JP4233059B2 - シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図2に示す装置を用い、回転する型7内に純化処理した高純度の天然シリカ粉を投入し、遠心力により石英ガラスルツボ状成形体8に形成し、その内にアーク電極13を挿入し、開口部を板状の蓋体10で覆い、アーク電極13により内部キャビティ内を高温雰囲気とし、溶融ガラス化して不透明石英ガラス外層4を作成するとともに、シリカ粉供給手段9から天然シリカ粉を100g/minで供給し、不透明石英ガラス外層4の内表面に天然石英ガラスからなる透明層5を融合一体化した。次にシリカ粉供給手段14から合成シリカ粉を100g/minで供給し、シリコン単結晶引上げの使用後において、シリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボの内表面に沿って測定した長さMに対し初期湯面位置から0.5〜1.0Mの範囲の内側に、合成石英ガラスからなる透明層6を融合一体化し、外径が22インチの石英ガラスルツボを製造した。この石英ガラスルツボを用いてCZ法でシリコン単結晶の引上げを行った。シリコン単結晶の引上げ結果およびルツボ内表面におけるブラウンリングの個数の測定結果を表1に示す。
図2に示す装置を用い、回転する型7内に純化処理した高純度の天然シリカ粉を投入し、遠心力によりルツボ状成形体8に形成し、その内にアーク電極13を挿入し、開口部を板状の蓋体10で覆い、アーク電極13により内部キャビティ内を高温雰囲気とし、溶融ガラス化して不透明外層4を形成すると共に、シリカ粉供給手段14から合成シリカ粉を100g/minで供給し、不透明外層4の内表面全体に合成石英ガラスからなる透明層を融合一体化した。次にシリカ粉供給手段9から天然シリカ粉を100g/minで供給し、シリコン単結晶引上げの使用後において、シリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボの内表面に沿って測定した長さMに対し初期湯面位置から0.4Mの範囲の内側に天然石英ガラスからなる透明層を融合一体化し、外径が22インチの石英ガラスルツボを製造した。この石英ガラスルツボを用いてCZ法でシリコン単結晶の引上げを行った。シリコン単結晶の引上げ結果およびルツボ内表面におけるブラウンリングの個数の測定結果を表1に示す。
図2に示す装置を用い、回転する型7内に純化処理した高純度の天然シリカ粉を投入し、遠心力によりルツボ状成形体8に形成し、その内にアーク電極13を挿入し、開口部を板状の蓋体10で覆い、アーク電極13により内部キャビティ内を高温雰囲気とし、溶融ガラス化して不透明外層4を形成すると共に、シリカ粉供給手段14から合成シリカ粉を100g/minで供給し、不透明外層4の内表面全体に合成石英ガラスからなる透明層を融合一体化し、外径が22インチの石英ガラスルツボを製造した。さらに、前記ルツボの直胴部3上部であってシリコン融液の初期湯面位置から0.35Mの範囲を通常のHF洗浄に加え、50%のHFで30分間のエッチング処理を行った。この石英ガラスルツボを用いてCZ法でシリコン単結晶の引上げを行った。シリコン単結晶の引上げ結果およびルツボ内表面におけるブラウンリングの個数の測定結果を表1に示す。
図2に示す装置を用い、回転する型7内に純化処理した高純度の天然シリカ粉を投入し、遠心力によりルツボ状成形体8に形成し、その内にアーク電極13を挿入し、開口部を板状の蓋体10で覆い、アーク電極13により内部キャビティ内を高温雰囲気とし、溶融ガラス化して不透明外層4を形成すると共に、シリカ粉供給手段14から合成シリカ粉を100g/minで供給し、不透明外層4の内表面全体に合成石英ガラスからなる透明層を融合一体化し、外径が22インチの石英ガラスルツボを製造した。この石英ガラスルツボを用いてCZ法でシリコン単結晶の引上げを行った。シリコン単結晶の引上げ結果およびルツボ内表面におけるブラウンリングの個数の測定結果を表1に示す。
2:ルツボの底部
3:直胴部
4:天然石英ガラスからなる不透明な外層
5:天然石英ガラスからなる透明層
6:合成石英ガラスからなる透明層
7:回転する型
8:ルツボ状成形体
9、14:シリカ粉供給手段
10:板状の蓋体
11:流量規制バルブ
12:電源
13:アーク電極
15:高温雰囲気
17:ルツボ内表面
18:ブラウンリング
19:結晶化組織
20:ガラス溶出面
Claims (7)
- 天然石英ガラスからなる不透明な外層と、その内側に形成した結晶化剤を含まない透明層を有するCZ法によるシリコン単結晶引上げで使用する石英ガラスルツボにおいて、シリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボの内表面に沿って測定した長さMに対し初期湯面位置から0.3Mの範囲の内表面を天然石英ガラスまたは天然合成混合石英ガラスからなる透明層で形成し、かつシリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボの内表面に沿って測定した長さMに対し前記天然石英ガラスまたは天然合成混合石英ガラスからなる透明層で観測されるブラウンリングの単位面積(cm2)当りの個数が、単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲の合成石英ガラスからなる透明層で観測されるブラウンリングの個数の1.8倍以上であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 初期湯面位置から0.3Mの範囲の天然石英ガラスまたは天然合成混合石英ガラスからなる透明層で観測されるブラウンリングの単位面積(cm2)当りの個数が、単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲の合成石英ガラスからなる透明層で観測されるブラウンリングの個数の2.5倍以上であることを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 天然石英ガラスからなる不透明な外層と、その内側に形成した結晶化剤を含まない透明層を有するCZ法によるシリコン単結晶引上げで使用する石英ガラスルツボにおいて、石英ガラスルツボの内層全体が合成石英ガラスからなる透明層で形成され、シリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボの内表面に沿って測定した長さMに対し初期湯面位置から0.3Mの範囲がエッチング処理又はサンドブラスト加工処理され、その範囲のシリコン単結晶引上げの使用後において観測されるブラウンリングの単位面積(cm2)当りの個数が、前記エッチング処理又はサンドブラスト加工処理されない透明層の単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲で観測されるブラウンリングの個数の1.8倍以上であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 初期湯面位置から0.3Mの範囲の透明層で観測されるブラウンリングの単位面積(cm2)当りの個数が、単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲の透明層で観測されるブラウンリングの個数の2.5倍以上であることを特徴とする請求項3記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲の透明層で観測されるブラウンリングの個数が0.02〜0.9個/cm2であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 初期湯面位置から0.3Mの範囲の透明層で観測されるブラウンリングの単位面積(cm2)当りの個数が2.0〜5.0個/cm2であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
- 請求項1又は2記載のCZ法によるシリコン単結晶引上げで使用する石英ガラスルツボの製造において、回転する型に装着した石英ガラスルツボ基体の内部キャビティを高温雰囲気にし、部分的に溶融して不透明な外層を形成した後もしくは成形中に、外層の高温雰囲気内に天然シリカ粉または天然合成混合シリカ粉を供給し、溶融ガラス化して天然石英ガラスまたは天然合成混合石英ガラスからなる透明層を初期湯面位置から0.3Mの範囲に形成し、続いて合成シリカ粉を供給し溶融ガラス化して単結晶引上げ後の残湯位置上0.3Mまでの範囲の内表面に合成石英ガラスからなる透明層を形成することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。
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