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Die vorliegende Erfindung bezieht
sich auf eine Jitter- bzw. Messschaltung, die in einem zyklischen
Signal ein geschlossenes Jittern, Zittern bzw. Flottern misst.
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In den vergangenen Jahren wurde die
Beschleunigung des Hauupttaktbus eines Personalcomputers, das Hervorbringen
von Hochgeschwindigkeitsschnittstellen wie der IEEE-1394-Schnittstelle,
dem schnellen Anstieg der Digitalradioübertragung wie bei Mobiltelefonen
oder dem Radio-LAN einschließlich
dem Bluetooth und dergleichen beobachtet. Im Zuge dessen steigt
im Allgemeinen das potentielle Bedürfnis zur Messung des Jitters
an.
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Als ein Verfahren zum Messen des
Jitters ist ein Jitter-Messverfahren
bekannt, welches das Quantifizieren eines Signals, welches aus einem Messzielobjekt
im selben Zyklus ausgegeben wurde, und das Messen des Jitters des
Signals in Echtzeit auf der Basis der Veränderung der quantifizierten Ausgabedaten
einschließt,
wie zum Beispiel in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 2000-292469
offenbart.
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Als Ausrüstung zur Messung eines solchen Jitters
wurden inzwischen ein Zeitintervall-Analysator, welcher eine Analysefunktion
aufweist, zum Beispiel zum kontinuierlichen, vollständigen Messen
der Zeitintervalle von Messzielsignalen zum Einfangen einer großen Menge
an Daten, und zum Anzeigen eines Zeitintervall-Histogramms, und
ein Spektrumsanalysator, der das Spektrum eines Signals analysiert, sowie
ein Analogtester, der mit diesen Messeinrichtungen entsprechend
zusammenwirkt, angewandt. Kürzlich
ist ein Mischsignaltester aufgetaucht, der eine Digital/Analog-Misch-IC
testet, in welcher digitale Signale und analoge Signale – Mischsignale
genannt – verwendet
werden, d.h. eine Mischvorrichtung, die mit den oben beschriebenen
Ausrüstungen entsprechend
zusammenwirkt.
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Wenn ein Jitter-Messsystem durch
eine solche Messausrüstung
bzw. einen solchen Tester aufgebaut ist, erfordert dies jedoch nachteilig
hohe Kosten und eine lange Zeit, das System aufzubauen. Zusätzlich ist
der Tester mit einer Jitter-Messfunktion nachteilhafterweise teuer.
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Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um
die oben beschriebenen Probleme zu lösen. Es ist eine Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, eine Jitter-Messschaltung bereitzustellen,
die eine Jitter-Messung ohne weiteres bei niedrigen Kosten verwirklichen
kann.
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Die Aufgabe wird gelöst durch
eine Jitter-Messschaltung gemäß Anspruch
1. Vorteilhafte Weiterentwicklungen sind in den Unteransprüchen festgelegt.
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Eine Jitter-Messschaltung gemäß der vorliegenden
Erfindung schließt
folgendes ein: einen Referenzsignalerzeugungsabschnitt, der ein
zyklisches Referenzsignal mit einem vorbe stimmten Zyklus erzeugt;
einen Umwandlungsabschnitt, der das Referenzsignal oder ein zyklisches
Messzielsignal, welches aus einem Messziel in Antwort auf das andere Signal
ausgegeben wurde, abtastet, wodurch eine Abtastdatenfolge erhalten
wird; und einen Bestimmungsabschnitt, der den Jitter des Messzielsignals auf
der Basis der durch den Umwandlungsabschnitt erhaltenen Abtastdatenfolge
misst.
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Die Jitter-Messschaltung der vorliegenden Erfindung
schließt
ein: den Umwandlungsabschnitt, der eins eines Referenzsignals oder
eines Messzielsignal in Antwort auf das andere abtastet, wodurch eine
Abtastdatenfolge erhalten wird; und einen Bestimmungsabschnitt,
der den Jitter bzw. das Zittern bzw. Flattern des Messzielsignals
auf der Basis der durch den Umwandlungsabschnitt erhaltenen Abtastdatenfolge
misst. Da das Referenzsignal ein stabiles Signal mit einem vorbestimmten
Zyklus ist, hängt
die Abtastdatenfolge als einem Messergebnis vom Messzielsignal ab.
Deshalb besteht ein Hauptvorteil der vorliegenden Erfindung darin,
dass es möglich ist,
einfach den Jitterpegel gemäß der Ungleichmäßigkeit
des Messergebnisses sowie auf der Basis der Messung im Vergleich
zu den erwarteten Wertedaten zu messen.
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Die vorangehenden und weiteren Aufgaben, Merkmale,
Gegenstände
und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlicher aus der
nachfolgenden detaillierten Beschreibung der vorliegenden Erfindung
bei Betrachtung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen.
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1 ist
eine Planansicht einer Jitter-Messschaltung
und eines Messziels DUT gemäß einer ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
ein Fließdiagramm,
welches den Betrieb der Jitter-Messschaltung gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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3 ist
eine Planansicht einer Jitter-Messschaltung
und eines Messziels DUT gemäß einer ersten
Modifikation der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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4 ist
ein Fließdiagramm,
welche den Betrieb der Jitter-Messschaltung gemäß der ersten Modifikation der
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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5 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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6 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
ersten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
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7 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
zweiten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
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8 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
dritten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
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9 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
vierten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
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10 ist
eine Planansicht einer Halbleitertestvorrichtung und eines Messziels
DUT gemäß einer
fünften
Modifikation der zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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11 ist
eine Planansicht einer Vorrichtungs-Schnittstellenplatine und einer Halbleitertestvorrichtung
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung; und
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12 ist
eine Planansicht einer Halbleitervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung.
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Nachfolgend werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung im Detail unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
beschrieben. Es sei angemerkt, dass die gleichen oder entsprechende
Bestandteilselemente jeweils durch dieselben Bezugssymbole in den
Zeichnungen bezeichnet werden, und dass sie nicht wiederholt beschrieben
werden.
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Erste Ausführungsform
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Unter Bezugnahme auf 1 schließt eine Jitter-Messschaltung 10 gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ein: ein Referenzsignalerzeugungsabschnitt 1,
der ein zyklisches Signal hoher Reinheit, das heißt ein konstantes
und ideal zyklisches Signal erzeugt; ein Messabschnitt 2, der
die Amplitude des vom Referenzsignalerzeugungsabschnitt 1 ausgegebenen
Signals mit hoher Genauigkeit von analog nach digital umwandelt;
einen Datenspeicherabschnitt 3, der Daten speichert; und
einen Datenanalyseabschnitt 4, der einen Jitterbetrag auf
der Basis der im Datenspeicherabschnitt 3 gespeicherten
Daten berechnet. Ein Beispiel des durch den Referenzsignalerzeugungsabschnitt 1 erzeugten
zyklischen Signals kann eine Sinuswelle einschließen. Ferner
empfängt
der Messabschnitt 2 eine Eingabe mit einem Messtaktsignal,
welches von einem Messziel DUT (Vorrichtungseinheit-Testung; Device
Unit Testing) 5, das als ein Abtasttaktgeber verwendet
wird, ausgegeben wurde.
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Unter Verwendung des Fließdiagramms
der 2 wird der Betrieb
der Jitter-Messschaltung 10 gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Unter Bezugnahme auf 1 und 2 digitalisiert
der Messabschnitt 2 das Referenzsignal gemäß einem
Abtasttheorem, während
das Messtaktsignal, welches das vom DUT 5 ausgegebene,
zyklische Signal ist, als einem Abtasttakt verwendet wird (im Schritt
S1), und die erhaltenen Messdaten werden an den Speicherabschnitt 3 ausgegeben.
Um das Abtasttheorem zu erfüllen,
besitzt das Messtaktsignal, welches als das Abtastsignal dient,
eine Frequenz von nicht weniger als dem zweifachen derjenigen des Referenzsignals.
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Als nächstes gibt der Datenspeicherabschnitt 3 die
digitalisierten Messdaten und die zuvor gespeicherten, erwartet
idealen Wertedaten an den Datenanalyseabschnitt 4 aus (im
Schritt S2).
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Der Datenanalyseabschnitt 4 führt eine
so genannte schnelle Fourier-Transformation (FFT) aus, zum Transformieren
der digitalisierten Messdaten aus einem Signal in einem Zeitbereich
zu einem Signal in einem Frequenzbereich, wodurch der Frequenzwert,
das heißt
die Frequenzkomponente des Datensignals berechnet wird (im Schritt
S3).
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Auf der Basis des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses
(nachfolgend auch als "SR-Verhältnis"
bezeichnet) der Frequenzkomponente der Daten und einem erwünschten
SR-Verhältnis,
das die erwarteten Wertedaten darstellt, misst als nächstes der
Datenanalyseabschnitt 4 den Jitter bzw. das Zittern bzw. Flattern
des Messtaktsignals (im Schritt S4).
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Wenn die SR-Verhältnis-Datenanalyse unter Verwendung
der durch die Digitalumwandlung erhaltenen Daten ausgeführt wird,
wird im Allgemeinen das Analyseergebnis des SR-Verhältnisses
stark durch die Verunreinigungen des Referenzsignals und des Abtasttakts
beeinflusst. Das heißt,
indem ein Referenzsignal hoher Reinheit in eine Analog-zu-Digital-Umwandlungsschaltung
hoher Genauigkeit, die dem Messabschnitt 2 entspricht,
eingegeben wird, wird das Analyseergebnis durch die Reinheit des
als Abtasttakt dienenden Messtaktsignals beeinflusst.
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Wenn das als Abtasttakt dienende
Messtaktsignal keinen Jitter aufweist, ist speziell ein Abtastzyklus
ziemlich stabil. Wenn eine FFT-Analyse ausgeführt wird, tritt als ein Ergebnis
lediglich die Frequenzkomponente auf, die dem gewünschten
Zyklus des Referenzsignals entspricht. Deshalb ist das SR-Verhältnis, das
durch das Analyseergebnis erhalten wird, hoch.
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Wenn andererseits das als Abtasttakt
dienende Messtaktsignal einen Jitter aufweist, wird der Abtastzyklus
unregelmäßig. Wenn eine
FFT-Analyse ausgeführt
wird, treten ebenso Frequenzkomponenten auf, die Zyklen entsprechen,
die sich von dem erwünschten
Zyklus des Referenzsignals unterscheiden. Deshalb ist das durch
das Analyseergebnis erhaltene SR-Verhältnis aufgrund der ungleichförmigen Frequenzen
niedrig.
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Indem diese Ergebnisse im Verhältnis zueinander
verglichen werden, ist es möglich,
den Jitterpegel bzw. das Zittermaß zu messen.
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Durch Anwenden des Aufbaus der Jitter-Messschaltung
gemäß der ersten
Ausführungsform
ist es möglich,
den Jitter einfach zu messen, ohne eine teure, speziell ausgerichtete
Messausrüstung
oder einen teuren Tester mit derselben Funktion als derjenigen der
Messausrüstung
zu verwenden, um dadurch die Kosten zu vermindern.
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Erste Modifikation
der ersten Ausführungsform
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Bei 3 unterscheidet
sich eine Jitter-Messschaltung 11 gemäß einer ersten Modifikation
der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung von der Jitter-Messschaltung 10 darin,
dass das durch das DUT 5 erzeugte Messtaktsignal anstelle
des durch den Referenzsignalerzeugungsabschnitt 1 erzeugten
Referenzsignals in den Messabschnitt 2 eingegeben wird,
und dass ein Abtasttakt hoher Reinheit, der durch einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt 6 anstelle
des durch den DUT 5 erzeugten Messtaktsignals in den Messabschnitt 2 eingegeben
wird. Da die anderen Bestandteile gleich sind zu jenen der Jitter-Messschaltung der
in 1 gezeigten ersten
Ausführungsform
werden diese hier nicht wiederholt beschrieben.
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Unter Verwendung des Fließdiagramms
von 4 wird der Betrieb
der Jitter-Messschaltung 11 gemäß der ersten Modifikation der
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Bei 3 und 4 digitalisiert der Messabschnitt 2 ein
Messtaktsignal, welches ein zyklisches Signal ist, das aus dem DUT 5 in Übereinstimmung mit
einem Abtasttheorem ausgegeben wird, während der durch den Abtastsignalerzeugungsabschnitt 6 erzeugte
Abtasttakt als ein Referenzsignal verwendet wird (im Schritt S5),
und die erhaltenen Messdaten werden an den Datenspeicherabschnitt 3 ausgegeben.
Um das Abtasttheorem zu erfüllen,
besitzt der Abtasttakt eine Frequenz von nicht weniger als dem zweifachen
des Referenzsignals.
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Als nächstes gibt der Datenspeicherabschnitt 3 die
digitalisierten Messdaten und die zuvor gespeicherten, erwartet
idealen Wertedaten an den Datenanalyseabschnitt 4 aus (im
Schritt S6).
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Der Datenanalyseabschnitt 4 führt eine
so genannte schnelle Fourier-Transformation (FFT) aus, zum Transformieren
der digitalisierten Messdaten aus einem Signal in einem Zeitbereich
ein Signal in einem Frequenzbereich, wodurch die Frequenzkomponente
der Daten berechnet wird (im Schritt S7).
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Auf der Basis des SR-Verhältnisses
der Frequenzkomponente der Daten und einem gewünschten SR-Verhältnis, das
die erwarteten Wertedaten darstellt, misst der Datenanalyseabschnitt 4 als nächstes den
Jitter bzw. das Zittern des Messtaktsignals (im Schritt 58).
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Wenn die SR-Verhältnis-Datenanalyse unter Verwendung
der durch die Datenumwandlung erhaltenen Daten ausgeführt wird,
wird ähnlich
wie bei der Jitter-Messschaltung 10 in der ersten Ausführungsform
beim oben beschriebenen Betrieb der Jitter- Messschaltung 11 das Analyseergebnis
des SR-Verhältnisses
stark durch die Reinheiten des Messtaktsignals und des Abtasttakts
beeinflusst. Das heißt,
indem ein Abtasttakt hoher Reinheit in eine Analog-zu-Digital-Umwandlungsschaltung
hoher Genauigkeit, die dem Messabschnitt 2 entspricht,
eingegeben wird, wird das Analyseergebnis stark durch die Reinheit
des Messtaktsignals beeinflusst.
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Wenn das Messtaktsignal speziell
keinen Jitter aufweist, ist der Abtastzyklus konstant. Wenn eine FFT-Analayse
ausgeführt
wird, tritt als einem Ergebnis lediglich die Frequenzkomponente
auf, die dem gewünschten
Zyklus des Messtaktsignals entspricht. Deshalb ist das SR-Verhältnis, das
durch das Analyseergebnis erhalten wird, hoch.
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Wenn andererseits das Messtaktsignal
einen Jitter aufweist, wird der Abtastzyklus durch den Jitter ungleichförmig, selbst
wenn ein Abtastzyklus konstant ist. Wenn die FFT-Analyse ausgeführt wird,
treten ebenfalls Frequenzkomponenten auf, die Zyklen entsprechen,
die von dem gewünschten
Zyklus des Messtaktsignals verschieden sind. Deshalb ist das SR-Verhältnis, das
durch das Analyseergebnis erhalten wird, aufgrund der ungleichförmigen Frequenzen niedrig.
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Indem diese Ergebnisse relativ zueinander verglichen
werden, ist es möglich,
das Ausmaß des Jitters
zu messen.
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Indem der Aufbau der Jitter-Messschaltung gemäß der ersten
Modifikation der ersten Ausführungsform
angewandt wird, ist es möglich,
den Jitter einfach zu messen, ohne eine teure, speziell darauf ausgerichtete
Messausrüstung
oder einen teuren Tester mit derselben Funktion wie derjenigen der Messausrüstung zu
verwenden, und dadurch die Kosten zu vermindern.
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Zweite Ausführungsform
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In der ersten Ausführungsform
wurde der Aufbau beschrieben, bei dem ein DUT 5 als ein Messziel
direkt durch die Jitter-Messschaltung
gemessen wird. In einer zweiten Ausführungsform wird der Aufbau
einer Halbleitertestvorrichtung beschrieben, die Funktionen in Übereinstimmung
mit dem in der ersten Ausführungsform
gezeigten Jitter-Messverfahren aufweist.
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Bei 5 beinhaltet
eine Haltleitertestvorrichtung 20 gemäß der zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung: einen Steuerabschnitt 22, der
die gesamte Halbleitertestvorrichtung 20 steuert; einen
Innenbus 28, der Daten nach bzw. von einer inneren Schaltung überträgt bzw.
empfängt;
einen Testsignalerzeugungsabschnitt 27, der die Eingabe/Ausgabe
eines Testsignals zu bzw. von einem Messziel DUT 5 ausführt; und
einen Jitter-Messabschnitt 30,
der die Messung des Jitters des Messziels DUT 5 ausführt.
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Der Testsignalerzeugungsabschnitt 27 dient dazu,
ein Testsignal mit einem speziellen Muster in das Messziel DUT 5 einzugeben,
und auf der Basis eines Antwortausgabesignals zu bestimmen, ob das DUT 5 gut
oder schlecht ist.
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Der Testsignalerzeugungsabschnitt 27 beinhaltet:
eine Referenzsignalerzeugungsschaltung 24, die ein Referenzsignal
erzeugt, welches ein bestimmtes zyklisches Signal ist; eine Wellenformbildungsschaltung 25,
die ein Testsignal in Antwort auf eine Anweisung vom Steuerabschnitt 22 bildet;
eine Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung
26, die die Amplitude des Testsignals einstellt und das resultierende
Testsignal an das Messziel ausgibt; und eine Leistungszufuhr 23,
die eine Spannung zum Einstellen der Amplitude des Testsignals in
Antwort auf die Anweisung vom Steuerabschnitt 22 einstellt.
Ferner empfängt
die Wel- 1enform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung
26 die Eingabe eines Signals aus dem Messziel. Folglich empfängt die
Wellenformbildungsschaltung 25 ein Signal aus der Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung 26 und
gibt Signaldaten an den Steuerabschnitt 22 aus.
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Ein in Übereinstimmung mit dem Signalerzeugungsabschnitt 27 ausgeführter Test
wird nun beschrieben.
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Die Referenzsignalerzeugungsschaltung 24 erzeugt
das Referenzsignal in Antwort auf die Anweisung vom Steuerabschnitt 22.
Die Wellenformbildungsschaltung 25 erzeugt das Testsignal
auf der Basis eines speziellen Testmusters vom Referenzsignal in
Antwort auf die Anweisung vom Steuerabschnitt 22. Die Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung
26 stellt die Amplitude des von der Wellenformbildungsschaltung 25 ausgegebenen
Testsignals ein und gibt das resultierende Testsignal in das Messziel DUT 5 ein.
Das DUT 5 gibt das Ausgabesignal an den Testsignalerzeugungsabschnitt 27 aus,
in Antwort auf die Eingabe des Testsignals. Die Wellenformbildungsschaltung 25 gibt
Daten über
das eingegebene Ausgabesignal an den Steuerabschnitt 22 aus,
um das Ausgabesignal einer Analyse zu unterziehen. Zum Beispiel
ist es möglich,
einen Test auszuführen,
welcher ermittelt, dass das DUT 5 gut ist, wenn ein Testsignal
mit einem speziellen Muster eingegeben wird, und ein Ausgabesignal,
welches dasselbe Muster aufweist, wird erhalten.
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Der Jitter-Messabschnitt 30 schließt den Referenzsignalerzeugungsabschnitt 1,
den Messabschnitt 2, den Datenspeicherabschnitt 3 und
den Datenanalyseabschnitt 4 ein. Der Jitter-Messabschnitt 30 ist
im Aufbau gleich zu der in der ersten Ausführungsform beschriebenen Jitter-Messschaltung 10. Deshalb
werden hier die Beziehung der Verbindungen, der Betrieb und dergleichen
des Jitter-Messabschnitts 30 nicht wiederholt. So mit kann
der Jitter-Messabschnitt 30 die Messung des Jitters des vom
DUT 5 ausgegebenen Messtaktsignals ausführen.
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Ferner wird das durch den Datenanalyseabschnitt 4 analysierte
Ergebnis über
den Innenbus 28 an den Steuerabschnitt 22 übertragen.
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Durch Einschluss des Jitter-Messabschnitts 30,
der zum Ausführen
einer Jitter-Messung in einer Halbleitertestvorrichtung in der Lage
ist, wie bei der Halbleitertestvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
ersichtlich, ist es möglich,
die Jittermessung selbst bei der Halbleitertestvorrichtung einfach
bei niedrigen Kosten auszuführen.
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Da Daten zwischen dem Steuerabschnitt 22 und
dem Datenanalyseabschnitt 4 über den Innenbus 28 übertragen
und empfangen werden, ist es ferner möglich, die auszuführende Jitter-Messung
zu beschleunigen und dadurch die Testdauer zu reduzieren.
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Erste Modifikation
der zweiten Ausführungsform
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Bei 6 unterscheidet
sich eine Halbleitertestvorrichtung 21 gemäß einer
ersten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung von der in 5 gezeigten
Halbleitertestvorrichtung 20 darin, dass der Jitter-Messabschnitt 30 durch
einen Jitter-Messabschnitt 31 ersetzt ist.
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Da der Jitter-Messabschnitt 31 in
Bezug auf den Aufbau gleich ist wie die Jitter-Messschaltung 11 gemäß der in 3 gezeigten ersten Modifikation der
ersten Ausführungsform,
wird hier die Verbindungsbeziehung, der Betrieb und dergleichen
des Jitter-Messabschnitts 31 nicht wiederholt beschrieben.
Somit kann der Jitter-Messabschnitt 31 die Messung des
Jitters bzw. Zit terns bzw. Flatterns des vom DUT 5 ausgegebenen
Messtaktsignals ausführen.
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Durch den Einschluss des Jitter-Messabschnitts 31 in
die Halbleitertestvorrichtung, wie aus dem Aufbau der vorliegenden
Erfindung ersichtlich, ist es möglich,
dieselben oben beschriebenen Vorteile der zweiten Ausführungsform
zu erzielen.
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Zweite Modifikation
der zweiten Ausführungsform
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Bei 7 unterscheidet
sich eine Halbleitertestvorrichtung 20# gemäß einer
zweiten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung
von der in 5 gezeigten
Halbleitertestvorrichtung 20 darin, dass der Jitter-Messabschnitt 30 durch
einen Jitter-Messabschnitt 30# ersetzt ist.
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Der Jitter-Messabschnitt 30# unterscheidet sich
vom Jitter-Messabschnitt 30 darin,
dass der Datenanalyseabschnitt 4 entfernt ist. Da die anderen Bestandteile
gleich sind zu jenen des Jitter-Messabschnitts 30, werden
diese hier nicht wiederholt beschrieben.
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Die Halbleitertestvorrichtung 20# gemäß der zweiten
Modifikation der zweiten Ausführungsform dient
dazu, Daten, die durch den Jitter-Messabschnitt 30# erhalten
wurden, unter Verwendung des Steuerabschnitts 22 zu analysieren.
Speziell werden die Daten über
den Innenbus 28 vom Datenspeicherabschnitt 3 in
den Steuerabschnitt 22 eingegeben, und der Steuerabschnitt 22 analysiert
die Daten zur Messung des Jitters bzw. Zitterns.
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Durch Entfernen des Datenanalyseabschnitts 4 und
durch Ausführen
lassen des Steuerabschnitts 22 derselben Funktion wie der
des Datenanalyseabschnitts 4, wie beim Aufbau der Halbleiter testvorrichtung 20# gemäß der zweiten
Modifikation der zweiten Ausführungsform
ersichtlich, ist es möglich,
nicht nur dieselben Vorteile wie jene der zweiten Ausführungsform
zu erzielen, sondern darüber
hinaus die Anzahl der Teile zu verringern und dadurch die Kosten
weiter zu reduzieren.
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Dritte Modifikation
der zweiten Ausführungsform
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Bei 8 unterscheidet
sich eine Halbleitertestvorrichtung 21# gemäß einer
dritten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung von der in 6 gezeigten
Halbleitertestvorrichtung 21 darin, dass der Jitter-Messabschnitt 31 durch
einen Jitter-Messabschnitt 31# ersetzt ist.
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Der Jitter-Messabschnitt 31# unterscheidet sich
vom Jitter-Messabschnitt 31 darin,
dass der Datenanalyseabschnitt 4 entfernt ist. Da die anderen Bestandteile
gleich sind zu jenen des Jitter-Messabschnitts 31, werden
diese hier nicht wiederholt beschrieben.
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Die Halbleitertestvorrichtung 21# gemäß der dritten
Modifikation der zweiten Ausführungsform dient
dazu, die durch den Jitter-Messabschnitt 31# unter Verwendung
des Steuerabschnitts 22 erhaltenen Daten zu analysieren.
Speziell werden die Daten über
den Innenbus 28 vom Datenspeicherabschnitt 3 in
den Steuerabschnitt 22 eingegeben, und der Steuerabschnitt 22 analysiert
die Daten zur Messung des Jitters bzw. Zitterns.
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Durch Entfernen des Datenanalyseabschnitts 4 und
durch Ausführen
lassen derselben Funktion durch den Steuerabschnitt 22 wie
derjenigen des Datenanalyseabschnitts 4, wie beim Aufbau der
Halbleitertestvorrichtung 21# gemäß der dritten Modifikation
ersichtlich, ist es möglich,
nicht nur dieselben Vorteile wie jene der zweiten Ausführungsform
zu erzielen, sondern darüber
hinaus die Anzahl von Teilen zu verringern und dadurch die Kosten
weiter zu reduzieren.
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Vierte Modifikation
der zweiten Ausführungsform
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Bei 9 unterscheidet
sich eine Halbleitertestvorrichtung 20a gemäß einer
vierten Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung von der in 7 gezeigten
Halbleitertestvorrichtung 20# darin, dass der Jitter-Messabschnitt 30# durch
einen Jitter-Messabschnitt 30a ersetzt ist und dass ferner
ein Reperaturanalysefunktionsabschnitt 29 bereitgestellt
ist.
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Der Reperaturanalysefunktionsabschnitt 29 detektiert
und analysiert einen Defekt in einem Speicher, wenn der Speicher
im Messziel DUT 5 eingeschlossen ist.
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Der Reperaturanalysefunktionsabschnitt 29 beinhaltet:
einen Fehlereinfangabschnitt 64, der ein einen Defekt im
Speicher anzeigendes Datensignal detektiert; und einen Analyseabschnitt 65,
der das eingegebene Signal analysiert.
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Der Fehlereinfangabschnitt 64 beinhaltet: eine
Scrambler- bzw. Verwürfelungsschaltung 63,
die ein von der Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung 26
eingegebenes Datensignal empfängt
und eine Logikoperation ausführt;
und einen Speicherabschnitt 62, der das Ergebnis der Logikoperation
der Scrambler-Schaltung 63 speichert.
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Der Analyseabschnitt 65 beinhaltet:
einen Analysesteuerabschnitt 60, der den Defekt im Speicher
auf der Basis der im Speicherabschnitt 61 gespeicherten
Information analysiert; und einen Speicherabschnitt 61,
der die vom Speicherabschnitt 62 ausgegebene Information
speichert, um Eingabedaten in Antwort auf eine Anweisung vom Analysesteuerabschnitt 60 zu
analysieren, und das Analyseergebnis des Analysesteuerabschnitts 60 speichert.
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Der Betrieb beim Analysieren eines
Defekts wird beschrieben.
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In einem Modus zum Ausführen einer
Defektanalyse gibt der Steuerabschnitt 22 ein vorbestimmtes
Testsignal an das DUT 5 aus unter Verwendung des Testsignalerzeugungsabschnitts 27.
In Antwort auf das vorbestimmte Testsignal wird ein Datensignal bezüglich einer
Defektinformation über
eine Adresse oder dergleichen im Speicher vom DUT 5 zur
Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung 26 ausgegeben. Die
Wellenform-Eingabe/Ausgabe-Schaltung 26 überträgt das Datensignal,
welches im Defektuanalyseausführungsmodus
vom DUT 5 ausgegeben wurde, zum Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29. Folglich
führt der
Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29 eine Defektanalyse
aus.
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Der Jitter-Messabschnitt 30a unterscheidet sich
vom Jitter-Messabschnitt 30# darin,
dass der Datenspeicherabschnitt 3 durch einen temporären Datenspeicherabschnitt 3# ersetzt
ist. Da die anderen Bestandteile gleich sind zu jenen des Jitter-Messabschnitts 30#,
werden diese hier nicht wiederholt beschrieben.
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Die vierte Modifikation der zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dient dazu, die Daten oder dergleichen,
die im Jitter-Messabschnitt 30a gespeichert sind, im Speicherabschnitt 61,
der im Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29 bereitgestellt
ist, zu speichern.
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Speziell werden die im Messabschnitt 2 erhaltenen
Daten über
den temporären
Speicherabschnitt 3# an den Reparaturanalyse funktionsabschnitt 29 ausgegeben,
und zur Analyse erforderliche Daten werden über den Innenbus 28 vom
Speicherabschnitt 61 zum Steuerabschnitt 22 übertragen.
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Mit dem Aufbau der vierten Modifikation
werden die Daten, die im Jitter-Messabschnitt bereitgestellten Datenspeicherabschnitt 3 gespeichert
sind, im Speicherabschnitt des Reparaturanalysefunktionsabschnitts 29 gespeichert,
der die andere Testfunktion besitzt, wodurch es möglich ist,
nicht nur dieselben Vorteile wie jene der zweiten Ausführungsform
zu erzielen, sondern darüber
hinaus die Anzahl von Teilen zu verringern und dadurch die Kosten
weiter zu reduzieren.
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Beim Jitter-Messabschnitt 30a gemäß der vierten
Modifikation der zweiten Ausführungsform wird
der temporäre
Speicherabschnitt 3# bereitgestellt, um zur Beschleunigung
der Datenübertragungsrate
beizutragen. Es ist ebenso möglich,
den temporären
Speicherabschnitt 3# nicht vorzusehen.
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Ferner wurde hier der Aufbau beschrieben, bei
dem die Daten oder dergleichen, die für den Jitter-Messabschnitt
erforderlich sind, im Speicherabschnitt 61 gespeichert
werden. Alternativ kann ein Aufbau angewandt werden, bei dem die
erforderlichen Daten oder dergleichen anstelle im Speicherabschnitt 61 im
Speicherabschnitt 62 gespeichert werden. Ferner können die
erforderlichen Daten statt im Speicherabschnitt des Reparaturanalysefunktionsabschnitts 29 in
einem Speicherbereich gespeicherte Werte, der in einem Schaltungsabschnitt
oder dergleichen mit der anderen Testfunktion bereitgestellt ist.
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Fünfte Modifikation
der zweiten Ausführungsform
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Bei 10 unterscheidet
sich eine Halbleitertestvorrichtung 21a gemäß einer
fünften
Modifikation der zweiten Ausführungs form
der vorliegenden Erfindung von der in 8 gezeigten
Halbleitertestvorrichtung 21# darin, dass der Jitter-Messabschnitt 31# durch
einen Jitter-Messabschnitt 31a ersetzt ist, und dass ferner
der Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29 bereitgestellt
ist.
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Der Jitter-Messabschnitt 31a unterscheidet sich
vom Jitter-Messabschnitt 31# darin,
dass der Datenspeicherabschnitt 3 durch den temporären Speicherabschnitt 3# ersetzt
ist. Da die anderen Bestandteile gleich sind zu jenen des Jitter-Messabschnitts 31#,
werden diese hier nicht wiederholt beschrieben.
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Die fünfte Modifikation der zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dient dazu, die Daten oder dergleichen,
die im Jitter-Messabschnitt 31a gespeichert sind, im Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29 bereitgestellten
Speicherabschnitt 61 zu speichern.
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Speziell werden die Daten, die im
Messabschnitt 2 erhalten wurden, über den temporären Speicherabschnitt 3# an
den Reparaturanalysefunktionsabschnitt 29 ausgegeben, und
die zur Analyse erforderlichen Daten werden über den Innenbus 28 vom Speicherabschnitt 61 zum
Steuerabschnitt 22 übertragen.
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Mit dem Aufbau der fünften Modifikation
werden die Daten, die im Jitter-Messabschnitt bereitgestellten Datenspeicherabschnitt 3 gespeichert
sind, im Speicherabschnitt des Reparaturanalysefunktionsabschnitts 29,
der die andere Testfunktion aufweist, gespeichert, wodurch es möglich ist,
nicht nur dieselben Vorteile wie jene der zweiten Ausführungsform
zu erzielen, sondern darüber
hinaus die Anzahl von Teilen zu verringern und dadurch die Kosten
weiter zu reduzieren. Im Jitter-Messabschnitt 31a gemäß der fünften Modifikation
der zweiten Ausführungsform
ist der temporäre
Speicherabschnitt 3# vorgesehen, um zur Beschleunigung
der Datenübertragungsrate
beizutragen. Es ist auch möglich,
den temporären
Speicherabschnitt 3# nicht vorzusehen.
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Ferner wurde hier der Aufbau beschrieben, bei
dem die Daten oder dergleichen, die für den Jitter-Messabschnitt
erforderlich sind, im Speicherabschnitt 61 gespeichert
sind. Alternativ kann ein Aufbau angewandt werden, bei dem die erforderlichen Daten
oder dergleichen anstelle im Speicherabschnitt 61 im Speicherabschnitt 62 gespeichert
sind. Ferner können
die erforderlichen Daten statt im Speicherabschnitt des Reparaturanalysefunktionsabschnitts 29 in
einem Speicherbereich gespeichert werden, die in einem Schaltungsabschnitt
oder dergleichen mit der anderen Testfunktion vorgesehen ist.
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In der zweiten Ausführungsform
sowie den Modifikationen der zweiten Ausführungsform wurde der Aufbau
beschrieben, bei dem der die Jitter-Messung ausführende Jitter-Testabschnitt
in der Halbleitertestvorrichtung eingeschlossen ist. Andererseits kann
die in der ersten Ausführungsform
sowie der Modifikation der ersten Ausführungsform beschriebene Jitter-Testschaltung
so aufgebaut sein, dass die oben beschriebene Testfunktion, die
die Halbleitertestvorrichtung aufweist, eingeschlossen ist.
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Dritte Ausführungsform
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Eine dritte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung dient dazu, eine Schaltung, die so funktioniert, dass
die Fähigkeit
der Ausführung
der oben beschriebenen Jitter-Messung besteht, in einer Vorrichtungsschnittstellenplatine
bereitzustellen.
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Bei 11 beinhaltet
eine Vorrichtungsschnittstellenplatine 45 gemäß der dritten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung das Messziel DUT 5 und den Jitter-Messabschnitt 30.
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Eine Halbleitertestvorrichtung 40 ist
mit der Vorrichtungsschnittstellenplatine 45 elektrisch
verbunden und führt
einen gewünschten
Test mit dem Messziel DUT 5 aus.
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Ferner führt die Halbleitertestvorrichtung 40 eine
Jitter-Messung unter
Verwendung des Jitter-Messabschnitts 30, der in der Vorrichtungsschnittstellenplatine 45 bereitgestellt
ist, aus.
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Durch Einschluss des Jitter-Messabschnitts 30 in
eine Platine, die im Aufbau der Vorrichtungsschnittstellenplatine
gemäß der dritten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ersichtlich, ist es möglich, dieselbe Messung auszuführen, selbst wenn
der Jitter-Messabschnitt nicht wie in der zweiten Ausführungsform
beschrieben in der Halbleitertestvorrichtung eingeschlossen ist.
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In der dritten Ausführungsform
ist der Aufbau der Vorrichtungsschnittstellenplatine 45 beschrieben worden,
bei der der Jitter-Messabschnitt 30 angewandt wird. Die
vorliegende Erfindung ist auch auf den Aufbau einer Vorrichtungsschnittstellenplatine anwendbar,
bei der anstatt des Jitter-Messabschnitts 30 der Jitter-Messabschnitt 31 angewandt
wird.
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Da die Vorrichtungsschnittstellenplatine
bei relativ niedrigen Kosten hergestellt werden kann, ist es darüber hinaus
möglich,
Platinen, die jeweils die Jitter-Messfunktion bei dem großen Volumen
aufweisen, bei niedrigen Kosten herzustellen.
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Da die Vorrichtungsschnittstellenplatine
so, wie sie ist, für
die andere Halbleitertestvorrichtung – hier nicht gezeigt – genutzt
werden kann, ist ferner die vorliegende Erfindung vorteilhafterweise
effizient.
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Vierte Ausführungsform
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In einer vierten Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung wird ein Aufbau beschrieben, bei dem der oben beschriebene
Jitter-Messabschnitt in einer Halbleitervorrichtung bereitgestellt
ist.
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Bei 12 beinhaltet
eine Halbleitervorrichtung 50 gemäß der vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung: eine PLL 51 (Phasenverriegelte Schleife,
Phase Locked Loop), die ein inneres Taktsignal erzeugt, welches
mit einem von außerhalb
der Halbleitervorrichtung 50 eingegebenen Taktsignal synchronisiert
ist und in einer inneren Schaltung verwendet wird; einen Steuerabschnitt 52,
der die gesamte Halbleitervorrichtung 50 steuert; eine
Logikschaltung 53, die durch den Steuerabschnitt 52 gesteuert
wird und eine erwünschte
Logikoperation ausführt;
einen Speicher 54, der Daten speichert; und den Jitter-Messabschnitt 30,
der die Jitter-Messung ausführt.
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Der Betrieb des Jitter-Messabschnitts 30 wird
beschrieben.
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Der Jitter-Messabschnitt 30 empfängt die Eingabe
des durch die PLL 51 erzeugten inneren Taktsignals, führt die
Messung des Jitterns bzw. Zitterns des inneren Taktsignals aus,
und speichert das Analyseergebnis im Speicher 54. Der Steuerabschnitt 52 instruiert
die PLL 51, ein inneres Taktsignal zu erzeugen, welches
einen geringen Jitter (Zittern) auf der Basis des im Speicher 54 gespeicherten
Analyseergebnisses aufweist.
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Durch Bereitstellen des Jitter-Messabschnitts
in der Halbleitervorrichtung, wie bei diesem Aufbau ersichtlich,
ist es möglich,
das Jitter-Mauß des
inneren Taktsignals zu messen und das innere Taktsignal zu korrigieren.
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In dieser Ausführungsform ist der Aufbau der Messung
des Jitter-Maßes
des inneren Taktsignals und die Korrektur des inneren Taktsignals
beschrieben worden. Alternativ kann ein Aufbau angewandt werden,
bei dem ein gemessener Wert auf der Basis des Analyseergebnisses
nach außerhalb
der Halbleitervorrichtung ausgegeben wird.
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In dieser Ausführungsform ist ferner der Jitter-Messabschnitt 30,
der die Messung des Jitterns bzw. Zitterns des Inneren Taktsignals
ausführt,
beschrieben worden, das Messziel ist jedoch nicht auf das innere
Taktsignal begrenzt, sondern der Jitter-Messabschnitt kann die Messung
des Jitterns bzw. Zitterns des anderen Signals ausführen.
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Darüber hinaus ist der Aufbau der
Halbleitervorrichtung 50 beschrieben worden, bei der der
Jitter-Messabschnitt 30 bereitgestellt ist. Die vorliegende
Erfindung ist auch auf den Aufbau einer Halbleitervorrichtung anwendbar,
bei der Jitter-Messabschnitt 31 bereitgestellt
ist.
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Die Merkmale der oben beschriebenen
Ausführungsformen
und Modifikation der Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung können
kombiniert werden.
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Obgleich die vorliegende Erfindung
im Detail beschrieben und veranschaulicht wurde, wird deutlich,
dass dies nur zur Veranschaulichung und als Beispiel erfolgt ist
und nicht als Beschränkung
aufzufassen ist, wobei der Umfang der vorliegenden Erfindung lediglich
durch den Inhalt der beigefügten
Ansprüche
begrenzt ist.