JP2007233516A

JP2007233516A - 画像測定システム、画像測定方法及び画像測定プログラム

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Publication number: JP2007233516A
Application number: JP2006051774A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Fujimaki; 茂藤巻; Koichi Komatsu; 浩一小松
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 2006-02-28
Filing date: 2006-02-28
Publication date: 2007-09-13
Anticipated expiration: 2026-02-28
Also published as: DE602007000113D1; EP1826528A1; EP1826528B1; US7822230B2; JP4652252B2; US20070201041A1

Abstract

【課題】測定精度を悪化させず、また移動機構に過負荷を与えることも防止できる画像測定システム、画像測定方法及び画像測定プログラムを提供する
【解決手段】測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出部３６２と、合成方向を算出した測定点から合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に合成方向を算出した測定点から合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出部３６３と、後走点とその後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前走点とを、両点で合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出部３６４と、算出された通過点を含み測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定部３６５とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段が相対移動しながら指定された測定箇所で停止することなく瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止測定モードを備えた画像測定システム及び画像測定方法及び画像測定プログラムに関する。

従来、ＣＮＣ画像測定機は、図１３に示すようにＣＣＤカメラ等の撮像手段に対して測定ステージ移動させ、測定箇所で停止させると共に、照明光量を調整して被測定対象の画像情報を取得し、取得された画像情報に対して測定ツール設定及びエッジ検出等の画像処理を施すことにより１つの測定箇所の測定を実行する。この測定を測定１，測定２，…のように全ての測定箇所に繰り返し実行することにより必要な箇所の測定を行うようにしている（以下、このような測定モードを「標準モード」と呼ぶ。）。

これに対し、測定のスループットを向上させる目的で、測定箇所でも撮像手段に対して測定ステージを停止させることなく測定動作を行う測定モード（以下、このような測定モードを「非停止測定モード」と呼ぶ。）を備えた画像測定機が提案されている（特許文献１）。この画像測定機は、図１４に示すように、測定ステージを測定箇所で停止させることなく被測定対象にストロボ照明を照射するか又はシャッター付きのＣＣＤカメラを使用して撮像された瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う。また、この画像測定機においては、ＣＣＤカメラを測定領域に高速で粗く位置決め、その後、減速させて所定の低速領域でイメージを取り込む。
特表２００４−５３５５８７号公報、段落０００５〜０００６、図２

上述した従来の画像測定機は、測定すべき複数の箇所が直線上に配置されている場合には問題ないが、直線上に並んでいない場合、測定機速度を一定にして複数箇所の測定を行おうとすると、進行方向の変化角が大きい場合、例えば正方形（方向変化角９０°）、あるいはＺ字形（方向変化角９０°以上）のような測定パスだと、曲がる箇所（以下屈曲点と呼ぶ）においては、それに追従するには大きな加速度を加える必要があり、そのため機械に過負荷が掛かる。これにより機械の振動が発生し、以降の撮像画像のブレ（画像品質の悪化）や撮像位置のズレ等が発生し、画像の測定精度が悪化する。また、場合によっては、過負荷により保安用のヒューズが飛ぶことがある等、問題が生じている。

本発明は、このような問題を鑑みてなされたものであって、測定精度を悪化させず、また移動機構に過負荷を与えることも防止できる画像測定システム、画像測定方法及び画像測定プログラムを提供することを目的とする。

本発明に係る画像測定システムは、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定システムにおいて、測定点を取得する測定点取得部と、前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出部と、前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出部と、前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出部と、前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出部と、前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定部とを備えることを特徴とする。

本発明に係る画像測定方法は、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定方法において、測定点を取得する測定点取得ステップと、前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出ステップと、前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出ステップと、前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出ステップと、前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出ステップと、前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定ステップとを有することを特徴とする。

本発明に係る画像測定プログラムは、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定プログラムにおいて、測定点を取得する測定点取得ステップと、前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出ステップと、前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出ステップと、前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出ステップと、前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出ステップと、前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定ステップとをコンピュータに実行させるよう構成されたことを特徴とする。

本発明によれば、測定点前後に決定される前走点及び後走点により測定点前後では、直線上に移動経路が設定され、所定の測定点の後走点とその測定点より測定順序で一つ後の前走点を滑らかに結ぶ通過点が決定され、その通過点を辿る測定経路が設定される。

したがって、測定精度を悪化させず、また移動機構に過負荷を与えることも防止できる画像測定システム、画像測定方法及び画像測定プログラムを提供することが可能となる。

次に、添付図面に基づいて、本発明の実施形態について説明する。

［システム構成］
図１は、本発明の実施形態に係る画像測定システムの全体構成を示す斜視図である。このシステムは、非接触型の画像測定機１と、この画像測定機１を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム２と、計測結果をプリントアウトするプリンタ３とにより構成されている。

画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、架台１１上には、ワーク１２を載置する測定ステージ１３が装着されており、この測定ステージ１３は、図示しないＹ軸駆動機構によってＹ軸方向に駆動される。架台１１の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム１４、１５が固定されており、この支持アーム１４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１６が固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユニット１７が支持されている。撮像ユニット１７は、図示しないＸ軸駆動機構によってＸ軸ガイド１６に沿って駆動される。撮像ユニット１７の下端部には、ＣＣＤカメラ１８が測定ステージ１３と対向するように装着されている。また、撮像ユニット１７の内部には、図示しない照明装置及びフォーカシング機構の他、ＣＣＤカメラ１８のＺ軸方向の位置を移動させるＺ軸駆動機構が内蔵されている。

コンピュータシステム２は、コンピュータ本体２１、キーボード２２、ジョイスティックボックス（以下、Ｊ／Ｓと呼ぶ）２３、マウス２４及びＣＲＴ２５を備えて構成されている。コンピュータ本体２１は、内部に記憶された所定のプログラムと共に、例えば、図２に示す各機能を実現する。

すなわち、キーボード２２，Ｊ／Ｓ２３及びマウス２４の入力手段からの指示入力に基づいて画像測定機１を制御するためのステージ移動処理部３１と、照明調整処理部３２及びその他測定条件調整処理部３３が設けられている。ステージ移動処理部３１は、入力手段からのステージ移動指示入力に基づいて画像測定機１のＸＹＺ軸駆動機構を制御して、ＣＣＤカメラ１８の測定ステージ１３に対する位置を移動させる。照明調整処理部３２は、ティーチング時には、画像測定機１の照明装置を所定周期で連続的にストロボ点灯すると共に、入力手段からの照明調整指示入力に基づいてストロボ点灯のパルス幅を調整し、非停止測定モード時では、指定された測定箇所において、予め設定されたパルス幅でストロボ点灯させる、その他測定条件調整処理部３３は、その他の測定条件調整指示入力に基づいてレンズ倍率、フォーカシング調整等、その他の測定条件を調整する。

これら各処理部３１〜３３で調整されたステージ位置、ストロボ点灯のパルス幅の情報及びその他の測定条件情報は、入力手段による所定の指示入力に基づいてパラメータ取得部３４で取り込まれる。パラメータ取得部３４で取り込まれたパラメータは、パラメータ記憶部３５に記憶される。パートプログラム生成部３６は、パラメータ記憶部３５に記憶されたパラメータを使用して測定用のパートプログラムを生成する。生成されたパートプログラムは、パートプログラム記憶部３７に記憶される。

パートプログラム生成部３６は、主として、移動方向算出部３６１と、合成方向算出部３６２と、前後走点算出部３６３と、通過点算出部３６４と、測定経路設定部３６５とから構成されている。

移動方向算出部３６１は、パラメータ記憶部３５から取り込まれたパラメータから測定点を得て、例えば、それら測定点の中、測定点２点を結ぶ距離の和が最小となる最短測定経路と、その最短測定経路上の移動方向を算出するように構成されている。

合成方向算出部３６２は、測定経路上において、所定の測定点へ一つ前の測定点から到達する移動方向と、所定の測定点からひとつ後の測定点へ向かう移動方向とを合成した方向である合成方向を算出するように構成されている。なお、この測定点前後の２つの移動方向の合成の割合は、１対１以外であってもよく、適宜変更可能である。

前後走点算出部３６３は、測定点からその合成方向に所定距離戻った位置である前走点と、合成方向が算出された測定点からその合成方向に所定距離進んだ位置である後走点とを算出する。なお、前走点から測定点への距離は、測定点から後走点への距離よりも長くなるものとする。

通過点算出部３６４は、上述した測定点の後走点と、その測定点より測定順序で一つ後の測定点の前走点とを、その両点で滑らかに結合する略円弧を含んだ線上に通過点を算出するように構成されている。なお、隣接する通過点間の距離は、前走点から測定点への距離より短く算出される。

測定経路設定部３６５は、合成ベクトルに沿って上述した測定点と前走点と後走点と通過点とを結ぶ線上を測定の経路に設定する。

パートプログラム実行部３８は、パートプログラム記憶部３７から必要なパートプログラムを読み出してこれを実行し、パートプログラムに記述された各種命令に従って、ステージ移動処理部３１、照明調整処理部３２、その他測定条件調整処理部３３、画像取得部４３を適宜駆動する。ＣＣＤカメラ１８で撮像された画像情報は、画像記憶部４１に逐次記憶される。画像記憶部４１に記憶された画像情報は、表示装置２５で逐次表示される一方、パートプログラムに基づき画像取得部４２によって静止画としてキャプチャされる。画像処理部４３は、画像取得部４２で取得した画像情報に対して、測定ツールの設定、エッジ検出、座標検出等の画像測定のための画像処理を実行する。

［測定経路の設定手順］
次に、図３のフローチャート、適宜図４〜図９を参照し、このように構成された本実施形態に係る画像測定システムの測定経路の設定手順について説明する。なお、この測定経路の設定は、例えば、オフラインティーチングにおけるパートプログラムの作成処理の中での処理となる。図４〜図９は、測定点を決定する方法を模式的に表した図である。特に、図６〜図９は、測定点Ｐ_ｎから測定点Ｐ_ｎ＋１の間の測定経路の決定方法を模式的に表した図である。なお、図６は、図５のＡ部拡大図である。

まず、図４に示すように、パラメータ取得部３４は、パラメータを取得し、測定点Ｐ１〜Ｐｍを決定する（ステップＳ１）。このパラメータとは、測定点を特定する情報である。また、測定点に加え、さらに測定箇所の測定順路が決定されている情報であってもよい。

次に、図５及び図６に示すように、移動方向算出部３６１は、例えば、測定点Ｐ_１〜Ｐ_ｍの中、測定点２点を結ぶ距離の和が最小となる最短測定経路と、その測定経路上の移動方向Ｖ_１〜Ｖ_ｍ−１を算出する（ステップＳ２）。

つづいて、図７に示すように、合成方向算出部３６２は、測定経路上において、測定点Ｐ_ｎへ向かう一つ前の測定点Ｐ_ｎ−１から到達する移動方向Ｖ_ｎ−１と、測定点Ｐ_ｎから次の測定点Ｐ_ｎ＋１へ向かう移動方向との合成方向ＲＶ_ｎを算出する（ステップＳ３）。この図７に示した測定例は、合成方向ＲＶ_ｎ−１、移動方向Ｖ_ｎ−１、合成方向ＲＶ_ｎがこの順で方向変化が同方向の場合で、測定点Ｐ_ｎと測定点Ｐ_ｎ−１との間隔Ｄ_ｎ−１が十分にある場合を示している。なお、図７の場合においては、２つの移動方向の合成の割合は、１対１としているが、例えば、測定速度及び測定点間の角度等により変更可能である。

図７〜図９においては、説明の簡略化のため、合成方向ＲＶ_ｎ，ＲＶ_ｎ＋１の記載のみとしているが、このような合成方向の算出を測定開始の点（１番目）及び測定終了の点（ｍ番目）の測定点を除く全ての測定点Ｐ_２〜Ｐ_ｍ−１に対して行う。また、測定を開始する測定点Ｐ_１であれば、例えば、移動方向Ｖ_１を合成方向ＲＶ１としてもよい。また、測定を終了する測定点Ｐ_ｍであれば、例えば、移動方向Ｖ_ｍ−１を合成方向ＲＶ_ｍとみなしてもよい。

次に、図８に示すように、前後走点算出部３６３により、測定点Ｐｎから合成方向ＲＶ_ｎに所定距離Ｆ_ｎ進んだ位置である後走点Ｈｆ_ｎと、測定点Ｐｎからその合成方向ＲＶ_ｎに所定距離Ｂ_ｎ戻った位置である前走点Ｈｂ_ｎとを算出する（ステップＳ４）。

つづいて、図９に示すように、通過点算出部３６４は、測定点Ｐ_ｎの前走点Ｈｂ_ｎとその一つ前の測定点Ｐ_ｎ−１の後走点Ｈｆ_ｎ−１とを両端とし、これらの点と滑らかに結合される円弧を含む測定経路上の通過点Ｔ_ｎ１〜Ｔ_ｎｎを決定する（ステップＳ５）。この測定経路上の通過点Ｔ_ｎ１〜Ｔ_ｎｎは、方向変化角θ及び通過点間隔Ｌにより定まる。本測定例においては、円弧を二つ形成するように通過点を算出している。なお、測定が開始される測定開始点においては、このステップＳ５における処理は、実行されることなくステップＳ６へと移行する。

ここで、方向変化角θとは、所定の位置Ｏと通過点を結ぶ線分の間の角度差であり、通過点間隔Ｌとは、隣接する通過点間の距離である。方向変化角θ及び通過点間隔Ｌは、アルゴリズム上では任意に決定可能であるが、実測定では、例えば、撮像装置の移動速度等により閾値を設ける必要がある。例えば、方向変化角の閾値θ_ｃは１０°以下であり、通過点間隔の閾値Ｌ_ｃは０．２ｍｍ以上であるなどの設定が可能である。ここで、通過点間隔の閾値Ｌ_ｃは、ほぼ測定機移動速度の関数とみなすことができ、方向変化角の閾値θ_ｃは、測定機の制御可能な最大加速性能の関数とみなすことができる。つまり、（Ｌ_Ｃ、θ_Ｃ）は移動速度の関数としてみなすことができ、例えば、測定機種毎に設定することが可能である。

つづいて、通過点算出部３６４は、測定点Ｐ_ｎの２つ先の測定点Ｐ_ｎ＋２が存在するか否かを判断する（ステップＳ６）。ここで、測定点Ｐ_ｎ＋２が存在する場合（ステップＳ６，ＹＥＳ）、測定点Ｐ_ｎから１つ先の測定点Ｐ_ｎ＋１に対象を移し（ステップＳ７）、ステップＳ３〜ステップＳ６までの処理を繰り返し実行する。

一方、測定点Ｐ_ｎ＋２が存在しない場合（ステップＳ６，ＮＯ）、最終処理が実行され（ステップＳ８）、本フローを終了する。ここで、最終処理とは、測定経路設定部３６５により、合成方向ＲＶ_１〜ＲＶ_ｍに沿って、測定点Ｐ_１〜Ｐ_ｍ、通過点Ｔ_１１〜Ｔ_ｍｎを通る測定経路を設定する処理である。

このように、本実施形態では、撮像装置を測定点前後の所定距離では、直線上に移動させ、測定点から所定距離を過ぎると、略円弧を描いて移動させ、滑らかにその移動方向を変える。したがって、測定点前後では、直線に移動するので、撮像装置に余分な負荷がかからず振動が生じず、高精度の測定が可能である。また、測定点から所定距離移動すれば、次の測定点へ向かって円弧を描いて移動し、滑らかにその移動方向を変えるので、撮像装置に急激な角度変位による負荷をもたらすことはなく、移動速度を一定に維持することができるので、さらに高速に測定を実行することができる。

［その他測定点の配置パターンによる測定経路の設定例］
次に、図１０〜図１２を参照して、図６〜図９に示した測定点の配置例と異なる場合における、測定経路の設定例を説明する。図１０〜図１２は、測定経路の設定例を説明する図である。上述したようにこれら測定経路の円弧上の通過点の算出は、通過点算出部３６４によってなされ、撮像装置の移動速度、測定点間の距離、通過点を算出する２つの測定点における移動方向の角度差等に基づき決定される。

図１０に示す例では、ＲＶ’_ｎ−１からＶ’_ｎ−１の変化方向と、Ｖ’_ｎ−１からＲＶ’_ｎの変化方向が逆になる場合で、且つ、２つの円弧で挟まれる共通接線が存在する場合である。このような場合、通過点算出部３６４は、例えば、２つの円弧上に通過点Ｔ’_ｎ１〜Ｔ’_ｎｎを配置し、その２つの円弧を直線で結ぶ経路を形成する。

図１１に示す例では、合成方向ＲＶ’’_ｎ−１、移動方向Ｖ’’_ｎ−１、合成方向ＲＶ’’_ｎがこの順で方向変化が同方向の場合で、且つ、２つの円弧の共通接線が経路になり得ない場合である。図９に示した例と異なる点は、測定点Ｐ’’_ｎと測定点Ｐ’’_ｎー１との間の距離Ｄ’’_ｎ−１であり、この距離Ｄ’’_ｎ−１は、距離Ｄ_ｎ−１と比較して、短い。このような場合、図９のような、２つの円弧とそれらを結ぶ直線で経路を構成することは不可能である。このため、通過点算出部３６４は、例えば、直線ＲＶ’’_ｎ―１とＲＶ’’_ｎに共通に接する１つの円弧上に通過点Ｔ’’_ｎ１〜Ｔ’’_ｎｎを配置する。

図１２に示す例は、図１０に示した例と、測定点Ｐ’’’_ｎと測定点Ｐ’’’_ｎー１との間の距離Ｄ’’’_ｎ−１が異なる例であり、この距離Ｄ’’’_ｎ−１は、距離Ｄ’_ｎ−１と比較して、短い。このような場合、通過点算出部３６４は、例えば、上述の方法により生成された円をＲＶ’’’_ｎ―１に対して線対称位置に移動させた円とＰ’’’_ｎ側の円との２つの円に対して共通接線を計算し、これらの円及び共通接線で構成される経路上にある円弧上に通過点Ｔ’’’_ｎ１〜Ｔ’’’_ｎｎを配置する。

このように、測定点の配置パターン（測定点間の距離、移動方向など）によって、通過点算出部３６４は、通過点が配置される円弧と直線配置の最適化を行うので、どのような測定経路（測定点の配置）であっても、撮像装置に急激な角度変位による負荷をもたらすことはない。また、移動速度を一定に維持することができるので、さらに高速に測定を実行することができる。

この発明の一実施形態に係る画像測定システムの構成を示す外観斜視図である。同測定システムにおけるコンピュータの機能ブロック図である。同測定システムによる測定経路の設定手順を示すフローチャート図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定動作の一部を示す図である。同システムによる測定経路の設定例を示す図である。同システムによる測定経路の設定例を示す図である。同システムによる測定経路の設定例を示す図である。標準停止モードでの測定を説明するための図である。非停止測定モードでの測定を説明するための図である。

符号の説明

１…画像測定機、２…コンピュータ、３…プリンタ、１２…ワーク、１３…測定ステージ、３１…ステージ移動処理部、３２…照明調整処理部、３３…その他測定条件調整処理部、３４…パラメータ取込部、３５…パラメータ記憶部、３６…パートプログラム生成部、３７…パートプログラム記憶部、３８…パートプログラム実行部、４１…画像記憶部、４２…画像取得部、４３…画像処理部。

Claims

被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定システムにおいて、
測定点を取得する測定点取得部と、
前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出部と、
前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出部と、
前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出部と、
前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出部と、
前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定部と
を備えることを特徴とする画像測定システム。
隣接する前記測定点の距離及び前記撮像手段の移動速度に伴ない隣接する前記通過点間の距離及び隣接する前記通過点間の所定の位置を基点とした角度差を決定することを特徴とする請求項１記載の画像測定システム。
前記測定点と前記前走点との間の距離は、前記測定点と前記後走点との間の距離よりも長いことを特徴とする請求項１又は２記載の画像測定システム。
前記複数の通過点を含む経路は、円弧状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の画像測定システム。
被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定方法において、
測定点を取得する測定点取得ステップと、
前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出ステップと、
前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出ステップと、
前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出ステップと、
前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出ステップと、
前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定ステップと
を有することを特徴とする画像測定方法。
被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら複数の測定箇所のそれぞれで前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定プログラムにおいて、
測定点を取得する測定点取得ステップと、
前記測定点を結ぶ最短経路を取得すると共に該最短経路上における移動方向を算出する移動方向算出ステップと、
前記測定点前後の移動方向を合成した合成方向を算出する合成方向算出ステップと、
前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離戻った位置である前走点を算出すると共に前記合成方向を算出した測定点から前記合成方向に所定距離進んだ位置である後走点を算出する前後走点算出ステップと、
前記後走点と該後走点を算出した測定点より測定順序でひとつ後の測定点における前記前走点とを、両点で前記合成方向に沿うように滑らかに結ぶ経路上に配置された複数の通過点を算出する通過点算出ステップと、
前記算出された通過点を含み前記測定点の前走点からひとつ後の測定点の前走点までを結ぶ線を測定の経路に設定する測定経路設定ステップと
をコンピュータに実行させるよう構成されたことを特徴とする画像測定プログラム。