JP2004506204A - 高速データストリームの捕捉および評価 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、概括的には自動テスト(検査)装置に関し、特に、高速の直列データストリームのタイミング特性をテストすることに関する。
発明の背景
集積回路の製造業者は、自動テスト装置(ATE:automatic test equipment)を用いて、新しく製造されたデバイスを検証する。ATEにより、製造業者は製造プロセス中に早期にデバイス欠陥を診断することができ、したがって製造業者はコストを節減することができる。また、ATEにより、製造業者はデバイスを種々のレベルの性能に等級分けすることができる。製造業者は、通常、良好に動作するチップの場合にはより高い代価を受け取ることができるので、集積回路を正確にテストする能力は利益の増加に反映される。
【0002】
自動テスト装置(ATE)の主要な目標は、電子デバイスを迅速かつ正確にテストすることである。デバイスがより高速でより複雑になるのに伴って、ATEは、これらの変化に遅れないように発展しなければならない。
【0003】
シリアライザ(並直列変換器)/デシリアライザ(直並列変換器)トランシーバ(通常「SerDes」デバイスと呼ばれる)の普及度は、テレコミュニケーションおよびネットワーキング産業の最近の成長と共に上昇している。SerDesデバイスは、並列ビットストリームを、入力される並列データレートの倍数で変化する直列ビットストリームに変換する。また、直列データレートの分数で変化する並列ビットストリームに直列ビットストリームを変換することによって、SerDesデバイスは、直列ビットストリームの非直列化である逆機能を実行する。SerDesデバイスは、現在2.5GB/s(1秒あたり10億ビット)までの直列データレートで利用でき、10GB/sの部品がすぐに利用できるようになるであろう。
【0004】
図1は、従来の構成要素(部品)テスター(検査装置)100の非常に単純化された説明図である。構成要素テスター100は、ホスト・コンピュータ110、タイミング生成(発生)器112、メモリ114およびシステムクロック116を含む。ホスト・コンピュータ110は、構成要素テスター100のリソースを制御するテスト・プログラム(図示せず)を格納する。システムクロック116に応答して、タイミング生成器112は、テスト・プログラムによって定義された正確な時点でタイミング信号118を発生する。タイミング信号118は、ドライバ(駆動)回路120a〜120xとして全体的に示される複数の駆動回路と、ディテクタ(検出)回路122a〜122xとして全体的示される複数の検出回路を制御する。
【0005】
テスト・プログラムは、駆動回路120が駆動されるべきデジタル状態を表すデータを指定する。これらのデータは、従来「ドライブ(駆動)データ」として知られている。また、テスト・プログラムは、駆動データに応答してDUTから予想(期待)される値を表すデータ、すなわち「期待データ」を指定する。テスト・システム100は、駆動データをメモリ114に格納し、正確な時点で駆動データを駆動回路120に順次与える。応答して、駆動回路120は、電気信号を発生する。これら電気信号は被検査デバイス(DUT:device under test)124の入力に与えられ、DUT124がそれらの入力に応答して出力を生成する。テスト・システム100は、入力信号をDUT124に与えると、同時に検出回路122がDUTから出力信号をストローブさせる。検出回路で捕捉された信号を表すデータは、メモリ114に格納される。テスト・プログラムは、デバイスの合否を判定するために、検出回路122からの捕捉データを期待データと比較する。実データが期待データに一致する場合、テスト・プログラムは通常合格させる。そうでなければ、テスト・プログラムは、通常不合格にさせる。
【0006】
最新技術の構成要素テスターは、数百メガヘルツまでの速度でデジタル波形を生成することができる。これは、現在利用できる最速のSerDesデバイスを全速で直接テストする必要がある10GB/sに依然として満たない値である。
【0007】
構成要素テスターによる高速直列データストリームの測定での従来の試みは、タイム・ジッタ・デジタイザ(TJD:time jitter digitizer)と呼ばれる専用計器を使用していた。TJDは、これらの入力でイベント(例えば電気信号状態変化)を検出し、検出されたイベントが生じる時点を示すタイムスタンプ値を与える。直列データストリームをテストするために、TJDが直列データストリームを捕捉する。テスターは、その後過去のイベントおよび対応するタイムスタンプ値を読み返して、直列データストリーム内に埋め込まれたエッジ(立ち上がりまたは立ち下がり)のタイミングを正確に報告する。TJDは、複雑で多機能な計器であるので、高価となる傾向がある。また、これらは、最速SerDesデバイスをテストするために必要な速度より遅い速度で動作する傾向にある。
発明の概要
本発明の目的は、前述の背景を考慮して、高速の直列データストリームのタイミング特性を測定することである。
【0008】
本発明の別の目的は、従来の自動テスト装置と容易に一体化することである。
前述の目的ならびに他の目的および利点を達成するために、従来のテスト・システムは、被検査デバイス(DUT)のテストを容易にするためにラッチング・コンパレータ(ラッチ型比較器)を備えている。ラッチ型比較器は、起動時に、ラッチ型比較器に起動の時点におけるその入力の2値状態をその出力で保持させるラッチイネーブル入力を有する。駆動回路はテスターからDUTの入力に接続され、DUTの出力はラッチ型比較器の入力に接続される。テスト・プログラムの制御下で、テスターはテスト・パターンをDUTの入力に与える。DUTは、次に出力信号を生成する。DUT出力信号に対して正確に制御された時点で、テスターはラッチイネーブル入力を起動して、ラッチ型比較器の出力をサンプリングする。テスターは、テスト・パターンを繰り返し与え、ラッチイネーブル入力を起動して、DUT出力信号に対して制御された時点にDUT出力信号の複数のサンプルを取得する。
【0009】
ラッチイネーブル入力を起動するためのタイミングは、その後DUT出力信号に対する別の位置に対応するよう変更され、DUT出力信号の複数のサンプルが新たな位置で収集される。DUT出力信号をサンプリングし、ラッチイネーブル入力を起動するタイミングを変更するこの処理は、複数のサンプルがDUT出力信号の全ての所望位置について集められるまで、繰り返される。
【0010】
格納されたサンプルを用いて、テスターはDUT出力信号に対する各位置毎に収集されたサンプルの別々の平均(すなわち確率)を計算する。平均値はその後時間関数として順序付けされ、結果が解析される。
【0011】
本発明の追加の目的、利点および新規な特徴は、以下の記述および図面を考慮すれば明らかになろう。
本発明は、本発明および従来技術の態様を示す添付図面を参照することによって、よりよく理解することができるであろう。
好ましい実施形態の説明
トポロジー
図2は、DUT124をテストするために、本発明に従って構築されたテスト・システム200の単純化された部分図である。図2に示すように、テスト・システム200は、メモリ114、タイミング発生器112、複数の駆動回路120a〜120Iおよび検出回路122を含む。タイミング発生器112は、駆動回路および検出回路のタイミングを制御するタイミング信号118を生成する。メモリ114は、各々が特定の駆動回路または検出回路に専用である複数のセグメントに細別される。例えば、メモリセグメント214a〜214Iは、駆動回路120a〜120I用の駆動データをそれぞれ格納する。メモリセグメント216は、検出回路122で捕捉されたデジタル信号に対応する応答データを格納する。
【0012】
また、本発明によるテスト・システム200は、比較部210aおよびラッチ部210bを含むラッチ型比較器210を含む。比較部210aの出力はラッチ部210bの入力に接続され、ラッチ部210bの出力は検出回路122に接続され、かくして、テスト・システム200によってサンプリングすることができる。ラッチ型比較器210は、差動バッファ218を経由して駆動回路120Iの出力に接続されるラッチイネーブル(LE)入力を有する。LE入力の信号(すなわち「LE信号」)が起動すると、ラッチ型比較器210は、いかなるデジタル状態がその入力に存在しても、それを出力において保持する。ラッチ型比較器210の出力は、ラッチ型比較器の入力での変化によらず、LE信号が再び起動されるまで、LE信号がアクティブである限り、一定のままである。主要(キャピタル)LE信号が非アクティブである時、ラッチ部210bはトランスペアレントになり、ラッチ型比較器がその入力のハイレベルおよびローレベルに応答して、その出力においてハイレベルおよびローレベルをそれぞれ生成する。
【0013】
SerDesデバイスをテストするために、SerDesのDUTは、複数の並列入力端子、クロック端子および直列出力端子を有する。駆動回路120a〜120jは、テスター200からDUT124の並列入力端子にデジタル入力信号を供給する。駆動回路120kは、クロック信号をクロック端子に供給する。これらの入力に応答して、SerDesデバイスは、クロック入力信号の周波数のN倍に等しいデータレートを有する直列出力信号を生成する(但し、NはDUT124の並列入力信号の数である)。例えば、SerDesデバイスが図2に示すように10個の並列入力信号を有し、クロック周波数が250MHzである場合、直列出力信号は2.5GHzのデータレートを有する。
【0014】
DUT124が生成する2.5GHzの信号を適切に測定するためには、比較部210aは、2.5GHzを超える周波数を取り扱うように条件を指定しなければならない。同様に、ラッチ部210bは、実質上ジッタなしでLE信号に高速に応答することができなければならない。比較器およびラッチの機能を必要な性能と組み合わせる好適なデバイスは、コロラド州、コロラドスプリングのSignal Processing Technologies, Inc.からのSPT9689のラッチ型比較器である。SPT9689は、その入力で差動信号を受信して、その出力で差動信号を生成する差動デバイスである。また、SPT9689は、LE入力で差動信号を受信する。
【0015】
SPT9689のようなラッチ型比較器は、種々の状況において高速デジタル信号をテストするために従来技術で使用されている。これらのデバイスは「エッジ・ファインダー」を実施するために使用されている。既知のように、エッジ・ファインダーは、デジタル信号が特定の時点にハイ状態にあるかロー状態にあるかを判定する。この技法によれば、ラッチ型比較器の入力がテスト信号を受信し、テスト信号が定期的に繰り返される。テスト・システムは、入力信号に対して正確に管理された時点にそのLE入力を起動することによって、ラッチ型比較器をストローブする。その後テスターは、ラッチ型比較器の保持出力を読み出してハイかローかを判定する。テスターは、入力信号に対して異なる時点でLE入力を再びストローブし、ラッチ型比較器の状態を再び読み出す。出力が2つの読み出しの間で異なるならば、第1および第2ストローブ間の間隔中にテスト信号のエッジが生成したことが確かである。追加の測定は、その後エッジの正確な位置に集中させることができる。
動作
図3は、本発明による直列データストリームを生成および評価するプロセスを図示するフローチャートである。図3のプロセスは、概して、SerDes構成要素用のテスト・パターンを準備するステップ(ステップ310〜316)と、準備されたテスト・パターンを与えるステップ(ステップ318)と、被検査デバイスからの結果として発生した信号を解析するステップ(ステップ320〜322)とを含む。
【0016】
ステップ310で、テスト・エンジニアは、テスト・ベクトルを準備して、SerDes構成要素に刺激を与え、その結果の直列データストリームを1つまたは複数のタイミング位置でサンプリングする。通常、このステップは、SerDes構成要素のデータ入力用、クロック入力用およびLE入力用のテスト・パターンを準備することを含む。このステップも、検出器(例えば検出器122)を用いてラッチ型比較器210の出力をストローブするテスト・パターンを準備することを含む。
【0017】
ステップ312において、ステップ310で発生するテスト・ベクトルは、現在のサンプリング位置を複数回サンプリングするために複製される。たとえば、好ましい実施例において、テスト・ベクトルが直列データストリームの各位置を128回サンプリングするために準備される。複製されたテスト・ベクトルは、その後ステップ310の元のテスト・ベクトルに追加されて、LE信号の現在規定された位置の各々で複数のサンプルを収集するためにベクトルの記録を作成する。
【0018】
ステップ316で、LE信号および検出ストローブのタイミングは、ステップ310で規定されたタイミング位置とは異なる1つまたは複数のタイミング位置で直列データストリームをサンプリングするように変更される。新規なテスト・ベクトルは、LEおよび検出ストローブ信号の修正されたタイミングを反映するように準備される(ステップ310)。新規なテスト・ベクトルは、その後複製され(ステップ312)、新規な1つまたは複数のサンプル位置で複数のサンプルを得る。LE信号および検出ストローブ用のテスト・パターンのタイミングはステップ314を経由する毎に変化させることができるが、データ用のパターンおよびSerDes構成要素のクロックは一定のままである。したがって、LE信号および検出ストローブ用のパターンは、固定された反復SerDes入力を効果的に「移動(ウォークスルー(walk through)」する。
【0019】
テスト・ベクトルを準備し、テスト・ベクトルを複製し、テスト・ベクトルのタイミングを修正するプロセスは、直列データストリームの所望の部分全体のためのテスト・ベクトルが発生する(ステップ314)まで繰り返される。
【0020】
テスト・ベクトルは、ステップ318でDUTに与えられる。テスターは、各テスト・ベクトルが与えられた時に、LE信号の各アサートに続くラッチ型比較器の状態を示す検出器の値を読み返す。テスターは、その後直列データストリームの各位置毎に収集された検出器の値の平均を計算する(ステップ320)。各平均値は、直列データストリームが各サンプル位置で論理レベル「1」を有する確率を表す。例えば、128個のサンプルが直列データストリームの特定の位置で採取されるならば、それらの半分が論理レベル「1」であり、残り半分が論理レベル「0」であって、その位置での直列データストリームの確率が平均値、すなわち0.5である。
【0021】
ステップ322で、直列データストリームのタイミング特性は、ステップ320で導き出される確率関数から求められる。このステップは、以下に詳細に記述される。
確率のアンダーサンプリング/決定
図2のテスト・システム200は、直列データストリームをアンダーサンプリングすることによってSerDesのDUTからの直列データストリームを特徴づけて、各アンダーサンプリングされた位置で直列データストリームの確率すなわち平均を求める。DUTは、その後測定された確率に依存して合否を求めることができる。
【0022】
図4a〜4bは、直列データストリームをアンダーサンプリングするための本発明によるプロセスを図示する。図4aにおいて、テスター200のタイミング活動は、1つのテスト・ベクトルの期間中に示される。波形410は、テスト・ベクトルの始めおよび終わりを定義する「T0」信号を図示する。特に、テスト・ベクトルは、T0の第1パルスの立上がりエッジで始まり、T0の第2パルスの立上がりエッジで終わる。テスターは、テスト・ベクトル410の間に、波形412に示される間隔でデータをSerDes構成要素のデータ入力に与える。テスターは、各ベクトル周期中に4つの異なるデータワードを供給するのを可能にするモードで動作する。テスターは、10ビットのSerDes構成要素をテストするために、波形412のパルスによって指定される時点で、各テスト・ベクトルの間に、4つの異なる10ビットのデータワードを生成する。
【0023】
波形414は、テスターがSerDes構成要素の入力に供給するクロック信号を図示する。図示のように、クロック信号はT0の2倍のレートで変化する。SerDes構成要素は、クロック信号の立ち上がりおよび立ち下がりエッジの両方に応答するように構成される。したがって、SerDesデバイスは、SerDes構成要素へのデータ入力が偏光されるごとに1回、テスト・ベクトルにつき4回クロックされる。
【0024】
SerDes構成要素の動作により、SerDesデバイスからの直列出力は、データ入力信号412のワードレートの10倍に等しいビットレートを有する。SerDesデバイスからの直列出力信号は、データ入力信号のワードレートがT0レートの4倍で変化したので、T0レートの40倍で変化する。
【0025】
波形図416は、信号410によって規定されるテスト・ベクトルの間にSerDesデバイスによって発生される直列出力信号の一部を図示する。図示のように、直列出力信号はデータ信号412の変化レートの10倍のレートで変化する差動信号である。
【0026】
図4aの全体は、多くのテスト・ベクトルのうちの1つだけを示す分解図であることを理解すべきである。特に、SerDes仕様は、1および0の所定シーケンスならびに2,280ビットの所定長を有するユニット・テスト・パターン(「UTP:unit test pattern」)を規定する。テスト・システム200は、好ましくはUTPを繰り返すためにプログラムされる。UTPが図4aの各テスト・ベクトル毎に、40ビット(4つの並列入力ワード×10)を含むので、57個のテスト・ベクトルがUTP全体を生成するために必要とされる(ベクトルにつき40で割算された2,280ビット)。したがって、57個のテスト・ベクトルは、UTPを通過する各パス毎に供給される。
【0027】
SerDes構成要素をテストするために、UTPを構成する57個のテスト・ベクトルが繰り返され、UTPが繰り返して発生する。UTPが発生する時に、ラッチ型比較器210は所定時点でUTPをサンプリングするために起動される。波形414は、ラッチ型比較器210のラッチイネーブル入力でのLE信号を図示する。図示のように、テスターは、各テスト・ベクトル中に2回、すなわちUTPにつき114回(ベクトルにつき2回で57個のベクトル)LE信号を繰り返す。UTPを構成する57個のテスト・ベクトルを通過する各パスの後に、LE信号のタイミング位置はインクリメントされ、ラッチ型比較器210がUTPの異なる部分をサンプリングするようにされる。好ましい実施形態において、可能な限り最高のタイミング分解能を得るために、LE信号は、UTPを通過する各連続パス上にテスターのタイミング・システムの1LSB分が増加される。マサチューセッツ州、ボストンのTeradyne, Inc.によって製造されたCatalyst(商標)テスト・システムにおいて、タイミング・システムの1LSBは、1nsを1,024で割算したものに等しく、これは略9.76psに等しい。したがって、UTPを通過する各連続パス上で、LE信号の位置は、9.76ps分インクリメントされる。UTPのサンプリングおよびLE信号の位置をインクリメントさせるプロセスは、UTPの所望の部分全体がサンプリングされるまで繰り返される。
【0028】
波形420は、ラッチ型比較器210の出力をサンプリングするために、テスター200が検出器(例えば検出器122)をストローブする時点を規定するデータ捕捉信号(CAP)を表す。検出器が起動した時に、そのデジタル状態はメモリ114の部分216に格納される。ラッチ型比較器210がLE入力の起動から無期限にそのラッチ値を保持するので、CAP信号420の正確なタイミングは重要でない。しかしながら、CAP信号が(時間設定のために許容される十分な遅延に続く)対応するサンプル用のLE信号の後、およびLE信号の次のアサート前にアサートされることを確実にするように注意を払わなければならない。図4aに示すように、テスターは、LE信号にロックされるLE信号418後の短い遅延で、LE信号と固定間隔のCAP信号420を起動する。したがって、LE信号418のタイミング位置がUTP416を連続的に通過するときに、CAP信号420のタイミング位置はそれに対応して進められる。
【0029】
図4bは、UTPの3つの連続的ビット領域を示す、図4aのUTP416およびLE信号418の分解図である。UTPを通過する1つのパスを表す図4aの波形図と対照的に、図4bの波形はUTPを通過する多数のパスを表す。UTPセグメント440は、図4bで示される間隔の間に2回、位置444で1回、位置442で1回状態を変える。重要なこととして、状態のこれらの変化の位置は、たとえこれらがすべてのパスに同じように生成されたとしても、固定され一貫した時点で発生しない。信号交差の位置の変化は、主にSerDesデバイスでのジッタに起因する。ジッタのために、信号440の状態変化は、これらの平均位置より早く、または遅く発生する可能性がある。
【0030】
波形446は、UTPを通過する多重パスにわたるLE信号を表す。上述したように、連続したパスでのLE信号のアサートは、好ましくは、Catalyst(商標)テスターにおいて、テスターのタイミング分解能の1LSBすなわち9.76ps分だけ分離される。
【0031】
図4cは、UTPセグメント440がサンプリングされる各時点毎に、UTPセグメント440の確率関数450を図示する。確率関数450は、関数450の部分452および460の間、一貫して低論理レベルを報告する。同様に、確率関数450は、部分456の間一貫して高論理レベルを報告する。しかしながら、UTPセグメント440の確率は、遷移領域442および444の間に、時間関数として変化する。もしUTPセグメント440中のジッタがガウス状に分布するならば、確率関数450は、遷移領域442および444の間に、ほぼS字曲線(領域454および458として示される)のようになることが認められた。
【0032】
テスターは、UTPの種々のサンプリングされた位置で収集されたデジタル値(1および0)を別々に平均化し、時間関数として平均を作成することによって確率関数450を求める。好ましい実施例において、UTPは128回サンプリングされる。したがって、128の値が、サンプリングされた各位置毎に平均化される。測定結果を表現する代替的な方法は、0から各位置のサンプル数(128)まで変動する数として表現することである。全てが1となる位置は、128の値を生成する。全てが0となる位置は、0の値を生成する。当業者は確率関数を表現する多数の方法を容易に考案することができ、特定の方法を使用することが本発明に重要であるとは考えられない。
【0033】
図4cから明らかであるが、UTPの多くのタイミング特性を確率関数450から得ることができる。例えば、SerDes構成要素によって発生されるジッタは、遷移領域454および458の幅から直接求めることができる。立ち上がりジッタと立ち下がりジッタの差は、それぞれの遷移領域の幅の差から推定することができる。既知のように、「アイクロージャ(eye closure)」は、直列データストリームの重要な特性である。アイクロージャは、信号440が安定状態にあると保証される遷移領域442および444の間の時間として表現される。図4cのセグメント456もこの間隔を表す。セグメント456の幅がゼロに減少する場合、「アイ」が「クローズした」と言われ、UTPのその部分内で伝達されたデータを確実に送ることができない。
【0034】
「ビット誤り率」(BER:bit error rate)は、直列データストリームの別の重要な特性である。直列データストリームのビット誤り率は、データストリームがジッタによって無効データを伝送する割合である。ジッタがガウス現象としてモデル化することができる範囲で、確率関数450のS字領域454および458の裾部は、数学的に外挿されて、伝送エラーが任意の所与の遷移領域から任意の距離で発生する確率を予測することができる。したがって、推論を用いて、上記の技法もビット誤り率を求めるのに使用することができる。
「符号間干渉」は、直列データストリーム内で発生される以前の論理レベルに応答して、直列データストリームのエッジ位置の反復可能な変化として定義される。上記の技法も、「符号間干渉」を求めるために使用することができる。熱特性、クロストークおよび蓄積された電荷は、符号間干渉の一因となる。上記技法を用いて、符号間干渉は、以前のデータ(以前の1および0)の変化に応答して、平均のエッジ位置の変化に注目することによって測定することができる。UTPは、符号間干渉を明らかにするように特に設計される。したがって、この誤差は、通常、確率関数450から直接求めることができる。
【0035】
上記の技術もまた、符号間干渉のスペクトル成分を求めるために使用することができる。この技法のこの態様によれば、直列データストリーム中の平均のエッジ位置は、理想の基準位置と比較される。UTP内の各エッジの平均および理想的エッジ位置の差は時間関数として作成され、高速フーリエ変換(FFT)が得られる関数に対して実行される。関数のスペクトルは、特定の被検査デバイスに特有で、欠陥を診断するために使用することができる。
テスターのプログラミング
上記の方法は、通常、如何にSerDesデバイスを本発明によってサンプルリングおよび評価することができるかに焦点を合わせている。図5は、この方法を如何に実際のデバイス・テスターを用いて実施することができるかを図示する。
【0036】
ステップ510から始まって、テスト・エンジニアは、必要なワードレートでSerDesデバイスに対してデータ入力ワードを生成するためのベクトル周波数を定義する。例えば2.5ギガビットの直列出力ビットレートを得るために、データ入力信号のワードレートは、250MSa/sすなわち直列出力信号のビットレートの10分の1でなければならない。テスターがこのように高速でベクトル周波数を直接生成することができないならば、信号発生の代替モードを考慮しなければならない。信号生成の種々の他のモードは、当業者に知られていて、例えば、二重駆動モードおよびmuxモードを含む。二重駆動モードによって、駆動回路の出力信号の周波数は、単一駆動回路内の2ピン電子回路チャネルの動作を効果的に組み合わせることによって2倍にすることができる。muxモードによっては、駆動回路の最大周波数もまた、テスターの単一の出力で、2つの異なる駆動回路の出力を組み合わせることによって2倍にすることができる。同時に二重駆動回路およびmuxモードを使うことによって、テスターは最高4倍の最大ベクトルレートで波形を生成することができる。
【0037】
62.5MHzのベクトル周波数は、Teradyne Inc.からのCatalyst(商標)テスト・システムを用いる時に選択されることが好ましい。二重駆動回路およびmuxモードは、SerDesデバイスに対してデータ入力を生成するのに使用される。かくしてCatalyst(商標)テスト・システムは、250MSa/sで変化するSerDesデバイスのデータ入力に信号を供給する。muxモードなしの二重駆動モードは、SerDes構成要素用のクロック信号を生成し、ラッチ型比較器210用のLE信号を生成するために使用される。したがって、これらの信号は、125MHzでデータレートで変化する。
【0038】
ステップ512で、ベクトル周期は、UTPを通過する各パスが整数のテスター・タイミングLSB(LSBの整数倍)と対応するように調整される。このステップは、LE信号の連続したアサート間の全てのタイミング増分が均一であるべき場合に要求される。しかしながら、このステップは、LE信号の非均一な間隔が許容できるならば、スキップすることができる。UTPを通過する各パスがテスター・タイミングLSBの整数倍を構成することを確実にするためには、SerDesデバイスの直列出力信号の周期がテスター・タイミングLSBの整数倍を構成すれば十分である。例えば、2.5GSa/sのSerDes出力レートは、Catalyst(商標)テスト・システムにおいて40.96のテスター・タイミングLSB(1LSBは、10ns/1,024に等しい)を備えた400psの出力周期に対応する。UTPを通過する各パスがテスター・タイミングLSBの整数を構成することを保証するために、この数は、最も近い整数(すなわち41)に丸めるべきである。説明を戻して、41のテスター・タイミングLSBは、400.390625psの出力周期、すなわち2.49756GSa/sのビットレートに対応する。このビットレートは、所望のSerDes出力ビットレートに正確には等しくないが非常に近い。したがって、もしサンプルの均一な間隔が所望されるならば、SerDesビットレートの僅かな誤差は許容しなければならない場合があり得る。しかし、これらの誤差は、上記の数が例証するように、非常に小さくて、許容誤差範囲に入ることが予想される。更に高い精度が要求されるならば、単一ビットの周期ではなくUTPの間隔全体が、テスター・タイミングLSBの最も近い整数に丸められる。丸め誤差は、その後UTPのビット数分の1(上記の数を用いた2,280分の1)に減らされる。丸め誤差をUTP全体にわたって分布させることで、より正確な結果が提供されるが、これにより、UTPのビットおよびサンプルがその相対的位置合わせをUTPのビット毎に変化させるので、実際には好ましくない。UTPの各ビットがテスター・タイミングLSBの整数倍を含む時には、UTPの全てのビットは同じ相対位置でサンプリングされる。
【0039】
ステップ514で、テスト・エンジニアは、ラッチ型比較器210を経由してSerDes構成要素の出力をサンプリングするためにテスト・ベクトルを定義する。SerDes出力信号を効果的にサンプリングするテスターの能力は、全ての所望のタイミング位置がサンプリングされるまで、UTPを無期限に繰り返することができるので、テスターの最大データレートによって制限されない点に注目すべきでる。しかしながら、テスターのデータレートは、測定時間を決定する際に重要な役割を果たす。測定時間を最小にし、スループットを最大にするためには、最高の実データレートが使用されなければならない。Catalyst(商標)テスト・システムは、LE信号を生成し、ラッチ型比較器210をサンプリングするために二重駆動モードを用いている。muxモードはある状況下で隣接したエッジ間でタイミング・スキューを引き起こす可能性があることがわかった。LE信号は特に時間に厳しいので、muxモードはLE信号を生成するのに使用されないのが好ましい。したがって、約62.5MHzのベクトル周波数で、LE信号は、約125MHzでアサートされる。
【0040】
ステップ516で、テスト・エンジニアは、パターン全体をサンプリングするのに必要なUTPを通過するパス数を求める。もしUTPが二重の駆動モードを用いてサンプリングされる57個のテスト・ベクトルから成るならば、UTPを通過する1つのパスにより、114の異なるサンプルが取り込まれる。UTPには2,280ビットがあり、各々が41のテスター・タイミングLSBを含むので(ステップ512を参照)、1つのUTPは、合計93,480のテスター・タイミングLSB(2,280ビット×41LSB/ビット)を含む。この合計を114のサンプル/UTPで割算することにより、UTP内の各点をサンプルリングするのに必要とされるパスの数、すなわち820パスがもたらされる。したがって、示された値を用いて、UTPは、各タイミング位置で1つのサンプルを収集するために820回繰り返されなければならない。
【0041】
既知のように、構成要素テスターは、通常、デジタルバーストを生成するために制限された数のタイミングセット(「TSET」)を供給する。各TSETは、通常クロック周期、アサート時間およびリターン時間で定義される。TSETによって定義された1つの信号エッジは通常アサート時間で発生し、別のエッジは通常リターン時間で発生する。したがって、TSETは、所定周期および所定のプログラム可能な時点で発生するハイおよびローのデジタル状態を有するデジタル波形を効果的に定義する。TSETのアサートおよびリターン時間を変更することによって、信号エッジはテスト・ベクトル(すなわちT0)に関して、所定時間移動することができる。また、信号エッジは、種々のTSETを適用することによって移動することができる。好ましい実施例において、TSETは、LE信号のタイミングを制御し、そのタイミングをインクリメントさせてUTP416の種々の部分と一致させるために使用される。
【0042】
1つのグループのTSETが、UTPを通過する各パス毎に使用されるのが好ましい。各々がLE信号の異なるタイミング位置を提供するUTPを通過する820のパスを完了するために、TSETは、820回再プログラムまたは再利用されなければならない。既知の構成要素テスターは、820の異なるTSETを供給しない。したがって、820のパスを完了するためには、TSETを再利用する必要があるであろう。その後、いくつのTSETが使用され、これらが何度再利用されるかが判定されなければならない。
【0043】
ステップ518で、テスト・エンジニアは、使用されるTSETの数を求める。通常、テスト・プログラムが実行されるとき、1つの予めプログラムされたTSETから別のものに変更することによって生じる時間的不利益はない。しかしながら、TSETを新規な値に再プログラムすることによって相当な時間が必要となる。TSETは、この時間がテスト時間を延長し、スループットを減少させるので、好ましくは実際と同程度に低い頻度で再プログラムされなければならない。しかしながら、この問題は、テスター・ソフトウェアを単純化する必要性と比較検討しなければならない。テスター・ソフトウェアは、UTP(820)を通過するパスの数で割り算できる数のTSETを用いることによって大いに単純化することができることがわかっている。catalyst(商標)テスターにおいて、スループットを最大にすることと、テスター・ソフトウェアを単純化することの間の良好な妥協案は、20の異なるTSETを用いることであることがわかった。
【0044】
ステップ520で、テスト・エンジニアは、ステップ518で求められたTSETの数が何回再プログラムされなければならないかを判定する。この数は、上記の値を用いて、パス(820)を種々のTSETの数(20)で割算した数、すなわち41回に等しい。
【0045】
各タイミング位置でのSerDes出力信号の平均値を求めるためには、単一のTSETが一定値を有するようにプログラムされ、多重パスがUTPを通してなされる。例えば、サンプルの好ましい数(128)を得るために、LE信号をアサートするためのTSETは128回繰り返される。UTPの全ての位置を128回サンプリングするために、820のパスの各々は、128回繰り返される。したがって、合計104,960のパス(820のパス×128)が、UTPを通して完了されて、各点で所望数のサンプルが得られる。各パスが約912ns(約400ps/ビットで2,280ビット)続く時に、約95.7ms(104,960×912ns)がパスの合計数を完了するために必要とされる。
【0046】
Catalyst(商標)テスターにおいて、UTPをテストおよび評価するために必要な合計時間は、約500msである。これは、サンプリング時間だけでなく、TSETを再プログラムし、捕捉されたデータを処理するための時間も含む。好ましい実施例において、ホスト・コンピュータ110は、直列データストリームの捕捉された値が格納されたメモリ114のメモリセグメント216から検出値を読み出し、格納されたデータで計算を実行することによってデータを処理する。
代替例
一実施形態について記載したが、多数の代替実施形態または変形が可能である。例えば、上記の記述において、catalyst(商標)テスターは、直列データを捕捉および評価するシステムおよび方法を実施するために使用される。しかしながら、これは単なる例である。多種多様な種々のテスターを用いることができ、それらは当業者に知られている。
【0047】
さらに、直列データストリームをテストするシステムおよびプロセスは、SerDes構成要素に関して説明した。しかしながら、本発明はまた、他のタイプの電子構成要素をテストするために適用することができる。例えば、本発明は、直列出力がコンパチブルなデータレートを有するようにして、現在開発されているスタンドアローン・クロック回復回路をテストするために使用することができる。
【0048】
さらに、上述されたもの(すなわちジッタ、アイクロージャ、ビット誤り率、および符号間干渉)からの被検査デバイスの種々のタイミング特性は、上述された一般的な方法論を用いて評価することができる。
【0049】
テスト・システムおよび被検査デバイスの分解能、動作周波数および他の特性の具体的な値は、例示的目的のために開示し、記述したものであり、本発明の範囲を制限することは意図していない。例えば、テスト・システムは、そのタイミング分解能の限度範囲で動作する必要はない。むしろ、分解能は、特定のテスト問題に適合するように所望のように変えることができる。分解能は、テスター・タイミングLSBの整数倍の数またはテスター・タイミングLSBに数値的に無関係な任意の値にすることができる。
【0050】
さらに、テスト・エンジニアは、上述された手順のステップの多くを実行するための行為者として含まれた。しかしながら、これらのステップは、自動化への傾向を考えると、テスト・エンジニアを必要とすることと解釈されるべきではない。当業者は、これらのプロセスを改善する通常の過程の一部として、テスト・エンジニアに割り当てられた本明細書中のタスクを自動化する方法を容易に考案することができる。
【0051】
したがって、本発明は種々の異なる方法で実行されてもよく、特許請求項の精神および範囲によってのみ制限されるべきことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】
従来技術による従来の構成要素テスターのデジタル部分の単純化されたブロック図である。
【図2】
直列データストリームを特徴付けるために発明に従って適応テスト・システムの単純化されたブロック図である。
【図3】
直列データストリームを特徴付けるために図2の適応テスト・システムを使うことができる方法を図示しているフローチャートである。
【図4】
図4aは、テスト・システムの1つのベクトル周期中に、図2の適応テスト・システムによって、直列データストリームを発生および評価するために使用される信号のタイミング図である。
図4bは、直列データストリームが図2の適応テスト・システムによってサンプルリングされる時点を示す、図4aの直列データストリームの部分の分解図である。
図4cは、図4bで示される直列データストリームの部分の確率関数である。
【図5】
本発明による直列データストリームをテストするための波形を生成するためにテスターをプログラミングする方法を図示しているフローチャートである。
Claims (20)
- 直列データストリームを生成する被検査デバイス(DUT)をテストする方法であって、
A)直列データストリームに対して固定タイミング位置で前記直列データストリームを繰り返しサンプリングするステップと、
B)ステップAで取得されたサンプルを平均化して、固定タイミング位置における前記直列データストリームの確率を決定するステップと、
C)前記直列データストリームに対して異なる固定タイミング位置でステップAおよびBを繰り返して、時間に対する前記直列データストリームの確率関数を供給するステップと、
を含む方法。 - D)ステップCで供給された前記確率関数を評価して、前記DUTのタイミング特性を決定するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記評価するステップは、前記確率関数において遷移領域の幅を決定することを含み、前記幅は前記直列データストリームのビット遷移の位置におけるジッタを示す、請求項2に記載の方法。
- 前記評価するステップは、前記確率関数において遷移領域の位置を決定することを含み、前記位置は前記直列データストリームの符号間干渉を示す、請求項2に記載の方法。
- 前記評価するステップは、前記直列データストリームにおける符号間干渉のスペクトル成分を調べることを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記符号間干渉のスペクトル成分を調べるステップは、
前記直列データストリームの各ビット遷移位置と前記ビット遷移のそれぞれ理想的な位置との間の差を決定し、
時間の関数として全ビット遷移に対する差を提供し、
その差関数に対して高速フーリエ変換(FFT)を実行する、
ことを含む請求項5に記載の方法。 - 前記FFTのスペクトル成分に応答して、前記DUTを合格または不合格として診断することをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記直列データストリームは、SerDesデバイスをテストするために規定されるユニット・テスト・パターン(UTP)である、請求項2に記載の方法。
- テスト・プログラムを実行する構成要素テスターによって実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記サンプリングするステップは、前記構成要素テスターがラッチデバイスを起動して、前記直列データストリームの状態を取得することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記DUTは、並列データワードを前記直列ビットストリームに変換する方法であって、前記テスターが複数の入力信号をDUTに与えて、前記DUTが前記直列データストリームを生成するようにする、請求項10に記載の方法。
- SerDesデバイスの出力から直列データストリームを捕捉するようにテスターをプログラムする方法であって、
A)所望のワードレートで入力データをSerDesデバイスに与えるのに使用すべきベクトル周期を決定し、
B)ステップAにおいて決定された前記ベクトル周期を用いて前記直列データストリームの各所望位置をサンプリングするのに、直列データストリームを反復しなければならない回数(P)を計算し、
C)前記直列データストリームの全ての所望位置をサンプリングする際に使用されるべきテスター・タイミング・セット(TSET)の整数の数(N:NはPで割り切れる)を決定し、
D)前記NのTSETが前記直列データストリームをサンプリングする際に再利用される、整数の回数(M:MはNで割算されたPに等しい)を決定し、
E)ベクトル周期、テスト・ベクトル、TSET数およびTSETが再利用される回数を用いてテスターをプログラムする、
ことを含む方法。 - ステップAにおいて決定された前記ベクトル周期を調整することをさらに含み、それによって前記直列データストリームの各ビットが整数の数のテスター・タイミングLSBの間存続する、請求項12に記載の方法。
- 前記テスターは最大データレートを有し、前記テスターをプログラムする前記ステップEは、前記テスターの前記最大データレートより速いテスト信号を生成する、少なくとも1つの代替的な信号生成技法を適用することを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記SerDesデバイスの出力から、前記直列データストリームをサンプリングするテスト・ベクトルを規定することをさらに含む、請求項12に記載の方法。
- 自動テスト・システムにおいて、直列出力信号を生成する被検査デバイス(DUT)をテストする装置であって、
複数の駆動回路であって、該複数の駆動回路の一部が前記DUTに結合され、前記DUTを刺激して直列出力信号を生成する、複数の駆動回路と、
前記DUTの出力に結合されて前記直列出力信号を受信する信号入力と、前記複数の駆動回路の1つに結合されてラッチ・デバイスを起動するイネーブル入力と、前記ラッチ・デバイスの出力に供給されたデジタル値を格納するメモリに結合された出力とを有するラッチ・デバイスと、
前記ラッチ・デバイスの前記イネーブル入力に結合された前記駆動回路に、前記直列出力信号に対して所定時点で前記イネーブル入力を起動させるタイミング発生器と、
前記格納された値から前記直列出力信号の確率を決定する手段と、
を備える装置。 - 前記ラッチ・デバイスは、前記DUTの出力に結合された少なくとも1つの入力と、ラッチ回路に結合された出力とを有する比較器を備える、請求項16に記載の装置。
- 前記ラッチ・デバイスは、ラッチング比較器である、請求項16に記載の装置。
- 前記DUTは、並列フォーマットで入力ワードを受信し、直列フォーマットで出力ビットを生成するSerDesデバイスである、請求項16に記載の装置。
- 前記確率を決定する手段は、テスト・プログラムを実行するホスト・コンピュータを備える、請求項16に記載の装置。
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