JP2005279624A - カーボンナノチューブの製造用触媒、製造方法及び製造装置 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 154
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 134
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 38
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 33
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 35
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 10
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 42
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 10
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 9
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000349 field-emission scanning electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- -1 linear Chemical compound 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】本発明に係るカーボンナノナノチューブ製造用触媒は、Fe元素とAl元素を含有し、又はCo元素とTi元素を含有する点に特徴を有する。この組み合わせ触媒は本発明者等によって初めて発見されたものであり、この組み合わせ触媒により初めてカーボンナノチューブを550℃以下で低温合成することに成功した。触媒基板がガラス基板2の場合には、基板温度は550℃以下に調整され、ガラス基板が軟化することは無い。従って、この方法によって製造されたカーボンナノチューブが成長したガラス基板は、そのままFED用の電子源として利用することができる。
【選択図】 図1
Description
Amelinckx,X.B.Zhang,D.Bernaerts,X.F.Zhang,V.Ivanov and J.B.Nagy,SCIENCE,265(1994)635 Supapan Seraphin and Dan Zhou,Applied Physics Letters,Vol.64(1994)pp.2087−2089
4 マスク
5 開放面
6 触媒体
8 触媒
8a 第1触媒
8b 第2触媒
10 ガス輸送管
12 炭化ヒータ
14 炭化室
20 ガス輸送管
22 予熱ヒータ
22a 第1予熱ヒータ
22b 第2予熱ヒータ
26 反応ヒータ
30 バルブ
32 排気管
34 オイル
h 第1触媒厚
H 第2触媒厚
Claims (10)
- Fe元素とAl元素を含有することを特徴とするカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- Co元素とTi元素を含有することを特徴とするカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- 前記各元素の純金属膜が積層された請求項1又は2に記載のカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- 前記元素が合金として含有される請求項1又は2に記載のカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- 前記各元素が金属化合物として含有される請求項1又は2に記載のカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- 前記触媒を炭化した請求項1〜5のいずれかに記載のカーボンナノナノチューブ製造用触媒。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のカーボンナノチューブ製造用触媒を炉壁温度で550℃以下に加熱された反応室に配置し、この反応室に予熱された原料ガスを供給して、前記触媒にカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記原料ガスの予熱温度が100℃以上のガス温度に設定される請求項7に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 成長したカーボンナノチューブを酸化雰囲気で加熱してカーボンナノチューブの純度を向上させる請求項7又は8に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のカーボンナノチューブ製造用触媒が配置された反応室と、反応室の前段に設けられた予熱室と、予熱室を加熱する予熱用ヒータと、反応室を炉壁温度で550℃以下に加熱する反応用ヒータと、原料ガスを予熱室で予熱した後に反応室に供給してカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004127395A JP2005279624A (ja) | 2004-03-27 | 2004-03-27 | カーボンナノチューブの製造用触媒、製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004127395A JP2005279624A (ja) | 2004-03-27 | 2004-03-27 | カーボンナノチューブの製造用触媒、製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005279624A true JP2005279624A (ja) | 2005-10-13 |
JP2005279624A5 JP2005279624A5 (ja) | 2007-06-14 |
Family
ID=35178569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004127395A Pending JP2005279624A (ja) | 2004-03-27 | 2004-03-27 | カーボンナノチューブの製造用触媒、製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005279624A (ja) |
Cited By (9)
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-
2004
- 2004-03-27 JP JP2004127395A patent/JP2005279624A/ja active Pending
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US10087079B2 (en) | 2009-07-31 | 2018-10-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods related to the formation of carbon-based nanostructures |
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