JP2005209891A - ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該ポッドクランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポッド56をクランプするユニット1として、その先端部においてポッド56の被クランプ部33を挟持可能であるクランプアーム3b、4bと、クランプアーム3b、4bの挟持及び開放の動作を行わせるクランプ部材駆動機構8と、クランプ部材駆動機構8と共にクランプアーム3b、4b各々を載置台表面に対して上下動させる昇降機構7とを有する構成とする。その際、クランプアームの内の少なくとも一つ3bにおける先端の下方端部に上下方向に対して所定の角度を有した傾斜面3cを形成する。
【選択図】図1
Description
3 第一のクランプ部材
4 第二のクランプ部材
7 昇降シリンダ
8 エアチャック機構
31 係合凹部
33 被クランプ部
34 連結部
52 開口
53 ドア
54 蓋
55 微小空間
56 ポッド本体
57 ウエハ
59 テーブル
60 壁
62 載置台
64 移載ロボット
65 エアシリンダ
72 当接部材
73 支持部材
74 矩形穴
90 FIMSシステム
Claims (9)
- 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、
前記ポッドの下面と略平行な方向に延在し、その先端部において部材を挟持可能であるクランプアームを各々有する一組のクランプ部材と、
前記一組のクランプ部材と連結されて、前記クランプアームの挟持及び開放の動作を行わせるクランプ部材駆動機構と、
前記クランプ部材駆動機構と共に前記一組のクランプ部材を駆動し、前記クランプアーム各々を前記載置台表面に対して上下動させる昇降機構とを有し、
前記クランプアームの内の少なくとも一つにおける前記ポッドと対向する面と反対の面には、上下方向に対して所定の角度を有したクランプ傾斜部が形成されていることを特徴とするポッドクランプユニット。 - 前記クランプアームの先端部に前記傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 前記クランプアームは、各々の先端部が対向して配置されることを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 前記クランプ部材駆動機構は加圧された空気によって作動することを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 請求項1記載のポッドクランプユニットと、前記ポッドの底面に設けられた係合凹部とからなるポッドクランプ機構であって、
前記係合凹部は、前記ポッド底面から前記ポッドの内部方向に形成された、前記クランプアームのうち少なくとも一つを所定深さに収容可能な内部深さを有する係合穴と、前記係合穴の開口部分においてその開口を狭めるように前記係合穴の中心に向かって張り出して前記開口の大きさを前記挟持する部分が進入可能な広さに規定する被クランプ部とを有し、
前記被クランプ部は前記係合凹部の一側壁に含まれて前記クランプアーム各々に挟持され、
前記クランプアーム各々がその向かい合う方向に駆動することで前記クランプ傾斜部を有するクランプアームと係合可能となる、前記係合凹部の前記一側壁に設けられた前記クランプ傾斜部と当接可能な被クランプ傾斜面を更に有することを特徴とするポッドクランプ機構。 - 前記被クランプ傾斜面は前記係合凹部の内部に向かって形成されていることを特徴とする請求項5記載のポッドクランプ機構。
- 前記載置台表面には、前記クランプアーム各々が通過可能な孔を有し、前記クランプ部材駆動機構は前記載置台の裏面に存在することを特徴とする請求項5記載のポッドクランプ機構。
- 請求項1記載のポッドクランプユニットによって前記載置台に対して固定されるポッドあって、
前記ポッド底面から前記ポッドの内部方向に形成された、前記クランプアームのうち少なくとも一つを所定深さに収容可能な内部深さを有する係合穴と、前記係合穴の開口部分において開口を狭めるように前記係合穴の中心に向かって張り出して前記開口を前記挟持する部分が進入可能な広さに規定する共に前記クランプアーム各々によって挟持される被クランプ部とからなる係合凹部を有し、
前記被クランプ部は、前記クランプアーム各々がその向かい合う方向に駆動することで前記傾斜面を有するクランプアームと係合可能となる、前記係合凹部の一側壁に設けられた前記傾斜面と当接可能な被クランプ傾斜面を更に有することを特徴とするポッド。 - 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
前記載置台の表面上の所定位置に前記ポッドを載置する工程と、
前記載置台表面から前記ポッド底面に設けられた係合凹部に、前記載置台の表面より下方に配置された複数のクランプアームを前記載置台表面に突出させる工程と、
前記複数のクランプアームを駆動して前記係合凹部の一側面に設けられた被クランプ部を挟持する工程とを有し、
前記被クランプ部を挟持する工程において、前記被クランプ部が有する前記載置台表面に対して所定の角度を有して立ち上がる被クランプ傾斜面と、前記複数のクランプアームの内の少なくとも一つのクランプアームが有する前記所定の角度を有して立ち下がる傾斜面とが当接することを特徴とするポッドクランプ方法。
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