JP4529083B2 - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
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Description
固体撮像素子検査装置の検査結果および画像データを外部の画像評価装置に取り込むように構成された固体撮像素子検査システムにおいて、
前記固体撮像素子検査装置に、固体撮像素子の検査結果および画像データを所定数P毎のロット単位でファイル化するのに加え、固体撮像素子検査装置が複数m(P>m)個の固体撮像素子の検査処理を完了する毎にそれらの検査処理結果とそれらの画像データを取り込むことによりロット単位の検査結果および画像データを複数群nに分割してロット分割ファイル化するCPUを設け、
前記画像評価装置は、前記CPUを介してロット分割ファイル化された検査処理結果とそれらの画像データを取り込み、前記固体撮像素子検査装置における固体撮像素子の検査処理と並行に固体撮像素子の画像評価処理を実行することを特徴とする。
前記画像評価装置は、ロット終了時にロット結果ファイルも取り込み、前記画像評価処理が、1ロットすべての固体撮像素子に対して実行されたか否かを照合することを特徴とする。
図1は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図4と共通する部分には同一の符号を付けている。図1において、CPU6は、DSP14による標準的な検査処理結果を、所定数P毎の固体撮像素子ロット単位でファイル化するのに加えて、例えば複数m(P>m)個毎の複数群nに分割してファイル化し、ロット分割結果ファイル部20を介して画像評価装置19に出力する。画像データについても、検査処理結果のロット分割に対応するようにロット分割してファイル化し、ロット分割画像データファイル部21を介して画像評価装置19に出力する。
4 光源
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
10 A/D変換器
11 データメモリ
12 DMAC
13 画像処理メモリ
14 DSP
15 表示部
16 ロット単位画像データファイル部
17 ロット単位結果ファイル部
18 画像データ編集部
19 画像評価装置
20 ロット分割結果ファイル部
21 ロット分割画像データファイル部
22 固体撮像素子検査装置
Claims (2)
- 固体撮像素子検査装置の検査結果および画像データを外部の画像評価装置に取り込むように構成された固体撮像素子検査システムにおいて、
前記固体撮像素子検査装置に、固体撮像素子の検査結果および画像データを所定数P毎のロット単位でファイル化するのに加え、固体撮像素子検査装置が複数m(P>m)個の固体撮像素子の検査処理を完了する毎にそれらの検査処理結果とそれらの画像データを取り込むことによりロット単位の検査結果および画像データを複数群nに分割してロット分割ファイル化するCPUを設け、
前記画像評価装置は、前記CPUを介してロット分割ファイル化された検査処理結果とそれらの画像データを取り込み、前記固体撮像素子検査装置における固体撮像素子の検査処理と並行に固体撮像素子検査装置では検査ができない固体撮像素子の「しみ」や「むら」などについての画像評価処理を実行することを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記画像評価装置は、ロット終了時にロット結果ファイルも取り込み、前記画像評価処理が、1ロットすべての固体撮像素子に対して実行されたか否かを照合することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
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JP2005011074A JP4529083B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
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JP2005011074A JP4529083B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
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JP2006203387A JP2006203387A (ja) | 2006-08-03 |
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JP2001016623A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Agilent Technologies Japan Ltd | 撮像素子の試験方法 |
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