JP2006156641A - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査対象固体撮像素子が載置されるDUTボードと、検査対象固体撮像素子を照射する光源と、これら検査対象固体撮像素子とDUTボードおよび光源を所定の検査プログラムで駆動する検査装置と、この検査装置とネットワークを介して接続され、前記DUTボードから出力される検査対象固体撮像素子の画像データに対して検査のための画像処理を行う画像処理装置と、所定の検査プログラムを供給するテストシステムサーバと、これら検査装置と画像処理装置とテストシステムサーバにネットワークを介して接続され各部のデータを表示するモニタ、を設けたことを特徴とするもの。
【選択図】 図1
Description
検査対象固体撮像素子が電気的に接続されるDUTボードと、
検査対象固体撮像素子を照射する光源と、
これら検査対象固体撮像素子とDUTボードおよび光源を所定の検査プログラムで駆動する検査装置と、
この検査装置とネットワークを介して接続され、前記DUTボードから出力される検査対象固体撮像素子の画像データに対して検査のための画像処理を行う画像処理装置と、
これら検査装置および画像処理装置とネットワークを介して接続され、これら検査装置および画像処理装置に検査対象固体撮像素子に応じた所定の検査プログラムを供給するテストシステムサーバと、
これら検査装置と画像処理装置とテストシステムサーバにネットワークを介して接続され、各部のデータを表示するモニタ、
を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査システムである。
前記検査対象固体撮像素子は複数の固体撮像素子チップが形成されたウェハであることを特徴とする。
前記画像処理装置は、前記複数の固体撮像素子チップの画像データを同時に並行して個別に画像処理するように複数系統実装されていることを特徴とする。
前記複数系統の画像処理装置は、専用のネットワークで相互に接続されていることを特徴とする。
前記DUTボードは、前記複数の固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して出力する画像データ編集部を有することを特徴とする。
前記検査装置と画像処理装置とテストシステムサーバとモニタを接続するネットワークは汎用ネットワークであることを特徴とする。
前記汎用ネットワークには、検査結果を利用する汎用パソコンが接続されていることを特徴とする。
前記汎用パソコンにより、検査結果を利用して少なくとも検証・評価・開発のいずれかを行うことを特徴とする。
製品量産モードでは、システム操作選択部30からリアルタイムモニタ27に、検査対象である撮像素子チップウエハの種類を選択設定する。リアルタイムモニタ27は、選択設定された撮像素子チップウエハの種類情報をテストシステムサーバー26および画像処理部20の制御ユニット22に伝達する。
検査が完了した製品の検証評価は、汎用のネットワーク25に接続されている汎用パソコン28から、外部記憶装置30に格納されている画像データを用いて、ウエハやチップデバイス単位で行う。
また、必要に応じて、ユーザは画像処理部20で使用するパラメータをGUIベースで開発製品に合わせて編集し、その結果を前述のような検証ステップで確認した後、テストシステムサーバー26にテストプログラムとして転送格納登録することにより、量産の検査工程に反映させることもできる。
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
18 画像データ編集部
19 画像信号線
20 画像処理部
21 画像処理ユニット
22 制御ユニット
23 スイッチングハブ
24 高速専用ネットワーク
25 汎用ネットワーク
26 テストシステムサーバー
27 リアルタイムモニタ
28 汎用パソコン
29 外部記憶装置
30 システム操作選択部
Claims (8)
- 検査対象固体撮像素子が電気的に接続されるDUTボードと、
検査対象固体撮像素子を照射する光源と、
これら検査対象固体撮像素子とDUTボードおよび光源を所定の検査プログラムで駆動する検査装置と、
この検査装置とネットワークを介して接続され、前記DUTボードから出力される検査対象固体撮像素子の画像データに対して検査のための画像処理を行う画像処理装置と、
これら検査装置および画像処理装置とネットワークを介して接続され、これら検査装置および画像処理装置に検査対象固体撮像素子に応じた所定の検査プログラムを供給するテストシステムサーバと、
これら検査装置と画像処理装置とテストシステムサーバーにネットワークを介して接続され、各部のデータを表示するモニタ、
を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記検査対象固体撮像素子は、複数の固体撮像素子チップが形成されたウエハであることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記画像処理装置は、前記複数の固体撮像素子チップの画像データを同時に並行して個別に画像処理するように複数系統実装されていることを特徴とする請求項2記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記複数系統の画像処理装置は、専用のネットワークで相互に接続されていることを特徴とする請求項3記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記DUTボードは、前記複数の固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して出力する画像データ編集部を有することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記検査装置と画像処理装置とテストシステムサーバとモニタを接続するネットワークは汎用ネットワークであることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記汎用ネットワークには、検査結果を利用する汎用パソコンが接続されていることを特徴とする請求項6記載の固体撮像素子検査システム。
- 前記汎用パソコンにより、検査結果を利用して少なくとも検証・評価・開発のいずれかを行うことを特徴とする請求項7記載の固体撮像素子検査システム。
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