JP2004093345A - ジッタ測定回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ジッタ測定回路は、基準信号と被測定信号のいずれかを他の一方に応答してサンプリングすることによりサンプリングデータ列を得る変換部と、変換部から得られたサンプリングデータ列に基づいて被測定信号のジッタを測定する判定部とを含む。基準信号は所定周期の安定的な信号であるため測定結果であるサンプリングデータ列は被測定信号に依存する。測定結果のばらつきに応じて期待値データとの相対的な測定に基づいてジッタレベルを簡易に測定することができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、周期性信号に含まれるジッタを測定するジッタ測定回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年のパソコンのメモリクロックバスの高速化、IEEE−1394といった高速インターフェイスの出現、携帯電話やBluetoothを始めとする無線LANといったデジタル無線伝送の急激な立上がりなどにおいて、ジッタ測定の潜在ニーズが一般的に高まってきている。
【0003】
ジッタ測定の方式としては、たとえば特開2000−292469号公報には被測定物から出力された信号を同一周期で量子化し、その量子化した出力データの変化量に基づいてジッタをリアルタイムで測定する方式が示されており、その他種々の方式が提案されている。
【0004】
一方、このようなジッタ測定をする機器として、測定する信号の時間間隔を取りこぼしなく連続的に測定して大量のデータを捕獲し、時間間隔のヒストグラムを表示するなどの解析機能を持たせたタイムインターバルアナライザや信号のスペクトラムを解析するスペクトラムアナライザ等の計測器による計測や、これらと同様の機能を有するアナログテスタが用いられてきた。また、近年においては、ミックスドシグナルと呼ばれるデジタル信号およびアナログ信号が混在しているデジ・アナ混在IC、すなわちミックスドデバイスを試験するミックスシグナルテスタにおいても同様の機能を有するものが出現してきている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、こうした計測器やテスタによるジッタ測定システムを構築する場合には、システム構築に費用と時間とがかかる。さらには、ジッタ測定機能を持つテスタは高価であるという問題がある。
【0006】
本発明は、上記のような問題を解決するためのもので、ジッタ測定を低コストで簡易に実現するジッタ測定回路を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のある局面に従うジッタ測定回路は、所定周期を有する周期的な基準信号を生成する基準信号発生部と、基準信号と測定対象から出力された周期的な被測定信号のいずれかを他の一方に応答してサンプリングすることによりサンプリングデータ列を得るための変換部と、変換部から得られたサンプリングデータ列に基づいて、被測定信号のジッタを測定する判定部とを備える。
【0008】
好ましくは、判定部は、サンプリングデータ列から得られるデータ信号の周波数成分に基づいて被測定信号のジッタを測定する。
【0009】
特に、判定部は、サンプリングデータ列を高速フーリエ変換(FFT)することによりデータ信号の周波数成分を算出する。
【0010】
特に、判定部は、データ信号の周波数成分から得られる信号対雑音比と所望の信号対雑音比とを比較することによりジッタを測定する。
【0011】
好ましくは、ジッタ測定回路は、他の判定試験を実行する試験部と、試験部を制御する制御部とをさらに備え、制御部は、ジッタを測定する場合には判定部として動作する。
【0012】
好ましくは、ジッタ測定回路は、データを記憶する記憶部をさらに備え、記憶部は、判定部の測定に用いられるためのデータを予め格納する。
【0013】
特に、ジッタ測定回路は、他の判定試験を実行する試験部をさらに備え、記憶部は、試験部で用いるデータをさらに記憶する。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、その説明は繰返さない。
【0015】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に従うジッタ測定回路10と測定対象となるDUT5(Device Unit Testing)の概念図である。
【0016】
図1を参照して、本発明の実施の形態1に従うジッタ測定回路10は、高純度すなわち一定の理想的な周期信号を発生する基準信号発生部1と、基準信号発生部1から出力された信号の振幅を高精度にアナログデジタル変換する測定部2と、データを記憶するデータ記憶部3と、データ記憶部3に記憶されたデータを基にジッタ量を算出するデータ解析部4とを含む。基準信号発生部1から発生する周期信号としてはたとえば一例として正弦波を挙げることができる。また、測定部2は、測定対象となるDUT5から出力された測定クロック信号をサンプリングクロックとする入力を受ける。
【0017】
図2のフローチャートを用いて、本発明の実施の形態1に従うジッタ測定回路の動作について説明する。
【0018】
図1および図2を参照して、測定部2は、DUT5から出力された周期信号である測定クロック信号をサンプリングクロックとして基準信号をサンプリング定理にしたがってデジタル変換し(ステップS1)、得られた測定データをデータ記憶部3に出力する。なお、サンプリング定理を満たすためにサンプリングクロックである測定クロック信号は基準信号の2倍以上の周波数を有する。
【0019】
次に、データ記憶部3は、デジタル変換された測定データと予め記憶されていた理想的な期待値データとをデータ解析部4に出力する(ステップS2)。
【0020】
次に、データ解析部4は、デジタル変換された測定データに対して時間領域から周波数領域の信号に変換するためのいわゆる高速フーリエ変換(FFT)処理を実行することによりデータ信号の周波数値すなわち周波数成分を算出する(ステップS3)。
【0021】
次に、データ解析部4は、データの周波数成分の信号対ノイズ比(以下、SN比とも称する)と期待値データである所望のSN比とに基づいて測定クロック信号のジッタを測定する(ステップS4)。
【0022】
一般的に、デジタル変換によって得られたデータからSN比のデータ解析を実行した場合、基準信号とサンプリングクロックとの純度によってSN比の解析結果は大きく影響される。すなわち、測定部2に対応する高精度なアナログデジタル変換回路に高純度の基準信号を入力することにより、解析結果はサンプリングクロックである測定クロック信号の純度の影響を大きく受ける。
【0023】
具体的には、仮にサンプリングクロックである測定クロック信号にジッタがない場合にはサンプリング周期が非常に安定的であるためFFT解析を実行すると、基準信号の所望の周期に対応した周波数成分のみが表れる。したがって、当該解析結果から得られるSN比は低い値となる。
【0024】
一方、サンプリングクロックである測定クロック信号にジッタがある場合にはサンプリング周期がばらつくためFFT解析を実行すると、基準信号の所望の周期以外の周波数成分も表れる。したがって、当該解析結果から得られるSN比は周波数のばらつきのために値が大きくなる。
【0025】
これらの結果を相対的に比較することによりジッタレベルを測定することができる。
【0026】
本実施の形態1に従うジッタ測定回路の構成を採用することにより、高価な専用計測器や同様の機能を設けたテスタを用いることなく、簡易にジッタの測定を行なうことができるためコストを削減することができる。
【0027】
(実施の形態1の変形例1)
図3は、本発明の実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11および測定対象となるDUT5の概念図である。
【0028】
図3を参照して、本発明の実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11は、ジッタ測定回路10と比較して測定部2に対して、基準信号発生部1で生成された基準信号の代わりにDUT5で生成される測定クロック信号を入力し、DUT5の測定クロック信号の代わりにサンプリング信号発生部で生成された純度の高いサンプリングクロックを入力する点が異なる。その他の点は、図1で示した実施の形態1のジッタ測定回路10と同様の構成であるのでその説明は繰返さない。
【0029】
図4のフローチャートを用いて、本発明の実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11の動作について説明する。
【0030】
図3および図4を参照して、測定部2は、サンプリング信号発生部6によって生成されたサンプリングクロックによりDUT5から出力された周期信号である測定クロック信号をサンプリング定理にしたがってデジタル変換し(ステップS5)、得られた測定データをデータ記憶部3に出力する。なお、サンプリング定理を満たすためにサンプリングクロックは測定クロック信号の2倍以上の周波数を有する。
【0031】
次に、データ記憶部3は、デジタル変換された測定データと予め記憶されていた理想的な期待値データとをデータ解析部4に出力する(ステップS6)。
【0032】
次に、データ解析部4は、デジタル変換された測定データに対して時間領域から周波数領域の信号に変換するためのいわゆる高速フーリエ変換(FFT)処理を実行することによりデータの周波数成分を算出する(ステップS7)。
【0033】
次に、データ解析部4は、データの周波数成分のSN比と期待値データである所望のSN比とに基づいて測定クロック信号のジッタを測定する(ステップS8)。
【0034】
上記のジッタ測定回路11の動作についても実施の形態1で示したジッタ測定回路10の動作と同様に、デジタル変換によって得られたデータからSN比のデータ解析を実行した場合、測定クロック信号とサンプリングクロックとの純度によってSN比の解析結果は大きく影響される。すなわち、測定部2に対応する高精度なアナログデジタル変換回路に高純度のサンプリングクロックを入力することにより、解析結果は測定クロック信号の純度の影響を大きく受ける。
【0035】
具体的には、仮に測定クロック信号にジッタがない場合にはサンプリングクロックのサンプリング周期は一定であるためFFT解析を実行すると、測定クロック信号の所望の周期に対応した周波数成分のみが表れる。したがって、当該解析結果から得られるSN比は低い値となる。
【0036】
一方、測定クロック信号にジッタがある場合にはサンプリング周期が一定であったとしても、測定クロック信号の周期がジッタによりばらつくためFFT解析を実行すると、測定クロック信号の所望の周期以外の周波数成分も表れる。したがって、当該解析結果から得られるSN比は周波数のばらつきのために値が大きくなる。
【0037】
これらの結果を相対的に比較することによりジッタレベルを測定することができる。
【0038】
本実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路の構成を採用することにより、高価な専用計測器や同様の機能を設けたテスタを用いることなく、簡易にジッタの測定を行なうことができるためコストを削減することができる。
【0039】
(実施の形態2)
上記の実施の形態1では測定対象であるDUT5を直接ジッタ測定回路で測定する構成について説明した。本発明の実施の形態2においては、実施の形態1で示したジッタ測定の方式に従う機能を備えた半導体試験装置の構成について説明する。
【0040】
図5は、本発明の実施の形態2に従う半導体試験装置20と測定対象であるDUT5の概念図である。
【0041】
図5を参照して、本発明の実施の形態2に従う半導体試験装置20は、半導体試験装置全体を制御する制御部22と、内部回路とデータの授受を行なう内部バス28と、測定対象となるDUT5に対してテスト信号の入出力を実行するテスト信号生成部27と、測定対象となるDUT5のジッタ測定を実行するためのジッタ測定部30とを含む。
【0042】
テスト信号生成部27は、ある特定パターンのテスト信号を測定対象であるDUT5に入力して、応答する出力信号に基づいてDUT5の良否を判定することを目的とする。
【0043】
テスト信号生成部27は、一定の周期信号である基準信号を生成する基準信号発生回路24と、制御部22からの指示に応答してテスト信号を形成するための波形形成回路25と、テスト信号の振幅を調整し、測定対象にテスト信号を出力する波形入出力回路26と、制御部22からの指示に応答してテスト信号の振幅調整のための電圧を供給する電源23とを含む。また、波形入出力回路26は、さらに測定対象からの信号入力を受ける。これに伴い、波形形成回路25は、波形入出力回路26から信号を受け、そのデータを制御部22に出力する。
【0044】
テスト信号生成部27に従うテストについて説明する。
基準信号発生回路24は、制御部22の指示に応答して基準信号を生成する。波形形成回路25は、制御部22からの指示に応答して当該基準信号からある特定のテストパターンに基づくテスト信号を生成する。波形入出力回路26は、出力するテスト信号の振幅を調整して、測定対象であるDUT5に入力する。DUT5は、テスト信号の入力に応答して出力信号をテスト信号生成部27に出力する。波形形成回路25は、入力された当該出力信号のデータを制御部22に出力し、解析する。たとえば、一例としてある特定パターンのテスト信号を入力した場合に、同様のパターンの出力信号が得られた場合には良品であるとの判定をするテストをすることも可能である。
【0045】
ジッタ測定部30は、基準信号発生部1と、測定部2と、データ記憶部3と、データ解析部4とを含む。このジッタ測定部30は、実施の形態1で説明したジッタ測定回路10と同様の構成であり、接続関係および動作等の詳細な説明は繰り返さない。これに伴い、当該ジッタ測定部30によりDUT5から出力された測定クロック信号のジッタ測定を実行することができる。
【0046】
また、内部バス28を介してデータ解析部4で解析された結果が制御部22へ渡される。
【0047】
本発明の半導体試験装置の如く、半導体試験装置内にジッタ測定を実行することが可能なジッタ測定部30を内蔵することにより、半導体試験装置においてもジッタ測定を簡易かつ低コストで実行することが可能である。
【0048】
また、内部バス28を介して制御部22とデータ解析部4との間でデータの授受が実行されるためジッタ測定を高速化し、試験時間を短縮することができる。
【0049】
(実施の形態2の変形例1)
図6は、本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体試験装置21および測定対象となるDUT5の概念図である。
【0050】
図6を参照して、本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体試験装置21は、図5の半導体試験装置20と比較してジッタ測定部30をジッタ測定部31に置換した点が異なる。
【0051】
ジッタ測定部31は、図3で示した実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11と同様の構成であり、接続関係および動作等の詳細な説明は繰り返さない。これに伴い、当該ジッタ測定部31によりDUT5から出力された測定クロック信号のジッタ測定を実行することができる。
【0052】
本発明の構成の如くジッタ測定部31を半導体試験装置に内蔵することにより上述した実施の形態2と同様の効果を得ることができる。
【0053】
(実施の形態2の変形例2)
図7は、本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体試験装置20#および測定対象DUT5の概念図である。
【0054】
図7を参照して、本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体試験装置20#は、図5に示した半導体試験装置20と比較してジッタ測定部30をジッタ測定部30#に置換した点が異なる。
【0055】
ジッタ測定部30#は、ジッタ測定部30と比較してデータ解析部4を取り除いた点で異なる。その他の点は同様であるのでその説明は繰り返さない。
【0056】
本実施の形態2の変形例2の半導体試験装置20#は、制御部22でジッタ測定部30#で得られたデータを解析することを目的とする。具体的にはデータ記憶部3から内部バス28を介して制御部22に入力され、制御部22においてジッタ測定のための解析が実行される。
【0057】
本実施の形態2の変形例2の半導体試験装置20#の構成の如く、データ解析部4を除去して、制御部22において同様の機能を実行することにより、実施の形態2と同様の効果を得るとともに部品点数をさらに削減し、コストを削減することが可能となる。
【0058】
(実施の形態2の変形例3)
図8は、本発明の実施の形態2の変形例3に従う半導体試験装置21#および測定対象DUT5の概念図である。
【0059】
図8を参照して、本発明の実施の形態2の変形例3に従う半導体試験装置21#は、図6に示した半導体試験装置21と比較してジッタ測定部31をジッタ測定部31#に置換した点が異なる。
【0060】
ジッタ測定部31#は、ジッタ測定部31と比較してデータ解析部4を取り除いた点で異なる。その他の点は同様であるのでその説明は繰り返さない。
【0061】
本実施の形態2の変形例3の半導体試験装置21#は、制御部22でジッタ測定部31#で得られたデータを解析することを目的とする。具体的にはデータ記憶部3から内部バス28を介して制御部22に入力され、制御部22においてジッタ測定のための解析が実行される。
【0062】
本実施の形態2の変形例2の半導体試験装置21#の構成の如く、データ解析部4を除去して、制御部22において同様の機能を実行することにより、実施の形態2と同様の効果を得るとともに部品点数をさらに削減し、コストを削減することが可能となる。
【0063】
(実施の形態2の変形例4)
図9は、本発明の実施の形態2の変形例4に従う半導体試験装置20aおよび測定対象DUT5の概念図である。
【0064】
図9を参照して、本発明の実施の形態2の変形例4に従う半導体試験装置20aは、図7で示した半導体試験装置20#と比較してジッタ測定部30#をジッタ測定部30aに置換した点と、リペア解析機能部29をさらに設けた点とが異なる。
【0065】
リペア解析機能部29は、測定対象であるDUT5にメモリが内蔵されている場合にメモリ内の不良を検知し解析する。
【0066】
リペア解析機能部29は、メモリ内の不良を示すデータ信号を検知するエラーキャッチ部64と、入力されたデータ信号を解析する解析部65とを含む。
【0067】
エラーキャッチ部64は、波形入出力回路26から入力されるデータ信号を受けて論理演算を実行するスクランブル回路63と、スクランブル回路63の論理演算結果を記憶する記憶部62とを含む。
【0068】
解析部65は、解析制御部60の指示に応答して、入力されたデータを解析するために記憶部62から出力された情報を記憶するとともに、解析結果を記憶する記憶部61と、記憶部61に記憶されている情報に基づいてメモリ内の不良を解析する解析制御部60とを含む。
【0069】
不良解析時の動作について説明する。
不良解析を実行するモードにおいて、制御部22は、テスト信号生成部27を用いて所定のテスト信号をDUT5に出力する。これに応答してDUT5からメモリ内のアドレス等に関する不良情報のデータ信号が波形入出力回路26に出力される。波形入出力回路26は、当該不良解析を実行するモードにおいてDUT5から出力されたデータ信号をリペア解析機能部29に伝達する。これに従い、リペア解析機能部29は、不良解析を実行する。
【0070】
ジッタ測定部30aは、ジッタ測定部30#と比較してデータ記憶部3を一時記憶部3#に置換した点が異なる。その他の点は同様の構成であるのでその説明は繰返さない。
【0071】
本発明の実施の形態2の変形例4は、ジッタ測定部30aで記憶していたデータ等をリペア解析機能部29内に設けられた記憶部61に記憶させることを目的とする。
【0072】
具体的には、測定部2において得られたデータを一時記憶部3#を介してリペア解析機能部29へ出力し、リペア解析機能部29の記憶部61から解析制御部60を介して制御部22に解析に必要なデータが内部バス28を介して転送される。
【0073】
本構成とすることにより、ジッタ測定部において設けられていたデータ記憶部3の記憶データを他の試験機能を有するリペア解析機能部29内の記憶部で記憶させることにより、実施の形態2と同様の効果を得るとともに回路の部品点数をさらに削減するとともに、コストを削減することができる。
【0074】
なお、本実施の形態2の変形例4のジッタ測定部30aにおいては、データの転送速度の高速化を担保すべく一時記憶部3#を設けているが当該一時記憶部3#を設けない構成とすることも可能である。
【0075】
また、ここでは記憶部61にジッタ測定部において必要なデータ等を記憶する構成について説明したが、記憶部61に限らず記憶部62に記憶させる構成でもよい。また、リペア解析機能部29に限らず、他の試験機能を有する回路部等に設けられた記憶領域に記憶させることも可能である。
【0076】
(実施の形態2の変形例5)
図10は、本発明の実施の形態2の変形例5に従う半導体試験装置21aおよび測定対象DUT5の概念図である。
【0077】
図10を参照して本発明の実施の形態2の変形例5に従う半導体試験装置21aは、図8で示した半導体試験装置21#と比較してジッタ測定部31#をジッタ測定部31aに置換した点と、リペア解析機能部29をさらに設けた点とが異なる。
【0078】
ジッタ測定部31aは、ジッタ測定部31#と比較してデータ記憶部3を一時記憶部3#に置換した点が異なる。その他の点は同様の構成であるのでその説明は繰返さない。
【0079】
本発明の実施の形態2の変形例5は、ジッタ測定部31aで記憶していたデータ等をリペア解析機能部29内に設けられた記憶部61に記憶させることを目的とする。
【0080】
具体的には、測定部2において得られたデータを一時記憶部3#を介してリペア解析機能部29へ出力し、リペア解析機能部29の記憶部61から解析制御部60を介して制御部22に解析に必要なデータが内部バス28を介して転送される。
【0081】
本構成とすることにより、ジッタ測定部において設けられていたデータ記憶部3の記憶データを他の試験機能を有するリペア解析機能部29内の記憶部で記憶させることにより、実施の形態2と同様の効果を得るとともに回路の部品点数をさらに削減するとともに、コストを削減することができる。
【0082】
なお、本実施の形態2の変形例5のジッタ測定部31aにおいては、データの転送速度の高速化を担保すべく一時記憶部3#を設けているが当該一時記憶部3#を設けない構成とすることも可能である。
【0083】
また、ここでは記憶部61にジッタ測定部において必要なデータ等を記憶する構成について説明したが、記憶部61に限らず記憶部62に記憶させる構成でもよい。また、リペア解析機能部29に限らず、他の試験機能を有する回路部等に設けられた記憶領域に記憶させることも可能である。
【0084】
上記の実施の形態2およびその変形例においては、半導体試験装置内にジッタ測定を実行するジッタ試験部を内蔵する構成について説明してきたが、逆に実施の形態1およびその変形例で説明したジッタ試験回路について、当該半導体試験装置が有する上述の試験機能を備えた構成とすることも可能である。
【0085】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3は、上述したジッタ測定を実行することができる機能を備えた回路をデバイスインターフェイスボードに備えることを目的とする。
【0086】
図11は、本発明の実施の形態3に従うデバイスインターフェイスボード45および半導体試験装置40の概念図である。
【0087】
デバイスインターフェイスボード45は、測定対象であるDUT5とジッタ測定部30とを含む。
【0088】
半導体試験装置40は、デバイスインターフェイスボード45と電気的に接続され、測定対象であるDUT5に所望のテストを実行する。
【0089】
また、半導体試験装置40は、デバイスインターフェイスボード45に設けられたジッタ測定部30を用いてジッタ測定も実行する。
【0090】
本発明の実施の形態3に従うデバイスインターフェイスボードの構成の如く、ジッタ測定部30をボードに組み込むことにより、実施の形態2で説明した半導体試験装置に内蔵しない場合においても同様の測定を実行することができる。
【0091】
なお、本実施の形態3のデバイスインターフェイスボード45の構成についてはジッタ測定部30を用いた構成について説明したがジッタ測定部30の代わりにジッタ測定部31を用いた構成についても同様に適用可能である。
【0092】
また、デバイスインターフェイスボードは比較的安価に製造することができるため当該ジッタ測定機能を備えたボードを大量かつ低コストで製造することができる。
【0093】
また、当該デバイスインターフェイスボードを他の図示しない半導体試験装置にもそのまま汎用することができるため効率的である。
【0094】
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4は、半導体装置に上述したジッタ測定部を備えた構成について説明する。
【0095】
図12は、本発明の実施の形態4に従う半導体装置50の概念図である。
図12を参照して、本発明の実施の形態4に従う半導体装置50は、外部から入力されるクロック信号に同期し、かつ内部回路で用いられる内部クロック信号を発生させるPLL51(フェイズロックドループ)と、半導体装置全体を制御する制御部52と、制御部52によって制御され、所望の論理動作を実行するロジック回路53と、データを記憶するメモリ54と、ジッタ測定を実行するためのジッタ測定部30とを含む。
【0096】
ここで、ジッタ測定部30の動作について説明する。
ジッタ測定部30は、PLL51から発生した内部クロック信号の入力を受け当該内部クロック信号のジッタ測定を実行し、解析結果をメモリ54に記憶する。制御部52は、メモリ54に記憶された解析結果に基づいてジッタの少ない内部クロック信号を発生するようにPLL51に指示する。
【0097】
本構成の如く半導体装置にジッタ測定部を搭載することにより内部クロック信号のジッタレベルを測定し、内部クロック信号を補正することができる。
【0098】
上記の構成においては、ジッタレベルを測定し、補正する構成について説明したが、当該解析結果に基づく測定値を外部に出力する構成としてもよい。
【0099】
また、上記の構成においては内部クロック信号のジッタ測定を実行するジッタ測定部30について説明したがこれに限られず他の信号のジッタ測定を実行することも可能である。
【0100】
また、半導体装置50においてはジッタ測定部30を搭載する構成について説明したがジッタ測定部31を搭載する構成についても同様に適用可能である。
【0101】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0102】
【発明の効果】
請求項1〜7記載のジッタ測定回路は、基準信号と被測定信号のいずれかを他の一方に応答してサンプリングすることによりサンプリングデータ列を得る変換部と、変換部から得られたサンプリングデータ列に基づいて被測定信号のジッタを測定する判定部とを含む。基準信号は所定周期の安定的な信号であるため測定結果であるサンプリングデータ列は被測定信号に依存する。測定結果のばらつきに応じて期待値データとの相対的な測定に基づいてジッタレベルを簡易に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に従うジッタ測定回路10と測定対象となるDUT5の概念図である。
【図2】本発明の実施の形態1に従うジッタ測定回路の動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11および測定対象となるDUT5の概念図である。
【図4】本発明の実施の形態1の変形例1に従うジッタ測定回路11の動作を示すフローチャートである。
【図5】本発明の実施の形態2に従う半導体試験装置20と測定対象であるDUT5の概念図である。
【図6】本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体試験装置21および測定対象となるDUT5の概念図である。
【図7】本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体試験装置20#および測定対象DUT5の概念図である。
【図8】本発明の実施の形態2の変形例3に従う半導体試験装置21#および測定対象DUT5の概念図である。
【図9】本発明の実施の形態2の変形例4に従う半導体試験装置20aおよび測定対象DUT5の概念図である。
【図10】本発明の実施の形態2の変形例5に従う半導体試験装置21aおよび測定対象DUT5の概念図である。
【図11】本発明の実施の形態3に従うデバイスインターフェイスボード45および半導体試験装置40の概念図である。
【図12】本発明の実施の形態4に従う半導体装置50の概念図である。
【符号の説明】
1 基準信号発生部、2 測定部、3 データ記憶部、4 データ解析部、5DUT、6 サンプリング信号発生部、10,11 ジッタ測定回路、20,20#,20a,21,21#,21a,40 半導体試験装置、45 デバイスインターフェイスボード、50 半導体装置。
Claims (7)
- 所定周期を有する周期的な基準信号を生成する基準信号発生部と、
前記基準信号と測定対象から出力された周期的な被測定信号のいずれかを他の一方に応答してサンプリングすることによりサンプリングデータ列を得るための変換部と、
前記変換部から得られた前記サンプリングデータ列に基づいて、前記被測定信号のジッタを測定する判定部とを備える、ジッタ測定回路。 - 前記判定部は、前記サンプリングデータ列から得られるデータ信号の周波数成分に基づいて前記被測定信号のジッタを測定する、請求項1記載のジッタ測定回路。
- 前記判定部は、前記サンプリングデータ列を高速フーリエ変換(FFT)することにより前記データ信号の周波数成分を算出する、請求項2記載のジッタ測定回路。
- 前記判定部は、前記データ信号の周波数成分から得られる信号対雑音比と前記所望の信号対雑音比とを比較することにより前記ジッタを測定する、請求項2記載のジッタ測定回路。
- 前記ジッタ測定回路は、
他の判定試験を実行する試験部と、
前記試験部を制御する制御部とをさらに備え、
前記制御部は、前記ジッタを測定する場合には前記判定部として動作する、請求項1記載のジッタ測定回路。 - 前記ジッタ測定回路は、
データを記憶する記憶部をさらに備え、
前記記憶部は、前記判定部の前記測定に用いられるためのデータを予め格納する、請求項1記載のジッタ測定回路。 - 前記ジッタ測定回路は、
他の判定試験を実行する試験部をさらに備え、
前記記憶部は、前記試験部で用いるデータをさらに記憶する、請求項6記載のジッタ測定回路。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007099970A1 (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-07 | Advantest Corporation | 測定装置、試験装置、電子デバイス、測定方法、プログラム、及び記録媒体 |
US7398169B2 (en) | 2006-02-27 | 2008-07-08 | Advantest Corporation | Measuring apparatus, measuring method, testing apparatus, testing method, and electronics device |
US7421355B2 (en) | 2006-02-27 | 2008-09-02 | Advantest Corporation | Measuring apparatus, measuring method, testing apparatus, testing method, and electronic device |
US7970565B2 (en) | 2006-02-27 | 2011-06-28 | Advantest Corporation | Measuring device, test device, electronic device, program, and recording medium |
US8442788B2 (en) | 2006-02-27 | 2013-05-14 | Advantest Corporation | Measuring device, test device, electronic device, measuring method, program, and recording medium |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4150759B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2008-09-17 | テクトロニクス・インコーポレイテッド | クロック再生方法及びジッタ測定方法 |
US7668233B2 (en) * | 2004-07-28 | 2010-02-23 | Circadiant Systems, Inc. | Method of determining jitter and apparatus for determining jitter |
JP4528659B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2010-08-18 | パナソニック株式会社 | クロックジッタ算出装置、クロックジッタ算出方法、およびクロックジッタ算出プログラム |
US7460592B2 (en) * | 2005-05-04 | 2008-12-02 | Advantest Corporation | Apparatus for measuring jitter and method of measuring jitter |
US7991045B2 (en) * | 2005-06-10 | 2011-08-02 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Device and method for testing signal-receiving sensitivity of an electronic subassembly |
US7912117B2 (en) * | 2006-09-28 | 2011-03-22 | Tektronix, Inc. | Transport delay and jitter measurements |
US7277805B2 (en) * | 2006-01-06 | 2007-10-02 | International Business Machines Corporation | Jitter measurements for repetitive clock signals |
US7286947B1 (en) | 2006-04-13 | 2007-10-23 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for determining jitter and pulse width from clock signal comparisons |
US7684478B2 (en) * | 2006-06-30 | 2010-03-23 | International Business Machines Corporation | Generating an eye diagram of integrated circuit transmitted signals |
US7383160B1 (en) * | 2006-06-30 | 2008-06-03 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for constructing a synchronous signal diagram from asynchronously sampled data |
US7389192B2 (en) * | 2006-06-30 | 2008-06-17 | International Business Machines Corporation | Determining data signal jitter via asynchronous sampling |
US8006141B2 (en) * | 2009-06-30 | 2011-08-23 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method for speeding up serial data tolerance testing |
US20120213098A1 (en) * | 2011-02-21 | 2012-08-23 | Future Wireless Tech LLC | Real-time and synchronization Internet of things analyzer System Architecture |
US20140306689A1 (en) * | 2013-04-10 | 2014-10-16 | Texas Instruments, Incorporated | High resolution current pulse analog measurement |
CN103840803B (zh) * | 2013-12-04 | 2017-01-04 | 中国航空工业集团公司第六三一研究所 | 一种离散量抖动屏蔽的实现方法 |
US9568548B1 (en) | 2015-10-14 | 2017-02-14 | International Business Machines Corporation | Measurement of signal delays in microprocessor integrated circuits with sub-picosecond accuracy using frequency stepping |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004077079A1 (ja) * | 1993-08-25 | 2004-09-10 | Hitoshi Ujiie | ジッタ解析装置 |
US6240130B1 (en) * | 1997-07-30 | 2001-05-29 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus to measure jitter. |
DE69923160T2 (de) * | 1998-01-30 | 2005-12-29 | Wavecrest Corp., Edina | Jitter analysator und verfahren zur jitter analyse |
US6167359A (en) * | 1998-06-12 | 2000-12-26 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for characterizing phase noise and timing jitter in oscillators |
US6621860B1 (en) * | 1999-02-08 | 2003-09-16 | Advantest Corp | Apparatus for and method of measuring a jitter |
JP2000292469A (ja) | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Teratekku:Kk | ジッタ測定装置 |
US6640193B2 (en) * | 1999-12-15 | 2003-10-28 | Texas Instruments Incorporated | Method and system for measuring jitter |
US20010037189A1 (en) * | 2000-01-20 | 2001-11-01 | Dan Onu | Method of estimating phase noise spectral density and jitter in a periodic signal |
US6519281B1 (en) * | 2000-01-31 | 2003-02-11 | Agilent Technologies, Inc. | Jitter measurement |
US6735538B1 (en) * | 2000-03-29 | 2004-05-11 | Advantest Corporation | Apparatus and method for measuring quality measure of phase noise waveform |
US6460001B1 (en) * | 2000-03-29 | 2002-10-01 | Advantest Corporation | Apparatus for and method of measuring a peak jitter |
AU2001257341A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-07 | Optovation Corporation | Ac performance monitor with no clock recovery |
US6598004B1 (en) * | 2000-08-28 | 2003-07-22 | Advantest Corporation | Jitter measurement apparatus and its method |
US6970528B2 (en) * | 2000-10-17 | 2005-11-29 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus to measure jitter |
US6525523B1 (en) * | 2000-11-24 | 2003-02-25 | Advantest Corporation | Jitter measurement apparatus and its method |
US6775321B1 (en) * | 2000-10-31 | 2004-08-10 | Advantest Corporation | Apparatus for and method of measuring a jitter |
US20020136337A1 (en) * | 2001-03-20 | 2002-09-26 | Abhijit Chatterjee | Method and apparatus for high-resolution jitter measurement |
WO2003007578A1 (fr) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Anritsu Corporation | Instrument de mesure de la resistance a la gigue et procede permettant une mesure efficace et une evaluation adequate de la caracteristique de resistance a la gigue. |
US6671652B2 (en) * | 2001-12-26 | 2003-12-30 | Hewlett-Packard Devlopment Company, L.P. | Clock skew measurement circuit on a microprocessor die |
US7054358B2 (en) * | 2002-04-29 | 2006-05-30 | Advantest Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
US20030210029A1 (en) * | 2002-05-07 | 2003-11-13 | Billy Antheunisse | Coherent clock measurement unit |
US20030219086A1 (en) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | Lecheminant Greg D. | Jitter identification using a wide bandwidth oscilloscope |
US20040062301A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-01 | Takahiro Yamaguchi | Jitter measurement apparatus and jitter measurement method |
GB2393794B (en) * | 2002-10-01 | 2004-11-24 | Motorola Inc | Module, system and method for testing a phase locked loop |
-
2002
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-
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007099970A1 (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-07 | Advantest Corporation | 測定装置、試験装置、電子デバイス、測定方法、プログラム、及び記録媒体 |
WO2007099971A1 (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-07 | Advantest Corporation | 測定装置、試験装置、電子デバイス、プログラム、及び記録媒体 |
US7398169B2 (en) | 2006-02-27 | 2008-07-08 | Advantest Corporation | Measuring apparatus, measuring method, testing apparatus, testing method, and electronics device |
US7421355B2 (en) | 2006-02-27 | 2008-09-02 | Advantest Corporation | Measuring apparatus, measuring method, testing apparatus, testing method, and electronic device |
US7856330B2 (en) | 2006-02-27 | 2010-12-21 | Advantest Corporation | Measuring apparatus, testing apparatus, and electronic device |
US7970565B2 (en) | 2006-02-27 | 2011-06-28 | Advantest Corporation | Measuring device, test device, electronic device, program, and recording medium |
JP4948524B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2012-06-06 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置、試験装置、電子デバイス、プログラム、及び記録媒体 |
JP4948523B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2012-06-06 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置、試験装置、電子デバイス、測定方法、プログラム、及び記録媒体 |
US8442788B2 (en) | 2006-02-27 | 2013-05-14 | Advantest Corporation | Measuring device, test device, electronic device, measuring method, program, and recording medium |
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