JP2011187615A - 処理基板収納ポッド及び処理基板収納ポッドの蓋開閉システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。
【選択図】 図1A
Description
ラッチ機構5のローラー部5bは、開口2aへの蓋3の挿嵌にしたがって該第二溝3c2内に進入すると、その後、ラッチ機構5を移動させることにより、ラッチ機構5の移動とともに、第一溝3c1内を、第一溝3c1における内部空間側の内側壁3c3に接しながら移動する。
なお、ラッチ機構5の移動方向は、たとえば、開口2aの形成面に対して平行でもよい。または、蓋3が開口2aに完全に挿嵌された状態における内部空間側の蓋3の面、すなわち開口2aの形成面に対して角度をもっていてもよい。たとえば、フランジ部2cの外周面に沿って、開口2aの形成面に平行な面をフランジ2cの外壁に形成し、ラッチ機構5をそれに沿って移動させれば、開口2aの形成面に対して平行に移動する。この場合、鉛直方向でもよいし、水平方向でもよい。
フランジ部2cの外周面に沿って、開口2aの形成面に対して角度をもった面をフランジ2cの外壁に持たせ、ラッチ機構5をそれに沿って移動させれば、開口2aの形成面に対して角度をもった方向に移動させることができる。ラッチ機構5が、開口2aの形成面に対して角度を持って、斜めに移動することにより、ラッチ機構の移動ストロークを大きくとるができる。ラッチ機構5の移動により蓋3を締め付ける際に、ラッチ機構5による締付力の変化率を小さくすることができ、繊細な締付けが可能となる。
ここで、第一溝3c1の内側壁3c3の面の延在方向と、ラッチ機構5の移動方向とは交差する。そして、内側壁3c3の面の延在方向と、ラッチ機構5の移動方向とは、第二溝3c2において第一溝3c1と連通する側に向かって狭まるように、角度をもって交差している。
ラッチ機構5が、内側壁3c3の面の延在方向とラッチ機構5の移動方向との交差が狭まる方向と反対方向(広がる方向)に移動すると、ローラー部5bと、ラッチ機構5の第一の対向面5dとの距離は一定であるから、内側壁3c3の面とラッチ機構5の第一の対向面5dとの距離の増加による楔効果で、ラッチ機構5の移動にともなって係合部たるローラー部5bが内側壁3c3をラッチ機構5の方向に引き付けようとする。内側壁3c3がラッチ機構5の方向に引き付けられることによって、蓋3は座部に押し付けられて強固に固定される。一方、ラッチ機構5が第一溝3c1の内側壁3c3に沿って第二溝3c2まで、内側壁3c3の面の延在方向とラッチ機構5の移動方向との交差が狭まる方向に移動した際には、蓋3の固定を徐々に解放する。
本実施の形態においては、図6Aおよび図6Bに示すように、閉塞端部3c4から所定距離hの位置では、内側壁3c3の傾斜の向きを変えている。すなわち、本発明における所定の位置hとは、内側壁3c3の面の延在方向とラッチ機構5の移動方向との交差の角度を小さくするように内側壁3c3の傾斜の向きを変える意義を有している。すなわち、当初、内側壁3c3の面の延在方向とラッチ機構5の移動方向との交差が広がる方向に向かってラッチ機構5が移動すると、内側壁3c3の面とラッチ機構5の第一の対向面5dとの距離がある増分で増加する。さらに、ラッチ機構5を移動させて、閉塞端部3c4から所定距離hの位置に差し掛かると、内側壁3c3の面の延在方向とラッチ機構5の移動方向との交差の角度が変化するため、内側壁3c3の面とラッチ機構5の第一の対向面4dとの距離の増分が減少する。したがって、前記のとおり、図7Aのステップ3および図7Bのステップ4のように、閉塞端部3c4から所定距離hの位置を、適切な圧力で蓋3をポッド本体2の収容空間における開口2aの段差に押し付けられるように設定する。
なお、ラッチ機構5において、ローラー部5bがラッチ本体部5aに近づく方向の力を付与させる際に、図9Bで示すように、アーム部5cをラッチ本体部5aに対して回動可動に枢軸5hにより固定して、図9Bにおける矢印で示すように、ローラー部5bがラッチ本体部5aに回転して近づくような力を付与してもよい。たとえば、枢軸5hを囲むように弾性部材(たとえば、スプリング)を取り付け、一端をアーム部5cに、他端をラッチ本体部5aに取り付けて付勢力を与えることが考えられる。この場合の付勢力は、被係合凹部3cにおける第二溝3c2に対して、第一溝3c1が延在する方向の力がアーム部5cにかかるような回転力である。たとえば、図9Bを参照すると、ラッチ機構5が下向きに移動することによって蓋3をポッド本体2に固定するとすれば、被係合凹部3cにおける第二溝3c2に対して、下向きに第一溝3c1が刻設されるから、ラッチ機構5が移動する方向の力がアーム部5cに付加されるような回転力を付加することになる。これは、また、第一の溝3c1の内側壁をラッチ機構5に近づける方向に、枢軸5h周りに付勢されていることである。すなわち、この場合、図9Bに示すように、アーム部5cに下向きの力が付加されるような回転力を生じさせる付勢力ということになる。
このような構成とすることにより、ラッチ機構5の被係合凹部3c内での移動によって、図9Cから図9Eのように、蓋3が固定される。図9Cから図9Eは、図9Bに示したラッチ機構を用いた場合のラッチ機構の移動とアーム部の動きを示した概略図である。図9Cに示すように、まず蓋3を開口2aに挿入すると、第二溝3c2にローラー部5bが挿入される。アーム部5cは、ローラー部5bが第二溝3c2を進行するにしたがって、自然に開く。ラッチ機構5がさらに移動すると、ローラー部5bは、アーム部5cにかかる付勢力にしたがって、第二溝3c2から第一溝3c1に向かって、自然に方向を変える。そして、ラッチ機構5が移動を終了すると、第一溝3c1の閉塞端部3c4において、付勢力によりローラー部5bが停止保持され、蓋3が開口2aの座部に強固に押し付けられる。閉塞端部3c4において、第一溝3c1の向きをアーム部5cにかかる付勢力の方向に変えるように第一溝3c1の閉塞端部3c4を設定しても良い。
なお、既に説明したとおり、図10に示すように、ラッチ機構5の移動方向を、開口2aの形成面に対して角度をもたせることも可能である。図10は、図9Bに示したラッチ機構を用いた場合における処理基板収納容器を示す斜視図である。すなわち、開口2aの形成面に対して角度を持つような面をフランジ部2cの外周面に沿って構成し、ラッチ機構5をそれに沿って移動させる。ラッチ機構駆動ユニット131を使用して、ラッチ機構5を鉛直方向に移動させる構成と同様の装置で、ラッチ機構5は開口2aの形成面に対して角度をもった方向に移動させることができる。ラッチ機構5のアーム部5cおよびローラー部5bと被係合凹部3cにおける位置関係は、図9Cから図9Eを参照して説明したとおりである。ラッチ機構5が、開口2aの形成面に対して角度を持って、斜めに移動することにより、ラッチ機構の移動ストロークを大きくとるができる。ラッチ機構5の移動により蓋3を締め付ける際に、ラッチ機構5による締付力の変化率を小さくすることができ、繊細な締付けが可能となる。ここでラッチ駆動機構ユニット131をそのロッドの移動方向がラッチ機構5の移動軸と同軸もしくは平行になるように開口2aの形成面に対して傾けて配置してもよい。
Claims (11)
- 周囲に座部を具備する開口を有する、処理基板を収納するための内部空間を有する本体容器と、
該開口に挿嵌され、裏面が該座部に押し付けられて該開口を密閉可能な蓋とを備える処理基板収納ポッドであって、
該本体容器は、該本体容器に対して移動可能に取り付けられるラッチ機構であって、該ラッチ機構は、前記ラッチ機構の移動方向と異なる方向に突出するアーム部と、前記アーム部の先端に取り付けられる係合部とを有するラッチ機構を備え、
該蓋は、該蓋の側面上に刻設され第一溝と、一端は該第一溝と連通し、他端は該蓋が該開口に完全に挿嵌された状態において該内部空間側の蓋の面と連通するように刻設される第二溝とを有する被係合部を備え、
前記ラッチ機構の係合部は、該開口への該蓋の挿嵌にしたがって該第二溝内に進入し、該ラッチ機構の移動とともに第一溝内を、該第一溝における該内部空間側の内側壁面に接しながら移動し、
前記第一溝の内側壁面の延在方向と、前記ラッチ機構の移動方向とは、第二溝において該第一溝と連通する側に向かって狭まるように交差しており、
該ラッチ機構が該交差の狭まる方向と反対方向に移動した際には、該蓋を該座部に押し付けて強固に固定し、該ラッチ機構が前記第一溝の内側壁面に沿って第二溝まで該交差の狭まる方向に移動した際に、該蓋を該開口から解放することを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1に記載の処理基板収納ポッドであって、前記ラッチ機構の移動は、該蓋部材が該開口に完全に挿嵌された状態の該内部空間側の蓋の面に対して角度を持った方向への移動であることを特徴とする処理基板収納ポッド。
- 請求項1または2に記載の処理基板収納ポッドであって、
該ラッチ機構の移動は、開口の形成面に対して角度をもった移動であることを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
該アーム部は該ラッチ機構の本体部に取り付けられ、
該アーム部には、該係合部が前記ラッチ機構の本体部に近づく方向の付勢力を付与する弾性部材が付与されていることを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
該ラッチ機構は、該ラッチ機構に対して枢軸周りに回動可能に取り付けられるアームを備え、
該係合部材は、該アームに取り付けられていて、
該アームは、該係合部材が該第一溝に進入した後に、前記第一の溝の内側壁面を該ラッチ機構に近づける方向に、該枢軸周りに付勢されていることを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
該第二溝における前記該第一溝と連通する箇所から所定距離離れた位置より、該第二溝における前記該第一溝と連通する箇所から遠ざかるにしたがって、前記内側壁面と該裏面との距離が接近するように該第二溝が刻設されていることを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
前記係合部は、前記内側壁面に当接して転動可能な円板状のローラーを有することを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
前記ラッチ機構は、前記係合部を前記被係合部と係合する位置に停止保持する付勢力を前記係合部に付与する付勢手段を更に有することを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドであって、
該本体容器は、前記ラッチ機構を移動可能に支持するスライドレールを有することを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 蓋と本体容器とからなる処理基板収納ポッドの該蓋を開閉して該本体容器内部に収納される被収容物の収納および取り出しを可能とする蓋開閉システムであって、
請求項1から5のいずれか一項に記載の処理基板収納ポッドと、
開口部を有する微小空間と、
前記開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能なドアと、
前記処理基板収納ポッドが前記ドアによる前記蓋の開閉が行われる位置に位置した際に前記ラッチ機構を操作可能であって、前記開口部の周囲に配置されるラッチ機構駆動手段と、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 請求項10に記載の蓋開閉システムであって、
前記ラッチ機構駆動手段は、前記ラッチ機構を押圧するロッドと、該ロッドを該本体容器に対して移動させるように伸縮可能に支持するアクチュエータとを有することを特徴とする蓋開閉システム。
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