JP2007291463A - 電子回路基板のメッキ方法及びメッキシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メッキすべき電子回路基板をメッキ治具23に取り付けて保持し、前記メッキ治具23をメッキラインのメッキ治具搬送装置21へ取り付けた後、このメッキラインにて前記メッキ治具23内の電子回路基板の抵抗値を測定し、この測定された測定値が予め設定された抵抗設定値以下のときはメッキ処理を行い、一方、前記測定値が前記抵抗設定値より大きいときは前記メッキ治具23をメッキラインから除外することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
9 銅メッキ槽(メッキ槽)
15 アンローダエリア
17 ローダエリア
19 LMガイドレール
21 メッキ治具搬送装置
23 メッキ治具
25 治具本体
27 ウェハ(半導体ウェハ;電子回路基板)
29 クランプ用穴部
31 メッキ用穴部
33A,33B,33C 接点
35 電極ピン(給電端子部)
37 導電線
39 押当て板
41 締付けボルト
43 長穴部
45 抵抗測定装置
47 メッキ治具ホルダ部
49 抵抗測定ピン
51 ヒンジ部
53 測定ピン押付け部
55 転送ケーブル
57 抵抗測定部
59 データ管理ユニット(PLC、比較判定部)
61 磁石
63 操作ボックス
65 測定開始ボタン
67 抵抗測定器
69 測定・調整切換スイッチ
71 OK・NG判定ランプ
77 LMガイドアクチュエータ(治具上下動装置)
79 キャリア部
81 クランプ装置
83 ケーブルベア
89 クランプアーム
91 掛止部
93 掛止用穴部
107 ウェハの抵抗測定装置
109 測定ピン用軸部
111 軸受部
113 測定ピン用アーム
115 抵抗測定ピン(抵抗測定端子部)
121 測定ピン回動用シリンダ
123 シリンダシャフト
125 転送ケーブル
127 抵抗測定部
135 給電シャフト
Claims (7)
- メッキすべき電子回路基板をメッキ治具に取り付けて保持し、前記メッキ治具をメッキラインのメッキ治具搬送装置へ取り付けた後、このメッキラインにて前記メッキ治具内の電子回路基板の抵抗値を測定し、この測定された測定値が予め設定された抵抗設定値以下のときはメッキ処理を行い、一方、前記測定値が前記抵抗設定値より大きいときは前記メッキ治具をメッキラインから除外することを特徴とする電子回路基板のメッキ方法。
- メッキすべき電子回路基板をメッキ治具に取り付けて保持し、前記メッキ治具内の電子回路基板の抵抗値を測定し、この測定された測定値と予め設定された抵抗設定値とを比較し、前記測定値が前記抵抗設定値以下のときは前記メッキ治具をメッキラインのメッキ治具搬送装置へ取り付けてメッキ処理を行い、一方、前記測定値が前記抵抗設定値より大きいときは前記電子回路基板を再度前記メッキ治具にセットし直してから再び前記電子回路基板の抵抗値を測定して前記抵抗設定値と比較することを特徴とする電子回路基板のメッキ方法。
- メッキすべき電子回路基板をメッキ治具に取り付けて保持し、前記メッキ治具内の電子回路基板の抵抗値を測定し、この測定された第1測定値と予め設定された抵抗設定値とを比較し、前記第1測定値が前記抵抗設定値以下のときは、前記メッキ治具をメッキラインのメッキ治具搬送装置へ取り付けた後、このメッキラインにて前記メッキ治具内の電子回路基板の抵抗値を再度測定し、この測定された第2測定値が前記抵抗設定値以下のときはメッキ処理を行い、一方、前記第2測定値が前記抵抗設定値より大きいときは前記メッキ治具をメッキラインから除外することを特徴とする電子回路基板のメッキ方法。
- 前記メッキ治具内の電子回路基板の抵抗測定点が、少なくとも3点であることを特徴とする請求項1,2又は3記載の電子回路基板のメッキ方法。
- メッキすべき電子回路基板を保持すると共にメッキする際に前記電子回路基板に給電するための給電端子部を備えたメッキ治具と、
このメッキ治具をメッキラインのメッキ槽へ搬送するメッキ治具搬送装置を有するメッキ装置と、
メッキ処理する前に予め前記電子回路基板の抵抗値を測定する抵抗測定端子部を有する測定部と、
この測定部で測定した測定値が予め設定した抵抗設定値以下か否かを判定する比較判定部と、
を備えてなることを特徴とするメッキシステム。 - 前記測定部の抵抗測定端子部が、メッキ装置における前記メッキ治具搬送装置に設けられると共に前記メッキ治具搬送装置に装着したメッキ治具の前記給電端子部に接触・離反自在に設けられていることを特徴とする請求項5記載のメッキシステム。
- 前記測定部の抵抗測定端子部が、電子回路基板を装着したメッキ治具をホールドするメッキ治具ホルダに設けられると共に前記メッキ治具ホルダにホールドしたメッキ治具の前記給電端子部に接触・離反自在に設けられていることを特徴とする請求項5記載のメッキシステム。
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