JP2005343774A - シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】天然シリカ粉を溶融して形成した不透明な外層と、その内側に形成した天然石英ガラスからなる厚さ0.4〜5mmの透明層を有する石英ガラスルツボにおいて、石英ガラスルツボの内表面の底部中心から、ルツボ内表面に沿って上端面までの距離Lに対し少なくとも0.15〜0.55Lの範囲の内側に1〜20ppmのアルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層を形成したことを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ、及びその製造方法。
【選択図】 図1
Description
(比較例1)
(比較例2)
(表1)
融液表面の振動(湯面振動):
◎は全くなし
○はなし
△は若干あり
2:底部
3:直胴部
4:天然石英ガラスからなる不透明外層
5:天然石英ガラスからなる透明層
6:アルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層
7:湾曲部
8:回転する型
9:ルツボ状成形体
10、15:シリカ粉供給手段
11:板状の蓋体
12:流量規制バルブ
13:電源
14:アーク電極
16:高温雰囲気
Claims (7)
- 天然シリカ粉を溶融して形成した不透明な外層と、その内側に形成した天然石英ガラスからなる厚さ0.4〜5mmの透明層を有する石英ガラスルツボにおいて、石英ガラスルツボの内表面の底部中心から、ルツボ内表面に沿って上端面までの距離Lに対し少なくとも0.15〜0.55Lの範囲の内側に1〜20ppmのアルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層を形成したことを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- アルミニウムの含有量が3〜10ppmであることを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 天然石英ガラスからなる透明層と合成石英ガラスからなる透明層に含まれるアルミニウムの含有量の差が3ppm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- アルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層の厚さが0.2〜1.5mmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 石英ガラスルツボの内表面の底部中心から、内表面に沿って上端面までの距離Lに対し0.6〜1.0Lの範囲の内表面が天然石英ガラスからなる透明層であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 石英ガラスルツボの内表面の底部中心から、内表面に沿って上端面までの距離Lに対し0.6〜1.0Lの範囲の内表面に厚さ0.2mm以下のアルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層を形成したことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項1記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 回転する型に装着した石英ガラスルツボ基体の内部キャビティを高温雰囲気にし、部分的に溶融して不透明な外層を形成した後もしくは成形中に、外層の高温雰囲気内に天然シリカ粉を供給し、溶融ガラス化して不透明な外層の内表面全体に天然石英ガラスからなる透明層を形成し、続いて1〜20ppmのアルミニウムを含有する合成シリカ粉を供給し溶融ガラス化して前記天然石英ガラスからなる透明層を有する石英ガラスルツボの内表面の底部中心からルツボ内面に沿って上端面までの距離Lに対し少なくとも0.15〜0.55Lの範囲の内側にアルミニウムを含有する合成石英ガラスからなる透明層を形成することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。
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