JP5588012B2 - 石英ルツボおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
実施例の説明において、各ウェハ、装置、寸法、部材、領域または面等が、各ウェハ、装置、寸法、部材、領域または面等の「上」または「下」に形成されると記載される場合、「上」と「下」は直接または他の構成要素を介在して形成されるものを全部含む。また、各構成要素の上または下に対する基準は、図面を基準として説明する。図面における各構成要素の大きさは、説明の便宜を図り誇張されることもあり、実際適用される大きさを表すものではない。
本発明の実施例に係るシリコン単結晶成長装置100は、チャンバ110、ルツボ120、ヒーター130、引揚手段150等を含むことができる。
Claims (7)
- 単結晶成長装置に使用される石英ルツボであって、
シリカからなる内部層と、
窒素が添加されたシリカからなり、前記内部層の外側に位置して前記内部層を取囲む外部層と、を含み、
前記内部層は、前記石英ルツボの内部表面から10mmの深さまでバブルが存在しない透明な合成シリカであり、
前記外部層は、バブルが存在する不透明な天然シリカであり、窒素の含有量が1〜15atomic%であることを特徴とする石英ルツボ。 - 前記内部層の不純物濃度が100ppb以内であることを特徴とする請求項1に記載の石英ルツボ。
- 天然珪砂をルツボ鋳型に投入した後溶融させて外部層を形成する段階と、
合成珪砂を投入した後溶融させて前記外部層の内側に内部層を形成する段階と、を含み、
前記外部層を形成する段階で窒化ケイ素(Si 3 N 4 )、窒化アルミニウム(AlN)、窒化カルシウム(Ca 3 N 2 )および窒化リチウム(Li 3 N)から選択されたいずれか1つ以上を前記天然珪砂に混合して、1〜15atomic%の窒素を添加して前記外部層を形成することを特徴とする石英ルツボの製造方法。 - 前記内部層は透明な層を含み、前記外部層は不透明な層を含む請求項3に記載の石英ルツボの製造方法。
- 前記外部層を形成する段階で、
1〜50%濃度のアルゴン(Ar)雰囲気下で1〜15atomic%の窒素を添加することを特徴とする請求項3に記載の石英ルツボの製造方法。 - 前記内部層を形成する段階で、
3〜15mmの厚さを有する内部層を形成することを特徴とする請求項3に記載の石英ルツボの製造方法。 - 前記内部層を形成する段階で、
30〜100ppmaのヒドロキシ基(OH-)を前記合成珪砂に流入させて、不純物濃度が100ppb以内の内部層を形成することを特徴とする請求項3に記載の石英ルツボの製造方法。
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