JP5565389B2 - ロードポート装置及び当該装置に用いられるクランプ装置 - Google Patents
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Claims (9)
- 一側面に開口を有するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有して内部に被収容物を収容可能なポッド、を載置台上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部の被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドの底面に対して所定の角度傾斜する軸の周りで退避姿勢とクランプ姿勢との間を回動可能であると共に前記軸に沿って移動可能であって、前記クランプ姿勢で前記ポッドの被クランプ部と当接可能なクランプ部と、前記クランプ部の回動及び軸方向移動を行う駆動部と、前記クランプ部の前記回動の終了後に前記回動の回転軸に沿って前記クランプ部を引き込むクランプシリンダと、を有するクランプ部材と、
前記クランプ姿勢から前記退避姿勢までの回動動作により前記クランプ部が収容され、前記クランプ部を前記ポッドの底面より下方に位置させる収容凹部と、を有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記被クランプ部は前記ポッドの底面に設けられて前記底面に開口する凹部であって前記凹部の奥から開口に向かうに従って前記開口の大きさを狭める被クランプ面を有し、
前記クランプ部は前記軸に沿った移動により前記被クランプ面と当接して前記ポッドの前記載置台への固定を行うことを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記クランプ部材は、前記収容凹部の間の中点について点対称となる配置となる位置に複数配置されることを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。
- 点対称に配置される前記複数のクランプ部材の一方は、前記軸を含み且つ前記底面に垂直な平面で前記収容凹部を切断した断面において対向して位置する被クランプ面の何れか一方と当接し、前記被クランプ部材の他方は前記被クランプ面の他方と当接することを特徴とする請求項3に記載のロードポート装置。
- 一側面に開口を有するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有して内部に被収容物を収容可能なポッド、を載置台上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部の被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドの底面に対して所定の角度傾斜する軸の周りで退避姿勢とクランプ姿勢との間を前記軸に沿った引き込み動作と共に回動可能であって、前記クランプ姿勢での前記ポッドの被クランプ部との当接が可能なクランプ部を有するクランプ部材と、
前記退避位置にある前記クランプ部材を前記ポッドの下方に収容する収容凹部と、を有し、
前記クランプ部材は前記退避姿勢からの前記引き込み動作と共に回転により前記収容凹部から前記載置台の上に突き出し、
前記クランプ部材は前記クランプ部の前記回動の終了後に前記回動の回転軸に沿って前記クランプ部を引き込むクランプシリンダを有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記被クランプ部は前記ポッドの底面に設けられて前記底面に開口する凹部であって前記凹部の奥から開口に向かうに従って前記開口の大きさを狭める被クランプ面を有し、
前記クランプ部は前記被クランプ面に対応する形状を有することを特徴とする請求項5に記載のロードポート装置。 - 一側面に開口を有するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有して内部に被収容物を収容可能なポッド、を載置台上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部の被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドの底面に対して所定の角度傾斜する軸の周りで退避姿勢とクランプ姿勢との間を前記軸に沿った引き込み動作と共に回動可能であって前記クランプ姿勢での前記ポッドの被クランプ部との当接が可能なクランプ部を各々有する複数のクランプ部材と、
前記退避位置にある個々の前記クランプ部材を前記ポッドの下方に各々収容する複数の収容凹部と、を有し、
前記クランプ部材の各々は、前記収容凹部の間の中点について点対称となる位置に配置され、
前記クランプ部材は前記クランプ部の前記回動の終了後に前記回動の回転軸に沿って前記クランプ部を引き込むクランプシリンダを有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記クランプ部材は、前記軸を含み且つ前記底面に垂直な平面で前記収容凹部を切断した断面において対向して位置する複数の前記クランプ部材の一方に対応する第一の被クランプ部における被クランプ面の何れか一方と当接する第一のクランプ部材と、前記第一の被クランプ部とは異なる第二の被クランプ部において前記第一の被クランプ部における被クランプ面と対応する前記第二の被クランプ部の被クランプ面とは異なる他の被クランプ面と当接する第二のクランプ部材と、を有することを特徴とする請求項7に記載のロードポート装置。
- 一側面に開口を有するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有して内部に被収容物を収容可能なポッド、を載置台上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部の被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドの底面に対して所定の角度傾斜する軸の周りで退避姿勢とクランプ姿勢との間を前記軸に沿った引き込み動作と共に回動可能であって前記クランプ姿勢での前記ポッドの被クランプ部との当接が可能なクランプ部を各々有する複数のクランプ部材と、
前記退避位置にある個々の前記クランプ部材を前記ポッドの下方に各々収容する複数の収容凹部と、を有し、
前記収容凹部とクランプ部材の各々は、平行移動された位置に各々配置され、
前記クランプ部材は前記クランプ部の前記回動の終了後に前記回動の回転軸に沿って前記クランプ部を引き込むクランプシリンダを有することを特徴とするロードポート装置。
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