JP2003131377A - 層間絶縁膜用感光性樹脂組成物および感光性転写材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンタクトホールに残渣が残りにくい層間絶
縁膜用感光性樹脂組成物とこの層間絶縁膜用感光性樹脂
組成物を用いた転写材料の提供。 【解決手段】 光重合開始剤、光重合性モノマー、アク
リル系共重合体バインダーを主成分とし、該光重合性モ
ノマーの固形分質量（Ｍ）と該アクリル系共重合体バイ
ンダーの固形分質量（Ｂ）との比率（Ｍ／Ｂ）が０．５
５〜０．８５であり、有機アルカリ現像液で画像処理さ
れる層間絶縁膜用感光性樹脂組成物と、この層間絶縁膜
用感光性樹脂組成物を用いた転写材料。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、層間絶縁膜用感光
性樹脂組成物および感光性転写材料に関し、特にカラー
表示を行なう液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像層
等に用いるのに好適な層間絶縁膜用感光性樹脂組成物及
び感光性転写材料に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像
素子等の電子部品には、その劣化や損傷を防止ずための
保護膜、素子表面を平坦化するための平坦化膜、電気絶
縁性を保つためにの絶縁膜等が設けられている。これら
の膜を形成するために感光性樹脂組成物を用いてフォト
リソグラフィ法が採用されることが多い。また、薄膜ト
ランジスター（ＴＦＴ）型液晶素子や集積回路素子に
は、層状に配置される配線の間を絶縁するために層間絶
縁膜が設けられている。さらにＩＴＯ電極とＴＦＴ素子
とを導通させるために層間絶縁膜にあけられるコンタク
トホールをパターニングできる感光性樹脂組成物が使用
されている。

【０００３】層間絶縁膜にあけられるコンタクトホール
は、ラインパターンに比べ、ホール底に残渣（現像によ
り除去できなかった感光性樹脂性樹脂組成物の一部）が
生じやすい。この残渣を除去するために現像時間を長く
するということが通常試みられているが、現像時間を長
くしすぎると、露光部であっても過現像となり、現像直
後のホール形状が蛸壺のようになりやすい。コンタクト
ホールには、コンタクトホール形成後、スパッタリング
等によってＩＴＯ電極が形成されるが、この場合、コン
タクトホールの形状は，ＩＴＯ電極が適性に形成される
ためには、すり鉢状であることが要求される。

【０００４】従来、コンタクトホール底の残渣を除去す
るために、過現像を行なうため、コンタクトホール形状
はすり鉢状となることなく、蛸壺状となるため、適性な
ＩＴＯ電極を形成することが困難であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、パタ
ーン現像後、現像処理して形成されるコンタクトホール
の底に残渣を生じない層間絶縁膜用感光性樹脂組成物と
その組成物を用いた感光性転写材料を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、コンタク
トホールの底に残渣を生じない層間絶縁膜用感光性樹脂
組成物について、鋭意検討した結果、層間絶縁膜用感光
性樹脂組成物のバインダー組成物、物性値及びこのバイ
ンダーと光重合性モノマーの固形分比に最適の範囲をあ
ることを見出し、本発明に到達した。すなわち、本発明
の感光性樹脂組成物は、 （１） 光重合開始剤、光重合性モノマー、アクリル系
共重合体バインダーを主成分とし、該光重合性モノマー
の固形分質量（Ｍ）と該アクリル系共重合体バインダー
の固形分質量（Ｂ）との比率（Ｍ／Ｂ）が０．５５〜
０．８５であり、有機アルカリ現像液で画像処理される
ことを特徴とする層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。 （２） 前記アクリル系共重合体バインダーがメタクリ
ル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１
つを含み、該アクリル系共重合体バインダーのガラス転
移温度（Ｔｇ）が６５℃〜１２５℃であることを特徴と
する前記（１）に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成
物。 （３） 前記アクリル系共重合体バインダーの重量平均
分子量が２５，０００〜５０，０００であることを特徴
とする前記（１）又は前記（２）に記載の感光性樹脂組
成物。 （４） 前記アクリル系共重合体バインダーが、重量平
均分子量６，０００〜１２，０００の低分子量成分（Ｂ
１）と重量平均分子量２５，０００〜５０，０００の高
分子量成分（Ｂ２）をブレンドしたものであり、これら
の質量換算のブレンド比（Ｂ１／Ｂ２）が０．１／９．
９〜９．９／０．１であることを特徴とする前記（１）
乃至前記（３）のいずれかに記載の層間絶縁膜用感光性
樹脂組成物。 （５） 前記アクリル系共重合体バインダーが、重量平
均分子量６，０００〜１２，０００の低分子量成分（Ｂ
１）と重量平均分子量２５，０００〜５０，０００の高
分子量成分（Ｂ２）をブレンドしたものであり、これら
の質量換算のブレンド比（Ｂ１／Ｂ２）が１／９〜５／
５であることを特徴とする前記（４）に記載の層間絶縁
膜用感光性樹脂組成物。 （６） 紫外線吸収剤を含み、３６５ｎｍにおける吸光
度が０．０１〜２となることを特徴とする前記（１）乃
至前記（５）のいずれかに記載の層間絶縁膜用感光性樹
脂組成物。 （７） 光及び／又は熱で消色する消色性染料を含むこ
とを特徴とする前記（１）乃至前記（６）のいずれかに
記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。本発明の感光性
転写材料は、 （８） 仮支持体、熱可塑性樹脂層、感光性樹脂層を有
する感光性転写材料において、感光性樹脂層が前記
（１）乃至前記（７）のいずれかに記載の層間絶縁膜用
感光性樹脂組成物であることを特徴とする感光性転写材
料。 （９） 仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹
脂層がこの順に積層されていることを特徴とする前記
（８）に記載の感光性転写材料。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について詳細に説明する。本発明において、層間絶縁
膜用感光性樹脂組成物は、光重合開始剤、光重合性モノ
マー、アクリル系共重合体バインダーを主成分とする。

【０００８】−層間絶縁膜用感光性樹脂組成物− ［アクリル系共重合体バインダー］本発明において、ア
クリル系共重合体バインダーは、メタクリル酸メチル又
はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重
合体が好ましい。またアクリル系共重合体バインダーの
重量平均分子量は、２０，０００〜６０，００００が好
ましく、さらには２５，０００〜５０，０００が好まし
く、より好ましくは２５，０００〜３５，０００であ
る。

【０００９】さらに、アクリル系共重合体バインダー
は、重量平均分子量６，０００〜１２，０００の低分子
量成分（Ｂ１）と重量平均分子量２５，０００〜５０，
０００の高分子量成分（Ｂ２）をブレンドしたものが好
ましく、これらの質量換算のブレンド比（Ｂ１／Ｂ２）
が０．１／９．９〜９．９／０．１が好ましく、より好
ましくは、１／９〜５／５、さらに好ましくは２／８〜
５／５である。

【００１０】また、メタクリル酸メチル又はベンジルメ
タクリレートの少なくとも１つを含む共重合体には、メ
タクリル酸メチルを含む共重合体、ベンジルメタクリレ
ートを含む共重合体、メタクリル酸メチル及びベンジル
メタクリレートを含む共重合体等が挙げられる。メタク
リル酸メチルを含む共重合体には、メタクリル酸／メタ
クリル酸メチル共重合体（共重合比：１４〜１７．６モ
ル％／８２．４〜８６モル％、重量平均分子量２０，０
００〜６０，０００）、メタクリル酸／メタクリル酸メ
チル／エチルアクリレート共重合体（共重合比：５〜１
０モル％／７０〜６０モル％／２５〜３０モル％、重量
平均分子量２０，０００〜６０，０００）等が挙げられ
る。ベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタ
クリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合
比：２５〜３７モル％／７５〜６３モル％、重量平均分
子量２０，０００〜６０，０００）、メタクリル酸／ベ
ンジルメタクリレート／スチレン共重合体（共重合比：
２０モル％／１７．８モル％／６２．２モル％、重量平
均分子量２０，０００〜６０，０００）等が挙げられ
る。また、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレ
ートを含む共重合体には、メタクリル酸／メタクリル酸
メチル／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合比：
１４．６〜２７．２モル％／７９．１〜３２．７モル％
／１６．３〜４０モル％、重量平均分子量２０，０００
〜６０，０００）、メタクリル酸／メタクリル酸メチル
／ベンジルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリ
レート共重合体（共重合比：１０〜１５モル％／７０〜
６５モル％／１０モル％／１０モル％、重量平均分子量
２０，０００〜６０，０００）等が挙げられる。

【００１１】上記したメタクリル酸メチル又はベンジル
メタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体のガラ
ス転移温度（Ｔｇ）は６５℃〜１２５℃が好ましく、よ
り好ましくは６５℃〜１０５℃、さらに好ましくは６５
℃〜９０℃である。また、上記した共重合体の中で、ベ
ンジルメタクリレートを含む共重合体、特にメタクリル
酸／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合比：２５
〜３７モル％／７５〜６３モル％、重量平均分子量２
０，０００〜６０，０００）が好ましい。

【００１２】［光重合性モノマー］光重合性モノマーと
しては、単官能、２官能、３官能以上の（メタ）アクリ
レートが好ましく、３官能以上の（メタ）アクリレート
が重合性が良好で得られるパターン状薄膜の強度が向上
する点からより好ましい。上記単官能（メタ）アクリレ
ートとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート、カルビトール（メタ）アクリレート、イソボロニ
ル（メタ）アクリレート、３−メトキシブチル（メタ）
アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチル
−２−ヒドロキシプロピルフタレート等が挙げられる。
上記２官能（メタ）アクリレートとしては、エチレング
リコール（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオ
ールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオール
ジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ビスフェノキシエタノールフル
オレンジアクリレート等が挙げられる。３官能以上の
（メタ）アクリレートとしては、トリメチロールプロパ
ントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ（メタ）アクリレート、トリ（（メタ）アクリロイロ
キシエチル）フォスフェート、ペンタエリスリトールテ
トラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中
で、特にペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレ
ート等が感度が上がるという点で好ましい。

【００１３】これらの重合性モノマーの固形分質量
（Ｍ）と前記アクリル系共重合体バインダーの固形分質
量（Ｂ）との比率（Ｍ／Ｂ）は、０．５５〜０．８５で
ある。この比率（Ｍ／Ｂ）が０．５５よりも小さいと、
パターン露光後、感光性樹脂層の重合硬化が十分でない
ため、現像後の画像部も除去されやすくなり、一方、
０．８５より大きいと、感度は上がるものの、コンタク
トホールの底部に現像残渣が残りやすくなり、好ましく
はない。前記比率（Ｍ／Ｂ）は、好ましくは０．５５〜
０．８０であり、より好ましくは０．５５〜０．７５で
ある。

【００１４】［光重合開始剤］光重合開始剤としては、
有機ハロゲン化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル
等が挙げられる。これらのなかでは有機ハロゲン化合物
が好ましく、特に、ハロメチル化トリアジン、ハロメチ
ル化オキサジアゾール化合物が好ましい。具体的にはハ
ロメチル化トリアジン化合物は一般式（１）で示され
る。

【００１５】

【化１】

【００１６】（式中Ｒ1 及びＲ2 は、ハロメチル基であ
り、Ｙは炭素数５以上の有機基である。） ハロメチル基としては、例えばトリクロロメチル基、ト
リブロモメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル
基などがあり、炭素数５以上の有機基としては、例えば
置換基を有していてもよい、フェニル基、ナフチル基、
スチリル基、スチリルフェニル基、フリルビニル基、四
級化アミノエチルアミノ基などがある。ハロメチル化ト
リアジン化合物の好ましい具体例としては、特に（２，
４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−
ジエトキシカルボニルメチル−３−ブロモフェニル］−
トリアジンが好ましい。

【００１７】ハロメチル化オキサジアゾール化合物は、
一般式（２）で示される。

【００１８】

【化２】

【００１９】式中Ｒ3 は、ハロメチル基であり、Ｚは置
換基を有していてもよいベンゾフリル基またはベンゾフ
リルビニル基である。ハロメチル化オキサジアゾール化
合物の好ましい具体例としては、（２−トリクロロ２メ
チル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキ
サジアゾールが挙げられる。

【００２０】これらの光重合開始剤は、層間絶縁膜用感
光性樹脂層中の固形分に対して、０．０５〜１５質量
％、好ましくは５〜１５質量％である。光重合開始剤の
含有量が１５質量％を超えると、パターンが膨潤してし
まい、０．０５質量％未満であると、露光によって重合
モノマーとよる重合硬化が不充分となり、現像後の残膜
率が低下し、画像の耐熱性、耐薬品性等が低下しやす
い。

【００２１】［層間絶縁膜用感光性樹脂組成物のその成
分］本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物には、必要
に応じて着色剤、紫外線吸収剤、界面活性剤、密着促進
剤、可塑剤等等を配合することができる。

【００２２】着色剤としては、顔料、染料を使用するこ
とができる。顔料としては、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸
化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム、カーボンブ
ラック、などの無機顔料、アントラキノン系顔料、ペリ
レン系顔料、ジスアゾ顔料、フタロシアニン顔料、イソ
インドリン顔料、ジオキサジン顔料、キナクリドン顔
料、ペリノン系顔料、トリフェニルメタン系顔料、チオ
インジゴ顔料などの有機顔料などが挙げられる。これら
を単独または混合してもちいることができる。これ等顔
料の中ではアントラキノン、フタロシアニン、ジオキサ
ジン、カーボンブラックが特に好ましい。

【００２３】具体的にカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）
ナンバーで示す。 Ｃ．Ｉ．赤；９、９７、１２２、１２３、１４９、１６
８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１
７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２
８、２４０Ｃ．Ｉ．青；１５、１５；６、２２、６０、
６４Ｃ．Ｉ．緑；７、３６Ｃ．Ｉ．黒；７Ｃ．Ｉ．黄
色；１２、２０、２４、８６、９３、１０９、１１０、
１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４８、１
５３、１５４、１６６、１６８Ｃ．Ｉ．オレンジ；３
６、４３、５１、５５、５９、６１Ｃ．Ｉ．バイオレッ
ト；１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０Ｃ．
Ｉ．茶；２３、２５、２６

【００２４】これら顔料の平均粒径は０．００５〜３μ
ｍの範囲にあるのが好ましい。より好ましくは０．０１
〜１μｍである。平均粒径がこれ以下であるとチクソト
ロピーがでやすく良好な塗布性が得られず、また、これ
以上であると塗膜の透明性に欠けるようになる。このよ
うな粒径にするためには、ボールミル、サンドミル、ビ
ーズミル、３本ロール、ペイントシェーカー、超音波な
どの分散処理が有効である。

【００２５】染料としては、例えば、クリスタルバイオ
レット、メチルバイオレット、エチルバイオレット、オ
イルブルー＃６０３、ビクトリアピュアーブルーＢＯ
Ｈ、マラカイトグリーン、ダイモンドグリーン等が挙げ
られる。

【００２６】なお、本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂組
成物は、顔料と染料を併用して使用することもでき、ま
た、この組成物が使用される用途によっては、顔料及び
／又は染料等の着色剤が必ずしも含有する必要はない。
例えば、本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂層によってカ
ラーフィルターのオーバーコート層に形成する場合、着
色剤を添加することなく、透明なオーバーコート層を形
成することができる。また、着色剤を添加しても光及び
／又は熱によって消色する染料等であれば、必要な消色
工程を入れることによって透明なオーバーコート層を形
成することができる。

【００２７】好ましい紫外線吸収剤は、サリシレート
系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノ
アクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミ
ン系などが挙げられる。具体的には、フェニルサリシレ
ート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−
ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−
ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリ
シレート、２，４−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、２
−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒド
ロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−
（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾト
リアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチ
ル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリア
ゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルア
クリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベン
ゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビ
ス（２，２，６，６−テトラメトル−４−ピリジン）−
セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サ
ルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−
テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，
２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エス
テル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−
ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾ
ール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−
５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルク
マリン等が挙げられる。

【００２８】また、層間絶縁膜用感光性樹脂層には、種
々の目的で、各種の添加剤を含有させることができる。
添加剤の例としては、界面活性剤、密着促進剤、可塑剤
等が挙げられる。界面活性剤は、塗布性、得られる塗膜
の平滑性を向上させるために用いることができ、その具
体例としては、例えばＢＭ−１０００（ＢＭ Ｃｈｅｍ
ｉｅ社製）、メガファックスＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、
同Ｆ１７３、同Ｆ１８３、同F１７６ＰＦ、同Ｆ１７７
ＰＦ（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラ
ードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、フロラードＦＣ
−４３０、同ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム
（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同
Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５（以上、旭硝
子（株）製）、ＳＨ−２８ＰＡ、ＳＨ−１９０、ＳＨ−
１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８、ＤＣ−５
７、ＤＣ−１９０（以上、東レシリコーン（株）製）の
商品名で市販されているフッ素系またはシリコン系界面
活性剤を使用することができる。

【００２９】界面活性剤の使用量は、全固形分の０．０
５〜１０質量％であり、０．０５質量％以下では有効で
なく、１０質量％を越えるとレジストパターンの密着性
が劣化するので好ましくない。０．０８％〜５質量％で
あることが好ましく、０．１〜３質量％が特に好まし
い。

【００３０】本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物
は、アセトン、メチルエチルケトン、メチルブチルケト
ンなどのケトン、各種のエーテル、エステルなどの有機
溶剤に溶解して塗布液とされ、仮支持体シートや液晶表
示素子などの表面に層間絶縁膜用感光性樹脂組成物層を
形成するために利用される。層間絶縁膜用感光性樹脂組
成物層の厚みは、特に制限はない。

【００３１】−感光性転写シート− 本発明の感光性転写シートは、少なくとも仮支持体上に
熱可塑性樹脂組成物、層間絶縁膜用感光性樹脂層を有す
る感光性転写シートを有し、好ましくは、仮支持体上に
熱可塑性樹脂組成物、中間層（分離層）、層間絶縁膜用
感光性樹脂層がこの順に積層され、中間層と層間絶縁膜
用感光性樹脂層との接着力が最も小さいことが望まし
い。

【００３２】［仮支持体］本発明において、仮支持体と
はプラスチックフィルムであって、例えばポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、セルロー
ストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、
セルロースアセテートプロピオネート、ポリカーボネー
ト、ポリスチレン、ポリエチレンのフィルムを挙げるこ
とができる。中でも、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムが好ましく、特に２軸延伸、熱固定されたポリエチ
レンテレフタレートフィルムが、安定性、強靭さなどの
点からも特に好ましい。

【００３３】仮支持体の厚さに特に制限はないが、５〜
２００μｍの範囲が一般的で、特に１０〜１５０μの範
囲のものが取扱易さ、汎用性などの点から有利であり好
ましい。

【００３４】［熱可塑性樹脂層］本発明における熱可塑
性樹脂層は、アルカリ可溶性の熱可塑性樹脂層であっ
て、この層を構成する樹脂は、実質的な軟化点が８０℃
以下であることが好ましい。軟化点が８０℃以下のアル
カリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリ
ル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）
アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエ
ンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、
ポリ（メタ）アクリル酸エステル、及び（メタ）アクリ
ル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステ
ル共重合体などのケン化物、（メタ）アクリル酸とエチ
レン不飽和基含有モノマーとの共重合体から少なくとも
１つ選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチック性
能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチ
ック成形工業連合会編著、工業調査会、１９６８年１０
月２５日発行）による軟化点が約８０℃以下の有機高分
子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することが
できる。

【００３５】また、軟化点が８０℃以上の有機高分子物
質においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と相
溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を８
０℃以下に下げることも可能である。またこれらの有機
高分子物質中に仮支持体との接着力を調節するために実
質的な軟化点が８０℃を越えない範囲で各種のポリマー
や過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型
剤、等を加えることが可能である。

【００３６】特に特開平７−２８２３２に記載の、
（Ａ）重量平均分子量５万〜５０万、且つＴｇ＝０〜１
４０℃、および（Ｂ）重量平均分子量３千〜３万、且つ
Ｔｇ＝３０〜１７０℃のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を
質量比で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９５／５の範囲で
含む組み合わせが好適である。（Ａ）の特に好ましい例
としてはメタクリル酸／２−エチルヘキシルメタクリレ
ート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリレート
共重合体（共重合組成モル比：５／１０／３０／５５、
質量平均分子量：１０万、Ｔｇ：約７０℃）である。
（Ｂ）の特に好ましい例としてはスチレン／アクリル酸
共重合体（共重合組成モル比：６５／３５、質量平均分
子量：１万、Ｔｇ：約１００℃）である。また質量比
（Ａ）／（Ｂ）の特に好ましい範囲は３０／７０〜６０
／４０である。

【００３７】好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプ
ロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオク
チルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタ
レート、トリクレジルホスフェート、クレジルジフェニ
ルホスフェート、ビフェニルジフェニルホスフェート、
ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポ
リエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプ
ロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプ
ロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ
樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレー
トとの付加反応生成物、有機ジイソシアナートとポリエ
チレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反
応生成物、有機ジイソシアナートとポリプロピレングリ
コールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、
ビスフェノールＡ−ポリエチレンオキシド付加物のジ
（メタ）アクリレートを挙げることができる。

【００３８】可塑剤の量は、前記熱可塑性樹脂層を構成
する樹脂（Ａ）及び（Ｂ）の合計に対して、好ましくは
質量比で０〜２００％、より好ましくは２０〜１００％
である。また可塑剤の特に好ましい例は、ビスフェノー
ルＡ、１モルにエチレンオキシドを合計で１０モル付加
し、両末端アルコールをメタクリルエステル化した化合
物である。可塑剤の特に好ましい添加量は（Ａ）と
（Ｂ）の合計の質量に対し３０〜６０％である。

【００３９】アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層は上記の各
成分を溶剤に均一に溶解した塗布液の塗布乾燥により得
られる。好ましい溶剤の例は、メトキシプロピレングリ
コールアセテート、２−ヒドロキシプロピン酸エチル、
３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピ
オン酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、シクロヘキサ
ノン、メチルイソブチルケトンのような高沸点溶剤およ
びこれら高沸点溶剤の混合物とメチルエチルケトンやア
セトンのような低沸点溶剤およびこれら低沸点溶剤との
混合物である。これらの高沸点溶剤と低沸点溶剤との質
量組成比は、１／９９〜９９／１から選ばれる。１／９
９未満では塗布乾燥速度が遅く、９９／１を越えると、
乾燥ムラが発生しやすい。好ましくは高沸点溶剤／低沸
点溶剤の質量組成比が９０／１０〜１０／９０から選ば
れ、８０／２０〜２０／８０が最も好ましい。

【００４０】アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層は、本発明
の仮支持体の接着性表面上に一般によく知られた塗布方
法、例えばディップコート法、エアーナイフコート法、
カーテンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコ
ート法、エクストルージョンコート法などにより上記バ
インダー等を含む塗布液を塗布することにより形成する
ことができる。アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層の厚さは
１μｍ以上が好ましい。アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層
の厚みが１μｍ未満であると０．５μｍ以上の下地の凹
凸を完全に吸収することが困難となる。また上限につい
ては、塗布製造適性の制限から約１００μｍ以下が一般
的であり、約５０μｍ以下が好ましく、約２０μｍ以下
が特に好ましい。

【００４１】−中間層（分離層ともいう）− 中間層としては熱可塑性樹脂層と層間絶縁膜用感光性樹
脂組成物層間の不都合な混じり合い防止を目的に設けら
れる。中間層は水またはアルカリ水溶液に分散または溶
解し、熱可塑性樹脂塗布液中の有機溶剤に不溶もしくは
難溶であれば良く、公知のものが使用できる。例えば、
特開昭４６−２１２１号公報や特公昭５６−４０８２４
号公報に記載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重
合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶
性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の
塩、水塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリド
ン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリア
ミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレン
オキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からな
る群の水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、お
よびマレイネート樹脂さらにこれらの２種以上の組合わ
せを挙げることができる。

【００４２】特に、１）水溶性ポリビニルブチラール単
独や、２）ポリビニルアルコールとポリビニルピロリド
ンの組み合わせが好ましい。ポリビニルアルコールは鹸
化率が８０モル％以上であるものが好ましく、ポリビニ
ルピロリドンの含有率は中間層固形物の１〜７５質量％
が一般的であり、１〜６０質量％が好ましく、特に好ま
しいのは１０〜５０質量％である。１質量％未満では、
感光性樹脂層との充分な接着性が得られず、７５質量％
を超えると、感光性樹脂層塗布液に対する耐溶剤性が劣
化する。中間層の厚さは、約０．１μｍ〜５μｍ、特に
０．５μｍ〜２μｍが好ましい。約０．１μｍ未満では
感光性樹脂層塗布液に対する耐溶剤性が不足し、約５μ
ｍを越えると、乾燥負荷が高くなり塗布速度が制限され
る。

【００４３】中間層塗布液の溶媒は水単独か、水と混和
性の有機溶剤と水との混合物から選ばれる。下層のアル
カリ可溶性熱可塑性樹脂層との接着性を高めるために、
アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層を若干膨潤させるように
選択するのが好ましい。好ましい溶媒の例としては水／
メタノール、水／エタノール、水／プロパノール、水／
メトキシエタノール、水／メトキシプロパノール、水／
アセトンなどを挙げることができる。水とこれらの有機
溶剤の組成比は質量比で９９／１〜５０／５０の範囲か
ら選択できる。溶媒組成質量比が９９／１を越えると溶
剤の添加効果が得られず、５０／５０以下では、水溶性
樹脂の十分な溶解性が得られない。好ましい溶媒組成質
量比は９５／５〜６０／４０で、より好ましくは９０／
１０〜７０／３０である。

【００４４】層間絶縁膜用感光性樹脂層は、本発明の中
間層上に一般によく知られた塗布方法、例えばディップ
コート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、
ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストル
ージョンコート法などにより上記層間絶縁膜用感光性樹
脂層塗布液を塗布することにより形成することができ
る。

【００４５】［保護フィルム］本発明において、保護フ
ィルムは、感光性転写材料の貯蔵の際の不純物付着や損
傷を避けるために、薄い保護フィルムを設けることが望
ましい。保護フィルムは仮支持体と同じかまたは類似の
材料から成っても良いが、使用時には感光性樹脂層から
容易に分離されねばならない。また感光性樹脂層に積層
する面の平滑性が重要で、約０．０１μｍ程度の突起が
あると感光性樹脂層への損傷となるので問題になる。こ
のような材料としてはたとえばシリコン紙、ポリオレフ
ィンもしくはポリテトラフルオルエチレンシートが好ま
しい。特に好ましくはポリプロピレンフィルムまたはポ
リエチレンフィルムである。保護フィルムの厚みは１μ
ｍ〜１００μｍであり、３μｍ〜５０μｍであるのが好
ましく、特に好ましくは５μｍ〜２０μｍである。１μ
ｍ未満では強度が不足し、２０μｍを越えるとフォトレ
ジスト層との接着性が不足する。

【００４６】［酸素遮断膜］本発明の層間絶縁膜用感光
性樹脂組成物の上に酸素遮断膜を形成して露光すること
が好ましい。該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を
示し、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解するも
のが好ましく、公知のものの中からは適宜選択すること
ができる。これらのうち、特に好ましいのは、ポリビニ
ルアルコールとポリビニルピロリドンの組み合せであ
る。（詳細は、特開平５−７２７２４号公報参照］

【００４７】［感光性転写材料の作製］本発明の感光性
転写材料は、好ましくは帯電防止層と接着性表面を有す
る仮支持体の接着性表面上にアルカリ可溶性熱可塑性樹
脂層溶液を塗布し、乾燥することによりアルカリ可溶性
熱可塑性樹脂層を設け、その後該層上に該層を溶解しな
いが、ある程度膨潤させる溶媒からなる中間層の溶液を
塗布し、乾燥し、その後層間絶縁膜用感光性樹脂層を中
間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。その
後、保護フィルムを感光性樹脂層上にラミネートして完
成する。本発明に係る各層用塗布液は、一般によく知ら
れた塗布方法、例えば、ディップコート法、エアーナイ
フコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワ
イヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは、米
国特許第２６８１２９４号明細書に記載のポッパーを使
用するエクストルージョンコート法等により塗布するこ
とができる。

【００４８】または別のフィルム上に層間絶縁膜用感光
性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上にアルカリ可溶性
熱可塑性樹脂層及び中間層を有するフィルムの両方のフ
ィルムを中間層と層間絶縁膜用感光性樹脂層が接するよ
うに相互に貼り合わせること、または、別のフィルムと
して、アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層を有する仮支持体
を用意し、このアルカリ可溶性熱可塑性樹脂層を、フィ
ルム上の層間絶縁膜用感光性樹脂層／中間層の順に塗布
された第２のフィルムの中間層とを貼り合わせることに
より有利に製造される。

【００４９】次に、本発明の感光性転写材料を用いたカ
ラーフィルターの好ましい製造方法の一例を用いて説明
する。

【００５０】基板への熱ラミネーション：先行パターン
や薄膜を有する基体上を洗浄後に、感光性転写材料から
保護フィルムを除去後、ラミネータにより層間絶縁膜用
感光性樹脂層層をヒートローラーを用いて、加熱加圧下
で積層転写する。転写時のヒートローラーの温度は５０
℃〜１５０℃で圧着時の線圧は５Ｋｇ／ｃｍ〜２５Ｋｇ
／ｃｍが有利な条件である。ラミネーションの速度は搬
送速度で０．２ｍ／分〜４ｍ／分が好ましく。特に好ま
しい条件としては、加熱圧着ロール温度が１３０℃〜１
４０℃で圧着時の線圧が１０Ｋｇ／ｃｍ〜１５Ｋｇ／ｃ
ｍ、搬送速度が１ｍ／分〜３ｍ／分である。その後基板
のサイズに合わせてロールフィルムをカットする。

【００５１】［パターン露光］ガラス基板と転写材料の
積層体を室温付近まで冷却後、層間絶縁膜用感光性樹脂
層／中間層間で剥離し、形成された塗膜に所定のパター
ンのマスクを介して、光照射した後、現像液を用いて露
光部を現像処理して光照射部分を除去することによりパ
ターンを形成する。ここで使用する光としては、例えば
ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）およ
び超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アル
ゴンレーザー等の公知の光源からの連続状および／又は
輝線状の紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー等の遠紫外
線、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線等の荷電粒
子線が挙げられ、これらの中では、ｇ線およびｉ線およ
びこれらを含む３００ｎｍ〜４４０ｎｍ領域の紫外線が
好ましいものとして挙げられる。特開平６−５９１１９
号公報に記載のように、４００ｎｍ以上の波長の光透過
率が２％以下である光学フィルター等を併用しても良
い。また、本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物は、
紫外線吸収剤を含み、３６５nmの波長における吸光度が
０．０１〜２であることが好ましく、より好ましくは
０．５〜１．７である。

【００５２】［現像］現像工程は、熱可塑性樹脂層と中
間層を除去するための第１のアルカリ現像と、層間絶縁
膜用感光性樹脂層の未露光部を除去するための第２のア
ルカリ現像とを用いた現像処理が望ましい。現像液とし
ては、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ
ｅ／Ｌの濃度含む現像液が好ましいが、さらに水と混和
性を有す有機溶剤を少量添加しても良い。現像液のｐＨ
は８〜１３が好ましい。水と混和性を有する有機溶剤
は、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−
プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコ
ールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−
ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチ
ルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクト
ン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメ
チルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸
エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチル
ピロリドン等がある。該有機溶剤の濃度は０．１重量％
〜３０重量％である。さらに公知の界面活性剤を添加す
ることができる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜
１０重量％が好ましい。現像方式は、パドル現像、シャ
ワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等であ
る。

【００５３】層間絶縁膜用感光性樹脂層の未硬化部分を
除去するには現像液中で回転ブラシで擦るか湿潤スポン
ジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。現像
液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましい。該現像処理の
後に蒸留水、イオン交換水、超純粋等による水洗工程を
入れることが好ましい。

【００５４】次に本発明の層間絶縁膜用感光性樹脂組成
物を用いた転写材料によって形成される液晶素子の好ま
しい例を説明する。図１は、アクティブマトリックス基
板を用いた液晶素子の態様を示し、図において、１０は
透明絶縁性基板、１２はゲート電極、１４は付加容量用
共通配線、１６はゲート電極、１８は半導体膜、２０Ａ
はソース電極、２０Ｂは透明電極膜、２２Ａ及び２２Ｂ
はドレイン電極、２４は層間絶縁膜、２６Ａ及び２６Ｂ
はコンタクトホール、２８は画素電極、３０は液晶層、
３２は配向膜、３４は対向電極、３６は対向基板であ
る。この液晶素子の場合、層間絶縁膜２４を本発明の層
間絶縁膜用感光性樹脂組成物の溶液をスピンコート等に
よって塗布して形成してもよいが、本発明の転写材料を
用いて層間絶縁膜２４を形成することが好ましい。層間
絶縁膜２４を形成した後、露光パターン、現像によっ
て、コンタクトホール２６Ａ及び２６Ｂを形成し、画素
電極２８を形成する。このとき、コンタクトホール２６
Ａ及び２６Ｂの底に残渣が残らないため、コンタクトホ
ール２６Ａ及び２６Ｂを含む面に画素電極２８を形成す
る際に接続不良が回避される。その後、液晶層３０、配
向膜３２、対向電極３４及び対向基板３６が配置され
る。

【００５５】また、図２は、アクティブマトリックス基
板を用いた液晶素子の他の態様を示し、図２において、
１００透明絶縁性基板、１０２はゲート信号線、１０４
は透明電極層、１０６はゲート電極、１０８は半導体
層、２００はソース電極、２０２はｎ＋Ｓｉ層、２０４
は有機有色層（画素）２０６はオーバーコート層、２０
８は画素電極、３００はコンタクトホール、３０２は液
晶層、３０４は感光性カラーレジスト膜、３０６は対向
基板である。この液晶素子の場合、有機有色層（画素）
２０４及びオーバーコート層２０６は、スピンコート等
によって塗布して形成してもよいが、本発明の転写材料
を用いて形成することが好ましい。有機有色層（画素）
２０４及びオーバーコート層２０６を形成した後、露光
パターン、現像によって、コンタクトホール３００を形
成する。このとき、コンタクトホール３００の底に残渣
が残らないため、コンタクトホール３００を含む面に画
素電極２０８を形成する際に接続不良が回避される。そ
の後、液晶層３０２、感光性カラーレジスト膜３０４、
対向基板３０６が配置される。したがって、本発明にい
う層間絶縁膜とは、図１における層間絶縁膜２４や図２
におけるオーバーコート層２０６を包含する。

【００５６】

【実施例】以下、本発明を実施例を用いて更に詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。本実施例に記述したサンプル作成工程は、すべ
て、次の環境で行った。

【００５７】［実施例１］厚さ７５μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム仮支持体（塗布面とは反対側に
導電性微粒子（特開平５−１７３３２０号公報の００４
６段落記載の導電性資料（９））を０．１８μｍの厚さ
に塗布して導電性を持たせたもの）を速度５０ｍ／分で
搬送しながら、該仮支持体の上に下記の処方Ｈ１からな
る塗布液を、エクストロージョン型ギーサーで塗り付
け、温度５０℃〜１２０℃の乾燥ゾーンを順次通過させ
て乾燥させ、次に下記処方Ｂ１から成る塗布液を、エク
ストロージョン型ギーサーで塗り付け、温度５０℃〜１
２０℃の乾燥ゾーンを順次通過させて乾燥させ、さらに
下記感光性樹脂層溶液Ｋ１、Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１をエクス
トロージョン型ギーサーで塗り付け、温度５０℃〜１２
０℃の乾燥ゾーンを順次通過させて乾燥させ、該仮支持
体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と乾
燥膜厚が１．６μｍの酸素遮断膜と乾燥膜厚が２μｍ感
光層を設け、保護フイルム（商品名：アルファンＥ−５
０１ 王子製紙製 厚さ１２μｍポリプロピレンフィル
ム）をニップローラーで圧着し、その後巻き取った。こ
うして仮支持体と熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜と感光層
が一体となったフイルムを作成し、それぞれのサンプル
名を、使用した感光性樹脂層溶液の記号Ｋ１、Ｒ１、Ｇ
１、Ｂ１を用いて、一体型フイルムＫ１、Ｒ１、Ｇ１、
Ｂ１とした。

【００５８】 ＜熱可塑性樹脂層処方Ｈ１＞ ・塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体（重量比：塩ビ／酢ビ＝７５／２５、 重合度：約４００、日信化学（株）製ＭＰＲ−ＴＳＬ） ２９０．０質量部 ・塩化ビニル−酢酸ビニル−マレイン酸共重合体 （重量比：塩ビ／酢ビ／ マレイン酸＝８６／１３／１、重合度：約４００、 日信化学（株） 製ＭＰＲ−ＴＭ） ７６．０質量部 ・フタル酸ジブチル ８８．５質量部 ・フッ素系界面活性剤（大日本インキ（株）製Ｆ−１７７Ｐ）５．４質量部 ・ ＭＥＫ ９７５．０質量部

【００５９】 ＜酸素遮断膜処方Ｂ１＞ ・ ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １７３．２質量部 ・ 弗素系界面活性剤 ８質量部 ・ 蒸留水 ２８００質量部

【００６０】 ＜感光性樹脂層溶液Ｋ１＞ ・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （共重合モル比＝７３／２７、粘度＝０．１２） ６０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３．２質量部 ・ミヒラーズケトン ２．４質量部 ・２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルアミダジール二量体 ２．５質量部 ・カーボンブラック ５．６質量部 ・メチルセロソルブアセテート ５６０質量部 ・ メチルエチルケトン ２８０質量部

【００６１】 ＜感光性樹脂層溶液Ｒ１＞ ・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （共重合モル比＝７３／２７、粘度＝０．１２） ６０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３．２質量部 ・ミヒラーズケトン ２．４質量部 ・２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルアミダジール二量体 ２．５質量部 ・イルガシン・レッドＢＰＴ（赤色） ５．４質量部 ・メチルセロソルブアセテート ５６０質量部 ・メチルエチルケトン ２８０質量部

【００６２】 ＜感光性樹脂層溶液Ｇ１＞ ・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （共重合モル比＝７３／２７、粘度＝０．１２） ６０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３．２質量部 ・ミヒラーズケトン ２．４質量部 ・２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルアミダジール二量体 ２．５質量部 ・銅フタロシアニン（緑色） ５．６質量部 ・メチルセロソルブアセテート ５６０質量部 ・メチルエチルケトン ２８０質量部

【００６３】 ＜感光性樹脂層溶液Ｂ１＞ ・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （共重合モル比＝７３／２７、粘度＝０．１２） ６０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３．２質量部 ・ミヒラーズケトン ２．４質量部 ・２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５-ジフェニルアミダジール二量体 ２．５質量部 ・スーダンブルー（青色） ５．４質量部 ・メチルセロソルブアセテート ５６０質量部 ・メチルエチルケトン ２８０質量部

【００６４】［アクティブマトリクス基板への樹脂層の
形成］ ＜アクティブマトリクス基板の洗浄＞縦３２０ｍｍ横４
００ｍｍのアクティブマトリクス基板を、室温の超純水
中で超音波洗浄１分後、エアーブローで水切り後、乾燥
した。 ＜樹脂層（カラーフィルター層）の形成＞前記一体型フ
イルムＫ１の保護フイルムを剥離後、温度１３０℃線圧
１００Ｎ／ｃｍ搬送速度１．０ｍ／分でラミネートし
た。超高圧水銀灯で２０ｍＪ／ｃｍ2のパターン露光
後、下記組成の現像液Ｐ１にて３８℃３５秒シャワー現
像（タンク容量２５リットルのシャワー現像機使用）し
熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去した。 現像液Ｐ１の組成 ・ 超純水 ９７質量部 ・トリエタノールアミン ３質量部 （アルカリ金属濃度 ５０ｐｐｂ）

【００６５】引き続き下記組成の現像液Ｃ１で３３℃２
６秒シャワー現像（タンク容量２５リットルのシャワー
現像機使用、外気流入係数＝１１）し感光性樹脂層を現
像し、パターニング画像を得た。 現像液Ｃ１ ・ジエタノールアミン ０．２ｍｏｌｅ／Ｌ ・アルカリ金属濃度 ５０ｐｐｂ （溶媒は水、ジエタノールアミンのｐＫａは８．９）

【００６６】その後両面から５００mJ/cm²ポスト露光を
行い、引き続き２２０℃２５分ポストベーク処理を実施
し、黒画素を得た。同様にして、一体型フイルムＲ１、
Ｇ１、Ｂ１を順次用い、黒、赤、緑、青の画像からなる
樹脂層付アクティブマトリクス基板Ｃ１（使用した感光
性樹脂層用現像液の名前で銘々）を形成した。これらの
工程は、各色の形成を１日ずつ、計４日かけて行った。

【００６７】（感光性樹脂層溶液Ｔ１の作製）上記一体
型フィルムと同じ手順で乾燥膜厚が３．３μｍの感光性
樹脂組成物を塗布した液の処方は下記のとおりである。 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ１＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ ２８／７２、固形分２７％、重量平均分子量：３０，０００、Ｔｇ：７３℃） １０３６．１４質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ２５７．６２質量部 ・ビクトリアビュアブルー（保土ヶ谷化学(株)製） ３．５１質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） ２．７１質量部 ・光重合開始剤（２−トリクロロ２メチル−５− （ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキサジアゾール ８．８１質量部 ・ハイドロキノンモノメチルエー テル ０．１２質量部 ・シゲノックス１０２（ハッコーケミカル（株）製） １１．６３質量部 ・メチルエチルケトン １０９０．７９質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５４５．４４質量部

【００６８】（層間絶縁膜の形成方法）樹脂層付アクテ
ィブマトリックス基板の作製手順と全く同じ手順で層間
絶縁膜を、樹脂層付アクティブマトリックス基板上に作
製した。ただし、層間絶縁膜のパターン露光に用いたマ
スクは、４μｍ〜４０μｍまでのコンタクトホールが２
μｍ刻みで作製できるものであった。感光性転写材料Ｔ
１の代わりに下記処方Ｔ２〜Ｔ５の塗布液から作製した
感光性転写材料を用いた。感光性転写材料の作製方法
は、感光性転写材料Ｔ１の場合と同じである。

【００６９】 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ２＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ ２８／７２、固形分２７％、重量平均分子量：３０，０００、Ｔｇ：７３℃） ７４１．３０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート １５８．０１質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） １．５８質量部 ・光重合開始剤（２，４−ビス（トリクロロメチル）−６− ［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル−３−ブロモフェニル］− トリアジン ３．８６質量部 ・メチルエチルケトン ９６０．３０質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １０２３．００質量部

【００７０】 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ３＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ ２８／７２、固形分２７％、重量平均分子量：３０，０００、Ｔｇ：７３℃） ７４１．３０質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ２１５．００質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） １．５８質量部 ・光重合開始剤（２，４−ビス（トリクロロメチル）−６− ［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル−３−ブロモフェニル］− トリアジン ３．８６質量部 ・メチルエチルケトン ９６０．３０質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １０２３．００質量部

【００７１】 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ４＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ １７．６／８２．４、固形分２７％、重量平均分子量：３７，０００、 Ｔｇ：１２０℃） １０３６．１４質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ３８０．００質量部 ・ビクトリアビュアブルー（保土ヶ谷化学(株)製） ３．５１質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） ２．７２質量部 ・光重合開始剤（２−トリクロロ２メチル−５− （ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキサジアゾール ８．８１質量部 ・ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．１２質量部 ・シゲノックス１０２（ハッコーケミカル（株）製） １１．６３質量部 ・メチルエチルケトン １０９０．７９質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５４５．４４質量部

【００７２】 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ５＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ １７．６／８２．４、固形分２７％、重量平均分子量：３７，０００、 Ｔｇ：１２０℃） １０３６．１４質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ２５７．６２質量部 ・ビクトリアビュアブルー（保土ヶ谷化学(株)製） ３．５１質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） ２．７２質量部 ・光重合開始剤（２−トリクロロ２メチル−５− （ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキサジアゾール ８．８１質量部 ・ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．１２質量部 ・シゲノックス１０２（ハッコーケミカル（株）製） １１．６３質量部 ・メチルエチルケトン １０９０．７９質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５４５．４４質量部

【００７３】（比較例１）実施例１で感光性転写材料Ｔ
１で用いた層間絶縁膜を形成する代わりに下記処方Ｔ６
〜Ｔ７の塗布液から作製した感光性転写材料を用いた。
感光性転写材料の作製方法は、感光性転写材料Ｔ１の場
合と同じである。、

【００７４】 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ６＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ ２８／７２、固形分２７％、重量平均分子量：３０，０００、Ｔｇ：７３℃） １０３６．１４質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート ３８０．００質量部 ・ビクトリアビュアブルー（保土ヶ谷化学(株)製） ３．５１質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） ２．７２質量部 ・光重合開始剤（２−トリクロロ２メチル−５− （ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキサジアゾール ８．８１質量部 ・ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．１２質量部 ・シゲノックス１０２（ハッコーケミカル（株）製） １１．６３質量部 ・メチルエチルケトン １０９０．７９質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５４５．４４質量部 ＜感光性樹脂層溶液Ｔ７＞ ・メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体 （共重合モル比＝ ２８／７２、固形分２７％、重量平均分子量：３０，０００、Ｔｇ：７３℃） １０３６．１４質量部 ・ペンタエリスリトールテトラアクリレート １８０．００質量部 ・界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製 Ｆ１７７Ｐ） ２．７２質量部 ・光重合開始剤（２−トリクロロ２メチル−５− （ｐ−ブトキシスチリル）１，３，４−オキサジアゾール ８．８１質量部 ・ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．１２質量部 ・シゲノックス１０２（ハッコーケミカル（株）製） １１．６３質量部 ・メチルエチルケトン １０９０．７９質量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５４５．４４質量部

【００７５】（評価）上記樹脂層（カラーフィルター）
付きアクティブマトリックス基板上に形成した層間絶縁
膜に部分的に設けたコンタクトホールを評価した。５０
個のコンタクトホールの底を走査型電子顕微鏡で詳細に
観察し、残渣が見られた割合を算出した。また、残渣発
生率が３％以下の場合には、コンタクトホールの現像後
の形状が蛸壺か否かも評価した。

【００７６】評価結果を表１に示す。なお、表１中、
（注１）は、光重合性モノマーの固形分質量（Ｍ）とア
クリル系共重合体バインダーの固形分質量（Ｂ）との比
率が（Ｍ／Ｂ）（注２）は、アクリル系共重合体バイン
ダーの重量平均分子量６，０００〜１２，０００の低分
子量成分（Ｂ１）と重量平均分子量２５，０００〜５
０，０００の高分子量成分（Ｂ２）との質量換算のブレ
ンド比（Ｂ１／Ｂ２）をそれぞれ示す。

【００７７】

【表１】

【００７８】表１から上記T１〜T５の転写材料を用いる
と、コンタクトホールの底に残渣がなく、現像後のコン
タクトホールの形状も蛸壺状になりにくいことがわかっ
た。

【００７９】上記した実施例は、図２に示すオーバーコ
ート層２０６を上記T１〜T５の転写材料を用いて形成し
た例であるが、図1に示す層間絶縁膜２４を上記T１〜T
５の転写材料を用いて形成した場合も前記同様な結果を
得ることができた。

【発明の効果】以上のように本発明の層間絶縁膜用感光
性樹脂組成物及びこの層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を
用いた転写材料によれば、層間絶縁膜、その他のコンタ
クトホールが形成される層において、露光パターン、現
像後にコンタクトホールの底に残渣が残らないため、コ
ンタクトホールを介して確実に導通が可能となり、電気
的接続による不良が生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成され
る液晶素子の好ましい一実施の形態を示す要部断面図で
ある。

【図２】 本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成され
る液晶素子の好ましい他の実施の形態を示す要部断面図
である。

【符号の説明】

１０、１００ 透明絶縁性基板 １２、１０２ ゲート電極（信号線） １４ 付加容量用共通配線 １６、１０６ ゲート電極 １８、１０８ 半導体膜 ２０Ａ、２００ ソース電極 ２０Ｂ 透明電極膜 ２２Ａ及び２２Ｂ ドレイン電極 ２４ 層間絶縁膜 ２６Ａ及び２６Ｂ コンタクトホール ２８、２０８ 画素電極 ３０、３０２ 液晶層 ３２ 配向膜 ３４、３０６ 対向電極 ３６ 対向基板 ２０２ ｎ＋Ｓｉ層 ２０４ 有機有色層（画素） ２０６ オーバーコート層 ３００ コンタクトホール ３０４ 感光性カラーレジスト膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ 7/027 ５０２ 7/027 ５０２ ５１５ ５１５ 7/26 ５０１ 7/26 ５０１ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｒ Ｆターム(参考） 2H025 AB11 AB13 AB16 AB17 AC01 AC04 AC05 AC06 AC08 AD01 BC14 BC32 BC42 CA14 CA28 CA48 CB14 CB55 CB56 CB60 CC02 CC14 CC15 DA33 DA40 FA03 FA17 2H048 BA43 BA47 BA48 BB02 BB33 BB42 2H096 AA25 AA27 AA28 BA05 BA20 CA05 CA16 EA02 EA03 EA04 EA05 EA06 EA07 GA08 LA16 LA17 4J026 AA45 BA27 BA30 DB36 GA06

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光重合開始剤、光重合性モノマー、アク
   リル系共重合体バインダーを主成分とし、該光重合性モ
   ノマーの固形分質量（Ｍ）と該アクリル系共重合体バイ
   ンダーの固形分質量（Ｂ）との比率（Ｍ／Ｂ）が０．５
   ５〜０．８５であり、有機アルカリ現像液で画像処理さ
   れることを特徴とする層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 前記アクリル系共重合体バインダーがメ
   タクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なく
   とも１つを含み、該アクリル系共重合体バインダーのガ
   ラス転移温度（Ｔｇ）が６５℃〜１２５℃であることを
   特徴とする請求項１に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組
   成物。
3. 【請求項３】 前記アクリル系共重合体バインダーの重
   量平均分子量が２５，０００〜５０，０００であること
   を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の層間絶縁膜
   用感光性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 前記アクリル系共重合体バインダーが、
   重量平均分子量６，０００〜１２，０００の低分子量成
   分（Ｂ１）と重量平均分子量２５，０００〜５０，００
   ０の高分子量成分（Ｂ２）をブレンドしたものであり、
   これらの質量換算のブレンド比（Ｂ１／Ｂ２）が０．１
   ／９．９〜９．９／０．１であることを特徴とする請求
   項１又は請求項２に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成
   物。
5. 【請求項５】 前記アクリル系共重合体バインダーが、
   重量平均分子量６，０００〜１２，０００の低分子量成
   分（Ｂ１）と重量平均分子量２５，０００〜５０，００
   ０の高分子量成分（Ｂ２）をブレンドしたものであり、
   これらの質量換算のブレンド比（Ｂ１／Ｂ２）が１／９
   〜５／５であることを特徴とする請求項４に記載の層間
   絶縁膜用感光性樹脂組成物。
6. 【請求項６】 紫外線吸収剤を含み、３６５ｎｍにおけ
   る吸光度が０．０１〜２となることを特徴とする請求項
   １乃至請求項５のいずれかに記載の層間絶縁膜用感光性
   樹脂組成物。
7. 【請求項７】 光及び／又は熱で消色する消色性染料を
   含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか
   に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
8. 【請求項８】 仮支持体、熱可塑性樹脂層、感光性樹脂
   層を有する感光性転写材料において、感光性樹脂層が請
   求項１乃至請求項７のいずれかに記載の層間絶縁膜用感
   光性樹脂組成物であることを特徴とする感光性転写材
   料。
9. 【請求項９】 仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感
   光性樹脂層がこの順に積層されていることを特徴とする
   請求項８に記載の感光性転写材料。