JP4614831B2 - 石英ガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 - Google Patents
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Description
(1)シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、ルツボ内表面に結晶化促進剤を含有する石英ガラス層(以下、結晶化促進剤含有層)が形成されており、該結晶化促進剤含有層の層厚が1mm〜2mmであり、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が10ppm以上〜100ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有することを特徴とする石英ガラスルツボ。
(2)石英ガラスルツボの結晶化促進剤含有層と、該含有層に接する石英ガラス層との境界領域において、結晶化促進剤含有層の境界領域における結晶化促進剤の濃度が5ppm以下である上記(1)に記載する石英ガラスルツボ。
(3)回転モールド法によって石英ガラスルツボを製造する際に、回転するモールドの内表面に結晶化促進剤を含有しない石英粉を所定の層厚に堆積し、次いで、その石英粉層の表面に結晶化促進剤を含有する石英粉を堆積し、このときに結晶化促進剤の濃度が徐々に高い石英粉を用いて、ルツボ内表面に向かって結晶化促進剤の濃度が連続的に高くなる濃度勾配を有する石英粉層を所定の層厚に形成し、これらの堆積した石英粉を一体に加熱溶融することによって、層厚1mm〜2mm、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が10ppm以上〜100ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有する結晶化促進剤含有層を有する石英ガラスルツボを製造することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
(4)上記(1)または(2)の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。
〔具体的な説明〕
本発明の石英ガラスルツボは、シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、ルツボ内表面に結晶化促進剤を含有する石英ガラス層(以下、結晶化促進剤含有層または単に含有層と云う)が形成されており、該結晶化促進剤含有層の層厚が1mm〜2mmであり、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が10ppm以上〜100ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有することを特徴とする石英ガラスルツボである。
〔製造方法〕
回転するモールドの内表面に結晶化促進剤を含有しない石英粉を17mmの層厚に堆積してルツボ外周側部分になる石英粉層を形成した。次いで、上記石英粉層の表面に結晶化促進剤(Li,Na,K,Mg,Ca,Ba)を含有する石英粉を1.0〜5.5mmの層厚に堆積して、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤含有層となる石英粉層を形成した。このとき、結晶化促進剤(Li,Na,K,Mg,Ca,Ba)の濃度が次第に高くなる石英粉を段階的に堆積し、これらの石英粉層を一体に加熱溶融してガラス化し、表1に示す濃度勾配を有する結晶化促進剤含有層を設けた石英ガラスルツボ(口径610mm、肉厚9.5mm)を形成した。
表1に示すNo.1〜No.12の石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行ったところ、何れも使用時の高温下において、ルツボ強度が大きく、結晶層が剥離せず、高い単結晶化率(81%〜90%)を達成した。この結果を表1に併せて示した。
結晶化促進剤含有層の層厚、結晶化促進剤の濃度、濃度勾配の有無が本発明と異なる比較例No.13〜No.20の石英ルツボを製造し、この石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行ったところ、内面結晶化促進剤の濃度が10ppm以下では、内面の結晶化が不十分となり、結晶化促進剤の濃度、結晶層の厚さが適正でない各石英ルツボは、何れも結晶層の剥離が生じ、単結晶化率は70%以下であった。
Claims (3)
- シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、ルツボ内表面に結晶化促進剤を含有する石英ガラス層(以下、結晶化促進剤含有層)が形成されており、該結晶化促進剤含有層の層厚が1mm〜2mmであり、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が10ppm以上〜100ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有し、該結晶化促進剤含有層と、該結晶化促進剤含有層に接する石英ガラス層との境界領域において、結晶化促進剤含有層の境界領域における結晶化促進剤の濃度が5ppm以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 回転モールド法によって石英ガラスルツボを製造する際に、回転するモールドの内表面に結晶化促進剤を含有しない石英粉を所定の層厚に堆積し、次いで、その石英粉層の表面に結晶化促進剤を含有する石英粉を堆積し、このときに結晶化促進剤の濃度が徐々に高い石英粉を用いて、ルツボ内表面に向かって結晶化促進剤の濃度が連続的に高くなる濃度勾配を有する石英粉層を所定の層厚に形成し、これらの堆積した石英粉を一体に加熱溶融することによって、層厚1mm〜2mm、ルツボ内表面部分の結晶化促進剤の濃度が10ppm以上〜100ppm以下であり、ルツボ内表面から深さ方向に沿って結晶化促進剤の濃度が次第に減少する連続的な濃度勾配を有する結晶化促進剤含有層を有し、該結晶化促進剤含有層と、該結晶化促進剤含有層に接する石英ガラス層との境界領域において、結晶化促進剤含有層の境界領域における結晶化促進剤の濃度が5ppm以下である石英ガラスルツボを製造することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
- 請求項1の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。
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