JP5102580B2 - 荷電粒子線応用装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明による荷電粒子線応用装置の一実施例を示す。
広いエネルギーギャップを有する基板を用いて検出器を構成した場合の実施例を、図6に示す。
図9に、本発明の検出器の小型で高感度な特徴を利用した電子線装置の一例の概念図を示す。図9は、電子線装置の一例としての走査電子顕微鏡(SEM)であり、電子照射源7から発生したプローブ電子5を、3枚の電子レンズ、図9中のL1、L2、L3により試料3表面に微細な焦点を結ぶように調整され、これを偏向器によりx方向とy方向に掃引して、試料から発生する電子を検出器により電気信号に変換して試料表面の微小領域の様子を観察する。なお、偏光器は図中には示していないが、レンズL1とL2の間に置かれている。試料3には基板バイアス電源4により電圧Vsが印加されるようになっており、プローブ電子5を試料3直前で減速して、小さな入射エネルギーでも高分解能で観察する構造になっている。
ダイヤモンドの如きバンドギャップの広い材料からなる電子検出器はバンドギャップエネルギーよりも低いエネルギーの光照射をしても検出しないために、電子ビームやイオンビームを走査して二次電子や反射電子で画像観察中でも光照射が可能である。
Claims (7)
- 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上に照射する荷電粒子
光学系と、前記試料を設置する真空試料室と、前記試料から二次的に発生する電子を検出
する電子検出手段と、前記試料に対し光を照射する照射光源と、前記試料と前記真空試料室の外部との間に設けられた光学窓を備えた荷電粒子線応用装置において、
前記電子検出手段は、
少なくとも2eVを超えるバンドギャップを持つワイドギャップ半導体基板からなる電
子吸収領域を有するダイオード素子を有し、
前記電子吸収領域は、前記基板に2個の電極を対向配置してなり、前記試料から二次的
に発生する電子の入射により電子正孔対を発生せしめる構成とし、
前記照射光源は、前記ワイドギャップ半導体の吸収端より長波長である光の照射が可能な光源であり、
前記荷電粒子光学系が前記荷電粒子線を前記試料に照射する際に、前記光学窓は前記照
射による照射光又は前記照射による前記試料からの反射光を通過せしめる構成とすること
を特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、前記ワイドギャップ半導体として、
GaP、GaN、ZnO、Cの単結晶半導体のうちのいずれか1種を用いることを特徴と
する荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、前記電子検出手段の近傍、もしくは前記荷電粒子線応用装置の近傍に、前記電子検出手段の動作のための電流もしくは電圧の印加、および、前記電子検出手段からの電気信号を増幅もしくは伝達するための検出回路を設けたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、前記電子検出手段が、前記試料に入射する荷電粒子線の経路近傍に配置されていることを特徴とする荷電粒子線応用装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、前記電子検出手段は、前記荷電粒子線が通過する開口部を有し、前記荷電粒子線の経路上に配置されていることを特徴とする荷電粒子線応用装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、前記電子検出手段は、複数の検出領域を有し、前記試料からの発生電子をエネルギーに応じて該複数の検出領域の各々に導く手段を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、イオン源から放出されるイオンビームを前記試料上に収束して加工するイオンビームカラムをさらに備え、前記荷電粒子光学系と前記イオンビームカラムとを同一の真空室内に配したことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
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