JP2006032797A - 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 不揮発性半導体記憶装置は、基板1上に形成された離散的に電荷を蓄積する積層絶縁膜2Bよりなるゲート絶縁膜と、ゲート電極3Aと、基板1の表面層にゲート電極3Aを挟持するように形成されたソース又はドレインとして機能する一対の拡散領域4とを有する。ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、ゲート電極3Aにおける一対の拡散領域4と対向する端部と一対の拡散領域4との間に存在する領域のうちの少なくとも一方の領域には、ゲート電極3Aに紫外線が照射されて生じる電荷を蓄積する固定電荷蓄積領域が存在しており、一対の拡散領域4のうち固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域4は、基板面に対して垂直方向に、固定電荷蓄積領域と重なると共に該固定電荷蓄積領域を超えるように配置されている。
【選択図】 図1
Description
nmであり、固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域がゲート電極と60nm以上重なっているので、しきい値電圧の制御に容易に行なうことができる。これにより、しきい値電圧制御がより安定する。
本発明に係る不揮発性半導体記憶装置において、ゲート電極は多結晶シリコンよりなり、ゲート電極の膜厚が60nm以上であることが好ましい。
以下に、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について、図1(a)〜(f)を参照しながら説明する。
以下に、本発明の第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について、図3(a)〜(e)を参照しながら説明する。
本発明に係る第3の実施形態では、前記第1及び第2の実施形態の変形例について、図4(a)〜(c)を参照しながら説明する。
2a、12a、43 下部酸化膜
2b、12b、44 シリコン窒化膜
2c、12b、45 上部酸化膜
2A、23、34 積層絶縁膜
3、26、35、46 多結晶シリコン膜
2B、12B パターン化された積層絶縁膜
3A、13A ゲート絶縁膜
4、22、32、42 ソースドレイン拡散層
25、33 シリコン酸化膜
Claims (11)
- 基板上に形成された離散的に電荷を蓄積する積層絶縁膜よりなるゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上に形成されたゲート電極と、前記基板の表面層に前記ゲート電極を挟持するように形成されたソース又はドレインとして機能する一対の拡散領域と、前記一対の拡散領域間に存在するチャネル領域とを有する不揮発性半導体記憶装置であって、
前記ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、前記ゲート電極における前記一対の拡散領域と対向する端部と前記一対の拡散領域との間に存在する領域のうちの少なくとも一方の領域には、前記ゲート電極に紫外線が照射されて生じる電荷を蓄積する固定電荷蓄積領域が存在しており、
前記一対の拡散領域のうち前記固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域は、平面的配置において、前記固定電荷蓄積領域と重なると共に前記チャネル領域の中央部方向へ前記固定電荷蓄積領域を超えるように配置されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、前記チャネル領域と前記一対の拡散領域のうちの少なくとも一方の拡散領域との界面近傍と対向している領域は、書き込み動作において電荷が蓄積される領域又は消去動作において引き抜く電荷が蓄積されている領域であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記一対の拡散領域のうち前記固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域と、前記ゲート電極とは、平面的配置において、60nm以上重なっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ゲート絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、及びシリコン酸化膜が順に積層されてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ゲート電極は多結晶シリコンよりなり、前記ゲート電極の膜厚が60nm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 基板上に、離散的に電荷を蓄積する積層絶縁膜よりなるゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜の上に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜に対して選択的エッチングを行なってゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極をマスクとして、前記基板面の法線方向にほぼ沿って、前記基板にイオン注入することにより、前記基板の表面層にソース又はドレインとして機能する一対の拡散領域と前記一対の拡散領域間に存在するチャネル領域とを形成する工程と、
前記一対の拡散領域を拡散させるように、熱処理を行なう工程とを備え、
前記ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、前記ゲート電極における前記一対の拡散領域と対向する端部と前記一対の拡散領域との間に存在する領域のうちの少なくとも一方の領域には、前記ゲート電極に紫外線が照射されて生じる電荷を蓄積する固定電荷蓄積領域が存在しており、
前記熱処理を行なう工程は、
前記一対の拡散領域のうち前記固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域を、平面的配置において、前記固定電荷蓄積領域と重なると共に前記チャネル領域の中央部方向へ前記固定電荷蓄積領域を超えるように拡散させる工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 基板上に、離散的に電荷を蓄積する積層絶縁膜よりなるゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜の上に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜に対して選択的エッチングを行なってゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極をマスクとして、前記基板面の法線方向に対して傾斜角度20度以上で、前記基板にイオン注入することにより、前記基板の表面層にソース又はドレインとして機能する一対の拡散領域と前記一対の拡散領域間に存在するチャネル領域とを形成する工程とを備え、
前記ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、前記ゲート電極における前記一対の拡散領域と対向する端部と前記一対の拡散領域との間に存在する領域のうちの少なくとも一方の領域には、前記ゲート電極に紫外線が照射されて生じる電荷を蓄積する固定電荷蓄積領域が存在しており、
前記拡散領域を形成する工程は、
前記一対の拡散領域のうち前記固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域を、平面的配置において、前記固定電荷蓄積領域と重なると共に前記チャネル領域の中央部方向へ前記固定電荷蓄積領域を超えるように拡散させる工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜における領域であって、且つ、前記チャネル領域と前記一対の拡散領域のうちの少なくとも一方の拡散領域との界面近傍と対向している領域において、書き込み動作における電荷の蓄積又は消去動作における電荷の引き抜きが行なわれることを特徴とする請求項6又は7に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記一対の拡散領域のうち前記固定電荷蓄積領域の下側に存在している少なくとも一方の拡散領域は、平面的配置において、前記ゲート電極と60nm以上重なるように形成されることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、及びシリコン酸化膜が順に積層されてなる積層膜であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記ゲート電極は多結晶シリコンよりなり、前記ゲート電極の膜厚が60nm以上であることを特徴とする請求項6〜10のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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