로써, 10배율을 유지하면서 195mm의 워킹디스턴스를 형성할 수 있다. 이로 인해 유기발광다이오드의 형광 패턴을 정밀하게 검사할 수 있다.

또한, 자외선광원과 백색광원을 동시에 사용할 수 있어서 다양한 형태의 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검사할 수 있다.

또한, 측광조명의 조사각도를 조절하거나 이동할 수 있어서 기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 정밀하게 검사할 수 있고 폭넓은 영역을 검사할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치의 정단면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치에서 측광조명부의 다른 예를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치에서 광학렌즈부의 Lens Design layout을 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치에서 광학렌즈부의 MTB를 나타낸 그래프.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치에서 광학렌즈부의 Field curvature & Distortion을 나타낸 그래프.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 광학장치에서 Relative illumination을 나타낸 그래프.

본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지된 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치는, 광학렌즈부(1), 촬영부(2), 자외선광원부(4), 메인반사부(3)를 포함한다. 여기에, 백색광원부(5), 측광조명부(6)를 더 포함할 수 있다.

광학렌즈부(1)는, 챔버(미도시) 내부에 배치된 유기발광다이오드(미도시)의 형광 패턴을 검출하는 것으로, 아래의 표 1과 같은 사양을 가지며, 경통(11), 제1이중접합렌즈(12), 제2이중접합렌즈(13), 제3이중접합렌즈(14) 및 제4이중접합렌즈(15)를 포함한다.

항목	spec
NAO	0.012
Resolution	2.8um
F-number	42
Magnification	10X
Working distance	195mm
Telecentric angle	0.01deg
Optical distortion	0.1%이내
Mount	C-mount

경통(11)은, 대략 양단이 개구되고, 내측 및 외측이 단차진 원통형으로 형성되며, 상단은 촬영부(2)와 결합한다.

제1이중접합렌즈(12)는, 경통(11) 내부의 하단에 배치되고, 볼록렌즈와 오목렌즈를 접합하여 형성된다.

이때, 볼록렌즈는 유효초점거리가 97.4 ~ 98.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55이고, 오목렌즈는 유효초점거리가 -244.5 ~ -245.5mm, 굴절률이 1.47 ~ 1.57로 형성될 수 있다. 여기서, 유기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 정밀하게 관찰하기 위해서, 볼록렌즈는 유효초점거리가 97.945mm, 굴절률이 1.50으로 형성되고, 오목렌즈는 유효초점거리가 -245.113mm, 굴절률이 1.52로 형성될 수 있다.

제2이중접합렌즈(13)는, 볼록렌즈와 오목렌즈를 접합하여 형성되고, 경통(11)의 내부에 배치되되, 제1이중접합렌즈(12)부로터 83 ~ 85mm 이격되어 배치된다. 더욱 상세하게는, 제1이중접합렌즈(12)와 제2이중접합렌즈(13)의 마주보는 렌즈의 면 사이의 거리가 84mm로 형성될 수 있다.

또한, 제2이중접합렌즈(13)는 유효초점거리가 119.7 ~ 120.7mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 볼록렌즈와, 유효초점거리가 -138.2 ~ -139.2mm, 굴절률이 1.67 ~ 1.77인 오목렌즈를 접합하여 형성된다. 여기서, 유기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 정밀하게 관찰하기 위해서, 볼록렌즈는 유효초점거리가 120.190mm, 굴절률이 1.50으로 형성되고, 오목렌즈는 유효초점거리가 -138.786mm, 굴절률이 1.72로 형성될 수 있다.

제3이중접합렌즈(14)는, 볼록렌즈와 오목렌즈를 접합하여 형성되고, 경통(11)의 내부에 배치되되, 제2이중접합렌즈(13)로부터 0.5 ~ 1.5mm 이격되어 배치된다. 더욱 상세하게는, 제2이중접합렌즈(13)와 제3이중접합렌즈(14)의 마주보는 렌즈의 면 사이의 거리가 1mm로 형성될 수 있다.

또한, 제3이중접합렌즈(14)는 유효초점거리가 92.4 ~ 93.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 볼록렌즈와, 유효초점거리가 -110.6 ~ -111.6mm, 굴절률이 1.66 ~ 1.76인 오목렌즈를 접합하여 형성된다. 여기서, 유기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 정밀하게 관찰하기 위해서, 볼록렌즈는 유효초점거리가 92.982mm, 굴절률이 1.50으로 형성되고, 오목렌즈는 유효초점거리가 -111.175mm, 굴절률이 1.71로 형성될 수 있다.

제4이중접합렌즈(15)는, 오목렌즈와 볼록렌즈를 접합하여 형성되고, 경통(11)의 내부에 배치되되, 제3이중접합렌즈(14)로부터 108.4 ~ 110.4mm 이격되어 배치된다. 더욱 상세하게는, 제3이중접합렌즈(14)와 제4이중접합렌즈(15)의 마주보는 렌즈의 면 사이의 거리가 109.4mm로 형성될 수 있다.

또한, 제4이중접합렌즈(15)는 유효초점거리가 -41.9 ~ -42.9mm, 굴절률이 1.52 ~ 1.62인 오목렌즈와, 유효초점거리가 61.9 ~ 62.9mm, 굴절률이 1.71 ~ 1.81인 볼록렌즈를 접합하여 형성된다. 여기서, 유기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 정밀하게 관찰하기 위해서, 오목렌즈는 유효초점거리가 -42.466mm, 굴절률이 1.57로 형성되고, 볼록렌즈는 유효초점거리가 62.498mm, 굴절률이 1.76으로 형성될 수 있다.

촬영부(2)는, 광학렌즈부(1)를 통해 촬영된 이미지를 디지털이미지정보로 변환하거나 저장하는 것으로, 광학렌즈부(1)의 상단과 결합한다.

여기서, 촬영부(2)는, 주지 또는 공지된 디지털카메라 기술을 이용하는바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

메인반사부(3)는, 후술할 자외선광원부(4)로부터 출력되는 자외선광원을 반사하여 광학렌즈부(1)의 하부로 출력시키는 것으로, 경통(11)의 내부에 배치되되, 제3이중접합렌즈와 제4접합렌즈 사이에 배치된다.

또한, 메인반사부(3)는 광원의 50%는 반사시키고, 나머지 50%는 투과하는 반투과성 재질로 형성된다.

자외선광원부(4)는, 하우징(41), 자외선광원경통(42), 자외선반사부(43), 자외선조명부(44), 자외선조명렌즈(45), 조명조절부(46) 및 반사조절부(47)를 포함한다.

하우징(41)은, 대략 눕혀진 사각기둥 형태로, 일단은 개구되고, 일단이 메인반사부(3)와 인접하여 경통(11)과 결합하되 메인반사부(3)와 연통된다.

또한, 하우징(41)은 상단에 자외선조명부(44) 및 후술할 백색조명부(52)가 설치되도록 두 영역이 개구되고, 하단에는 자외선반사부(43) 및 후술할 백생광원반사부가 삽입되도록 두 영역이 개구되어 형성된다.

자외선광원경통(42)은, 대략 양단이 개구된 원통형으로, 하우징(41)의 타단 상부 개구에 수직으로 끼워져 결합된다.

자외선반사부(43)는, 자외선조명부(44)로부터 출력되는 자외선광원을 메인반사부(3)로 전반사시키는 것으로, 하우징(41)의 타단 내부에 배치되되 후술할 반사블록(472)의 경사면에 설치된다.

자외선조명부(44)는, 자외선광원경통(42)의 상단에 배치되고, 자외선광원을 출력한다.

자외선조명렌즈(45)는, 자외선광원경통(42)의 내부에 배치되되 자외선조명부(44)와 자외선반사부(43) 사이에 배치되고, 자외선조명부(44)로부터 출력되는 자외선광원을 모아서 자외선 반사부로 전달한다.

조명조절부(46)는, 자외선광원의 초점을 조절하기 위한 것으로, 자외선광원경통(42)의 둘레에 설치되고, 자외선조명부(44) 및 자외선조명렌즈(45) 중 적어도 어느 하나를 상하로 이동시킨다. 이에 따라, 조명조절부(46)를 작동함으로써 자외선광원을 모으거나 분산시킬 수 있다.

여기서, 조명조절부(46)는 주지 또는 공지 기술을 이용하는바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

반사조절부(47)는, 자외선반사부(43)의 반사각도를 변경하는 것으로, 지지패널(471), 반사블록(472) 및 조절나사(473)를 포함한다.

지지패널(471)은, 대략 직사각의 플레이트 형태로, 나사구멍이 관통 형성되고, 하우징(41)의 타단 하부의 개구에 끼워져 고정된다.

반사블록(472)은, 대략 눕혀진 삼각기둥 형태로, 정면의 형상이 직각삼각형이고, 지지패널(471)과 소정 이격되어 배치되되 우측 끝단이 지지패널(471)과 일체로 형성되며, 저면에는 지지패널(471)의 나사구멍에 대응하는 암나사가 형성된다.

조절나사(473)는, 지지패널(471)의 나사구멍을 관통하여 반사블록(472)의 암나사에 나사결합 된다.

이에 따라, 조절나사(473)를 조이거나 풀면 반사블록(472)의 좌측단이 우측단을 기준으로 상부 또는 하부로 회전함으로써 자외선반사부(43)의 경사각도가 변경되어 자외선광원의 반사각도롤 조절할 수 있다.

백색광원부(5)는, 백색광원경통(51), 백색조명부(52) 및 백색광원반사부(53)를 포함한다.

백색광원경통(51)은, 대략 양단이 개구된 원통형으로, 하우징(41)의 상부 개구에 설치되되 자외선광원부(4)와 광학렌즈부(1) 사이에 배치된다.

백색조명부(52)는, 백색광원경통(51) 상부에 설치되고, 백색광원을 출력한다.

백색광원반사부(53)는, 반투과성의 재질로 형성되고, 하우징(41)의 하부 개구를 통해 하우징(41)의 내부에 배치되되 백색광원경통(51)의 하부에 배치된다.

또한, 백색광원반사부(53)는, 백색조명부(52)로부터 출력되는 백색광원을 메인반사부(3)로 반사시키고, 자외선광원은 통과시킨다.

측광조명부(6)는, 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 것으로, 경통(11)의 하부 둘레에 설치되며, 지지블록(61), 측광램프(62) 및 각도조절수단(63)을 포함한다.

지지블록(61)은, 경통(11)의 하부 둘레에 설치된다.

측광램프(62)는, 한 쌍이 마련되고, 자외선광원을 출력하며, 지지블록(61)의 양측에 설치되되 지지블록(61)으로부터 회전 가능하게 설치된다. 이에 따라, 측광램프(62)를 회전함으로써, 측광램프(62)로부터 출력되는 자외선광원의 조사각도를 조절할 수 있다.

각도조절수단(63)은 측광램프(62)의 경사각도를 고정 또는 해제하는 것으로, 측광램프(62)의 회전축 또는 지지블록(61)에 설치된다.

여기서, 각도조절수단(63)은 볼트 등의 주지 또는 공지된 기술을 이용하고, 볼트를 풀거나 조임으로써, 측광램프(62)를 고정하거나 해제할 수 있다.

상술한 메인반사부(3) 및 백색광원반사부(53)는 주지 또는 공지된 기술을 이용하는바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 측광조명부(6')는, 경통(11)의 중심축을 기준으로 경통(11)으로부터 회전하거나 전후 또는 좌우로 이동할 수도 있으며, 회전블록(66), 회전조절수단(64), 위치조절수단(65), 측광램프(62) 및 각도조절수단(63)을 포함한다.

회전블록(66)은, 경통(11)의 하단 둘레에 구속되어 설치되되 경통(11)으로부터 회전 가능하게 설치된다.

회전조절수단(64)은, 볼트 등을 이용하고, 회전블록(66)의 둘레에 끼워져 관통하되 회전블록(66)과 나사 결합한다. 이에 따라, 회전블록(66)을 회전시킨 후 회전조절수단(64)을 조이면 회전블록(66)이 경통(11)에 고정된다.

위치조절수단(65)은, 이동블록(651) 및 고정수단(652)을 포함한다.

이동블록(651)은, 회전블록(66)의 양 측단에 끼워지되 전후 또는 좌우로 이동할 수 있다.

여기서, 이동블록(651)은 회전블록(66)에 엘엠가이드 기술이 적용될 수 있으며, 이는 주지 또는 공지된 기술을 이용하는바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

고정수단(652)은, 볼트 등이 주지 또는 공지된 기술을 이용하고, 이동블록(651) 또는 회전블록(66)의 상단에 설치되며, 이동블록(651)을 회전블록(66)에 고정하거나 해제한다.

이때, 고정수단(652)은 회전블록(66) 또는 이동블록(651) 중 상단이 낮은 쪽에 설치된다.

이에 따라, 고정수단(652)인 볼트를 조이면 볼트머리가 상단이 높은 쪽에 걸려서 이동블록(651)이 회전블록(66)에 고정된다.

측광램프(62) 및 각도조절수단(63)은 상술한 측광램프(62) 및 각도조절수단(63)에 대응하는바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

이에 따라, 회전블록(66)을 회전하면 경통(11)으로부터 측광램프(62)를 회전시킬 수 있고, 이동블록(651)을 이동하면 측광램프(62)를 좌우 또는 전후로 이동시킬 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치의 작동상태를 설명하기로 한다.

챔버(미도시) 내부에 배치된 유기발광다이오드(미도시)의 형광 패턴을 검출하기 위해서 광학렌즈부(1)가 유기발광다이오드를 향하도록 본 발명을 챔버의 외부에 배치한다.

촬영부(2), 자외선조명부(44) 및 백색조명부(52)를 작동한 후 자외선광원이 광학렌즈부(1)와 동축을 이루는지 확인한다.

자외선광원이 광학렌즈부(1)의 중심축을 벗어나면 조절나사(473)를 이용하여 반사조절부(47)를 회전시켜서 자외선광원의 반사각도를 조절한다.

자외선광원과 광학렌즈부(1)가 동축을 이루면 조명조절부(46)를 회전시켜서 자외선광원의 초점을 조절한다.

자외선광원의 초점을 조절한 후 자외선광원이 부족할 경우 측광램프(62)를 작동시킨다.

측광램프(62)가 작동하면, 측광램프(62)가 유기발광다이오드의 검사 부분을 향하도록 회전한 후 각도조절수단(63)으로 측광램프(62)를 고정한다.

이때, 측광램프(62)로부터 출력되는 자외선광원이 검사할 영역을 벗어나면 이동블록(651)을 이동시킨다.

이동블록(651)을 이동하여 측광램프(62)로부터 출력되는 자외선광원이 검사할 영역에 오면 고정수단(652)을 이용하여 이동블록(651)을 고정한다.

따라서, 자외선조명부(44)로부터 출력되는 자외선광원은 자외선조명렌즈(45)를 투과하여 자외선반사부(43)를 통해 백색광원반사부(53)로 반사된다.

반사된 자외선광원은 백색광원반사부(53)를 투과하여 메인반사부(3)로 전달되고, 메인반사부(3)를 통해 제3이중접합렌즈(14)로 반사된다.

메인반사부(3)를 통해 반사된 자외선광원은 제3이중접합렌즈(14), 제2이중접합렌즈(13) 및 제1이중접합렌즈(12)를 차례대로 투과하고 유기발광다이오드의 검사 부분으로 조사된다.

한편, 백색광원은 백색광원반사부(53)를 통해서 메인반사부(3)로 반사된다.

반사된 백색광원은 제3이중접합렌즈(14), 제2이중접합렌즈(13) 및 제1이중접합렌즈(12)를 차례대로 투과하고 유기발광다이오드의 검사 부분으로 조사된다.

이렇게 유기발광다이오드로 조사된 광원에 의해서 유기발광다이오드의 형광 패턴이 명확한 이미지로 나타나고 이미지는 제1이중접합렌즈(12), 제2이중접합렌즈(13), 제3이중접합렌즈(14), 메인반사부(3) 및 제4이중접합렌즈(15)를 거쳐 촬영부(2)로 전달된다.

촬영부(2)에서는 광학렌즈부(1)를 통해 전달된 이미지를 전자이미지정보로 변환하거나 저장한다.

따라서, 본 발명은 제1이중접합렌즈, 제2이중접합렌즈, 제3이중접합렌즈 및 제4이중접합렌즈와 각각의 렌즈 거리를 배치하여 설계함으로써, 10배율을 유지하면서도 195mm의 워킹디스턴스를 형성할 수 있고, 이로 인해서 유기발광다이오드로부터 더욱 먼 거리에서 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검출할 수 있다.

또한, 자외선조명부와 백색광조명부 및 측광램프를 통해서 다양한 형태의 유기발광다이오드의 형광 패턴을 더욱 명확하게 검출할 수 있으며, 측광램프의 조사각도 및 이동을 통해서 형광 패턴을 더욱 용이하면서도 폭넓게 검출할 수 있다.

상술한 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 된다. 따라서 상기에서 설명한 것 외에도 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 사람은 본 발명의 실시 예에 대한 설명만으로도 쉽게 상기 실시 예와 동일 범주 내의 다른 형태의 본 발명을 실시할 수 있거나, 본 발명과 균등한 영역의 발명을 실시할 수 있을 것이다.

1; 광학렌즈부
11; 경통
12; 제1이중접합렌즈
13; 제2이중접합렌즈
14; 제3이중접합렌즈
15; 제4이중접합렌즈
2; 촬영부
3; 메인반사부
4; 자외선광원부
41; 하우징
42; 자외선광원경통
43; 자외선반사부
44; 자외선조명부
45; 자외선조명렌즈
46; 조명조절부
47; 반사조절부
471; 지지패널
472; 반사블록
473; 조절나사
5; 백색광원부
51; 백색광원경통
52; 백색조명부
53; 백색광원반사부
6, 6'; 측광조명부
61; 지지블록
62; 측광램프
63; 각도조절수단
64; 회전조절수단
65; 위치조절수단
651; 이동블록
652; 고정수단
66; 회전블록

Claims

경통을 포함하고 적어도 10배율을 가지며 유기발광다이오드의 형광 패턴을 검출하는 광학렌즈부;
상기 광학렌즈부를 통해서 상기 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 자외선광원부;
상기 광학렌즈부의 내부에 상기 자외선광원부로부터 출력되는 자외선광원이 상기 광학렌즈부의 중심축과 동축을 이루도록 상기 자외선광원을 반사하는 반투과성의 메인반사부;
상기 메인반사부를 통해 반사되고 상기 광학렌즈부를 통해서 상기 유기발광다이오드로 백색광원을 공급하는 백색광원부; 및
상기 광학렌즈부의 하부에 상기 광학렌즈부의 일측에서 상기 유기발광다이오드로 자외선광원을 공급하는 적어도 하나의 측광조명부;를 포함하되,
상기 광학렌즈부는,
상기 경통 내부의 끝단에 배치되는 제1이중접합렌즈; 상기 경통 내부의 중간 부분에 배치되는 제4이중접합렌즈; 상기 제1이중접합렌즈와 상기 메인반사부 사이에 배치되는 제2이중접합렌즈; 및 상기 제2이중접합렌즈와 상기 메인반사부 사이에 배치되는 제3이중접합렌즈;를 포함하며,
상기 제1이중접합렌즈는 유효초점거리가 97.4 ~ 98.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -244.5 ~ -245.5mm, 굴절률이 1.47 ~ 1.57인 렌즈를 접합하고,
상기 제2이중접합렌즈는 유효초점거리가 119.7 ~ 120.7mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -138.2 ~ -139.2mm, 굴절률이 1.67 ~ 1.77인 렌즈를 접합하며,
상기 제3이중접합렌즈는 유효초점거리가 92.4 ~ 93.4mm, 굴절률이 1.45 ~ 1.55인 렌즈와, 유효초점거리가 -110.6 ~ -111.6mm, 굴절률이 1.66 ~ 1.76인 렌즈를 접합하고,
상기 제4이중접합렌즈는 유효초점거리가 -41.9 ~ -42.9mm, 굴절률이 1.52 ~ 1.62인 렌즈와, 유효초점거리가 61.9 ~ 62.9mm, 굴절률이 1.71 ~ 1.81인 렌즈를 접합하며,
상기 제2이중접합렌즈는 상기 제1이중접합렌즈로부터 83 ~ 85mm 이격되어 배치되고,
상기 제3이중접합렌즈는 상기 제2이중접합렌즈로부터 0.5 ~ 1.5mm 이격되어 배치되며,
상기 제4이중접합렌즈는 상기 제3이중접합렌즈로부터 108.4 ~ 110.4mm 이격되어 배치함으로써, 10배율을 유지하면서 195mm의 워킹디스턴스를 형성할 수 있고,
상기 측광조명부는,
상기 측광조명부로부터 출력되는 자외선광원의 조사각도를 조절할 수 있음은 물론 상기 측광조명부로부터 출력되는 자외선광원이 슬라이드 이동하여 위치를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치.
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