JP3917139B2 - ポッドオープナのポッドクランプユニット及びクランプ方法 - Google Patents
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- 内部にウエハが収容可能であって、係合凹部を有するポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、該ポッドクランプユニットは、
前記載置台に対して上下方向に可動な昇降ピストンと、
前記昇降ピストンの上端部に固定され、内部に空間を有するクランプピンシリンダと、
該空間の内部に収容され、前記上下方向に対して直交する方向に突出可能なクランプ部材とを有し、
前記クランプ部材は、該空間に圧力媒体を導入することによって、前記上下方向に対して直交する方向に移動して突出し、該係合凹部と係合することを特徴とするポッドクランプユニット。 - 請求項1記載のポッドクランプユニットであって、
前記クランプ部材は、該空間から圧力媒体を排出することによって、該空間に圧力媒体を導入した際に移動した方向と逆に移動して該空間内に収まり、該係合凹部と係合が解除されることを特徴とするポッドクランプユニット。 - 請求項1または2のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットであって、該係合凹部は、
前記クランプピンシリンダを所定深さに収容可能な上下方向の深さと前記クランプ部材が突出した状態での前記クランプピンシリンダを収用可能な該上下方向に対して直交する方向の広さを有する係合穴と、
前記係合穴の開口において、該上下方向に対して直交する方向に張り出した被クランプ部分であって、該クランプ部材が突出している状態では前記クランプピンシリンダが該開口に進入不可能であって、前記クランプ部材が該空間内に収まった状態では前記クランプピンシリンダの進入が可能な大きさに該開口を狭めるような被クランプ部分とを有することを特徴とするポッドクランプユニット。 - 内部にウエハが収容可能なポッドを載置台に対して固定するポッドクランプ機構であって、
該ポッドの底面に設けられた係合凹部と、
請求項1から3のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットとを備えることを特徴とする該ポッドクランプ機構。 - 請求項4に記載のポッドクランプ機構であって、
前記載置台には前記クランプピンシリンダが通過可能な孔が形成されていることを特徴とするポッドクランプ機構。 - 内部にウエハが収容可能であって、係合凹部を有するポッドを、ポッドクランプユニットによって、載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
該ポッドクランプユニットは、
該載置台に対して上下方向に可動な昇降ピストンと、
前記昇降ピストンの上端部に固定され、内部に空間を有するクランプピンシリンダと、
該空間の内部に収容され、前記上下方向に対して直交する方向に可動なクランプ部材とを有し、
該ポッドクランプ方法は、
前記載置台の所定位置に前記ポッドを載置する工程と、
該係合凹部の内部に該クランプピンシリンダを進入させる工程と、
該空間に圧力媒体を導入し、前記クランプ部材を前記上下方向に対して直交する方向に突出するように移動させ、前記クランプ部材を該係合凹部と係合させる工程とを備えることを特徴とするポッドクランプ方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004016719A JP3917139B2 (ja) | 2004-01-26 | 2004-01-26 | ポッドオープナのポッドクランプユニット及びクランプ方法 |
US10/969,077 US7621714B2 (en) | 2003-10-23 | 2004-10-21 | Pod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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