JP4529084B2 - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
固体撮像素子検査システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4529084B2 JP4529084B2 JP2005011075A JP2005011075A JP4529084B2 JP 4529084 B2 JP4529084 B2 JP 4529084B2 JP 2005011075 A JP2005011075 A JP 2005011075A JP 2005011075 A JP2005011075 A JP 2005011075A JP 4529084 B2 JP4529084 B2 JP 4529084B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- image processing
- inspection
- image sensor
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Description
固体撮像素子検査装置に検査対象とする複数の固体撮像素子チップそれぞれに対応する複数の画像処理部が接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置には、検査装置上で動作するプログラムおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じて複数組格納されるとともに前記各画像処理部を駆動するためのソフトおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じたデータセットとして複数組格納された制御用メモリと、前記検査対象とする固体撮像素子の種別に対応した所定のデータセット切替命令を設定入力する操作設定部と、データセット切替命令に従って前記制御用メモリから読み出されたデータセットを前記各画像処理部に転送する画像処理データセット転送部と、前記各固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して前記各チップに対応する画像処理部に出力する画像データ編集部を設け、
前記画像処理部には、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきたデータセットに基づき所定の画像処理ソフトを起動させる制御部を設け、
前記各画像処理部は、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきた画像処理ソフトに基づいて、前記検査装置には組み込まれていない画像処理検査を同時に並行して実行することを特徴とする。
前記システム全体が汎用ネットワークで接続され、前記固体撮像素子検査システムにおける画像データや検査データを汎用パソコンで利用できることを特徴とする。
4 光源
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
10 A/D変換器
11 データメモリ
12 DMAC
13 画像処理メモリ
14 DSP
15 表示部
17 制御用メモリ
18 画像処理データセット転送部
19 画像データ編集部
20 固体撮像素子検査装置
21 画像処理部
22 制御部
Claims (2)
- 固体撮像素子検査装置に検査対象とする複数の固体撮像素子チップそれぞれに対応する複数の画像処理部が接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置には、検査装置上で動作するプログラムおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じて複数組格納されるとともに前記各画像処理部を駆動するためのソフトおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じたデータセットとして複数組格納された制御用メモリと、前記検査対象とする固体撮像素子の種別に対応した所定のデータセット切替命令を設定入力する操作設定部と、データセット切替命令に従って前記制御用メモリから読み出されたデータセットを前記各画像処理部に転送する画像処理データセット転送部と、前記各固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して前記各チップに対応する画像処理部に出力する画像データ編集部を設け、
前記画像処理部には、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきたデータセットに基づき所定の画像処理ソフトを起動させる制御部を設け、
前記各画像処理部は、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきた画像処理ソフトに基づいて、前記検査装置には組み込まれていない画像処理検査を同時に並行して実行することを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記システム全体が汎用ネットワークで接続され、前記固体撮像素子検査システムにおける画像データや検査データを汎用パソコンで利用できることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011075A JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011075A JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006203388A JP2006203388A (ja) | 2006-08-03 |
JP4529084B2 true JP4529084B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=36961014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005011075A Expired - Fee Related JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4529084B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4683267B2 (ja) * | 2005-01-19 | 2011-05-18 | 横河電機株式会社 | 固体撮像素子検査システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997009629A1 (fr) * | 1995-09-04 | 1997-03-13 | Advantest Corporation | Appareil de transfert de dispositifs semi-conducteurs |
JPH09178807A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | Ic検査用オートハンドラ |
JP2001016623A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Agilent Technologies Japan Ltd | 撮像素子の試験方法 |
-
2005
- 2005-01-19 JP JP2005011075A patent/JP4529084B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997009629A1 (fr) * | 1995-09-04 | 1997-03-13 | Advantest Corporation | Appareil de transfert de dispositifs semi-conducteurs |
JPH09178807A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | Ic検査用オートハンドラ |
JP2001016623A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Agilent Technologies Japan Ltd | 撮像素子の試験方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006203388A (ja) | 2006-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007292576A (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
JP4683267B2 (ja) | 固体撮像素子検査システム | |
US11682113B2 (en) | Multi-camera visual inspection appliance and method of use | |
JP4529084B2 (ja) | 固体撮像素子検査システム | |
JP4605451B2 (ja) | 固体撮像素子検査システム | |
KR100675766B1 (ko) | 고체 촬상 소자 검사 시스템 | |
KR101308624B1 (ko) | 플레이트 표면 결함 검사 장치 | |
TW202109027A (zh) | 晶圓外觀檢查裝置及方法 | |
JP5326990B2 (ja) | 塗布状態検査装置及び方法並びにプログラム | |
JP2023100956A (ja) | 画像合成装置 | |
JP4964718B2 (ja) | 表示パネルの検査装置、表示パネルの検査方法、表示パネルの製造方法、プログラム及び記録媒体 | |
JP4529083B2 (ja) | 固体撮像素子検査システム | |
JP4190243B2 (ja) | 電子回路用部品の外観検査方法及び外観検査装置並びに電子回路用部品の製造方法。 | |
KR100740250B1 (ko) | 비전 검사 시스템 및 그를 이용한 검사 방법 | |
US20210215618A1 (en) | Multi-color surface inspection system, method for inspecting a surface, and method for calibrating the multi-color surface inspection system | |
JP4090775B2 (ja) | 電子回路用部品の外観検査方法及び外観検査装置並びに電子回路用部品の製造方法 | |
JP4386326B2 (ja) | プリント基板の検査方法およびこれに用いる装置 | |
JP2020193867A (ja) | 画像処理装置、制御方法、制御プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
WO2023162941A1 (ja) | 検査装置、画像処理方法、及び画像処理プログラム | |
WO2023162940A1 (ja) | 検査装置、検査方法、及び検査プログラム | |
JP4233069B2 (ja) | 自動検査装置の動作診断方法 | |
JP2009031141A (ja) | 自動検査装置、検査システム、処理方法、検査プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2000258348A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JPS63136086A (ja) | 液晶表示パネルの検査装置 | |
JPH08122726A (ja) | 液晶パネル検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100513 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170618 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |