JP4683267B2 - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
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Description
固体撮像素子検査装置に画像処理部と前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像をリアルタイムで表示する表示部を含むリアルタイムモニタが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記画像処理部は、ネットワークを介して相互に接続され、高精細な画像処理検査を高速に実行する機能を有し、複数個の固体撮像素子チップそれぞれに対応するように設けられた複数の画像処理ユニットを含み、
前記リアルタイムモニタは、データ分離部と表示画面生成部と表示部とで構成され、前記データ分離部は前記ネットワークを介して前記固体撮像素子検査装置及び前記画像処理部から転送されてくる画像データ及び測定結果を分離して前記表示画面生成部に入力し、前記表示画面生成部はこれら分離された画像データ及び測定結果を適宜組み合わせて前記表示部に表示すべきリアルタイム画像、データログ表示及びウエハマップの表示画面を生成することを特徴とする。
前記表示部は、前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像とともに、画像処理ユニットにおける画像処理結果に基づく測定対象である固体撮像素子のウエハマップを表示する。
前記表示部は、さらに、測定対象である固体撮像素子のデータログを表示することを特徴とする。
前記各画像処理ユニットは画像縮小処理部を備え、前記表示部に画面表示領域に適切なサイズに縮小された画像を出力することを特徴とする。
前記表示部の一部に前記各画像処理ユニットの動作状態を表示することを特徴とする。
CPU6は、操作設定部7で設定されるテスト項目に応じて、所定のテストパターンで光源駆動制御部8および素子駆動制御部9を動作させるとともに、検査結果の良否判定を行うための期待パターンの内部設定なども行う。
4 光源
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
10 A/D変換器
11 データメモリ
18 固体撮像素子検査装置
19 画像処理部
20 画像処理ユニット
21 画像処理制御部
22 スイッチングハブ
24 DMAC
25 画像処理メモリ
26 画像処理演算部
27 画像転送部
28 ネットワーク
29 リアルタイムモニタ
30 データ分離部
31 表示画面生成部
32 表示部
33 リアルタイム画像表示部
34 データログ表示部
35 ウエハマップ表示部
36 システム操作選択部
Claims (5)
- 固体撮像素子検査装置に画像処理部と前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像をリアルタイムで表示する表示部を含むリアルタイムモニタが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記画像処理部は、ネットワークを介して相互に接続され、高精細な画像処理検査を高速に実行する機能を有し、複数個の固体撮像素子チップそれぞれに対応するように設けられた複数の画像処理ユニットを含み、
前記リアルタイムモニタは、データ分離部と表示画面生成部と表示部とで構成され、前記データ分離部は前記ネットワークを介して前記固体撮像素子検査装置及び前記画像処理部から転送されてくる画像データ及び測定結果を分離して前記表示画面生成部に入力し、前記表示画面生成部はこれら分離された画像データ及び測定結果を適宜組み合わせて前記表示部に表示すべきリアルタイム画像、データログ表示及びウエハマップの表示画面を生成することを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記表示部は、前記固体撮像素子検査装置から入力される画像データに基づく画像とともに、画像処理ユニットにおける画像処理結果に基づく測定対象である固体撮像素子のウエハマップを表示することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記表示部は、さらに、測定対象である固体撮像素子のデータログを表示することを特徴とする請求項2記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記各画像処理ユニットは画像縮小処理部を備え、前記表示部に画面表示領域に適切なサイズに縮小された画像を出力することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記表示部の一部に前記各画像処理ユニットの動作状態を表示することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の固体撮像素子検査システム。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5972287A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Advantest Corp | カラ−撮像装置試験器 |
JPH11111795A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Ricoh Co Ltd | 撮像素子の検査装置 |
JP2001112029A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Sharp Corp | テレビカメラの映像検査装置 |
JP2002217253A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像素子の検査方法及び検査装置 |
JP2004294358A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法および装置 |
JP2006156641A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Yokogawa Electric Corp | 固体撮像素子検査システム |
JP2006203386A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Yokogawa Electric Corp | 固体撮像素子検査システム |
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Patent Citations (8)
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---|---|---|---|---|
JPS5972287A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Advantest Corp | カラ−撮像装置試験器 |
JPH11111795A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Ricoh Co Ltd | 撮像素子の検査装置 |
JP2001112029A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Sharp Corp | テレビカメラの映像検査装置 |
JP2002217253A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像素子の検査方法及び検査装置 |
JP2004294358A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法および装置 |
JP2006156641A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Yokogawa Electric Corp | 固体撮像素子検査システム |
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