JP2005002407A - めっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】めっき治具内部の障害箇所の特定が容易なめっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法を提供する。
【解決手段】めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査において、離隔部150−1、150−2は、通電板240と各通電体250とを離隔させる。通電検査部130は、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロックと、給電ブロック用プローブ114−2が接触しているめっき治具の給電ブロックとの間の電気抵抗を測定し、測定した電気抵抗が所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が良好であると判断し、所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。
【選択図】 図2
【解決手段】めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査において、離隔部150−1、150−2は、通電板240と各通電体250とを離隔させる。通電検査部130は、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロックと、給電ブロック用プローブ114−2が接触しているめっき治具の給電ブロックとの間の電気抵抗を測定し、測定した電気抵抗が所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が良好であると判断し、所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ等の被処理体のめっき処理に用いられるめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェハ等の被処理体にめっき処理が施される場合、専用のめっき治具が用いられることが多い。このめっき治具を用いためっき処理においては、被処理体に形成された導電層(以下、適宜「被処理体導電層」と称する)とめっき治具の電極とを接続し、被処理体をめっき液中に投入して通電させる。これにより、被処理体導電層の上面にめっき層が形成される。
【0003】
めっき処理においては、被処理体に対する給電不良が生じると、めっき層が形成されなかったり、形成されたとしてもその厚さが不均一になるといっためっき不良が生じる。このようなめっき不良を防止するため、従来、めっき処理に先立って、被処理体導電層とめっき治具とが接続され、当該被処理体導電層が通電されているか否かを確認する方法が採用されている(例えば特許文献1及び2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−181600号公報(第2−3頁、図1)
【0005】
【特許文献2】
特開2001−316891号公報(第6頁、図8)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の被処理体導電層の通電確認方法では、被処理体導電層が通電されているか否かを確認することはできるものの、めっき治具内部に断線等の障害が発生したことにより被処理体導電層が通電されなかった場合、その障害箇所を特定することが困難であった。
【0007】
本発明は、上記の問題を解決するものであり、めっき治具内部の障害箇所の特定が容易なめっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は請求項1に記載されるように、給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査装置において、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査する第1の通電検査手段と、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査する第2の通電検査手段と、前記通電体間の通電を検査する第3の通電検査手段とを備える。
【0009】
また、本発明は請求項2に記載されるように、請求項1に記載のめっき治具通電検査装置において、前記第1の通電検査手段は、前記給電部と前記通電板との間の電気抵抗を測定し、前記第2の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体との間の電気抵抗を測定し、前記第3の通電検査手段は、前記通電体間の電気抵抗を測定する。
【0010】
また、本発明は請求項3に記載されるように、請求項1又は2に記載のめっき治具通電検査装置において、前記第1の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、前記第2の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを接続させた状態で、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、前記第3の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記通電体間の通電を検査する。
【0011】
また、本発明は請求項4に記載されるように、請求項3に記載のめっき治具通電検査装置において、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させる離隔手段を備える。
【0012】
また、本発明は請求項5に記載されるように、請求項1乃至4の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記第3の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体のそれぞれとの間の通電を検査する。
【0013】
また、本発明は請求項6に記載されるように、請求項1乃至5の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記第3の通電検査手段は、前記導電層の上面において対向する位置に配置された2つの通電体間の通電を検査する。
【0014】
また、本発明は請求項7に記載されるように、請求項1乃至6の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記給電部に対応し、該給電部に接触する測定子と、前記複数の通電体のそれぞれに対応し、該通電体のそれぞれに接触する複数の測定子とを備える。
【0015】
また、本発明は請求項8に記載されるように、給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査方法において、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、前記通電体間の通電を検査する。
【0016】
本発明によれば、めっき治具が、給電部と、この給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、通電板と接離自在な複数の通電体とにより構成されている場合、給電部と通電板との間の通電、給電部と通電体との間の通電、及び、通電体間の通電が検査される。即ち、めっき治具内部において、複数の箇所の通電が検査されるため、めっき治具内部に断線等の障害が発生した場合に、その障害箇所の特定を容易に行うことが可能となる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【0018】
図1は、本実施形態において、通電検査の対象となるめっき治具の斜視図である。同図に示すめっき治具は、搭載部210、給電部としての給電ブロック220−1、220−2、配線230−1、230−2、通電板240、導通板251−1〜251−8(以下、これら導通板251−1〜251−8をまとめて、適宜「導通板251」と称する)、及び、配線252−1〜252−8(以下、これら配線252−1〜252−8をまとめて、適宜「配線252」と称する)により構成される。これらのうち、導通板251−1と配線252−1により通電体250−1が構成される。同様に、導通板251−2と配線252−2、導通板251−3と配線252−3、導通板251−4と配線252−4、導通板251−5と配線252−5、導通板251−6と配線252−6、導通板251−7と配線252−7、導通板251−8と配線252−8により、それぞれ通電体250−2、通電体250−3、通電体250−4、通電体250−5、通電体250−6、通電体250−7、通電体250−8が構成される(以下、通電体250−1〜250−8をまとめて、適宜「通電体250」と称する)。
【0019】
搭載板210は、めっき処理の対象となる、上面に導電層(図示せず)が形成された半導体ウェハ300を搭載する。給電ブロック220−1、230−2は、めっき処理の際に、電源(図示せず)からの電力を配線230−1、230−2を介して通電板240へ供給する。
【0020】
通電板240は、長手方向の所定の回転軸を中心に回転することができ、各通電体250を構成する導通板251と接触したり、離れたりすることができる。めっき処理の際には、通電板240は、各通電体250と接触し、給電ブロック220−1、220−2からの電力をこれら各通電体250へ供給する。
【0021】
通電体250は、上述の通り、導通板251と配線252により構成される。導通板251は、その一端が通電板240と接触したり、離れたりする。一方、配線252は、一端が導通板251と接続され、他端が半導体ウェハ300の上面に形成された導電層に接続される。めっき処理の際には、通電体250は、導通板251が通電板240と接触し、当該通電板240からの電力を半導体ウェハ300の導電層へ供給する。
【0022】
なお、各配線252の他端は、半導体ウェハ300の上面に形成された導電層上の外縁部分に対向するように配置される。図1においては、配線252−1の他端と配線252−5の他端とが対向するように配置され、配線252−2の他端と配線252−6の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置される。同様に、配線252−3の他端と配線252−7の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置され、配線252−4の他端と配線252−8の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置される。このような配線252の配置により、半導体ウェハ300の導電層上に形成されるめっき層にムラが生じることが抑制される。
【0023】
図2は、本実施形態におけるめっき治具通電検査装置の構成例を示す図である。同図に示すめっき治具通電検査装置100は、給電ブロック受け部112−1、112−2、測定子としての給電ブロック用プローブ114−1、114−2、プローブ支持部122、測定子としての通電体用プローブ124−1〜124−8(以下、これら通電体用プローブ124−1〜124−8をまとめて、適宜「通電体用プローブ124」と称する)、通電検査部130、駆動部140、離隔部150−1、150−2により構成される。
【0024】
給電ブロック受け部112−1は、図1に示しためっき治具の給電ブロック220−1を支持する。同様に、給電ブロック受け部112−2は、めっき治具の給電ブロック220−2を支持する。給電ブロック用プローブ114−1は、給電ブロック受け部112−1によって給電ブロック220−1が支持された際に、当該給電ブロック220−1と接触する。同様に、給電ブロック用プローブ114−2は、給電ブロック受け部112−2によって給電ブロック220−2が支持された際に、当該給電ブロック220−2と接触する。
【0025】
プローブ支持部122は、各通電体用プローブ124を支持する。各通電体用プローブ124は、図1に示しためっき治具の各導通板251と接触する。具体的には、通電体用プローブ124−1は導通板251−1と接触し、通電体用プローブ124−2は導通板251−2と接触し、通電体用プローブ124−3は導通板251−3と接触し、通電体用プローブ124−4は導通板251−4と接触する。同様に、通電体用プローブ124−5は導通板251−5と接触し、通電体用プローブ124−6は導通板251−6と接触し、通電体用プローブ124−7は導通板251−7と接触し、通電体用プローブ124−8は導通板251−8と接触する。なお、各通電体用プローブ124間は、絶縁されている。
【0026】
通電検査部130は、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と各通電体250との間、及び、各通電体250の間の検査箇所とし、これら検査箇所を検査箇所切替機能132により切り替えながら、当該検査箇所における電気抵抗を測定することにより、通電状態を検査する。
【0027】
具体的には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図3に示すように、伸張し、通電板240を各通電体250から離れる方向に押圧する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転し、各通電体250から離隔する。
【0028】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させると、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1と、給電ブロック用プローブ114−2が接触しているめっき治具の給電ブロック220−2との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第1の所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が良好であると判断し、第1の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。
【0029】
また、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図4に示すように、縮退する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転して元の位置に戻り、各通電体250に接触する。
【0030】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させると、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1、あるいは、給電ブロック用プローブ114−2が接触している給電ブロック220−2と、通電体用プローブ124−1が接触している通電体250−1との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第2の所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電体250−1との間の通電が良好であると判断し、第2の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。同様に、通電検査部130は、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1、あるいは、給電ブロック用プローブ114−2が接触している給電ブロック220−2と、通電体用プローブ124−2〜124−8が接触している通電体250−2〜250−8のそれぞれとの間の電気抵抗を測定し、通電の良好及び不良を判断する。
【0031】
更に、めっき治具の通電体250の間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査の際と同様、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図3に示すように、伸張し、通電板240を各通電体250から離れる方向に押圧する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転し、各通電体250から離隔する。
【0032】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させると、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置されている2つの配線252−1、252−5に接続された導通板251−1と導通板251−5との間、換言すれば、通電体用プローブ124−1が接触している導通板251−1と、通電体用プローブ124−5が接触している導通板251−5との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第3の所定値未満である場合には、導通板251−1と導通板251−5との間の通電が良好であると判断し、第3の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。同様に、通電検査部130は、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置されている2つの配線252−2、252−6に接続された導通板251−2と導通板251−6との間(通電体用プローブ124−2が接触している導通板251−2と、通電体用プローブ124−6が接触している導通板251−6との間)、2つの配線252−3、252−7に接続された導通板251−3と導通板251−7との間(通電体用プローブ124−3が接触している導通板251−3と、通電体用プローブ124−7が接触している導通板251−7との間)、2つの配線252−4、252−8に接続された導通板251−4と導通板251−8との間(通電体用プローブ124−4が接触している導通板251−4と、通電体用プローブ124−8が接触している導通板251−8との間)のそれぞれについて、電気抵抗を測定し、通電の良好及び不良を判断する。
【0033】
次に、フローチャートを参照しつつ、本実施形態のめっき治具通電検査装置の動作を説明する。図5は、めっき治具通電検査装置100の動作を示すフローチャートである。
【0034】
給電ブロック受け部112−1によってめっき治具の給電ブロック220−1が支持され、当該給電ブロック220−1と給電ブロック用プローブ114−1とが接触し、給電ブロック受け部112−2によってめっき治具の給電ブロック220−2が支持され、当該給電ブロック220−2と給電ブロック用プローブ114−2とが接触するとともに、各通電体用プローブ124とめっき治具の各導通板251とが接触した状態で、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させる(ステップ101)。次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の給電ブロック220間の電気抵抗を測定し(ステップ102)、その電気抵抗値が第1の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ103)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第1の所定値以上である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が不良であると判断し(ステップ104)、第1の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ105)。
【0035】
次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させる(ステップ106)。更に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の電気抵抗を測定し(ステップ107)、その電気抵抗値が第2の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ108)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第2の所定値以上である場合には、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の通電が不良であると判断し(ステップ109)、第2の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ110)。
【0036】
次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させる(ステップ111)。更に、めっき治具通電検査装置100は、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置された2つの配線252に対応する通電体250の間の電気抵抗を測定し(ステップ112)、その電気抵抗値が第3の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ113)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第3の所定値以上である場合には、通電体250の間の通電が不良であると判断し(ステップ114)、第3の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ115)。
【0037】
このように、本実施形態のめっき治具通電検査装置100では、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と通電体250との間の通電、及び、通電体250間の通電が検査される。即ち、めっき治具内部において、複数の箇所の通電が検査されるため、めっき治具内部に断線等の障害が発生した場合に、その障害箇所の特定を容易に行うことが可能となる。
【0038】
また、本実施形態のめっき治具通電検査装置100では、予め、給電ブロック220−1、220−2に対応して、これらに接触する給電ブロック用プローブ114−1、114−2が備えられ、通電体250−1〜250−8に対応して、これらに接触する通電体用プローブ124−1〜124−8が備えられているため、検査箇所を切り替える際にプローブを移動させる必要がなく、検査時間の短縮を図ることも可能となる。
【0039】
なお、上述した実施形態では、通電検査部130が測定した電気抵抗から検査箇所における通電の良好及び不良を判断したが、電気抵抗値をモニタ表示等により検査者へ通知し、当該検査者が通電の良好及び不良を判断するようにしても良い。
【0040】
また、上述した実施形態では、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と各通電体250との間、及び、各通電体250の間の順序で通電状態が検査されたが、検査の順序はこれに限定されるものではなく、どのような順序で検査されても良い。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、めっき治具内部の障害箇所の特定が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】めっき治具の斜視図である。
【図2】めっき治具通電検査装置の構成例を示す図である。
【図3】めっき治具通電検査装置とめっき治具の接触部分の第1の拡大図である。
【図4】めっき治具通電検査装置とめっき治具の接触部分の第2の拡大図である。
【図5】めっき治具通電検査装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
100 めっき治具通電検査装置
112−1、112−2 給電ブロック支持部
114−1、114−2 給電ブロック用プローブ
122 プローブ支持部
124−1〜124−8 通電体用プローブ
130 通電検査部
132 検査箇所切替機能
140 駆動部
150−1、150−2 離隔部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ等の被処理体のめっき処理に用いられるめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェハ等の被処理体にめっき処理が施される場合、専用のめっき治具が用いられることが多い。このめっき治具を用いためっき処理においては、被処理体に形成された導電層(以下、適宜「被処理体導電層」と称する)とめっき治具の電極とを接続し、被処理体をめっき液中に投入して通電させる。これにより、被処理体導電層の上面にめっき層が形成される。
【0003】
めっき処理においては、被処理体に対する給電不良が生じると、めっき層が形成されなかったり、形成されたとしてもその厚さが不均一になるといっためっき不良が生じる。このようなめっき不良を防止するため、従来、めっき処理に先立って、被処理体導電層とめっき治具とが接続され、当該被処理体導電層が通電されているか否かを確認する方法が採用されている(例えば特許文献1及び2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−181600号公報(第2−3頁、図1)
【0005】
【特許文献2】
特開2001−316891号公報(第6頁、図8)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の被処理体導電層の通電確認方法では、被処理体導電層が通電されているか否かを確認することはできるものの、めっき治具内部に断線等の障害が発生したことにより被処理体導電層が通電されなかった場合、その障害箇所を特定することが困難であった。
【0007】
本発明は、上記の問題を解決するものであり、めっき治具内部の障害箇所の特定が容易なめっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は請求項1に記載されるように、給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査装置において、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査する第1の通電検査手段と、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査する第2の通電検査手段と、前記通電体間の通電を検査する第3の通電検査手段とを備える。
【0009】
また、本発明は請求項2に記載されるように、請求項1に記載のめっき治具通電検査装置において、前記第1の通電検査手段は、前記給電部と前記通電板との間の電気抵抗を測定し、前記第2の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体との間の電気抵抗を測定し、前記第3の通電検査手段は、前記通電体間の電気抵抗を測定する。
【0010】
また、本発明は請求項3に記載されるように、請求項1又は2に記載のめっき治具通電検査装置において、前記第1の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、前記第2の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを接続させた状態で、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、前記第3の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記通電体間の通電を検査する。
【0011】
また、本発明は請求項4に記載されるように、請求項3に記載のめっき治具通電検査装置において、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させる離隔手段を備える。
【0012】
また、本発明は請求項5に記載されるように、請求項1乃至4の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記第3の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体のそれぞれとの間の通電を検査する。
【0013】
また、本発明は請求項6に記載されるように、請求項1乃至5の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記第3の通電検査手段は、前記導電層の上面において対向する位置に配置された2つの通電体間の通電を検査する。
【0014】
また、本発明は請求項7に記載されるように、請求項1乃至6の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、前記給電部に対応し、該給電部に接触する測定子と、前記複数の通電体のそれぞれに対応し、該通電体のそれぞれに接触する複数の測定子とを備える。
【0015】
また、本発明は請求項8に記載されるように、給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査方法において、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、前記通電体間の通電を検査する。
【0016】
本発明によれば、めっき治具が、給電部と、この給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、通電板と接離自在な複数の通電体とにより構成されている場合、給電部と通電板との間の通電、給電部と通電体との間の通電、及び、通電体間の通電が検査される。即ち、めっき治具内部において、複数の箇所の通電が検査されるため、めっき治具内部に断線等の障害が発生した場合に、その障害箇所の特定を容易に行うことが可能となる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【0018】
図1は、本実施形態において、通電検査の対象となるめっき治具の斜視図である。同図に示すめっき治具は、搭載部210、給電部としての給電ブロック220−1、220−2、配線230−1、230−2、通電板240、導通板251−1〜251−8(以下、これら導通板251−1〜251−8をまとめて、適宜「導通板251」と称する)、及び、配線252−1〜252−8(以下、これら配線252−1〜252−8をまとめて、適宜「配線252」と称する)により構成される。これらのうち、導通板251−1と配線252−1により通電体250−1が構成される。同様に、導通板251−2と配線252−2、導通板251−3と配線252−3、導通板251−4と配線252−4、導通板251−5と配線252−5、導通板251−6と配線252−6、導通板251−7と配線252−7、導通板251−8と配線252−8により、それぞれ通電体250−2、通電体250−3、通電体250−4、通電体250−5、通電体250−6、通電体250−7、通電体250−8が構成される(以下、通電体250−1〜250−8をまとめて、適宜「通電体250」と称する)。
【0019】
搭載板210は、めっき処理の対象となる、上面に導電層(図示せず)が形成された半導体ウェハ300を搭載する。給電ブロック220−1、230−2は、めっき処理の際に、電源(図示せず)からの電力を配線230−1、230−2を介して通電板240へ供給する。
【0020】
通電板240は、長手方向の所定の回転軸を中心に回転することができ、各通電体250を構成する導通板251と接触したり、離れたりすることができる。めっき処理の際には、通電板240は、各通電体250と接触し、給電ブロック220−1、220−2からの電力をこれら各通電体250へ供給する。
【0021】
通電体250は、上述の通り、導通板251と配線252により構成される。導通板251は、その一端が通電板240と接触したり、離れたりする。一方、配線252は、一端が導通板251と接続され、他端が半導体ウェハ300の上面に形成された導電層に接続される。めっき処理の際には、通電体250は、導通板251が通電板240と接触し、当該通電板240からの電力を半導体ウェハ300の導電層へ供給する。
【0022】
なお、各配線252の他端は、半導体ウェハ300の上面に形成された導電層上の外縁部分に対向するように配置される。図1においては、配線252−1の他端と配線252−5の他端とが対向するように配置され、配線252−2の他端と配線252−6の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置される。同様に、配線252−3の他端と配線252−7の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置され、配線252−4の他端と配線252−8の他端とが半導体ウェハ300を挟んで対向するように配置される。このような配線252の配置により、半導体ウェハ300の導電層上に形成されるめっき層にムラが生じることが抑制される。
【0023】
図2は、本実施形態におけるめっき治具通電検査装置の構成例を示す図である。同図に示すめっき治具通電検査装置100は、給電ブロック受け部112−1、112−2、測定子としての給電ブロック用プローブ114−1、114−2、プローブ支持部122、測定子としての通電体用プローブ124−1〜124−8(以下、これら通電体用プローブ124−1〜124−8をまとめて、適宜「通電体用プローブ124」と称する)、通電検査部130、駆動部140、離隔部150−1、150−2により構成される。
【0024】
給電ブロック受け部112−1は、図1に示しためっき治具の給電ブロック220−1を支持する。同様に、給電ブロック受け部112−2は、めっき治具の給電ブロック220−2を支持する。給電ブロック用プローブ114−1は、給電ブロック受け部112−1によって給電ブロック220−1が支持された際に、当該給電ブロック220−1と接触する。同様に、給電ブロック用プローブ114−2は、給電ブロック受け部112−2によって給電ブロック220−2が支持された際に、当該給電ブロック220−2と接触する。
【0025】
プローブ支持部122は、各通電体用プローブ124を支持する。各通電体用プローブ124は、図1に示しためっき治具の各導通板251と接触する。具体的には、通電体用プローブ124−1は導通板251−1と接触し、通電体用プローブ124−2は導通板251−2と接触し、通電体用プローブ124−3は導通板251−3と接触し、通電体用プローブ124−4は導通板251−4と接触する。同様に、通電体用プローブ124−5は導通板251−5と接触し、通電体用プローブ124−6は導通板251−6と接触し、通電体用プローブ124−7は導通板251−7と接触し、通電体用プローブ124−8は導通板251−8と接触する。なお、各通電体用プローブ124間は、絶縁されている。
【0026】
通電検査部130は、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と各通電体250との間、及び、各通電体250の間の検査箇所とし、これら検査箇所を検査箇所切替機能132により切り替えながら、当該検査箇所における電気抵抗を測定することにより、通電状態を検査する。
【0027】
具体的には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図3に示すように、伸張し、通電板240を各通電体250から離れる方向に押圧する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転し、各通電体250から離隔する。
【0028】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させると、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1と、給電ブロック用プローブ114−2が接触しているめっき治具の給電ブロック220−2との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第1の所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が良好であると判断し、第1の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。
【0029】
また、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図4に示すように、縮退する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転して元の位置に戻り、各通電体250に接触する。
【0030】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させると、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1、あるいは、給電ブロック用プローブ114−2が接触している給電ブロック220−2と、通電体用プローブ124−1が接触している通電体250−1との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第2の所定値未満である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電体250−1との間の通電が良好であると判断し、第2の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。同様に、通電検査部130は、給電ブロック用プローブ114−1が接触しているめっき治具の給電ブロック220−1、あるいは、給電ブロック用プローブ114−2が接触している給電ブロック220−2と、通電体用プローブ124−2〜124−8が接触している通電体250−2〜250−8のそれぞれとの間の電気抵抗を測定し、通電の良好及び不良を判断する。
【0031】
更に、めっき治具の通電体250の間の通電状態の検査においては、通電検査部130は、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電状態の検査の際と同様、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させるように駆動部140を制御する。駆動部140は、この通電検査部130の制御により、離隔部150−1、150−2を駆動させる。この際、離隔部150−1、150−2は、図3に示すように、伸張し、通電板240を各通電体250から離れる方向に押圧する。これにより、通電板240は、所定の回転軸を中心として回転し、各通電体250から離隔する。
【0032】
通電検査部130は、このように、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させると、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置されている2つの配線252−1、252−5に接続された導通板251−1と導通板251−5との間、換言すれば、通電体用プローブ124−1が接触している導通板251−1と、通電体用プローブ124−5が接触している導通板251−5との間の電気抵抗を測定する。そして、通電検査部130は、測定した電気抵抗が第3の所定値未満である場合には、導通板251−1と導通板251−5との間の通電が良好であると判断し、第3の所定値以上である場合には、通電が不良であると判断する。同様に、通電検査部130は、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置されている2つの配線252−2、252−6に接続された導通板251−2と導通板251−6との間(通電体用プローブ124−2が接触している導通板251−2と、通電体用プローブ124−6が接触している導通板251−6との間)、2つの配線252−3、252−7に接続された導通板251−3と導通板251−7との間(通電体用プローブ124−3が接触している導通板251−3と、通電体用プローブ124−7が接触している導通板251−7との間)、2つの配線252−4、252−8に接続された導通板251−4と導通板251−8との間(通電体用プローブ124−4が接触している導通板251−4と、通電体用プローブ124−8が接触している導通板251−8との間)のそれぞれについて、電気抵抗を測定し、通電の良好及び不良を判断する。
【0033】
次に、フローチャートを参照しつつ、本実施形態のめっき治具通電検査装置の動作を説明する。図5は、めっき治具通電検査装置100の動作を示すフローチャートである。
【0034】
給電ブロック受け部112−1によってめっき治具の給電ブロック220−1が支持され、当該給電ブロック220−1と給電ブロック用プローブ114−1とが接触し、給電ブロック受け部112−2によってめっき治具の給電ブロック220−2が支持され、当該給電ブロック220−2と給電ブロック用プローブ114−2とが接触するとともに、各通電体用プローブ124とめっき治具の各導通板251とが接触した状態で、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させる(ステップ101)。次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の給電ブロック220間の電気抵抗を測定し(ステップ102)、その電気抵抗値が第1の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ103)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第1の所定値以上である場合には、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間の通電が不良であると判断し(ステップ104)、第1の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ105)。
【0035】
次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを接触させる(ステップ106)。更に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の電気抵抗を測定し(ステップ107)、その電気抵抗値が第2の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ108)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第2の所定値以上である場合には、めっき治具の給電ブロック220と各通電体250との間の通電が不良であると判断し(ステップ109)、第2の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ110)。
【0036】
次に、めっき治具通電検査装置100は、めっき治具の通電板240と各通電体250とを離隔させる(ステップ111)。更に、めっき治具通電検査装置100は、半導体ウェハ300の導電層上の外縁部分において対向する位置に配置された2つの配線252に対応する通電体250の間の電気抵抗を測定し(ステップ112)、その電気抵抗値が第3の所定値以上であるか否かを判定する(ステップ113)。めっき治具通電検査装置100は、電気抵抗値が第3の所定値以上である場合には、通電体250の間の通電が不良であると判断し(ステップ114)、第3の所定値未満である場合には、通電が良好であると判断する(ステップ115)。
【0037】
このように、本実施形態のめっき治具通電検査装置100では、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と通電体250との間の通電、及び、通電体250間の通電が検査される。即ち、めっき治具内部において、複数の箇所の通電が検査されるため、めっき治具内部に断線等の障害が発生した場合に、その障害箇所の特定を容易に行うことが可能となる。
【0038】
また、本実施形態のめっき治具通電検査装置100では、予め、給電ブロック220−1、220−2に対応して、これらに接触する給電ブロック用プローブ114−1、114−2が備えられ、通電体250−1〜250−8に対応して、これらに接触する通電体用プローブ124−1〜124−8が備えられているため、検査箇所を切り替える際にプローブを移動させる必要がなく、検査時間の短縮を図ることも可能となる。
【0039】
なお、上述した実施形態では、通電検査部130が測定した電気抵抗から検査箇所における通電の良好及び不良を判断したが、電気抵抗値をモニタ表示等により検査者へ通知し、当該検査者が通電の良好及び不良を判断するようにしても良い。
【0040】
また、上述した実施形態では、めっき治具の給電ブロック220と通電板240との間、給電ブロック220と各通電体250との間、及び、各通電体250の間の順序で通電状態が検査されたが、検査の順序はこれに限定されるものではなく、どのような順序で検査されても良い。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、めっき治具内部の障害箇所の特定が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】めっき治具の斜視図である。
【図2】めっき治具通電検査装置の構成例を示す図である。
【図3】めっき治具通電検査装置とめっき治具の接触部分の第1の拡大図である。
【図4】めっき治具通電検査装置とめっき治具の接触部分の第2の拡大図である。
【図5】めっき治具通電検査装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
100 めっき治具通電検査装置
112−1、112−2 給電ブロック支持部
114−1、114−2 給電ブロック用プローブ
122 プローブ支持部
124−1〜124−8 通電体用プローブ
130 通電検査部
132 検査箇所切替機能
140 駆動部
150−1、150−2 離隔部
Claims (8)
- 給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体の上面に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査装置において、
前記給電部と前記通電板との間の通電を検査する第1の通電検査手段と、
前記給電部と前記通電体との間の通電を検査する第2の通電検査手段と、
前記通電体間の通電を検査する第3の通電検査手段と、
を備えるめっき治具通電検査装置。 - 請求項1に記載のめっき治具通電検査装置において、
前記第1の通電検査手段は、前記給電部と前記通電板との間の電気抵抗を測定し、
前記第2の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体との間の電気抵抗を測定し、
前記第3の通電検査手段は、前記通電体間の電気抵抗を測定するめっき治具通電検査装置。 - 請求項1又は2に記載のめっき治具通電検査装置において、前記第1の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、
前記第2の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを接続させた状態で、前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、
前記第3の通電検査手段は、前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させた状態で、前記通電体間の通電を検査するめっき治具通電検査装置。 - 請求項3に記載のめっき治具通電検査装置において、
前記通電板と前記複数の通電体とを離隔させる離隔手段を備えるめっき治具通電検査装置。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、
前記第3の通電検査手段は、前記給電部と前記通電体のそれぞれとの間の通電を検査するめっき治具通電検査装置。 - 請求項1乃至5の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、
前記第3の通電検査手段は、前記導電層の上面において対向する位置に配置された2つの通電体間の通電を検査するめっき治具通電検査装置。 - 請求項1乃至6の何れかに記載のめっき治具通電検査装置において、
前記給電部に対応し、該給電部に接触する測定子と、
前記複数の通電体のそれぞれに対応し、該通電体のそれぞれに接触する複数の測定子と、
を備えるめっき治具通電検査装置。 - 給電部と、前記給電部に接続される通電板と、めっき処理の対象となる被処理体に形成される導電層と接続され、前記通電板と接離自在な複数の通電体とを有するめっき治具の通電を確認するめっき治具通電検査方法において、
前記給電部と前記通電板との間の通電を検査し、
前記給電部と前記通電体との間の通電を検査し、
前記通電体間の通電を検査するめっき治具通電検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003166819A JP2005002407A (ja) | 2003-06-11 | 2003-06-11 | めっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005002407A true JP2005002407A (ja) | 2005-01-06 |
Family
ID=34092859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003166819A Pending JP2005002407A (ja) | 2003-06-11 | 2003-06-11 | めっき治具通電検査装置及びめっき治具通電検査方法 |
Country Status (1)
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---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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