JP2006041211A - 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射光を光電変換するセンサ部21と、センサ部21から読み出した信号電荷を転送する垂直電荷転送部23とを備え、センサ部21表面に入射光の反射を低減する反射低減膜37と、垂直電荷転送部23を遮光する遮光膜35とを有する固体撮像素子において、遮光膜35に形成されるセンサ部21上の開口部36に、遮光膜35を形成した後に形成された反射低減膜37を備えたものである。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 入射光を光電変換するセンサ部と、前記センサ部から読み出した信号電荷を転送する垂直電荷転送部とを備え、前記センサ表面に前記入射光の反射を低減する反射低減膜と、前記垂直電荷転送部を遮光する遮光膜とを有する固体撮像素子において、
前記遮光膜に形成される前記センサ部上の開口部に、前記遮光膜を形成した後に形成された前記反射低減膜を備えた
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記遮光膜に形成された開口部と前記反射低減膜との間に隙間が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 入射光を光電変換するセンサ部と、前記センサ部から読み出した信号電荷を転送する垂直電荷転送部とを備え、前記センサ表面に前記入射光の反射を低減する反射低減膜と、前記電荷転送部を遮光する遮光膜とを有する固体撮像素子の製造方法において、
前記センサ部上の前記遮光膜に開口部を形成した後、前記開口部内に前記反射低減膜を形成する
ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記反射低減膜を形成する際には、前記遮光膜に形成された開口部と前記反射低減膜との間に隙間を形成する
ことを特徴とする請求項3記載の固体撮像素子の製造方法。
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JP2000150845A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-30 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2001352051A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2005033110A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
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