JP2005142235A - パターン描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ピンホール板106を長方形形状にし、Y方向の片側に圧電素子120aが、またX方向の片側に圧電素子120bが取り付けられている。圧電素子は、電圧の印加によって、マイクロ秒のオーダーで瞬時に伸び縮みができる。したがって、圧電素子120aによって、ピンホール板106をY方向に沿って数千Hzの周波数で微振動させることができる。これにより、DMDのON時間の間に、スポットと基板との相対的に停止させることができる。
【選択図】図2
Description
Proceedings of SPIE, Vol.4186, 第16〜21頁
101、201 DMD
102 ミラー
103a、103b、107a、107b レンズ
104、108 縮小投影光学系
105、105’ マイクロレンズアレイ
106、220、400 ピンホール板
109 基板
120a、120b 圧電素子
121 ピンホール板106の投影領域
122 露光された領域
211 ベース
212a、212b、212c マイクロミラー
213 斜め装着時のDMD210の形状
214 水平装着時のDMD210の形状
215 回転軸
221 ピンホール板220の投影領域
222 露光された領域
L11、L12、L13、L14、L15 紫外光
Claims (5)
- 紫外光発生部、二次元配列状の微小ミラー、マイクロレンズアレイ、及び照射された紫外光を多数の細い光線に分割できるピンホール板、及びピンホール板での像を描画対象の基板に転写する縮小投影光学系とを含むパターン描画装置において、前記ピンホール板に圧電素子を備えたことを特徴とするパターン描画装置。
- 紫外光発生部、二次元配列状の微小ミラー、マイクロレンズアレイ、及び照射された紫外光を多数の細い光線に分割できるピンホール板、及びピンホール板での像を描画対象の基板に転写する縮小投影光学系とを含むパターン描画装置において、前記ピンホール板における各ピンホールの形状が前記基板のスキャン方向に直交する方向が長辺となる長方形状あるいは長円形状であることを特徴とするパターン描画装置。
- 紫外光発生部、二次元配列状の微小ミラー、マイクロレンズアレイ、及び照射された紫外光を多数の細い光線に分割できるピンホール板、及びピンホール板での像を描画対象の基板に転写する縮小投影光学系とを含むパターン描画装置において、前記二次元配列状の微小ミラーのデバイス面の垂線が、前記縮小投影光学系の光軸から斜めになるように、前記二次元配列状の微小ミラーを取り付け、かつ前記ピンホール板における描画に利用されるピンホールの並びにおいて、基板のスキャン方向と直交する方向に平行に並べたことを特徴とするパターン描画装置。
- 微小ミラーデバイス及びピンホール板を介して与えられる像を描画対象の基板を所定のスキャン方向にスキャンしながら転写するパターン描画方法において、前記ピンホール板からのスポットの移動速度と前記スキャン方向に対するスキャン速度とを実質的に等しくして描画を行う工程、及び、前記微小ミラーデバイスのデバイス面の垂線が当該微小ミラーデバイスと前記ピンホール板との間に配置される光学系の光軸に対して斜めになるように、取り付けられた前記微小ミラーデバイスを使用して描画を行う工程のうち、少なくとも一方の工程を用いて描画を行うことを特徴とするパターン描画方法。
- 請求項4において、前記ピンホール板上のピンホールは前記基板のスキャン方向に対して直交する方向に並行に配列されていることを特徴とするパターン描画方法。
Priority Applications (1)
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JP2003374846A JP2005142235A (ja) | 2003-11-04 | 2003-11-04 | パターン描画装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005277209A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tadahiro Omi | パターン露光装置および二次元光像発生装置 |
CN114545651A (zh) * | 2020-11-26 | 2022-05-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示组件及显示装置 |
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2003
- 2003-11-04 JP JP2003374846A patent/JP2005142235A/ja active Pending
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JP4541010B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-09-08 | 財団法人国際科学振興財団 | パターン露光装置および二次元光像発生装置 |
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