JP2006203389A - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像をリアルタイムで表示する表示部を設けたことを特徴とするもの。
【選択図】 図1
Description
固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像をリアルタイムで表示する表示部を設けたことを特徴とする。
前記表示部は、前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像とともに、画像処理ユニットにおける画像処理結果に基づく測定対象である固体撮像素子のウエハマップを表示する。
前記表示部は、さらに、測定対象である固体撮像素子のデータログを表示することを特徴とする。
固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットおよび表示部は汎用ネットワークを介して共通に接続されていることを特徴とする。
それぞれ測定対象である固体撮像素子の測定画像を処理する複数の画像処理ユニットが接続され、前記表示部はこれら固体撮像素子の画像データに基づく複数の画像を同時に表示することを特徴とする。
各画像処理ユニットは画像縮小処理部を備え、前記表示部に画面表示領域に適切なサイズに縮小された画像を出力することを特徴とする。
前記表示部の一部に各画像処理ユニットの動作状態を表示することを特徴とする。
CPU6は、操作設定部7で設定されるテスト項目に応じて、所定のテストパターンで光源駆動制御部8および素子駆動制御部9を動作させるとともに、検査結果の良否判定を行うための期待パターンの内部設定なども行う。
4 光源
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
10 A/D変換器
11 データメモリ
18 固体撮像素子検査装置
19 画像処理部
20 画像処理ユニット
21 画像処理制御部
22 スイッチングハブ
24 DMAC
25 画像処理メモリ
26 画像処理演算部
27 画像転送部
28 ネットワーク
29 リアルタイムモニタ
30 データ分離部
31 表示画面生成部
32 表示部
33 リアルタイム画像表示部
34 データログ表示部
35 ウエハマップ表示部
36 システム操作選択部
Claims (7)
- 固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像をリアルタイムで表示する表示部を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記表示部は、前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像とともに、画像処理ユニットにおける画像処理結果に基づく測定対象である固体撮像素子のウエハマップを表示することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記表示部は、さらに、測定対象である固体撮像素子のデータログを表示することを特徴とする請求項2記載の固体撮像素子検査システム。
- 固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットおよび表示部は汎用ネットワークを介して共通に接続されていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- それぞれ測定対象である固体撮像素子の測定画像を処理する複数の画像処理ユニットが接続され、前記表示部はこれら固体撮像素子の画像データに基づく複数の画像を同時に表示することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の固体撮像素子検査システム。
- 各画像処理ユニットは画像縮小処理部を備え、前記表示部に画面表示領域に適切なサイズに縮小された画像を出力することを特徴とする請求項5に記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記表示部の一部に各画像処理ユニットの動作状態を表示することを特徴とする
請求項5記載の固体撮像素子検査システム。
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