JP2006210595A - 固体撮像装置の製造方法、固体撮像装置およびカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチバックにより絶縁膜を加工して、転送電極21を被覆する遮光膜23の側壁に自己整合的にサイドウォール絶縁膜24を形成し、当該サイドウォール絶縁膜24とレジスト膜26をマスクとしたエッチングにより、遮光膜23に開口部23aを形成する。なお、レジスト膜26は、遮光膜23の上面のエッチング保護膜として機能する。このエッチングは、サイドウォール絶縁膜24下の遮光膜23の張り出し部を除去するまで行う。
【選択図】図10
Description
そして、このサイドウォール絶縁膜およびマスク層をエッチングマスクとして、遮光膜をエッチングすることにより、受光部を露出させる開口部を形成する。このエッチングは、サイドウォール絶縁膜下の遮光膜の張り出し部を除去するまで行う。
開口部の寸法は、主として自己整合的に形成されたサイドウォール絶縁膜により制御される。マスク層は、遮光膜の上面のエッチング保護膜として作用する。
サイドウォール絶縁膜は光学的に透明な膜であり、かつ、サイドウォール絶縁膜下には遮光膜が存在しないため、サイドウォール絶縁膜に入射した光は、サイドウォール絶縁膜を通過して受光部に入射し、受光部において光電変換される。
サイドウォール絶縁膜は光学的に透明な膜であり、かつ、サイドウォール絶縁膜下には遮光膜が存在しないため、サイドウォール絶縁膜に入射した光は、サイドウォール絶縁膜を通過して受光部に入射し、受光部において光電変換される。
また、本発明によれば、感度特性を向上させた固体撮像装置およびカメラを実現することができる。
本実施形態では、インターライントランスファ方式の固体撮像装置について説明したが、フレームインターライントランスファ方式の固体撮像装置であってもよい。また、基板10の裏面から光を受光する裏面照射型の固体撮像装置や、CMOS型の固体撮像装置にも適用可能である。このため、遮光膜23は転送電極以外にもこれらの各種の電極を被覆していればよい。また、レジスト膜26以外にも、無機材料からなるハードマスクなどのマスク層を使用することもできる。ただし、ハードマスクのパターンは、レジスト膜を用いたエッチングにより形成される。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (7)
- 撮像部における基板に受光部および電極を形成する工程と、
前記受光部および前記電極を被覆する遮光膜を形成する工程と、
前記遮光膜上に光学的に透明な絶縁膜を形成する工程と、
エッチバックにより前記絶縁膜を加工して、前記電極を被覆する前記遮光膜の側壁にサイドウォール絶縁膜を形成する工程と、
前記遮光膜上に前記受光部に対応する位置にマスク開口をもつマスク層を形成する工程と、
前記サイドウォール絶縁膜および前記マスク層をエッチングマスクとして、前記サイドウォール絶縁膜下の前記遮光膜の張り出し部を除去するまで前記遮光膜をエッチングして、前記受光部を露出させる開口部を形成する工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記電極は、転送電極である
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記遮光膜を形成する工程において、前記撮像部の周辺部における前記基板上にモニタ用遮光膜を形成し、
前記マスク層を形成する工程において、前記モニタ用遮光膜上にマスク開口をもつモニタ用マスク層を形成し、
前記遮光膜をエッチングする工程において、前記モニタ用遮光膜に形成される開口部の幅をモニタすることにより、前記受光部を露出させる前記開口部の幅を管理する
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板に形成された受光部と、
前記基板上において、前記受光部を除く領域に形成された電極と、
前記電極を被覆し、前記受光部に対応する位置に開口部をもつ遮光膜と、
前記開口部の縁に沿って、前記遮光膜の側壁の上部に形成された光学的に透明なサイドウォール絶縁膜とを有し、
前記サイドウォール絶縁膜下における前記遮光膜の張り出し部が除去された
固体撮像装置。 - 前記電極は、転送電極である
請求項4記載の固体撮像装置。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像面に光を結像させる光学系と、
前記固体撮像装置からの出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路と
を有し、
前記固体撮像装置は、
基板に形成された受光部と、
前記基板上において、前記受光部を除く領域に形成された電極と、
前記電極を被覆し、前記受光部に対応する位置に開口部をもつ遮光膜と、
前記開口部の縁に沿って、前記遮光膜の側壁の上部に形成された光学的に透明なサイドウォール絶縁膜とを有し、
前記サイドウォール絶縁膜下における前記遮光膜の張り出し部が除去された
カメラ。 - 前記電極は、転送電極である
請求項6記載のカメラ。
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