KR100934764B1 - 기판 검사용 조명 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 검사용 조명 장치에 있어서,광원으로 광을 제공하며 집광할 수 있도록 타원 반사경이 포함되는 램프;상기 램프의 전방에 구비되며 회전하여 광을 특정 색광으로 필터링하는 필터부;상기 필터부의 전방인 램프의 광축 초점 부근에 구비되며 상기 필터부를 거쳐 입사된 광의 출사시 전반사하여 넓은 범위에 균일하게 조사하는 로드 렌즈;상기 로드 렌즈 전방에 각각 구비되며 이 로드 렌즈를 투과한 광을 조명하고, 조명된 광을 확대 출사시키는 제1 렌즈부 및 제2 렌즈부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 조명 장치.
- 제 항에 있어서, 상기 로드 렌즈는,입사면의 면적보다 출사면의 면적이 더 큰 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 조명 장치.
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KR20060059600A (ko) * | 2004-11-29 | 2006-06-02 | 주식회사 디이엔티 | 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛 |
KR20060119552A (ko) * | 2005-05-20 | 2006-11-24 | (주)아이비젼 | 매크로 검사를 위한 사각 조명 장치 |
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