JP3943087B2 - ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該クランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法 - Google Patents
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- 内部にウエハを収容可能であって、係合凹部を有するポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、
複数の回転軸棒を有し、前記載置台に対して上下方向に可動なクランプ部材開閉シリンダと、
一対のクランプ部材であって、該一対のクランプ部材のそれぞれは、一端にクランプを有し、前記クランプ部材開閉シリンダに対して該複数の回転軸棒のうちの一の回転軸棒に回動可能に支持され、その延在面に対して直交する方向に配置されたスライドピンを有する該一対のクランプ部材と、
長穴を有し、該クランプ部材開閉シリンダに対して上下方向に可動なリンクとを備え、
該リンクには、前記一対のクランプ部材のそれぞれのスライドピンが該長穴の長手方向に沿って摺動可能なように挿嵌されていて、
前記リンクを該クランプ部材開閉シリンダに対して上方に移動させることにより、前記スライドピンが該長穴の長手方向に沿って摺動し、該一対のクランプ部材は支持されているそれぞれの回転軸棒周りに回転して該クランプが該係合凹部と係合して該ポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニット。 - 請求項1に記載のポッドクランプユニットであって、
該一対のクランプ部材は支持されているそれぞれの回転軸棒周りに回転して前記クランプ部材が所定のクランプ姿勢となった状態にあるときに、前記クランプ部材開閉シリンダが所定量降下することを特徴とするポッドクランプユニット。 - 請求項1または2に記載のポッドクランプユニットであって、
前記クランプ部材開閉シリンダは、その下方に配置されたクランプ部材昇降シリンダに設けられた内部空間に保持される昇降ピストンによって支持されることを特徴とするポッドクランプユニット。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットであって、
前記クランプ部材は、屈曲した形状であることを特徴とするポッドクランプユニット。 - 内部にウエハを収容可能であって、係合凹部を有するポッドを載置台に対して固定するポッドクランプ機構であって、
該係合凹部と、
請求項1から4のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットとを備えることを特徴とするポッドクランプ機構。 - 前記載置台の表面には、該一対のクランプ部材は、該一対のクランプ部材が回動している際に、該一対のクランプ部材のそれぞれのクランプが侵入可能な大きさの穴を備えることを特徴とする請求項5に記載のポッドクランプ機構。
- 内部にウエハを収容可能であって係合凹部を有するポッドをポッドクランプユニットにより、載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
該ポッドクランプユニットは、
複数の回転軸棒を有し、前記載置台に対して上下方向に可動なクランプ部材開閉シリンダと、
一対のクランプ部材であって、該一対のクランプ部材のそれぞれは、一端にクランプを有し、前記クランプ部材開閉シリンダに対して該複数の回転軸棒のうちの一の回転軸棒に回動可能に支持され、その延在面に対して直交する方向に配置されたスライドピンを有する該一対のクランプ部材と、
長穴を有し、該クランプ部材開閉シリンダに対して上下方向に可動なリンクとを備え、
該リンクには、前記一対のクランプ部材のそれぞれのスライドピンが該長穴の長手方向に沿って摺動可能なように挿嵌されていて、
該ポッドクランプ方法は、
前記リンクを該クランプ部材開閉シリンダに対して上方に移動させることにより、前記スライドピンが該長穴の長手方向に沿って摺動させ、該一対のクランプ部材が支持されているそれぞれの回転軸棒周りに回転させて該クランプを該係合凹部と係合させて該ポッドを載置台に対して固定する工程を備える該ポッドクランプ方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004016718A JP3943087B2 (ja) | 2004-01-26 | 2004-01-26 | ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該クランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法 |
US10/969,077 US7621714B2 (en) | 2003-10-23 | 2004-10-21 | Pod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit |
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Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP3943087B2 (ja) |
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JP5211808B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-06-12 | 株式会社安川電機 | ロードポートおよびそれを備えた半導体製造装置 |
JP5565389B2 (ja) | 2011-07-29 | 2014-08-06 | Tdk株式会社 | ロードポート装置及び当該装置に用いられるクランプ装置 |
CN114551311A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-05-27 | 上海广川科技有限公司 | 晶圆传输***的上料装置 |
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JP2005209986A (ja) | 2005-08-04 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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