JP2005533365A - マスクレスの光子−電子スポット格子アレイ印刷装置 - Google Patents
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Abstract
Description
定義:
FOV−基板上の視野、単位ミクロン(方形を仮定)
D−基板上のスポットとスポットとの間のピッチ、単位ミクロン
p−基板上のピクセルサイズ、単位ミクロン
ny及びnx−各々アレイにおける行及び列の数
N−アレイにおける全スポット数
DR−データレート要求(ピクセル/秒/アレイ)
FR−フレームレート要求(アレイ読み取り/秒)
V−y方向のステージ速度、単位ミクロン/秒
FOV=D*nxであり、且つインターリーブがないと、ny=D/pであるから、スポットの全数Nは、次のようになる。
N=nx*ny=(FOV/D)*(D/p)=FOV/p
所与のデータレート要求(DR)に対して、フレームレート(FR)、ひいては、要求されるステージ速度は、次の通りである。
FR=DR/N=DR*p/FOV、及び
V=FR*p=DR*p2/FOV
実施例:
FOV=10mm=10000ミクロン
DR=10テラピクセル/秒=1012ピクセル/秒
P=10nm=0.01ミクロン
N=10000/0.01=1000000=106≧100x100アレイ
FR=1010/104=106=1メガフレーム/秒
V=106*0.01ミクロン=10mm/秒
本発明は、種々の形式の半導体デバイス、特に、約0.18□以下のデザインルールを有する高密度半導体デバイスの製造に適用できる。
Claims (35)
- 電子ビームのアレイにより形成された像で基板を露光するためのマスクレスのリソグラフィー装置において、
入力データ信号に応答して変調された光ビームのアレイを供給して、一連の光学的パターンを形成するためのプログラム可能な光放射源と、
上記光ビームを電子ビームに変換して、一連の電子ビームパターンを形成するための光子−電子コンバータと、
上記電子ビームを上記基板に収束させるための電子光学系と、
上記像を形成する一連の電子ビームパターンで上記基板を露光するように上記基板と上記電子ビームとの間に相対的移動を導入するための並進移動装置と、
を備えたマスクレスのリソグラフィー装置。 - 上記電子光学系は、上記電子ビームパターンを縮小する、請求項1に記載の装置。
- 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項1に記載の装置。
- 上記プログラム可能な光放射源は、個々に変調されたレーザのアレイで構成される、請求項1に記載の装置。
- 上記光放射源は、
光源と、
上記入力データ信号に応答して個々に変調された光ビームのアレイを供給するためのプログラム可能な空間光変調器と、
を備えた、請求項1に記載の装置。 - 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイであって、上記光ビームと上記マイクロレンズアレイの素子との間に1対1の対応が存在するように配置された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項4に記載の装置。
- 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイであって、上記光ビームと上記マイクロレンズアレイの素子との間に1対1の対応が存在するように配置された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項5に記載の装置。
- 上記マイクロレンズは、回折型である、請求項3に記載の装置。
- 上記並進移動装置は、上記電子ビームパターンの1つの軸に対して傾斜された軸に沿って上記基板を移動させる、請求項1に記載の装置。
- 上記可動段は、上記基板が走査方向に上記電子ビームアレイの長さに実質的に等しい距離だけ移動されたときに、上記電子ビームが機械的交差走査方向に上記基板の表面上の実質的に連続する経路をたどるように上記基板を移動させる、請求項9に記載の装置。
- 上記光ビームのアレイは、二次元である、請求項3に記載の装置。
- 上記可動段の移動における不正確さを補償するための補償装置を更に備えた、請求項9に記載の装置。
- 上記補償装置は、上記段の移動における機械的な不正確さを補償するように上記電子ビームアレイを移動させるサーボを備えた、請求項12に記載の装置。
- 上記可動段における機械的な不正確さを補償するように上記レンズアレイへの上記光源の入射角を変更するために可動ミラー、電気−光学素子及び音響−光学素子より成るグループから選択された補償装置を更に備えた、請求項12に記載の装置。
- 上記可動段は、上記電子ビームが上記基板の表面上の上記連続経路をたどるときに上記電子ビームが重畳するように上記基板を移動させる、請求項10に記載の装置。
- 上記光子−電子コンバータへの書き込みエラーを減少するために上記光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在されたリミッターを更に備えた、請求項1に記載の装置。
- 上記リミッターは、上記光放射源からの上記光ビームのアレイに対応するピンホールを有するピンホールアレイを備えた、請求項16に記載の装置。
- 上記リミッターは、上記光放射源からの上記光ビームのアレイに対応するアパーチャーのアレイを備え、上記アパーチャーの各々は、その巾が上記光ビームの各々の波長の少なくとも半分である、請求項16に記載の装置。
- 基板を像で露光する方法において、
光ビームのアレイを発生するステップと、
入力データ信号に応答して上記光ビームを個々に変調するステップと、
上記光ビームを電子ビームに変換して、中間電子ビームアレイを供給するステップと、
上記電子ビームを上記基板に収束して、上記基板を上記電子ビームのパターンに曝すステップと、
上記発生、変調、変換及び収束ステップが実行されている間に上記電子ビームに対して上記基板を移動させて、一連の電子ビームパターンで構成された像で上記基板を露光するステップと、
を備えた方法。 - 上記移動ステップにおける機械的な不正確さを補償するステップを更に備えた、請求項19に記載の方法。
- 光源と、
上記光源からの光を受けるように配置され、入力データ信号に応答して個々に変調された光ビームのアレイを供給するための空間光変調器と、
上記光ビームの各々を収束するためのレンズのアレイと、
上記光ビームの焦点に配置されて、上記光ビームの各々を電子ビームに変換するための光子−電子コンバータと、
上記空間光変調器と上記レンズのアレイとの間に介在されて、上記ビームを上記レンズに1対1の対応でマッピングさせる光学系と、
上記光子−電子コンバータと上記基板との間に介在されて、上記個々の電子ビームを上記基板に収束させる電子レンズと、
上記電子ビームのアレイで上記基板に上記像が記録されるように上記基板と上記光子−電子コンバータとの間に相対的移動を与えるステージと、
を備えたマスクレスのリソグラフィー装置。 - 上記可動ステージは、上記電子ビームのアレイの1つの軸に対して若干傾斜された方向に上記基板を並進移動する、請求項21に記載の装置。
- 光源と、
上記光源からの光を受けるように配置され、入力信号に応答して個々に変調された光ビームのアレイを供給するための空間光変調器と、
上記変調された光ビームの各々を収束するためのレンズのアレイと、
上記変調された光ビームの焦点に配置されて、上記変調された光ビームの各々を電子ビームに変換するための光子−電子コンバータと、
上記光子−電子コンバータと上記基板との間に介在された電子縮小装置と、
上記基板を支持すると共に、上記電子ビームのアレイで上記基板に上記像が記録されるように上記基板と上記光子−電子コンバータとの間に相対的移動を導入するための可動ステージと、
を備えたマスクレスのリソグラフィー装置。 - 上記可動ステージは、上記電子ビームのアレイの1つの軸に対して若干傾斜された方向に上記基板を並進移動する、請求項23に記載の装置。
- 上記空間光変調器は、マイクロミラーアレイである、請求項24に記載の装置。
- 電子ビームのアレイにより形成された像で基板を露光するためのマスクレスのリソグラフィー装置において、
入力データ信号に応答して変調された光ビームのアレイを供給して、一連の光学的パターンを形成するためのプログラム可能な光放射源と、
光学的感知マイクロティップのアレイを含み、上記光ビームを電子スポットに変換して、一連の電子スポットパターンを形成するための光子−電子コンバータと、
上記電子スポットから放出された電子を上記基板に収束させるための電子光学系と、
上記像を形成する一連の収束された電子スポットパターンで上記基板を露光するように上記基板と上記収束された電子スポットとの間に相対的移動を導入するための並進移動装置と、
を備えたマスクレスのリソグラフィー装置。 - 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項26に記載の装置。
- 上記プログラム可能な光放射源は、個々に変調されたレーザのアレイで構成される、請求項26に記載の装置。
- 上記光放射源は、
光源と、
上記入力データ信号に応答して個々に変調された光ビームのアレイを供給するためのプログラム可能な空間光変調器と、
を備えた、請求項26に記載の装置。 - 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイであって、上記光ビームと上記マイクロレンズアレイの素子との間に1対1の対応が存在するように配置された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項28に記載の装置。
- 上記プログラム可能な光放射源と上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学マイクロレンズアレイであって、上記光ビームと上記マイクロレンズアレイの素子との間に1対1の対応が存在するように配置された光学マイクロレンズアレイを更に備えた、請求項29に記載の装置。
- 上記マイクロレンズは、回折型である、請求項27に記載の装置。
- 上記並進移動装置は、上記電子ビームパターンの1つの軸に対して傾斜された軸に沿って上記基板を移動させる、請求項26に記載の装置。
- 上記光ビームのアレイは、二次元である、請求項27に記載の装置。
- 上記光学マイクロレンズアレイと上記光子−電子コンバータとの間に介在された光学縮小装置を更に備えた、請求項3に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US33103501P | 2001-11-07 | 2001-11-07 | |
PCT/US2002/035641 WO2003040829A2 (en) | 2001-11-07 | 2002-11-07 | Maskless printer using photoelectric conversion of a light beam array |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005533365A true JP2005533365A (ja) | 2005-11-04 |
Family
ID=23292344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003542404A Ceased JP2005533365A (ja) | 2001-11-07 | 2002-11-07 | マスクレスの光子−電子スポット格子アレイ印刷装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6841787B2 (ja) |
EP (1) | EP1446702A2 (ja) |
JP (1) | JP2005533365A (ja) |
KR (1) | KR20050044369A (ja) |
CN (2) | CN101446773A (ja) |
AU (1) | AU2002342349A1 (ja) |
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- 2002-11-07 JP JP2003542404A patent/JP2005533365A/ja not_active Ceased
- 2002-11-07 CN CNA2008101787305A patent/CN101446773A/zh active Pending
- 2002-11-07 WO PCT/US2002/035641 patent/WO2003040829A2/en active Application Filing
- 2002-11-07 CN CNA028246373A patent/CN1602451A/zh active Pending
- 2002-11-07 US US10/289,209 patent/US6841787B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-07 KR KR1020047006978A patent/KR20050044369A/ko active IP Right Grant
- 2002-11-07 AU AU2002342349A patent/AU2002342349A1/en not_active Abandoned
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JP7474151B2 (ja) | 2020-08-21 | 2024-04-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2002342349A1 (en) | 2003-05-19 |
WO2003040829A2 (en) | 2003-05-15 |
EP1446702A2 (en) | 2004-08-18 |
WO2003040829A3 (en) | 2003-10-16 |
KR20050044369A (ko) | 2005-05-12 |
CN1602451A (zh) | 2005-03-30 |
CN101446773A (zh) | 2009-06-03 |
US20030122091A1 (en) | 2003-07-03 |
US6841787B2 (en) | 2005-01-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080603 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
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