JP7474151B2 - マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 - Google Patents
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Description
励起光を発生する励起光源と、
励起光を複数の光に分割するマルチレンズアレイと、
表面から複数の光を入射し、裏面からマルチ光電子ビームを放出する光電面と、
マルチ光電子ビームの各ビームを偏向することにより各ビームのビームON/OFFを個別に切り替える個別ブランキング制御を行うブランキングアパーチャアレイ機構と、
ビームONに制御されたマルチ光電子ビームで試料を照射する電子光学系と、
マルチ光電子ビームのショット毎に、励起光の発生/停止の切り替えタイミングと各ビームのビームON/OFFの切り替えタイミングとを連動させる制御回路と、
を備えたことを特徴とする。
励起光源から励起光を発生する工程と、
マルチレンズアレイを用いて励起光を複数の光に分割する工程と、
光電面の表面から複数の光を入射し、裏面からマルチ光電子ビームを放出する工程と、
マルチ光電子ビームのショット毎に、励起光の発生/停止の切り替えタイミングと各ビームのビームON/OFFの切り替えタイミングとを連動させながら、ブランキングアパーチャアレイ機構を用いて、マルチ光電子ビームの各ビームを偏向することにより各ビームのビームON/OFFを個別に切り替える個別ブランキング制御を行う工程と、
ビームONに制御されたマルチ光電子ビームを用いて、試料にパターンを描画する工程と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。図1において、描画装置100は、描画機構150と制御回路160を備えている。描画装置100は、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の一例である。描画機構150では、図示しない電子鏡筒(マルチ電子ビームカラム)内に、励起光源201、ビームエクスパンダー202、光電子放出機構210、マルチアノード電極220、成形アパーチャアレイ基板203、ブランキングアパーチャアレイ機構204、電磁レンズ205、制限アパーチャ基板206、電磁レンズ207(対物レンズ)、及び対物偏向器208がこの順で配置される。図示しない電子鏡筒下に配置される図示しない描画室内には、XYステージ105が配置される。XYステージ105上には、描画時には描画対象基板となるレジストが塗布されたマスクブランクス等の試料101が配置される。試料101には、半導体装置を製造する際の露光用マスク、或いは、半導体装置が製造される半導体基板(シリコンウェハ)等が含まれる。また、光電子放出機構210よりも下流側の電子鏡筒内及び描画室内は図示しない真空ポンプにより真空引きされ、大気圧よりも低い圧力に制御される。
22 穴
24 制御電極
25 通過孔
26 対向電極
27 制御グリッド
28 画素
29 サブ照射領域
30 描画領域
32 ストライプ領域
31 基板
33 支持台
34 照射領域
36 画素
41 制御回路
100 描画装置
101 試料
112 パルス駆動回路
113 BAA駆動回路
150 描画機構
160 制御回路
161 全体制御回路
200 励起光
201 励起光源
202 ビームエクスパンダー
220 マルチアノード電極
203 成形アパーチャアレイ基板
204 ブランキングアパーチャアレイ機構
205 電磁レンズ
206 制限アパーチャ基板
207 電磁レンズ
208 対物偏向器
210 光電子放出機構
212 マルチレンズアレイ
214 ガラス基板
216 マルチ遮光膜
218 光電面
330 メンブレン領域
332 外周領域
Claims (7)
- 励起光を発生する励起光源と、
前記励起光を複数の光に分割するマルチレンズアレイと、
表面から前記複数の光を入射し、裏面からマルチ光電子ビームを放出する光電面と、
前記マルチ光電子ビームの各ビームを偏向することにより各ビームのビームON/OFFを個別に切り替える個別ブランキング制御を行うブランキングアパーチャアレイ機構と、
ビームONに制御されたマルチ光電子ビームで試料を照射する電子光学系と、
前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光の発生/停止の切り替えタイミングと各ビームのビームON/OFFの切り替えタイミングとを連動させる制御回路と、
を備えたことを特徴とするマルチ電子ビーム描画装置。 - 前記制御回路は、前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光を停止の状態から発生の状態に切り替えた時点以降に、ビームONに制御する予定の各ビームをビームOFFの状態からビームONの状態に切り替え、すべてのビームがビームOFFの状態になった時点以降に前記励起光を発生の状態から停止の状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1記載のマルチ電子ビーム描画装置。
- 前記制御回路は、前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光を停止の状態から所定の回数の前記励起光のパルスを発生させ、ビームONに制御する予定の各ビームをビームOFFの状態からビームONの状態に切り替え、ビームONに制御された各ビームをそれぞれ必要なドーズ量に対応するパルス数のパルス発生後にビームONの状態からビームOFFの状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1記載のマルチ電子ビーム描画装置。
- 前記制御回路は、前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光を停止の状態から所定の回数の前記励起光のパルスを発生させ、前期パルスの幅はドーズ量制御の諧調に対応するよう変調された諧調パルスを構成し、各ビームをそれぞれ必要なドーズ量が前記諧調パルスの合算として制御される請求項3記載のマルチ電子ビーム描画装置。
- 前記制御回路は、前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光を停止の状態から発生の状態に切り替えて、所定の期間、前記励起光を発生し、前記励起光が発生している状態でビームONに制御する予定の各ビームをビームOFFの状態からビームONの状態に切り替え、前記励起光を発生の状態から停止の状態に切り替えるタイミングに同期して、ビームONに制御された各ビームをビームONの状態からビームOFFの状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1又は2記載のマルチ電子ビーム描画装置。
- 前記制御回路は、前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光を停止の状態から発生の状態に切り替えるタイミングに同期して、ビームONに制御する予定の各ビームをビームOFFの状態からビームONの状態に切り替え、前記励起光を発生の状態から停止の状態に切り替えるまでに、ビームONに制御された各ビームをビームONの状態からビームOFFの状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1又は2記載のマルチ電子ビーム描画装置。
- 励起光源から励起光を発生する工程と、
マルチレンズアレイを用いて前記励起光を複数の光に分割する工程と、
光電面の表面から前記複数の光を入射し、裏面からマルチ光電子ビームを放出する工程と、
前記マルチ光電子ビームのショット毎に、前記励起光の発生/停止の切り替えタイミングと各ビームのビームON/OFFの切り替えタイミングとを連動させながら、ブランキングアパーチャアレイ機構を用いて、前記マルチ光電子ビームの各ビームを偏向することにより各ビームのビームON/OFFを個別に切り替える個別ブランキング制御を行う工程と、
ビームONに制御されたマルチ光電子ビームを用いて、試料にパターンを描画する工程と、
を備えたことを特徴とするマルチ電子ビーム描画方法。
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