JP2003075494A

JP2003075494A - 検査装置及び検査方法

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Publication number: JP2003075494A
Application number: JP2002115472A
Authority: JP
Inventors: Hideji Yamaoka; 秀嗣山岡; Seigo Ishioka; 聖悟石岡
Original assignee: OHT Inc
Current assignee: OHT Inc
Priority date: 2002-04-17
Filing date: 2002-04-17
Publication date: 2003-03-12
Anticipated expiration: 2022-04-17
Also published as: JP4191948B2

Abstract

(57)【要約】【課題】あらゆる回路配線に対して高速検査可能な検査
装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】検査装置１は、プローブ２１ａ〜ｅから
回路配線１０１ａ〜ｅの一端に検査信号を供給し、セン
サ２２ａ〜ｅで回路配線１０１ａ〜ｅの他端の電圧変化
を読取り、センサ２２からの信号をアンプ２３ａ〜ｅで
増幅し、ピークホールド回路２４ａ〜ｅは増幅された信
号の最大値を抽出してホールドする。その後、ピークホ
ールド回路２４ａ〜ｅでホールドしている回路配線毎の
ピーク値（最大値）をセレクタ２５を介して選択してＡ
/Ｄ変換回路２６に送り、対応するデジタル値に変換し
てコンピュータ２７で取り込み、コンピュータ２７はＡ
/Ｄ変換回路２６からの出力値によって回路配線１０１
ａ〜ｅの不具合を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路配線を検査す
る検査装置及び検査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】回路基板の製造においては、基板上に回
路配線を施した後、その回路配線に断線があるか否かを
検査する必要がある。この基板検査方法の１つとして、
従来から、回路配線の一端に対して電気信号を印加し、
他端の電気的な変化を測定することによって回路配線を
検査する方法が知られている（特開平１０−２３９３７
１、特開平１０−２３９３７２）。

【０００３】従来の検査方法は、図６に示すような構成
を有する検査装置により行われていた。図６において、
検査装置は、回路基板１００上の回路配線１０１の一端
のそれぞれに接触するプローブ６１と、複数のプローブ
６１の内、電圧を印加するプローブを選択するスイッチ
ング回路６２と、回路配線１０１の他端より印加された
電圧を検出するのセンサ６３と、センサ６３よりの電気
信号を増幅するアンプ６４と、アンプ６４で増幅された
電気信号の最大値を抽出するピークホールド回路６５
と、抽出された最大値から、回路配線の不具合を検出す
るコンピュータ６６とを備えていた。

【０００４】コンピュータ６６はまた、スイッチング回
路６２を制御して、プローブ６１に対し順次電圧を印加
する。プローブ６１から回路配線１０１に供給された電
圧によって回路配線１０１上に生じた電圧変化をセンサ
６３によって検出し、アンプ６４で増幅した後、ピーク
ホールド回路６５で最大値を抽出しコンピュータ６６に
入力する。コンピュータ６６は、ピークホールド回路６
５から入力した電圧波形から、どの回路配線に問題が存
在するのかを検出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、一回の電圧印加で１つの回路配線しか検
査できないため、回路配線が多くなればなるほど、検査
時間が長くなっていた。

【０００６】また、センサ、アンプ、ピークホールド回
路が単一であることから、途中から枝分かれしているよ
うな回路配線においては、どの枝に問題が存在するのか
までは検出できなかった。

【０００７】本発明は上記従来技術の課題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、あらゆ
る回路配線に対して高速検査可能な検査装置及び検査方
法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る装置は、例えば以下の構成を備える。
即ち、回路配線を検査する検査装置であって、検査対象
回路配線の一方端部近傍から検査信号を供給可能な供給
手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記
供給手段により供給された前記検査信号を検出可能な検
出手段と、前記検出手段による検出検査信号より検査結
果を決定する検査結果決定手段と、を有し、前記検査結
果決定手段は前記検出手段で検出される前記検査信号の
最大値を抽出する最大値抽出手段を含み、前記最大値抽
出手段で抽出した最大値を検査結果とし、前記他方端部
が複数存在する場合には、前記他方端部のそれぞれに対
して前記検出手段及び前記最大値抽出手段を設けること
を特徴とする。

【０００９】そして例えば、前記検出手段は前記他方端
部近傍と非接触で前記検査信号を検出可能であることを
特徴とする。

【００１０】更に例えば、前記最大値抽出手段はピーク
ホールド回路であり、前記供給手段により供給される検
査信号を読み出しまで抽出したピーク値を保持すること
を特徴とする。

【００１１】更に例えば、前記一方端部及び前記他方端
部が複数存在する場合、前記供給手段は複数の前記一方
端部に同時に検査信号を印加可能であり、前記検出手段
は複数の前記他方端部のそれぞれから検査信号を同時に
検出可能であることを特徴とする。

【００１２】また、回路配線を検査する検査装置であっ
て、検査対象回路配線の一方端部近傍にパルス信号を検
査信号として供給可能な供給手段と、前記検査対象回路
配線の他方端部近傍から前記検査信号を検出可能な検出
手段と、前記検査信号供給前の前記検出手段検出結果
と、前記検査信号供給後の前記検出手段検出結果を比較
し、比較結果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較
して検査対象回路配線の良否を判断する判断手段とを有
することを特徴とする。そして例えば、更に、前記検出
手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信号の平均
を検出結果とする検査結果決定手段を備え、前記判断手
段は、前記検査結果決定手段による検出結果を前記検出
手段検出結果として処理することを特徴とする。

【００１３】更に又回路配線を検査する検査装置であっ
て、検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給
可能な供給手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近
傍から前記検査信号を検出可能な検出手段と、前記検出
手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信号の平均
を検出結果とする検査結果決定手段とを有することを特
徴とする。そして例えば、前記検査結果決定手段は前記
検出手段が検出する複数の検査信号の最大値と最小値を
除去し残余の検出結果の平均値を求め検出結果とする検
査方法であることを特徴とする。又例えば、前記検査結
果決定手段は、前記検出手段の検出結果を対応するデジ
タル信号に変換するＡ/Ｄ変換部を含み、前記Ａ/Ｄ変換
部で変換したデジタル値の平均を検出結果とするもので
あり、前記Ａ/Ｄ変換部は前記検出手段よりの前記検査
信号の検出処理時におけるＡ/Ｄ変換した前記検出手段
の検出値を複数保持可能であり、検出処理終了後に保持
している変換結果を出力することを特徴とする。

【００１４】または、回路配線を検査する検査装置にお
ける検査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近
傍にパルス信号を検査信号として供給する供給工程と、
前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、前記検査
信号供給前の前記検出工程での検出結果と、前記検査信
号供給後の前記検出工程での検出結果を比較し、比較結
果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較して検査対
象回路配線の良否を判断する検査結果決定工程とを有す
ることを特徴とする。そして例えば、前記検査結果決定
工程では、前記検出工程により検査信号の検出を複数回
の行わせ、複数回の検出結果の平均を検出結果とする検
査方法であることを特徴とする。

【００１５】更に又、回路配線を検査する検査装置にお
ける検査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近
傍に検査信号を供給する供給工程と、前記検査対象回路
配線の他方端部近傍から前記供給工程で供給された検査
信号を検出する検出工程と、前記検出工程により検査信
号の検出を複数回の行わせ、複数回の検出結果の平均を
検出結果とする検査結果決定工程とを有する検査方法で
あることを特徴とする。そして例えば、前記検査結果決
定工程は前記検出工程で検出する複数の検査信号の最大
値と最小値を除去し残余の検出結果の平均値を求め検出
結果とすることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、この発
明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成要素の相対配
置、数値等は特に特定的な記載がない限りは、この発明
の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

【００１７】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態として、図２のように、回路基板１００にプリン
トされた枝分かれの無い回路配線１０１ａ〜ｅの検査を
行う検査装置について説明する。

【００１８】図１は、回路基板１００上の回路配線１０
１ａ〜ｅを検査するための検査装置２０の概略図であ
る。

【００１９】検査装置１は、回路配線１０１ａ〜ｅの一
端に検査信号を供給するためのプローブ２１ａ〜ｅと、
回路配線１０１ａ〜ｅの他端の電圧変化を読取るセンサ
２２ａ〜ｅと、センサ２２から出力した信号を増幅する
アンプ２３ａ〜ｅと、アンプ２３ａ〜ｅによって増幅さ
れた信号の最大値を抽出するピークホールド回路２４ａ
〜ｅと、ピークホールド回路２４ａ〜ｅからの出力値を
選択するセレクタ２５と、セレクタ２５から選択された
出力値をデジタル値に変換するＡ/Ｄ変換回路２６と、
Ａ/Ｄ変換回路２６からの出力値によって回路配線１０
１ａ〜ｅの不具合を検出するコンピュータ２７と、を備
える。

【００２０】コンピュータ２７は専用に設計されたコン
ピュータであっても、あるいは汎用のパーソナルコンピ
ュータであってもよく、アンプ２３、ピークホールド回
路２４、セレクタ２５、及びＡ/Ｄ変換回路２６は、コ
ンピュータ２７に組み込まれていてもよい。

【００２１】コンピュータ２７は、プローブ２１に対
し、回路配線１０１に与える電気信号を供給する。ま
た、セレクタ２５に対しては、信号を取り出すピークホ
ールド回路を選択するための選択信号を供給する。

【００２２】印加する電気信号は電流または電圧のいず
れでもよく、正弦波、矩形波、パルス波などいかなる波
形でもかまわない。ここでは、電圧パルスを用いること
とする。信号の極性を限定できるため、センサでの電流
方向を一方向に限定して回路設計ができ、回路設計が単
純になるからである。

【００２３】プローブ２１ａ〜ｅは、その先端が、それ
ぞれ回路基板１００上の回路配線１０１ａ〜ｅの一端に
接触しており、全ての回路配線１０１ａ〜ｅに対して同
時に電圧を供給する。

【００２４】これにより回路配線１０１ａ〜ｅ上の電圧
が変化し、この変化をセンサ２２ａ〜ｅが読取る。セン
サ２２ａ〜ｅは、回路基板１００の回路配線１０１ａ〜
ｅに接続された金属板であって、回路配線１０１上の電
圧を検出する。

【００２５】回路配線１０１ａ〜ｅに対して印加する電
圧は、実動時と同じく、非常に微小な電圧であり、セン
サ２２ａ〜ｅに生じる電圧も微小であるため、アンプ２
３ａ〜ｅによって増幅し、ピークホールド回路２４ａ〜
ｅによって、最大値を保持する。

【００２６】セレクタ２５は、ピークホールド回路２４
ａ〜ｅの内、Ａ/Ｄ変換回路２６と接続するピークホー
ルド回路を選択する。複数のピークホールド回路２４ａ
〜ｅから、一つずつ順番に最大値を取り出すように、コ
ンピュータ２７から供給された制御信号に基づき選択を
行う。

【００２７】ピークホールド回路から出力された最大値
は、Ａ/Ｄ変換回路２６で対応するデジタル信号に変換
され、コンピュータ２７に入力される。コンピュータ２
７では、入力したデジタル信号が正常の値かどうかを検
査する。例えば、所定の閾値と比較し、閾値よりも大き
い値である場合には回路断線などがない正常な回路配線
と判断し、閾値よりも小さい場合には対応する回路配線
に断線が存在するものと判断する。

【００２８】なお、センサ２２は、回路配線１０１と対
向する位置に、非接触に配置してもよい。その場合、セ
ンサ２２と回路配線１０１との間隔は、０．０５ｍｍ以
下が望ましい。また、誘電体絶縁材料を挟んで密着させ
てもよい。このような構成とすることにより、回路配線
１０１と静電結合された状態となり、回路配線１０１の
パルス状電圧変化をセンサから検出可能となる。

【００２９】なお、図２の回路基板１００では、片面側
にのみ回路配線１０１が設けられている場合を想定して
いるが、両面に回路配線１０１が設けられている回路基
板についても検査可能であり、その場合は、センサ２２
を上下に２組用いて回路基板をサンドイッチするように
配置して検査すればよい。

【００３０】次に、図３を用いて、コンピュータ２７の
詳細構成例について説明する。図３は、コンピュータ２
７の概略のハードウェア構成を示したブロック図であ
る。

【００３１】図３において、２１１は、コンピュータ２
７全体を制御する演算・制御用のＣＰＵ、２１２はＣＰ
Ｕ２１１で実行するプログラムや固定値等を格納するＲ
ＯＭである。

【００３２】２１４は一時記憶用のＲＡＭであり、ロー
ドされるプログラムを格納するプログラムロード領域
や、Ａ/Ｄ変換回路２６から受信したデジタル信号の記
憶領域等を含む。

【００３３】２１５は外部記憶装置としてのハードディ
スクである。２１６は着脱可能な記憶媒体の読取装置と
してのＣＤ−ＲＯＭドライブである。

【００３４】また、２１７は入出力インタフェースであ
って、入出力インタフェース２１７を介して、入力装置
としてのキーボード２１８、マウス２１９、プローブ２
１、セレクタ２５、Ａ/Ｄ変換回路２６との間のインタ
フェースを司り、各種信号の授受を行う。

【００３５】ＨＤ２１５には、セレクタ制御プログラム
を含む検査制御実行プログラムが格納され、例えばＲＡ
Ｍ２１４のプログラムロード領域にロードされて実行さ
れる。また、設計上の回路配線の形状を示す画像データ
（ＣＡＤデータ）も、ＨＤ２１５に格納される。

【００３６】セレクタ制御プログラム、及び設計上の回
路配線の形状を示す画像データは、ＣＤ−ＲＯＭドライ
ブ２１６でＣＤ−ＲＯＭを読取ることによってインスト
ールしても、ＦＤやＤＶＤ等の他の媒体から読込んで
も、ネットワークを介してダウンロードしてもよい。

【００３７】上記のように、本実施の形態によれば、回
路配線のそれぞれに対してピークホールド回路を設けた
ので、同一回路グループ内のセンサ同時測定を行うこと
が可能となるため、検査の高速化を図ることができる。

【００３８】また、図４に示すような、途中で枝分かれ
している回路配線についても、例えば枝ごとにセンサ２
２ａ〜ｅ、アンプ２３ａ〜ｅ、ピークホールド回路２４
ａ〜ｅを設けることにより、どの枝に不具合が存在する
かを検知することができる。

【００３９】以上に説明した本実施の形態例では、回路
配線の電圧を検出するものとしたが、回路配線から放射
される電磁波の量と放射形状を検出してもよい。この場
合においては、もし所定の電磁波の量及び形状を検出で
きれば、回路配線が正常に連続していると判定する。も
し所定の電磁波の量及び形状よりも少ない量及び異なる
形状を検出した場合は、回路配線の途中が離れているか
または欠落していると判定する。

【００４０】更に、以上に説明した本実施の形態例で
は、プローブを回路配線の端部近傍に接触させている
が、回路配線の始点から、非接触端子を用いて、検査信
号を供給してもよい。

【００４１】（第２の実施の形態例）次に図５を用い
て、本発明に係る第２の実施の形態例としての検査装置
について説明する。

【００４２】第２の実施の形態例の検査装置は、ピーク
ホールド回路２４ａ〜ｅのそれぞれに対し、Ａ/Ｄ変換
回路２６ａ〜ｅを設けた点で上記第１の実施の形態例と
異なる。第２の実施の形態例の構成である場合、複数の
デジタル信号をパラレルでコンピュータ２７に入力する
事ができるので、セレクタ２５は不要となる。

【００４３】その他の構成要素は上記第１の実施の形態
例と同様であるため、同じ構成要素には同じ符号を付し
てその説明を省略する。

【００４４】なお、図面では、Ａ/Ｄ変換回路２６ａ〜
ｅとコンピュータ２７の間の配線を１本で示している
が、実際には、各Ａ/Ｄ変換回路２６ａ〜ｅから各１本
の配線がコンピュータ２７と接続されている。

【００４５】第２の実施の形態例によれば、セレクタを
なくすことができるため、上記第１実施の形態例のよう
な信号の切り換えなどの制御が不要となり、生産性を向
上させることができる。

【００４６】（第３の実施の形態例）以上の説明におい
ては、センサからの検出信号をピークホールド回路に送
り、ここでピーク値をホールドさせ、ホールド値をＡ/
Ｄ変換器２６でＡ/Ｄ変換してコンピュータ２７に送っ
ていた。しかし、本発明は以上の例に限定されるもので
はなく、コンピュータ側の処理能力に余裕のある場合に
はセンサでの検出信号をＡ/Ｄ変換器２６で直接Ａ/Ｄ変
換し、Ａ/Ｄ変換器２６よりのデジタル信号を直接コン
ピュータに取り込んで信号処理により回路配線の状態を
検査するように構成してもよい。

【００４７】即ち、上述した実施の形態例では、もしセ
ンサからノイズ成分が重畳してピークホールド回路に送
られた場合にはそのノイズ成分を印加電圧として検出し
てしまう可能性がある。そこで第３の実施の形態例にお
いては、ノイズ成分が重畳したような場合であっても影
響をなくし、確実に回路配線よりの印加電圧を検出でき
るようにするため、例えば以下に説明する図７の構成を
備える。図７は本発明に係る第３実施の形態例の検査装
置の構成を説明するためのブロック図である。図７にお
いて、図１と同様構成には同一番号を付し異なる構成に
ついて説明を行う。

【００４８】図７に示す第３の実施の形態例は、図１に
示す第１の実施の形態例に比しピークホールド回路が省
略されており、代わりにＡ/Ｄ変換器２６とコンピュー
タ２７で回路配線よりの検出レベル監視を行う。

【００４９】第３の実施の形態例においては、Ａ/Ｄ変
換器２６は、Ａ/Ｄ変換結果を所定量保持し、コンピュ
ータ２７よりの読み出し制御に従ってデジタル変換値を
時系列にコンピュータ２７に出力する。

【００５０】コンピュータ２７に検査制御プログラムを
格納し、該プログラムを実行させて順次配線パターン毎
に以下に説明する電圧印加工程を実行し、Ａ/Ｄ変換器
２６に検査結果を保持させる。

【００５１】まず、Ａ/Ｄ変換器２６の動作許可信号を
出力し、Ａ/Ｄ変換器２６を付勢する。これにより以降
変換指示信号が入力されるごとにそのときの入力アナロ
グ信号を対応するデジタル信号に変換して保持可能とな
る。

【００５２】Ａ/Ｄ変換器２６の動作が安定する時間、
例えば３０μｓの時間経過後プローブ２１ａ〜ｅに検査
用電圧を印加する前にすべての配線パターンよりの検出
結果をＡ/Ｄ変換器２６に供給し、Ａ/Ｄ変換器２６に所
定回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５回）Ａ/Ｄ変
換を行わせ、センサ２２ａ〜ｅよりの検出結果を複数回
収集し夫々のセンサ２２ａ〜ｅよりのアナログ電圧出力
値（ローレベル値）に対応するデジタル値を保持させ
る。

【００５３】この工程は、回路配線毎にセレクタ２５を
切り換えてＡ/Ｄ変換器２６に各回路配線毎のセンサよ
りの信号を供給してＡ/Ｄ変換させ、変換結果を時系列
に記録させる。

【００５４】この検査用電圧を印加する前のＡ/Ｄ変換
処理が終了後にプローブ２１ａ〜ｅに検査用電圧を印加
する。検査用電圧が回路配線に印加されると、所定の遅
延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより検査用電圧信
号が検出される。

【００５５】このため、センサ２２ａ〜ｅよりの検出信
号が安定する時間経過後にＡ/Ｄ変換器２６に所定回、
例えば数回Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々の回路配線毎の検
査用信号検出結果に対応した変換デジタル値を保持させ
る。

【００５６】以上の制御は各回路配線パターン毎に行
う。そしてすべての回路配線への検査信号印加、センサ
２２ａ〜ｅ検出信号のＡ/Ｄ変換器２６でのデジタル信
号への変換及び変換値の記憶が終了すると、Ａ/Ｄ変換
器２６から配線パターンごとの変換デジタル値を読み出
して電圧印加前のセンサ検出値と電圧印加後のセンサ検
出値との差を抽出し、印加電圧がセンサ部で検出された
か否かを判断する。

【００５７】具体的には、ノイズ成分が重畳したような
場合であってもその影響をなくし、確実に回路配線より
の印加電圧を検出できるようにするため、記憶した複数
回の検査結果を平均化してセンサ検出結果とする。

【００５８】なお、よりノイズの影響の軽減化を図るた
めに、数回分の変換値の中で最も値の大きな値と最も値
の小さな値を除去し、残余の変換値の平均値を算出し、
算出した平均値を当該タイミングでのセンサ検出値とし
てもよい。こうすることによりノイズなどの影響をより
軽減化できる。

【００５９】そしてコンピュータ２７は各回路配線毎の
検査電圧印加前の検出値と印加後の検出値を検出する。
そして両検出値と基準ワーク（標準配線パターン）から
検出した値と比較し、誤差が所定範囲内であれば正常な
回路配線と判断し、例えば印加後の変換値が小さい場合
には回路配線の断線と判断する。

【００６０】また、回路配線毎に別個のタイミングで検
査電圧を印加する場合で、検査電圧印加回路配線の隣の
回路配線からも変換値検出可能に構成した場合には、検
査電圧を印加していない隣接する回路配線のセンサから
も大きい値の変換値を検出した場合には、検査電圧を印
加した回路配線と隣接する高い変換値を検出した回路配
線とが短絡していると判断できる。

【００６１】以上に説明したように第３の実施の形態例
によれば、コンピュータ２７を積極的に使用することに
より、高レベル値を検出するのにピークホールド回路を
利用する必要がなくなり、複数の高レベル値を検出して
その平均値を算出することができ、たとえ回路配線にノ
イズが重畳するようなことがあってもその影響を最小に
抑えることができる。このためより信頼性の高い回路配
線検査が実現する。

【００６２】（第４の実施の形態例）以上のコンピュー
タ２７による制御は、図７の例に限定されるものではな
く、上述した第２の実施の形態例の図５に示す構成にも
同様に適用できる。図５に示す構成に第３の実施の形態
例と同様にコンピュータ２７で高レベル値、低レベル値
を検出可能に構成した検査装置の構成を図８を参照して
以下に説明する。図８は本発明に係る第４の実施の形態
例の検査装置の構成を説明するための図である。

【００６３】第４の実施の形態例においては、各センサ
２２ａ〜ｅよりの検出アナログ信号を夫々のアンプ２３
ａ〜ｅで増幅してＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに送り、ここ
で例えばまず各Ａ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに、あるいは所
望のＡ/Ｄ変換器のみに動作許可信号を出力し、Ａ/Ｄ変
換器を付勢する。これにより以降動作許可信号が供給さ
れたＡ/Ｄ変換器は入力アナログ信号を対応するデジタ
ル信号に変換して保持可能となる。

【００６４】Ａ/Ｄ変換器２６の動作が安定する時間、
例えば３０μｓの時間経過後プローブ２１ａ〜ｅに検査
用電圧を印加する前に対応する配線パターンよりの検出
結果をＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅでＡ/Ｄ変換して保持す
る。なお、第３の実施の形態例と同様にＡ/Ｄ変換器２
６ａ〜ｅに所定回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５
回）Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々のセンサ２２ａ〜ｅより
のアナログ電圧出力値（ローレベル値）に対応するデジ
タル値を保持させる。

【００６５】この検査用電圧を印加する前のＡ/Ｄ変換
処理が終了後にプローブ２１ａ〜ｅに検査用電圧を印加
する。検査用電圧が回路配線に印加されると、所定の遅
延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより検査用電圧信
号が検出される。

【００６６】このため、センサ２２ａ〜ｅよりの検出信
号が安定する時間経過後にＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに所
定回、例えば数回Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々の回路配線
毎の検査用信号検出結果に対応した変換デジタル値を保
持させる。

【００６７】その後、センサ２２ａ〜ｅ検出信号のＡ/
Ｄ変換器２６ａ〜ｅでのデジタル信号への変換及び変換
値の記憶が終了すると、Ａ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅから配
線パターンごとの変換デジタル値を読み出して電圧印加
前のセンサ検出値と電圧印加後のセンサ検出値との差を
抽出し、印加電圧がセンサ部で検出されたか否かを判断
する。なお、検出結果の歳出方法は上述した第３の実施
の形態例と同様の方法を採用できることは勿論である。

【００６８】以上説明したように第４の実施の形態例に
よれば、Ａ/Ｄ変換機２６ａ〜ｅよりの読み出し制御を
より容易化させることができ、単にＡ/Ｄ変換器２６ａ
〜ｅより順番に読み出すのみで各回路配線毎のセンサ２
２ａ〜ｅごとの検出結果を取り出すことができる。

【００６９】（第５の実施の形態例）以上の説明は、複
数の回路配線を同時に検査する場合を例として説明した
が、第３及び第４の実施の形態例における検査信号未印
加時のセンサ出力値と検査信号印加時のセンサ出力値の
決定制御は、ノイズ成分の影響を低減することが可能で
あり、信頼性の高い検査結果が得られる。このセンサ出
力値の決定制御は図１乃至図５あるいは図７及び図８に
示す検査装置に適用した場合に限定されるものではな
く、センサが回路配線と電気的に接続されている場合の
ほか、センサと回路配線を静電結合させた非接触に構成
した場合にも適用でき、あるいは複数の回路配線と静電
結合されているセンサよりの出力値の決定制御にそのま
ま適用することができ、この場合にもノイズの影響を低
減し、信頼性の高い検査結果を得ることができる。

【００７０】この場合には、検査信号として例えばパル
ス信号を用いればよい。センサと回路配線とを非接触の
静電結合で構成した本発明にかかる第５の実施の形態例
を以下図９も参照して説明する。図９は第５の実施の形
態例のセンサ２２ａ〜ｅ検出制御を説明するためのタイ
ミングチャートである。なお、他の検査装置の構成は上
述した実施の形態例の構成を適用できる。以下は上述し
た実施の形態例と異なる部分を説明する。

【００７１】第５の実施の形態例においても、コンピュ
ータ２７に検査制御プログラムを格納し、該プログラム
を実行させ、第７図の構成であれば回路配線毎にセレク
タ２５を切り換えて、Ａ/Ｄ変換器２６に各回路配線毎
の変換結果を時系列に記録させ、すべての回路配線に対
する制御が終了した後に以下に示す読み出し制御を行
う。

【００７２】まず図９の（Ａ）に示すＡ/Ｄ変換器２６
の動作許可信号を出力し、Ａ/Ｄ変換器２６を付勢して
動作可能状態に制御する。これにより以降変換指示信号
が入力されるごとにそのときの入力アナログ信号を対応
するデジタル信号に変換して保持可能となる。

【００７３】Ａ/Ｄ変換器２６の動作許可信号出力後Ａ/
Ｄ変換器２６の動作が安定し、且つセンサ検出信号の、
レベルも安定している時間（例えば３０μｓの時間）経
過後（ＬＯＷ時間範囲経過後）Ａ/Ｄ変換器２６に所定
回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５回）Ａ/Ｄ変換
を行わせ、夫々の変換デジタル値を保持させる。このＬ
ＯＷ時間は例えば複数の基準回路配線よりの検査結果を
調べ、検査結果を勘案して決めればよい。

【００７４】センサ２２ａ〜ｅよりの検出アナログ信号
は（Ｃ）に示す波形となり、図９においてはＡ/Ｄ変換
タイミング（アベレージング範囲）を楕円で示してい
る。

【００７５】このＡ/Ｄ変換処理が終了後（Ｂ）に示す
タイミングでプローブ２１ａ〜ｅに検査用パルス信号を
印加する。検査用パルス信号が回路配線に印加される
と、所定の遅延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより
（Ｃ）に示す波形が検出される。

【００７６】このため、検査用パル視信号印加後のセン
サ２２ａ〜ｅよりの検出信号波形の変化率のの安定する
時間（例えば１００μｓの時間）経過後（Ｈｉｇｈ時間
範囲経過後）Ａ/Ｄ変換器２６に所定回、例えば数回Ａ/
Ｄ変換を行わせ、夫々の変換デジタル値を保持させる。
アベレージング範囲は同じく楕円で示している。

【００７７】このＨｉｇｈ時間範囲は、例えば複数の基
準回路配線よりの検査結果を調べ、センサ出力の変化率
が少ない時間帯を検査し、検査信号の検出波形値が一定
以上のレベルを保持していながら変化率の少ない時間帯
を求めて決めればよい。

【００７８】なお、このＬＯＷ時間範囲、あるいはＨｉ
ｇｈ時間範囲は以上のように固定的に決めるのではな
く、検査ごとに操作者が変更できるものであってもよ
い。この場合には基準回路配線に対する検査を行って良
否を決定する閾値を決定することが望ましい。

【００７９】以上説明したように回路配線に非接触のセ
ンサよりの検出結果に上記検査結果決定処理を適用する
ことにより、より信頼性の高い検査結果が得られる。

【００８０】（他の実施の形態例）以上の説明は、セン
サを各回路配線端部ごとに配置した例について説明した
が、第３及び第４の実施の形態例の低レベル値及び高レ
ベル値の算出制御は、独立して他の検査装置に用いて
も、ノイズなどの影響を抑え、信頼性の高い検査結果が
得られる。

【００８１】従って、例えば図６に示すような構成の検
査装置のセンサ出力に対して第３及び第４の実施の形態
例の低レベル値及び高レベル値の算出制御を行ってセン
サ検出値を決定することにより、信頼性の高い検査結果
を得ることができる。このように、所定量の変換値をＡ
/Ｄ変換器に保持させておき、回路配線への検査電圧の
印加制御が終了してから一括して変換結果を読み出すこ
とができ、コンピュータの処理に余裕のある時に検査結
果を算出することができるため、コンピュータの性能も
低く抑えることができ廉価な検査装置が提供できる。

【００８２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、あ
らゆる回路配線に対して信頼性が高く、且つ高速検査可
能な検査装置及び検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の概
略構成を示す図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る検査の対象と
なる回路基板の構成を示す図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置のコ
ンピュータの概略ハードウェア構成を示したブロック図
である。

【図４】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置によ
り枝分かれを有する回路配線の検査を行う様子を示す図
である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る検査装置の概
略構成を示す図である。

【図６】従来の検査装置の概略図である。

【図７】本発明に係る第３実施の形態例の検査装置の構
成を説明するためのブロック図である。

【図８】本発明に係る第４の実施の形態例の検査装置の
構成を説明するための図である。

【図９】本発明に係る第５の実施の形態例のセンサ検出
制御を説明するためのタイミングチャートである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回路配線を検査する検査装置であって、検査対象回路配線の一方端部近傍から検査信号を供給可
能な供給手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給手段
により供給された前記検査信号を検出可能な検出手段
と、前記検出手段による検出検査信号より検査結果を決定す
る検査結果決定手段と、を有し、前記検査結果決定手段は前記検出手段で検出される前記
検査信号の最大値を抽出する最大値抽出手段を含み、前
記最大値抽出手段で抽出した最大値を検査結果とし、前記他方端部が複数存在する場合には、前記他方端部のそれぞれに対して前記検出手段及び前記
最大値抽出手段を設けることを特徴とする検査装置。
【請求項２】前記検出手段は前記他方端部近傍と非接触
で前記検査信号を検出可能であることを特徴とする請求
項１に記載の検査装置。
【請求項３】前記検出手段と前記最大値抽出手段との間
に検出した検査信号を増幅させる増幅手段を有し、前記増幅手段は前記検出手段のそれぞれに対して設けら
れることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検
査装置。
【請求項４】前記最大値抽出手段はピークホールド回路
であり、前記供給手段により供給される検査信号を読み
出しまで抽出したピーク値を保持することを特徴とする
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】複数の前記最大値抽出手段から出力された
電気信号を同時に入力し、該電気信号から、前記回路配
線を検査する検査手段を更に有することを特徴とする請
求項１乃至請求項４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】前記一方端部及び前記他方端部が複数存在
する場合、前記供給手段は複数の前記一方端部に同時に
検査信号を印加可能であり、前記検出手段は複数の前記
他方端部のそれぞれから検査信号を同時に検出可能であ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに
記載の検査装置。
【請求項７】回路基板上の回路配線を検査する検査方法
であって、検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給する
供給工程と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給される検査信号を検出する検出工程と、前記検出工程で検出された前記検査信号の最大値を抽出
して検査結果とする検査結果決定工程と、を有し、前記他方端部が複数存在する場合には前記他方端部のそ
れぞれに対して前記検出工程及び前記検査結果決定工程
を同時に行うことを特徴とする検査方法。
【請求項８】回路配線を検査する検査装置であって、検査対象回路配線の一方端部近傍にパルス信号を検査信
号として供給可能な供給手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記検査信号
を検出可能な検出手段と、前記検査信号供給前の前記検出手段検出結果と、前記検
査信号供給後の前記検出手段検出結果を比較し、比較結
果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較して検査対
象回路配線の良否を判断する判断手段とを有することを
特徴とする検査装置。
【請求項９】更に、前記検出手段よりの検査信号を複数
回収集させて収集信号の平均を検出結果とする検査結果
決定手段を備え、前記判断手段は、前記検査結果決定手段
による検出結果を前記検出手段検出結果として処理する
ことを特徴とする請求項８記載の検査装置。
【請求項１０】回路配線を検査する検査装置であって、検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給可能
な供給手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記検査信号
を検出可能な検出手段と、前記検出手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信
号の平均を検出結果とする検査結果決定手段とを有する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項１１】前記検査結果決定手段は前記検出手段が
検出する複数の検査信号の最大値と最小値を除去し残余
の検出結果の平均値を求め検出結果とすることを特徴と
する請求項９又は請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】前記検査結果決定手段は、前記検出手段
の検出結果を対応するデジタル信号に変換するＡ/Ｄ変
換部を含み、前記Ａ/Ｄ変換部で変換したデジタル値の
平均を検出結果とするものであり、前記Ａ/Ｄ変換部は前記検出手段よりの前記検査信号の
検出処理時におけるＡ/Ｄ変換した前記検出手段の検出
値を複数保持可能であり、検出処理終了後に保持してい
る変換結果を出力することを特徴とする請求項９乃至請
求項１１のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１３】回路配線を検査する検査装置における検
査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近傍にパルス信号を検査信
号として供給する供給工程と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、前記検査信号供給前の前記検出工程での検出結果と、前
記検査信号供給後の前記検出工程での検出結果を比較
し、比較結果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較
して検査対象回路配線の良否を判断する検査結果決定工
程とを有することを特徴とする検査方法。
【請求項１４】前記検査結果決定工程では、前記検出工
程により検査信号の検出を複数回の行わせ、複数回の検
出結果の平均を検出結果とすることを特徴とする請求項
１３記載の検査方法。
【請求項１５】回路配線を検査する検査装置における検
査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給する
供給工程と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、前記検出工程により検査信号の検出を複数回の行わせ、
複数回の検出結果の平均を検出結果とする検査結果決定
工程とを有することを特徴とする検査方法。
【請求項１６】前記検査結果決定工程は前記検出工程で
検出する複数の検査信号の最大値と最小値を除去し残余
の検出結果の平均値を求め検出結果とすることを特徴と
する請求項１４又は請求項１５に記載の検査方法。