JP2004535587A - イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する改善された方法を提供すること。
【解決手段】座標測定装置で対象物を高精度でかつ高い適応性をもって測定し得るようにするために、以下の方法が提案される。すなわち、対象物の測定すべき位置にイメージ処理センサを粗く位置整列させる。この位置整列に際して、イメージ処理センサは、加速度a1がa1>0mm/s2となる加速度で移動し、次いで該イメージ処理センサが制動され、該イメージ処理センサの加速度a2が0mm/s2≦a2<a1の加速度で移動する際に位置の測定が遂行される。
【選択図】図2
【解決手段】座標測定装置で対象物を高精度でかつ高い適応性をもって測定し得るようにするために、以下の方法が提案される。すなわち、対象物の測定すべき位置にイメージ処理センサを粗く位置整列させる。この位置整列に際して、イメージ処理センサは、加速度a1がa1>0mm/s2となる加速度で移動し、次いで該イメージ処理センサが制動され、該イメージ処理センサの加速度a2が0mm/s2≦a2<a1の加速度で移動する際に位置の測定が遂行される。
【選択図】図2
Description
【技術分野】
【0001】
本発明は、イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
種々異なる工作物等の測定対象物の幾何学的な形状捕捉ないし検出を正確かつ高精度に行なうために、光学的あるいは光電子的測定方法が使用されている。この方法の主たる利点は、適応性が高く、高速処理ができることである。更に、イメージ処理センサとしてCCD(電荷結合素子)カメラによる測定あるいは検査は、人間による認識に近い技術的効果を表わすので基本的に種々の工業上の作業改善に適している。イメージの捕捉ないし検出及びイメージの伝送ならびにイメージ加工ないし処理はイメージ処理の工程をなす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
対象物、測定点、あるいは測定領域の測定は、固定のイメージ処理センサあるいはCCDカメラでなされる。この方法では測定速度のロスがある。
【0004】
本発明は上記に述べた従来の方法における問題に鑑みてなされたものであり、その目的は測定を高精度ならびに高い適応性をもって高速度で行ない得る方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【0005】
上記本発明の課題は、本発明の方法により達成される。すなわち、本発明は、イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法であって、該イメージ処理センサを測定すべき対象物の位置に向かって粗い位置整列を行ない、ここにおいて、該イメージ処理センサは該粗い位置整列の間またはその前に加速度a1がa1>0mm/s2となる加速度で移動し、該イメージ処理センサを制動するとともに該イメージ処理センサが0mm/s2≦a2<a1の範囲の加速度a2で移動するとき、位置の測定を行なう方法である。
【0006】
更に、本発明において、特に対象物には、測定の間、光フラッシュが付与される、ないしはシャッター付きのCCDカメラがイメージ処理センサとして使用される。該センサの移動と検出すべき各イメージとの相関関係は、これに関連する処置により実行される。これにより、光フラッシュあるいはシャッターによってイメージ処理センサの見かけの停止が実現し、その結果、あたかもイメージ処理センサが測定中に静止しているような状態で測定がなされる。
【0007】
本発明において、イメージ処理センサは、座標測定装置によってのみ粗い状態で測定位置まで移動し、次いで、イメージ処理センサが、例えば50−200mm/sの速度v1で移動可能であるが、これが更に移動して測定が遂行される。この場合、該センサは基本的に加速はされない。この場合、測定に不可欠なイメージメモリは、イメージ処理センサがターゲット領域に達することにより認識される。イメージ処理センサを用いて該位置を含む対象物の領域を光学的に検出することにより制動が引起こされる。
【0008】
特に本発明においては、イメージ処理センサが速度v1で移動するときに、対象物、測定点あるいは測定領域が測定される。すなわち、該イメージ処理センサが急激に、例えば約5,000−15,000mm/sの値にまで加速される。そして、速度v2が400mm/sと600mm/sの間で、加速度0mm/s2で測定領域あるいは測定点に粗く位置づけられる。次いで、イメージ処理センサは50mm/sと150mm/sの範囲の速度v1となるまで、測定のために制動を受ける。この間、測定すべき対象物あるいは領域には光フラッシュを付与し得、あるいは又、イメージ処理センサのシャッターを所望の周期で開閉し得る。測定が遂行された後、イメージ処理センサは上述した態様で加速されて次の新たな測定点あるいは領域へ向けられる。
【0009】
本発明の詳細、利点ならびに特徴は、特許請求の範囲の記載のみならず、以下、説明する発明の実施形態に基づいて理解される。
【0010】
図1に示す10は光学的に作動する座標測定装置であり、支持フレーム12を公知の態様で有している。この支持フレーム12上に測定テーブル14が配置されている。測定すべき対象物は図示されていないが、この測定テーブル14上に配置される。門形枠体16はこの支持フレーム12に沿ってY軸方向に調整移動可能である。この目的のために支柱18,20は支持フレーム12上でスライド可能に支持されている。横枠22は両支柱18,20から延出し、この横枠22に沿って、すなわちX軸方向にキャリッジ24が調整移動可能となっている。そのキャリッジ24の一部分としてZ軸方向に調整移動可能な支柱状のスピンドルスリーブ26が設けられている。イメージ処理センサ28は、このスピンドルスリーブ26から延出する。
【0011】
このスピンドルスリーブ26にはギャップセンサ30が設けられ、これによって対象物の測定の間、その高さ形状を決定する。例えばストロボスコープよりなる照明ユニット32が横枠22から延出し、必要によってはスピンドルスリーブ26から延出する構成とされる。この照明ユニット32により対象物に対して測定中に光フラッシュを付与する。
【0012】
本発明においては、例えばCCDカメラで構成されたイメージ処理センサ28によって対象物を測定するために、本発明においては、イメージ処理センサ28は測定すべき位置へ粗く位置整列ないし位置付けが行なわれる。これはその移動の間に該対象物を測定するためにもなされる。このために図3に示す制御ユニット34が設けられている。この制御ユニット34は、まず座標測定装置10を軸X,Y,Zに関し、ならびに回転軸Aに関して作動及び調整移動させ、次いで、図3にカメラで表わしたセンサ28及び照明ユニット32を作動及び調整移動させる。これは、照明ユニット32がストロボスコープの場合も同様である。カメラよりなるセンサ28の前に置かれるシャッターも、これにより対象物の位置検出ないし捕捉の継続が定められた範囲内においては同様に制御される。
【0013】
図2には、イメージ処理センサ28の運動の速度−加速度の流れを表わすグラフが示されている。ここにおいて、センサ28の速度は破線で示し、加速度は実線で示してある。図において「トリガー位置」と表わした領域36,38は測定が行なわれる領域を示す。本発明の実施例において、イメージ処理センサ28は、例えば速度100mm/sで移動する。測定の間、すなわち領域36,38における時間において、センサ28は加速されない。測定後、領域40又は41で示すように加速が行なわれてセンサ28は移動するが、該センサ28を測定領域へ粗く位置づける間においては、直線のライン44で示すように加速がなく、例えば、領域42において速度500mm/sでセンサ28が移動する。センサの粗い位置づけないし位置整列が行なわれた後(時間帯46の終端)、センサ28は負の加速、すなわち減速がなされ、制動され(フランク部44)、測定の間、例えば100mm/sの速度で移動する。ここにおいて、加速はない(直線ライン48)。そして、シャッターあるいはストロボスコープは動作状態になる。
【0014】
例えば、CCDカメラよりなるイメージ処理センサ28を測定領域に対してシャープに鋭い焦点合わせをなすために、対象物との間の距離あるいは高さ形状がギャップセンサ30により測定される。このようにして、本発明においては、測定領域の不鮮明なイメージ形成に起因する測定時のエラーを排除できる。
【0015】
測定精度の改善のため、それぞれのイメージ取込み、ないし記録の始めと終り、すなわち時間差Δtが移動長に変換される。例えば、イメージ取込みが、距離z1に対応する時間t1で始まり、距離z2に対応する時間t2に終了すると、該測定に距離(z1+z2):2が割り当てられる。これは、他の座標についても同様に適用し得る。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】座標測定装置の基本的構成を示す図である。
【図2】イメージ処理センサの運動の速度−加速度の流れを示すグラフである。
【図3】ブロック図である。
【0001】
本発明は、イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
種々異なる工作物等の測定対象物の幾何学的な形状捕捉ないし検出を正確かつ高精度に行なうために、光学的あるいは光電子的測定方法が使用されている。この方法の主たる利点は、適応性が高く、高速処理ができることである。更に、イメージ処理センサとしてCCD(電荷結合素子)カメラによる測定あるいは検査は、人間による認識に近い技術的効果を表わすので基本的に種々の工業上の作業改善に適している。イメージの捕捉ないし検出及びイメージの伝送ならびにイメージ加工ないし処理はイメージ処理の工程をなす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
対象物、測定点、あるいは測定領域の測定は、固定のイメージ処理センサあるいはCCDカメラでなされる。この方法では測定速度のロスがある。
【0004】
本発明は上記に述べた従来の方法における問題に鑑みてなされたものであり、その目的は測定を高精度ならびに高い適応性をもって高速度で行ない得る方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【0005】
上記本発明の課題は、本発明の方法により達成される。すなわち、本発明は、イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法であって、該イメージ処理センサを測定すべき対象物の位置に向かって粗い位置整列を行ない、ここにおいて、該イメージ処理センサは該粗い位置整列の間またはその前に加速度a1がa1>0mm/s2となる加速度で移動し、該イメージ処理センサを制動するとともに該イメージ処理センサが0mm/s2≦a2<a1の範囲の加速度a2で移動するとき、位置の測定を行なう方法である。
【0006】
更に、本発明において、特に対象物には、測定の間、光フラッシュが付与される、ないしはシャッター付きのCCDカメラがイメージ処理センサとして使用される。該センサの移動と検出すべき各イメージとの相関関係は、これに関連する処置により実行される。これにより、光フラッシュあるいはシャッターによってイメージ処理センサの見かけの停止が実現し、その結果、あたかもイメージ処理センサが測定中に静止しているような状態で測定がなされる。
【0007】
本発明において、イメージ処理センサは、座標測定装置によってのみ粗い状態で測定位置まで移動し、次いで、イメージ処理センサが、例えば50−200mm/sの速度v1で移動可能であるが、これが更に移動して測定が遂行される。この場合、該センサは基本的に加速はされない。この場合、測定に不可欠なイメージメモリは、イメージ処理センサがターゲット領域に達することにより認識される。イメージ処理センサを用いて該位置を含む対象物の領域を光学的に検出することにより制動が引起こされる。
【0008】
特に本発明においては、イメージ処理センサが速度v1で移動するときに、対象物、測定点あるいは測定領域が測定される。すなわち、該イメージ処理センサが急激に、例えば約5,000−15,000mm/sの値にまで加速される。そして、速度v2が400mm/sと600mm/sの間で、加速度0mm/s2で測定領域あるいは測定点に粗く位置づけられる。次いで、イメージ処理センサは50mm/sと150mm/sの範囲の速度v1となるまで、測定のために制動を受ける。この間、測定すべき対象物あるいは領域には光フラッシュを付与し得、あるいは又、イメージ処理センサのシャッターを所望の周期で開閉し得る。測定が遂行された後、イメージ処理センサは上述した態様で加速されて次の新たな測定点あるいは領域へ向けられる。
【0009】
本発明の詳細、利点ならびに特徴は、特許請求の範囲の記載のみならず、以下、説明する発明の実施形態に基づいて理解される。
【0010】
図1に示す10は光学的に作動する座標測定装置であり、支持フレーム12を公知の態様で有している。この支持フレーム12上に測定テーブル14が配置されている。測定すべき対象物は図示されていないが、この測定テーブル14上に配置される。門形枠体16はこの支持フレーム12に沿ってY軸方向に調整移動可能である。この目的のために支柱18,20は支持フレーム12上でスライド可能に支持されている。横枠22は両支柱18,20から延出し、この横枠22に沿って、すなわちX軸方向にキャリッジ24が調整移動可能となっている。そのキャリッジ24の一部分としてZ軸方向に調整移動可能な支柱状のスピンドルスリーブ26が設けられている。イメージ処理センサ28は、このスピンドルスリーブ26から延出する。
【0011】
このスピンドルスリーブ26にはギャップセンサ30が設けられ、これによって対象物の測定の間、その高さ形状を決定する。例えばストロボスコープよりなる照明ユニット32が横枠22から延出し、必要によってはスピンドルスリーブ26から延出する構成とされる。この照明ユニット32により対象物に対して測定中に光フラッシュを付与する。
【0012】
本発明においては、例えばCCDカメラで構成されたイメージ処理センサ28によって対象物を測定するために、本発明においては、イメージ処理センサ28は測定すべき位置へ粗く位置整列ないし位置付けが行なわれる。これはその移動の間に該対象物を測定するためにもなされる。このために図3に示す制御ユニット34が設けられている。この制御ユニット34は、まず座標測定装置10を軸X,Y,Zに関し、ならびに回転軸Aに関して作動及び調整移動させ、次いで、図3にカメラで表わしたセンサ28及び照明ユニット32を作動及び調整移動させる。これは、照明ユニット32がストロボスコープの場合も同様である。カメラよりなるセンサ28の前に置かれるシャッターも、これにより対象物の位置検出ないし捕捉の継続が定められた範囲内においては同様に制御される。
【0013】
図2には、イメージ処理センサ28の運動の速度−加速度の流れを表わすグラフが示されている。ここにおいて、センサ28の速度は破線で示し、加速度は実線で示してある。図において「トリガー位置」と表わした領域36,38は測定が行なわれる領域を示す。本発明の実施例において、イメージ処理センサ28は、例えば速度100mm/sで移動する。測定の間、すなわち領域36,38における時間において、センサ28は加速されない。測定後、領域40又は41で示すように加速が行なわれてセンサ28は移動するが、該センサ28を測定領域へ粗く位置づける間においては、直線のライン44で示すように加速がなく、例えば、領域42において速度500mm/sでセンサ28が移動する。センサの粗い位置づけないし位置整列が行なわれた後(時間帯46の終端)、センサ28は負の加速、すなわち減速がなされ、制動され(フランク部44)、測定の間、例えば100mm/sの速度で移動する。ここにおいて、加速はない(直線ライン48)。そして、シャッターあるいはストロボスコープは動作状態になる。
【0014】
例えば、CCDカメラよりなるイメージ処理センサ28を測定領域に対してシャープに鋭い焦点合わせをなすために、対象物との間の距離あるいは高さ形状がギャップセンサ30により測定される。このようにして、本発明においては、測定領域の不鮮明なイメージ形成に起因する測定時のエラーを排除できる。
【0015】
測定精度の改善のため、それぞれのイメージ取込み、ないし記録の始めと終り、すなわち時間差Δtが移動長に変換される。例えば、イメージ取込みが、距離z1に対応する時間t1で始まり、距離z2に対応する時間t2に終了すると、該測定に距離(z1+z2):2が割り当てられる。これは、他の座標についても同様に適用し得る。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】座標測定装置の基本的構成を示す図である。
【図2】イメージ処理センサの運動の速度−加速度の流れを示すグラフである。
【図3】ブロック図である。
Claims (11)
- イメージ処理センサを備えた座標測定装置で対象物を測定する方法であって、
該イメージ処理センサを測定すべき対象物の位置に向かって粗い位置整列を行ない、ここにおいて、該イメージ処理センサは該粗い位置整列の間またはその前に加速度a1がa1>0mm/s2となる加速度で移動し、
該イメージ処理センサを制動するとともに、該イメージ処理センサが0mm/s2≦a2<a1の範囲の加速度a2で移動するとき、位置の測定を行なう、
ことを特徴とする方法。 - 該イメージ処理センサは、測定の間、該座標測定装置のX,Y,Z軸のいずれかの方向に沿って、あるいは少なくとも所定の回転軸Aのまわりに移動してなる請求項1に記載の方法。
- 該対象物には、測定の間、光フラッシュが付与されてなる請求項1又は2に記載の方法。
- 該イメージ処理センサとしてシャッター付きCCDカメラを使用してなる請求項1ないし3のいずれか1に記載の方法。
- 前記制動は、該位置を含む対象物の領域の光学的検出によって引起こされてなる請求項1ないし4のいずれか1に記載の方法。
- 該イメージ処理センサの動作距離を該位置又は該位置を含む領域に調整するために、ギャップセンサを使用してなる請求項1ないし5のいずれか1に記載の方法。
- 対象物の高さ方向の形状は、該イメージ処理センサの鋭い焦点合わせをなすように、該イメージ処理センサと一体あるいはこれに付属するギャップセンサを備えたイメージ処理センサの移動の間に測定してなる請求項1ないし6のいずれか1に記載の方法。
- 該位置の測定の間、該イメージ処理センサは、加速度a2がa2=0mm/s2で移動してなる請求項1ないし7のいずれか1に記載の方法。
- 該イメージ処理センサは、速度v1が20mm/s≦v1≦200mm/s,特に50mm/s≦v1≦150mm/sの範囲の速度で移動してなる請求項1ないし8のいずれか1に記載の方法。
- 該イメージ処理センサは測定後、加速されるとともに該イメージ処理センサの粗い位置づけのために殆ど一定の速度v2で移動し、測定の直前に制動され、次いで測定の間、速度v1で移動してなる請求項1ないし9のいずれか1に記載の方法。
- 該イメージ処理センサは、粗い位置づけの間、速度v2が好ましくは100mm/s≦v2≦1000mm/sの範囲の速度で移動してなる請求項1ないし10のいずれか1に記載の方法。
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Family Applications (1)
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EP1729086A1 (en) | 2005-06-03 | 2006-12-06 | Mitutoyo Corporation | Image measuring system, image measuring method and image measuring program |
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EP2734011A1 (en) | 2012-11-19 | 2014-05-21 | Mitutoyo Corporation | LED illuminating method and apparatus for image measuring device |
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US9234852B2 (en) | 2005-07-29 | 2016-01-12 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for controlling strobe illumination |
US7876950B2 (en) | 2006-09-05 | 2011-01-25 | Asm Assembly Automation Ltd | Image capturing for pattern recognition of electronic devices |
DE102009043823A1 (de) | 2008-08-28 | 2010-07-29 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Bestimmen von Strukturen oder Geometrien eines Messobjektes |
DE102010037747A1 (de) | 2009-09-24 | 2011-03-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Bestimmung der Geometrie eines Messobjekts mit Hilfe manueller Positionierung |
DE102011000088A1 (de) | 2010-01-13 | 2011-07-14 | Werth Messtechnik GmbH, 35394 | Verfahren zur Ermittlung eines Verfahrweges bei der Messung von Strukturen eines Objekts |
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DE102019122650A1 (de) * | 2019-08-22 | 2021-02-25 | M & H Inprocess Messtechnik Gmbh | Messsystem |
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