JP2003075494A - Inspection apparatus and method - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、回路配線を検査す
る検査装置及び検査方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device and an inspection method for inspecting circuit wiring.
【０００２】[0002]
【従来の技術】回路基板の製造においては、基板上に回
路配線を施した後、その回路配線に断線があるか否かを
検査する必要がある。この基板検査方法の１つとして、
従来から、回路配線の一端に対して電気信号を印加し、
他端の電気的な変化を測定することによって回路配線を
検査する方法が知られている（特開平１０−２３９３７
１、特開平１０−２３９３７２）。2. Description of the Related Art In the manufacture of circuit boards, it is necessary to inspect whether or not there is a break in the circuit wiring after providing the circuit wiring on the board. As one of this board inspection method,
Conventionally, an electric signal is applied to one end of the circuit wiring,
A method for inspecting circuit wiring by measuring an electrical change at the other end is known (Japanese Patent Laid-Open No. 10-23937).
1, JP-A-10-239372).
【０００３】従来の検査方法は、図６に示すような構成
を有する検査装置により行われていた。図６において、
検査装置は、回路基板１００上の回路配線１０１の一端
のそれぞれに接触するプローブ６１と、複数のプローブ
６１の内、電圧を印加するプローブを選択するスイッチ
ング回路６２と、回路配線１０１の他端より印加された
電圧を検出するのセンサ６３と、センサ６３よりの電気
信号を増幅するアンプ６４と、アンプ６４で増幅された
電気信号の最大値を抽出するピークホールド回路６５
と、抽出された最大値から、回路配線の不具合を検出す
るコンピュータ６６とを備えていた。The conventional inspection method is performed by an inspection device having a structure as shown in FIG. In FIG.
The inspection apparatus includes a probe 61 that contacts each one end of the circuit wiring 101 on the circuit board 100, a switching circuit 62 that selects a probe to which a voltage is applied from among the plurality of probes 61, and another end of the circuit wiring 101. A sensor 63 for detecting the applied voltage, an amplifier 64 for amplifying the electric signal from the sensor 63, and a peak hold circuit 65 for extracting the maximum value of the electric signal amplified by the amplifier 64.
And a computer 66 that detects a defect in the circuit wiring from the extracted maximum value.
【０００４】コンピュータ６６はまた、スイッチング回
路６２を制御して、プローブ６１に対し順次電圧を印加
する。プローブ６１から回路配線１０１に供給された電
圧によって回路配線１０１上に生じた電圧変化をセンサ
６３によって検出し、アンプ６４で増幅した後、ピーク
ホールド回路６５で最大値を抽出しコンピュータ６６に
入力する。コンピュータ６６は、ピークホールド回路６
５から入力した電圧波形から、どの回路配線に問題が存
在するのかを検出する。The computer 66 also controls the switching circuit 62 to sequentially apply a voltage to the probe 61. The sensor 63 detects a voltage change generated on the circuit wiring 101 by the voltage supplied from the probe 61 to the circuit wiring 101, amplifies it by the amplifier 64, extracts the maximum value by the peak hold circuit 65, and inputs it to the computer 66. . The computer 66 uses the peak hold circuit 6
From the voltage waveform input from 5, it is detected which circuit wiring has a problem.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、一回の電圧印加で１つの回路配線しか検
査できないため、回路配線が多くなればなるほど、検査
時間が長くなっていた。However, in the above-mentioned conventional method, since only one circuit wiring can be inspected by one voltage application, the inspection time becomes longer as the number of circuit wirings increases.
【０００６】また、センサ、アンプ、ピークホールド回
路が単一であることから、途中から枝分かれしているよ
うな回路配線においては、どの枝に問題が存在するのか
までは検出できなかった。Further, since the sensor, the amplifier and the peak hold circuit are single, it is not possible to detect which branch has a problem in the circuit wiring which is branched from the middle.
【０００７】本発明は上記従来技術の課題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、あらゆ
る回路配線に対して高速検査可能な検査装置及び検査方
法を提供することにある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of performing high-speed inspection on all circuit wirings.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る装置は、例えば以下の構成を備える。
即ち、回路配線を検査する検査装置であって、検査対象
回路配線の一方端部近傍から検査信号を供給可能な供給
手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記
供給手段により供給された前記検査信号を検出可能な検
出手段と、前記検出手段による検出検査信号より検査結
果を決定する検査結果決定手段と、を有し、前記検査結
果決定手段は前記検出手段で検出される前記検査信号の
最大値を抽出する最大値抽出手段を含み、前記最大値抽
出手段で抽出した最大値を検査結果とし、前記他方端部
が複数存在する場合には、前記他方端部のそれぞれに対
して前記検出手段及び前記最大値抽出手段を設けること
を特徴とする。In order to achieve the above object, an apparatus according to the present invention has the following structure, for example.
That is, an inspection device for inspecting a circuit wiring is provided by a supply means capable of supplying an inspection signal from the vicinity of one end of the inspection target circuit wiring and a supply means from the vicinity of the other end of the inspection target circuit wiring. The detection signal capable of detecting the inspection signal, and the inspection result determination means for determining the inspection result from the detection inspection signal detected by the detection means, wherein the inspection result determination means is the inspection detected by the detection means. A maximum value extracting means for extracting the maximum value of the signal is included, and the maximum value extracted by the maximum value extracting means is the inspection result, and when there are a plurality of the other ends, for each of the other ends. The detection means and the maximum value extraction means are provided.
【０００９】そして例えば、前記検出手段は前記他方端
部近傍と非接触で前記検査信号を検出可能であることを
特徴とする。Further, for example, the detecting means can detect the inspection signal without contacting with the vicinity of the other end portion.
【００１０】更に例えば、前記最大値抽出手段はピーク
ホールド回路であり、前記供給手段により供給される検
査信号を読み出しまで抽出したピーク値を保持すること
を特徴とする。Further, for example, the maximum value extraction means is a peak hold circuit, and holds the peak value extracted until the inspection signal supplied by the supply means is read out.
【００１１】更に例えば、前記一方端部及び前記他方端
部が複数存在する場合、前記供給手段は複数の前記一方
端部に同時に検査信号を印加可能であり、前記検出手段
は複数の前記他方端部のそれぞれから検査信号を同時に
検出可能であることを特徴とする。Further, for example, when there are a plurality of the one end and the other end, the supply means can simultaneously apply the inspection signal to the plurality of the one ends, and the detection means can detect the plurality of the other ends. The inspection signal can be simultaneously detected from each of the parts.
【００１２】また、回路配線を検査する検査装置であっ
て、検査対象回路配線の一方端部近傍にパルス信号を検
査信号として供給可能な供給手段と、前記検査対象回路
配線の他方端部近傍から前記検査信号を検出可能な検出
手段と、前記検査信号供給前の前記検出手段検出結果
と、前記検査信号供給後の前記検出手段検出結果を比較
し、比較結果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較
して検査対象回路配線の良否を判断する判断手段とを有
することを特徴とする。そして例えば、更に、前記検出
手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信号の平均
を検出結果とする検査結果決定手段を備え、前記判断手
段は、前記検査結果決定手段による検出結果を前記検出
手段検出結果として処理することを特徴とする。Further, in the inspection device for inspecting the circuit wiring, a supply means capable of supplying a pulse signal as an inspection signal to one end portion of the circuit wiring to be inspected, and a portion near the other end portion of the circuit wiring to be inspected The detection means capable of detecting the inspection signal, the detection means detection result before the inspection signal is supplied, and the detection means detection result after the inspection signal is supplied are compared, and the comparison result is detected in the case of normal circuit wiring. It is characterized by having a judging means for judging the quality of the inspection target circuit wiring by comparing with the result. And, for example, further comprising an inspection result determination means for collecting the inspection signals from the detection means a plurality of times and taking an average of the collected signals as a detection result, and the determination means detects the detection result by the inspection result determination means. It is characterized in that it is processed as a means detection result.
【００１３】更に又回路配線を検査する検査装置であっ
て、検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給
可能な供給手段と、前記検査対象回路配線の他方端部近
傍から前記検査信号を検出可能な検出手段と、前記検出
手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信号の平均
を検出結果とする検査結果決定手段とを有することを特
徴とする。そして例えば、前記検査結果決定手段は前記
検出手段が検出する複数の検査信号の最大値と最小値を
除去し残余の検出結果の平均値を求め検出結果とする検
査方法であることを特徴とする。又例えば、前記検査結
果決定手段は、前記検出手段の検出結果を対応するデジ
タル信号に変換するＡ/Ｄ変換部を含み、前記Ａ/Ｄ変換
部で変換したデジタル値の平均を検出結果とするもので
あり、前記Ａ/Ｄ変換部は前記検出手段よりの前記検査
信号の検出処理時におけるＡ/Ｄ変換した前記検出手段
の検出値を複数保持可能であり、検出処理終了後に保持
している変換結果を出力することを特徴とする。Furthermore, the inspection device for inspecting the circuit wiring comprises a supplying means capable of supplying an inspection signal near one end of the inspection target circuit wiring, and the inspection signal from the vicinity of the other end of the inspection target circuit wiring. And a test result determining unit that collects the test signals from the detection unit a plurality of times and uses the average of the collected signals as the detection result. Further, for example, the inspection result determination means is an inspection method in which the maximum value and the minimum value of the plurality of inspection signals detected by the detection means are removed and an average value of the residual detection results is obtained as a detection result. . Further, for example, the inspection result determination means includes an A / D conversion section for converting the detection result of the detection means into a corresponding digital signal, and the average of the digital values converted by the A / D conversion section is used as the detection result. The A / D converter is capable of holding a plurality of A / D converted detection values of the detection means during the detection processing of the inspection signal from the detection means, and holds the detection values after the detection processing is completed. It is characterized by outputting the conversion result.
【００１４】または、回路配線を検査する検査装置にお
ける検査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近
傍にパルス信号を検査信号として供給する供給工程と、
前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、前記検査
信号供給前の前記検出工程での検出結果と、前記検査信
号供給後の前記検出工程での検出結果を比較し、比較結
果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較して検査対
象回路配線の良否を判断する検査結果決定工程とを有す
ることを特徴とする。そして例えば、前記検査結果決定
工程では、前記検出工程により検査信号の検出を複数回
の行わせ、複数回の検出結果の平均を検出結果とする検
査方法であることを特徴とする。Alternatively, in the inspection method in the inspection device for inspecting the circuit wiring, a supply step of supplying a pulse signal as an inspection signal to the vicinity of one end of the circuit wiring to be inspected,
A detection step of detecting the inspection signal supplied in the supply step from the vicinity of the other end of the inspection target circuit wiring, a detection result in the detection step before the inspection signal is supplied, and the detection after the inspection signal is supplied. An inspection result determining step of comparing the detection results of the steps and comparing the comparison result with the detection result of the normal circuit wiring to judge whether the inspection target circuit wiring is good or bad. Further, for example, in the inspection result determination step, the inspection method is characterized in that the inspection signal is detected a plurality of times in the detection step, and an average of the detection results of the plurality of times is used as a detection result.
【００１５】更に又、回路配線を検査する検査装置にお
ける検査方法であって、検査対象回路配線の一方端部近
傍に検査信号を供給する供給工程と、前記検査対象回路
配線の他方端部近傍から前記供給工程で供給された検査
信号を検出する検出工程と、前記検出工程により検査信
号の検出を複数回の行わせ、複数回の検出結果の平均を
検出結果とする検査結果決定工程とを有する検査方法で
あることを特徴とする。そして例えば、前記検査結果決
定工程は前記検出工程で検出する複数の検査信号の最大
値と最小値を除去し残余の検出結果の平均値を求め検出
結果とすることを特徴とする。Furthermore, in the inspection method in the inspection device for inspecting the circuit wiring, the step of supplying the inspection signal to the vicinity of one end of the inspection target circuit wiring and the step of near the other end of the inspection target circuit wiring It has a detection step of detecting the inspection signal supplied in the supply step, and an inspection result determination step of causing the inspection signal to be detected a plurality of times by the detection step and taking an average of the detection results of the plurality of times as a detection result. It is an inspection method. Further, for example, the inspection result determining step is characterized in that the maximum value and the minimum value of the plurality of inspection signals detected in the detecting step are removed and an average value of the residual detection results is obtained and used as the detection result.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、この発
明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成要素の相対配
置、数値等は特に特定的な記載がない限りは、この発明
の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be illustratively described in detail below with reference to the drawings. However, the relative arrangement of components, numerical values, etc. described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention to them unless otherwise specified.
【００１７】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態として、図２のように、回路基板１００にプリン
トされた枝分かれの無い回路配線１０１ａ〜ｅの検査を
行う検査装置について説明する。(First Embodiment) As a first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, an inspection apparatus for inspecting circuit wirings 101a to 101e having no branch printed on a circuit board 100. explain.
【００１８】図１は、回路基板１００上の回路配線１０
１ａ〜ｅを検査するための検査装置２０の概略図であ
る。FIG. 1 shows circuit wiring 10 on a circuit board 100.
It is the schematic of the inspection apparatus 20 for inspecting 1a-e.
【００１９】検査装置１は、回路配線１０１ａ〜ｅの一
端に検査信号を供給するためのプローブ２１ａ〜ｅと、
回路配線１０１ａ〜ｅの他端の電圧変化を読取るセンサ
２２ａ〜ｅと、センサ２２から出力した信号を増幅する
アンプ２３ａ〜ｅと、アンプ２３ａ〜ｅによって増幅さ
れた信号の最大値を抽出するピークホールド回路２４ａ
〜ｅと、ピークホールド回路２４ａ〜ｅからの出力値を
選択するセレクタ２５と、セレクタ２５から選択された
出力値をデジタル値に変換するＡ/Ｄ変換回路２６と、
Ａ/Ｄ変換回路２６からの出力値によって回路配線１０
１ａ〜ｅの不具合を検出するコンピュータ２７と、を備
える。The inspection apparatus 1 includes probes 21a to e for supplying an inspection signal to one end of the circuit wirings 101a to 101e.
Sensors 22a to e for reading voltage changes at the other ends of the circuit wirings 101a to e, amplifiers 23a to e for amplifying signals output from the sensor 22, and peaks for extracting maximum values of signals amplified by the amplifiers 23a to 23e. Hold circuit 24a
To e, a selector 25 that selects the output value from the peak hold circuits 24a to e, an A / D conversion circuit 26 that converts the output value selected from the selector 25 into a digital value,
Depending on the output value from the A / D conversion circuit 26, the circuit wiring 10
A computer 27 for detecting the defects 1a to 1e.
【００２０】コンピュータ２７は専用に設計されたコン
ピュータであっても、あるいは汎用のパーソナルコンピ
ュータであってもよく、アンプ２３、ピークホールド回
路２４、セレクタ２５、及びＡ/Ｄ変換回路２６は、コ
ンピュータ２７に組み込まれていてもよい。The computer 27 may be a specially designed computer or a general-purpose personal computer. The amplifier 23, the peak hold circuit 24, the selector 25, and the A / D conversion circuit 26 are the computer 27. May be incorporated into.
【００２１】コンピュータ２７は、プローブ２１に対
し、回路配線１０１に与える電気信号を供給する。ま
た、セレクタ２５に対しては、信号を取り出すピークホ
ールド回路を選択するための選択信号を供給する。The computer 27 supplies the probe 21 with an electric signal applied to the circuit wiring 101. Further, the selector 25 is supplied with a selection signal for selecting a peak hold circuit for extracting a signal.
【００２２】印加する電気信号は電流または電圧のいず
れでもよく、正弦波、矩形波、パルス波などいかなる波
形でもかまわない。ここでは、電圧パルスを用いること
とする。信号の極性を限定できるため、センサでの電流
方向を一方向に限定して回路設計ができ、回路設計が単
純になるからである。The electric signal to be applied may be a current or a voltage, and may have any waveform such as a sine wave, a rectangular wave or a pulse wave. Here, a voltage pulse is used. This is because the polarity of the signal can be limited, so that the circuit can be designed by limiting the current direction in the sensor to one direction, which simplifies the circuit design.
【００２３】プローブ２１ａ〜ｅは、その先端が、それ
ぞれ回路基板１００上の回路配線１０１ａ〜ｅの一端に
接触しており、全ての回路配線１０１ａ〜ｅに対して同
時に電圧を供給する。The tips of the probes 21a to 21e are in contact with one ends of the circuit wirings 101a to 101e on the circuit board 100, respectively, and supply voltage to all the circuit wirings 101a to 101e at the same time.
【００２４】これにより回路配線１０１ａ〜ｅ上の電圧
が変化し、この変化をセンサ２２ａ〜ｅが読取る。セン
サ２２ａ〜ｅは、回路基板１００の回路配線１０１ａ〜
ｅに接続された金属板であって、回路配線１０１上の電
圧を検出する。As a result, the voltage on the circuit wirings 101a-e changes, and the changes are read by the sensors 22a-e. The sensors 22a to e are the circuit wirings 101a to 101c of the circuit board 100.
The metal plate connected to e detects the voltage on the circuit wiring 101.
【００２５】回路配線１０１ａ〜ｅに対して印加する電
圧は、実動時と同じく、非常に微小な電圧であり、セン
サ２２ａ〜ｅに生じる電圧も微小であるため、アンプ２
３ａ〜ｅによって増幅し、ピークホールド回路２４ａ〜
ｅによって、最大値を保持する。The voltage applied to the circuit wirings 101a to 101e is a very small voltage as in the actual operation, and the voltage generated in the sensors 22a to 22e is also very small.
3a-e, and the peak hold circuit 24a-
The maximum value is held by e.
【００２６】セレクタ２５は、ピークホールド回路２４
ａ〜ｅの内、Ａ/Ｄ変換回路２６と接続するピークホー
ルド回路を選択する。複数のピークホールド回路２４ａ
〜ｅから、一つずつ順番に最大値を取り出すように、コ
ンピュータ２７から供給された制御信号に基づき選択を
行う。The selector 25 is a peak hold circuit 24.
A peak hold circuit connected to the A / D conversion circuit 26 is selected from a to e. A plurality of peak hold circuits 24a
Based on the control signal supplied from the computer 27, selection is performed so that the maximum values are sequentially extracted one by one from .about.e.
【００２７】ピークホールド回路から出力された最大値
は、Ａ/Ｄ変換回路２６で対応するデジタル信号に変換
され、コンピュータ２７に入力される。コンピュータ２
７では、入力したデジタル信号が正常の値かどうかを検
査する。例えば、所定の閾値と比較し、閾値よりも大き
い値である場合には回路断線などがない正常な回路配線
と判断し、閾値よりも小さい場合には対応する回路配線
に断線が存在するものと判断する。The maximum value output from the peak hold circuit is converted into a corresponding digital signal by the A / D conversion circuit 26 and input to the computer 27. Computer 2
At 7, it is checked whether the input digital signal is a normal value. For example, comparing with a predetermined threshold value, if the value is larger than the threshold value, it is determined that there is no circuit disconnection and the like, and if it is smaller than the threshold value, there is a disconnection in the corresponding circuit wiring. to decide.
【００２８】なお、センサ２２は、回路配線１０１と対
向する位置に、非接触に配置してもよい。その場合、セ
ンサ２２と回路配線１０１との間隔は、０．０５ｍｍ以
下が望ましい。また、誘電体絶縁材料を挟んで密着させ
てもよい。このような構成とすることにより、回路配線
１０１と静電結合された状態となり、回路配線１０１の
パルス状電圧変化をセンサから検出可能となる。The sensor 22 may be arranged in a non-contact manner at a position facing the circuit wiring 101. In that case, the distance between the sensor 22 and the circuit wiring 101 is preferably 0.05 mm or less. Also, a dielectric insulating material may be sandwiched and adhered. With such a configuration, the circuit wiring 101 is electrostatically coupled, and the pulse-like voltage change of the circuit wiring 101 can be detected by the sensor.
【００２９】なお、図２の回路基板１００では、片面側
にのみ回路配線１０１が設けられている場合を想定して
いるが、両面に回路配線１０１が設けられている回路基
板についても検査可能であり、その場合は、センサ２２
を上下に２組用いて回路基板をサンドイッチするように
配置して検査すればよい。It is assumed that the circuit board 100 of FIG. 2 is provided with the circuit wiring 101 only on one side, but a circuit board having the circuit wiring 101 on both sides can also be inspected. Yes, in that case, the sensor 22
It suffices to use two sets of upper and lower to arrange the circuit boards so as to sandwich them and inspect them.
【００３０】次に、図３を用いて、コンピュータ２７の
詳細構成例について説明する。図３は、コンピュータ２
７の概略のハードウェア構成を示したブロック図であ
る。Next, a detailed configuration example of the computer 27 will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a computer 2
7 is a block diagram showing a schematic hardware configuration of 7.
【００３１】図３において、２１１は、コンピュータ２
７全体を制御する演算・制御用のＣＰＵ、２１２はＣＰ
Ｕ２１１で実行するプログラムや固定値等を格納するＲ
ＯＭである。In FIG. 3, reference numeral 211 denotes the computer 2.
CPU for calculation and control to control 7 in total, 212 is CP
R to store programs executed by U211 and fixed values
OM.
【００３２】２１４は一時記憶用のＲＡＭであり、ロー
ドされるプログラムを格納するプログラムロード領域
や、Ａ/Ｄ変換回路２６から受信したデジタル信号の記
憶領域等を含む。Reference numeral 214 denotes a RAM for temporary storage, which includes a program load area for storing a program to be loaded, a storage area for digital signals received from the A / D conversion circuit 26, and the like.
【００３３】２１５は外部記憶装置としてのハードディ
スクである。２１６は着脱可能な記憶媒体の読取装置と
してのＣＤ−ＲＯＭドライブである。A hard disk 215 is an external storage device. A CD-ROM drive 216 is a detachable storage medium reading device.
【００３４】また、２１７は入出力インタフェースであ
って、入出力インタフェース２１７を介して、入力装置
としてのキーボード２１８、マウス２１９、プローブ２
１、セレクタ２５、Ａ/Ｄ変換回路２６との間のインタ
フェースを司り、各種信号の授受を行う。Reference numeral 217 denotes an input / output interface. Through the input / output interface 217, a keyboard 218 as an input device, a mouse 219, and a probe 2 are provided.
1, it controls the interface between the selector 25 and the A / D conversion circuit 26, and exchanges various signals.
【００３５】ＨＤ２１５には、セレクタ制御プログラム
を含む検査制御実行プログラムが格納され、例えばＲＡ
Ｍ２１４のプログラムロード領域にロードされて実行さ
れる。また、設計上の回路配線の形状を示す画像データ
（ＣＡＤデータ）も、ＨＤ２１５に格納される。An inspection control execution program including a selector control program is stored in the HD 215 and, for example, RA
The program is loaded and executed in the program load area of M214. Further, image data (CAD data) indicating the shape of the designed circuit wiring is also stored in the HD 215.
【００３６】セレクタ制御プログラム、及び設計上の回
路配線の形状を示す画像データは、ＣＤ−ＲＯＭドライ
ブ２１６でＣＤ−ＲＯＭを読取ることによってインスト
ールしても、ＦＤやＤＶＤ等の他の媒体から読込んで
も、ネットワークを介してダウンロードしてもよい。Even if the selector control program and the image data showing the shape of the designed circuit wiring are installed by reading the CD-ROM with the CD-ROM drive 216, they are read from another medium such as an FD or a DVD. However, you may download via a network.
【００３７】上記のように、本実施の形態によれば、回
路配線のそれぞれに対してピークホールド回路を設けた
ので、同一回路グループ内のセンサ同時測定を行うこと
が可能となるため、検査の高速化を図ることができる。As described above, according to the present embodiment, since the peak hold circuit is provided for each circuit wiring, it is possible to simultaneously measure the sensors in the same circuit group, and therefore the inspection can be performed. The speed can be increased.
【００３８】また、図４に示すような、途中で枝分かれ
している回路配線についても、例えば枝ごとにセンサ２
２ａ〜ｅ、アンプ２３ａ〜ｅ、ピークホールド回路２４
ａ〜ｅを設けることにより、どの枝に不具合が存在する
かを検知することができる。Further, regarding the circuit wiring branched in the middle as shown in FIG. 4, for example, the sensor 2 is provided for each branch.
2a-e, amplifiers 23a-e, peak hold circuit 24
By providing a to e, it is possible to detect which branch has a defect.
【００３９】以上に説明した本実施の形態例では、回路
配線の電圧を検出するものとしたが、回路配線から放射
される電磁波の量と放射形状を検出してもよい。この場
合においては、もし所定の電磁波の量及び形状を検出で
きれば、回路配線が正常に連続していると判定する。も
し所定の電磁波の量及び形状よりも少ない量及び異なる
形状を検出した場合は、回路配線の途中が離れているか
または欠落していると判定する。Although the voltage of the circuit wiring is detected in the embodiment described above, the amount and the radiation shape of the electromagnetic wave radiated from the circuit wiring may be detected. In this case, if the predetermined amount and shape of the electromagnetic wave can be detected, it is determined that the circuit wiring is normally continuous. If an amount smaller than the predetermined amount and shape of the electromagnetic wave or a different shape is detected, it is determined that the circuit wiring is separated or missing in the middle.
【００４０】更に、以上に説明した本実施の形態例で
は、プローブを回路配線の端部近傍に接触させている
が、回路配線の始点から、非接触端子を用いて、検査信
号を供給してもよい。Further, in the embodiment described above, the probe is brought into contact with the vicinity of the end of the circuit wiring, but the inspection signal is supplied from the starting point of the circuit wiring using the non-contact terminal. Good.
【００４１】（第２の実施の形態例）次に図５を用い
て、本発明に係る第２の実施の形態例としての検査装置
について説明する。(Second Embodiment) Next, an inspection apparatus as a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００４２】第２の実施の形態例の検査装置は、ピーク
ホールド回路２４ａ〜ｅのそれぞれに対し、Ａ/Ｄ変換
回路２６ａ〜ｅを設けた点で上記第１の実施の形態例と
異なる。第２の実施の形態例の構成である場合、複数の
デジタル信号をパラレルでコンピュータ２７に入力する
事ができるので、セレクタ２５は不要となる。The inspection apparatus of the second embodiment differs from that of the first embodiment in that A / D conversion circuits 26a to 26e are provided for the peak hold circuits 24a to 24e, respectively. In the case of the configuration of the second embodiment, since a plurality of digital signals can be input in parallel to the computer 27, the selector 25 becomes unnecessary.
【００４３】その他の構成要素は上記第１の実施の形態
例と同様であるため、同じ構成要素には同じ符号を付し
てその説明を省略する。Since the other constituent elements are the same as those in the first embodiment, the same constituent elements are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００４４】なお、図面では、Ａ/Ｄ変換回路２６ａ〜
ｅとコンピュータ２７の間の配線を１本で示している
が、実際には、各Ａ/Ｄ変換回路２６ａ〜ｅから各１本
の配線がコンピュータ２７と接続されている。In the drawing, the A / D conversion circuits 26a ...
Although one wiring is shown between e and the computer 27, in reality, one wiring is connected to the computer 27 from each A / D conversion circuit 26a to 26e.
【００４５】第２の実施の形態例によれば、セレクタを
なくすことができるため、上記第１実施の形態例のよう
な信号の切り換えなどの制御が不要となり、生産性を向
上させることができる。According to the second embodiment, since the selector can be eliminated, the control such as the signal switching as in the first embodiment is not required and the productivity can be improved. .
【００４６】（第３の実施の形態例）以上の説明におい
ては、センサからの検出信号をピークホールド回路に送
り、ここでピーク値をホールドさせ、ホールド値をＡ/
Ｄ変換器２６でＡ/Ｄ変換してコンピュータ２７に送っ
ていた。しかし、本発明は以上の例に限定されるもので
はなく、コンピュータ側の処理能力に余裕のある場合に
はセンサでの検出信号をＡ/Ｄ変換器２６で直接Ａ/Ｄ変
換し、Ａ/Ｄ変換器２６よりのデジタル信号を直接コン
ピュータに取り込んで信号処理により回路配線の状態を
検査するように構成してもよい。(Third Embodiment) In the above description, the detection signal from the sensor is sent to the peak hold circuit, where the peak value is held and the hold value is A /
It was A / D converted by the D converter 26 and sent to the computer 27. However, the present invention is not limited to the above example, and when the processing capacity on the computer side has a margin, the detection signal from the sensor is directly A / D converted by the A / D converter 26, and A / D conversion is performed. Alternatively, the digital signal from the D converter 26 may be directly taken into the computer and the state of the circuit wiring may be inspected by signal processing.
【００４７】即ち、上述した実施の形態例では、もしセ
ンサからノイズ成分が重畳してピークホールド回路に送
られた場合にはそのノイズ成分を印加電圧として検出し
てしまう可能性がある。そこで第３の実施の形態例にお
いては、ノイズ成分が重畳したような場合であっても影
響をなくし、確実に回路配線よりの印加電圧を検出でき
るようにするため、例えば以下に説明する図７の構成を
備える。図７は本発明に係る第３実施の形態例の検査装
置の構成を説明するためのブロック図である。図７にお
いて、図１と同様構成には同一番号を付し異なる構成に
ついて説明を行う。That is, in the above-described embodiment, if a noise component is superposed from the sensor and sent to the peak hold circuit, the noise component may be detected as an applied voltage. Therefore, in the third embodiment, in order to eliminate the influence even when the noise component is superposed and to reliably detect the applied voltage from the circuit wiring, for example, FIG. With the configuration of. FIG. 7 is a block diagram for explaining the configuration of the inspection device according to the third embodiment of the present invention. 7, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and different components will be described.
【００４８】図７に示す第３の実施の形態例は、図１に
示す第１の実施の形態例に比しピークホールド回路が省
略されており、代わりにＡ/Ｄ変換器２６とコンピュー
タ２７で回路配線よりの検出レベル監視を行う。In the third embodiment shown in FIG. 7, the peak hold circuit is omitted as compared with the first embodiment shown in FIG. 1, and instead, an A / D converter 26 and a computer 27 are used. The detection level from the circuit wiring is monitored with.
【００４９】第３の実施の形態例においては、Ａ/Ｄ変
換器２６は、Ａ/Ｄ変換結果を所定量保持し、コンピュ
ータ２７よりの読み出し制御に従ってデジタル変換値を
時系列にコンピュータ２７に出力する。In the third embodiment, the A / D converter 26 holds the A / D conversion result by a predetermined amount and outputs the digital conversion value to the computer 27 in time series according to the reading control from the computer 27. To do.
【００５０】コンピュータ２７に検査制御プログラムを
格納し、該プログラムを実行させて順次配線パターン毎
に以下に説明する電圧印加工程を実行し、Ａ/Ｄ変換器
２６に検査結果を保持させる。The inspection control program is stored in the computer 27, the program is executed to sequentially execute the voltage application step described below for each wiring pattern, and the A / D converter 26 is caused to hold the inspection result.
【００５１】まず、Ａ/Ｄ変換器２６の動作許可信号を
出力し、Ａ/Ｄ変換器２６を付勢する。これにより以降
変換指示信号が入力されるごとにそのときの入力アナロ
グ信号を対応するデジタル信号に変換して保持可能とな
る。First, the operation permission signal of the A / D converter 26 is output to activate the A / D converter 26. As a result, every time a conversion instruction signal is input thereafter, the input analog signal at that time can be converted into a corresponding digital signal and held.
【００５２】Ａ/Ｄ変換器２６の動作が安定する時間、
例えば３０μｓの時間経過後プローブ２１ａ〜ｅに検査
用電圧を印加する前にすべての配線パターンよりの検出
結果をＡ/Ｄ変換器２６に供給し、Ａ/Ｄ変換器２６に所
定回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５回）Ａ/Ｄ変
換を行わせ、センサ２２ａ〜ｅよりの検出結果を複数回
収集し夫々のセンサ２２ａ〜ｅよりのアナログ電圧出力
値（ローレベル値）に対応するデジタル値を保持させ
る。The time during which the operation of the A / D converter 26 is stable,
For example, after a lapse of time of 30 μs, the detection results from all the wiring patterns are supplied to the A / D converter 26 before the inspection voltage is applied to the probes 21a to e, and the A / D converter 26 is supplied a predetermined number of times, for example, 2 μs. A / D conversion is performed several times at intervals (for example, 5 times), the detection results from the sensors 22a to e are collected multiple times, and the analog voltage output values (low level values) from the respective sensors 22a to e are corresponded. Holds a digital value.
【００５３】この工程は、回路配線毎にセレクタ２５を
切り換えてＡ/Ｄ変換器２６に各回路配線毎のセンサよ
りの信号を供給してＡ/Ｄ変換させ、変換結果を時系列
に記録させる。In this step, the selector 25 is switched for each circuit wiring, the signal from the sensor for each circuit wiring is supplied to the A / D converter 26 for A / D conversion, and the conversion result is recorded in time series. .
【００５４】この検査用電圧を印加する前のＡ/Ｄ変換
処理が終了後にプローブ２１ａ〜ｅに検査用電圧を印加
する。検査用電圧が回路配線に印加されると、所定の遅
延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより検査用電圧信
号が検出される。After completion of the A / D conversion process before applying the inspection voltage, the inspection voltage is applied to the probes 21a to 21e. When the inspection voltage is applied to the circuit wiring, the inspection voltage signal is detected by, for example, the sensors 22a to 22e after a predetermined delay time has elapsed.
【００５５】このため、センサ２２ａ〜ｅよりの検出信
号が安定する時間経過後にＡ/Ｄ変換器２６に所定回、
例えば数回Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々の回路配線毎の検
査用信号検出結果に対応した変換デジタル値を保持させ
る。Therefore, after a lapse of time when the detection signals from the sensors 22a to 22e are stabilized, the A / D converter 26 is given a predetermined number of times.
For example, the A / D conversion is performed several times, and the converted digital value corresponding to the inspection signal detection result for each circuit wiring is held.
【００５６】以上の制御は各回路配線パターン毎に行
う。そしてすべての回路配線への検査信号印加、センサ
２２ａ〜ｅ検出信号のＡ/Ｄ変換器２６でのデジタル信
号への変換及び変換値の記憶が終了すると、Ａ/Ｄ変換
器２６から配線パターンごとの変換デジタル値を読み出
して電圧印加前のセンサ検出値と電圧印加後のセンサ検
出値との差を抽出し、印加電圧がセンサ部で検出された
か否かを判断する。The above control is performed for each circuit wiring pattern. When the inspection signals are applied to all the circuit wirings, the detection signals of the sensors 22a to e are converted into digital signals by the A / D converter 26, and the storage of the converted values is completed, the wiring patterns are transferred from the A / D converter 26 to each wiring pattern. The converted digital value is read to extract the difference between the sensor detection value before the voltage application and the sensor detection value after the voltage application, and it is determined whether or not the applied voltage is detected by the sensor unit.
【００５７】具体的には、ノイズ成分が重畳したような
場合であってもその影響をなくし、確実に回路配線より
の印加電圧を検出できるようにするため、記憶した複数
回の検査結果を平均化してセンサ検出結果とする。Specifically, even if a noise component is superposed, its effect is eliminated and the applied voltage from the circuit wiring can be surely detected so that the stored inspection results are averaged. It is converted into a sensor detection result.
【００５８】なお、よりノイズの影響の軽減化を図るた
めに、数回分の変換値の中で最も値の大きな値と最も値
の小さな値を除去し、残余の変換値の平均値を算出し、
算出した平均値を当該タイミングでのセンサ検出値とし
てもよい。こうすることによりノイズなどの影響をより
軽減化できる。In order to further reduce the influence of noise, the value having the largest value and the value having the smallest value are removed from the converted values for several times, and the average value of the remaining converted values is calculated. ,
The calculated average value may be used as the sensor detection value at that timing. By doing so, the influence of noise and the like can be further reduced.
【００５９】そしてコンピュータ２７は各回路配線毎の
検査電圧印加前の検出値と印加後の検出値を検出する。
そして両検出値と基準ワーク（標準配線パターン）から
検出した値と比較し、誤差が所定範囲内であれば正常な
回路配線と判断し、例えば印加後の変換値が小さい場合
には回路配線の断線と判断する。Then, the computer 27 detects the detection value before the application of the inspection voltage and the detection value after the application of the inspection voltage for each circuit wiring.
Then, both detected values are compared with the values detected from the reference work (standard wiring pattern), and if the error is within a predetermined range, it is determined that the circuit wiring is normal. For example, if the converted value after application is small, the circuit wiring Judge as a disconnection.
【００６０】また、回路配線毎に別個のタイミングで検
査電圧を印加する場合で、検査電圧印加回路配線の隣の
回路配線からも変換値検出可能に構成した場合には、検
査電圧を印加していない隣接する回路配線のセンサから
も大きい値の変換値を検出した場合には、検査電圧を印
加した回路配線と隣接する高い変換値を検出した回路配
線とが短絡していると判断できる。Further, when the inspection voltage is applied to each circuit wiring at a different timing and the conversion value can be detected also from the circuit wiring adjacent to the inspection voltage applying circuit wiring, the inspection voltage is applied. When a large conversion value is detected from the sensor of the adjacent circuit wiring, which is not present, it can be determined that the circuit wiring to which the inspection voltage is applied and the circuit wiring to which the adjacent high conversion value is detected are short-circuited.
【００６１】以上に説明したように第３の実施の形態例
によれば、コンピュータ２７を積極的に使用することに
より、高レベル値を検出するのにピークホールド回路を
利用する必要がなくなり、複数の高レベル値を検出して
その平均値を算出することができ、たとえ回路配線にノ
イズが重畳するようなことがあってもその影響を最小に
抑えることができる。このためより信頼性の高い回路配
線検査が実現する。As described above, according to the third embodiment, by positively using the computer 27, it is not necessary to use the peak hold circuit to detect the high level value, and a plurality of peak hold circuits are used. It is possible to detect the high level value of the above and calculate the average value thereof, and it is possible to minimize the influence thereof even if noise is superimposed on the circuit wiring. Therefore, more reliable circuit wiring inspection can be realized.
【００６２】（第４の実施の形態例）以上のコンピュー
タ２７による制御は、図７の例に限定されるものではな
く、上述した第２の実施の形態例の図５に示す構成にも
同様に適用できる。図５に示す構成に第３の実施の形態
例と同様にコンピュータ２７で高レベル値、低レベル値
を検出可能に構成した検査装置の構成を図８を参照して
以下に説明する。図８は本発明に係る第４の実施の形態
例の検査装置の構成を説明するための図である。(Fourth Embodiment) The control by the computer 27 described above is not limited to the example shown in FIG. 7, and is similar to the configuration shown in FIG. 5 of the second embodiment described above. Applicable to The configuration of the inspection apparatus in which the computer 27 can detect the high level value and the low level value in the configuration shown in FIG. 5 as in the third embodiment will be described below with reference to FIG. FIG. 8 is a diagram for explaining the configuration of the inspection device according to the fourth embodiment of the present invention.
【００６３】第４の実施の形態例においては、各センサ
２２ａ〜ｅよりの検出アナログ信号を夫々のアンプ２３
ａ〜ｅで増幅してＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに送り、ここ
で例えばまず各Ａ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに、あるいは所
望のＡ/Ｄ変換器のみに動作許可信号を出力し、Ａ/Ｄ変
換器を付勢する。これにより以降動作許可信号が供給さ
れたＡ/Ｄ変換器は入力アナログ信号を対応するデジタ
ル信号に変換して保持可能となる。In the fourth embodiment, the analog signals detected by the sensors 22a to 22e are supplied to the respective amplifiers 23.
a-e is amplified and sent to the A / D converters 26a-e, where, for example, the operation permission signal is first output to each of the A / D converters 26a-e or only to the desired A / D converter, Energize the A / D converter. As a result, the A / D converter to which the operation permission signal is supplied thereafter can convert the input analog signal into the corresponding digital signal and hold it.
【００６４】Ａ/Ｄ変換器２６の動作が安定する時間、
例えば３０μｓの時間経過後プローブ２１ａ〜ｅに検査
用電圧を印加する前に対応する配線パターンよりの検出
結果をＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅでＡ/Ｄ変換して保持す
る。なお、第３の実施の形態例と同様にＡ/Ｄ変換器２
６ａ〜ｅに所定回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５
回）Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々のセンサ２２ａ〜ｅより
のアナログ電圧出力値（ローレベル値）に対応するデジ
タル値を保持させる。The time during which the operation of the A / D converter 26 is stable,
For example, after a lapse of 30 μs, before the inspection voltage is applied to the probes 21a to e, the detection result from the corresponding wiring pattern is A / D converted by the A / D converters 26a to 26e and held. The A / D converter 2 is used as in the third embodiment.
6a to e a predetermined number of times, for example, several times at 2 μs intervals (for example, 5
Times) A / D conversion is performed, and a digital value corresponding to an analog voltage output value (low level value) from each of the sensors 22a to 22e is held.
【００６５】この検査用電圧を印加する前のＡ/Ｄ変換
処理が終了後にプローブ２１ａ〜ｅに検査用電圧を印加
する。検査用電圧が回路配線に印加されると、所定の遅
延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより検査用電圧信
号が検出される。After the A / D conversion process before applying the inspection voltage is completed, the inspection voltage is applied to the probes 21a to 21e. When the inspection voltage is applied to the circuit wiring, the inspection voltage signal is detected by, for example, the sensors 22a to 22e after a predetermined delay time has elapsed.
【００６６】このため、センサ２２ａ〜ｅよりの検出信
号が安定する時間経過後にＡ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅに所
定回、例えば数回Ａ/Ｄ変換を行わせ、夫々の回路配線
毎の検査用信号検出結果に対応した変換デジタル値を保
持させる。Therefore, the A / D converters 26a to 26e are caused to perform A / D conversion a predetermined number of times, for example, several times after a lapse of time when the detection signals from the sensors 22a to e are stabilized, and the inspection of each circuit wiring is performed. The converted digital value corresponding to the use signal detection result is held.
【００６７】その後、センサ２２ａ〜ｅ検出信号のＡ/
Ｄ変換器２６ａ〜ｅでのデジタル信号への変換及び変換
値の記憶が終了すると、Ａ/Ｄ変換器２６ａ〜ｅから配
線パターンごとの変換デジタル値を読み出して電圧印加
前のセンサ検出値と電圧印加後のセンサ検出値との差を
抽出し、印加電圧がセンサ部で検出されたか否かを判断
する。なお、検出結果の歳出方法は上述した第３の実施
の形態例と同様の方法を採用できることは勿論である。After that, A / A of the detection signals of the sensors 22a to e
When the conversion into digital signals and the storage of the converted values in the D converters 26a to 26e are completed, the converted digital values for each wiring pattern are read from the A / D converters 26a to 26e, and the sensor detection value and the voltage before voltage application The difference from the sensor detection value after application is extracted, and it is determined whether the applied voltage is detected by the sensor unit. It is needless to say that the same method as that of the third embodiment described above can be used as the method of spending the detection result.
【００６８】以上説明したように第４の実施の形態例に
よれば、Ａ/Ｄ変換機２６ａ〜ｅよりの読み出し制御を
より容易化させることができ、単にＡ/Ｄ変換器２６ａ
〜ｅより順番に読み出すのみで各回路配線毎のセンサ２
２ａ〜ｅごとの検出結果を取り出すことができる。As described above, according to the fourth embodiment, the read control from the A / D converters 26a to 26e can be facilitated, and the A / D converter 26a can be simply controlled.
Sensors for each circuit wiring only by sequentially reading from ~ e
The detection result for each of 2a to 2e can be taken out.
【００６９】（第５の実施の形態例）以上の説明は、複
数の回路配線を同時に検査する場合を例として説明した
が、第３及び第４の実施の形態例における検査信号未印
加時のセンサ出力値と検査信号印加時のセンサ出力値の
決定制御は、ノイズ成分の影響を低減することが可能で
あり、信頼性の高い検査結果が得られる。このセンサ出
力値の決定制御は図１乃至図５あるいは図７及び図８に
示す検査装置に適用した場合に限定されるものではな
く、センサが回路配線と電気的に接続されている場合の
ほか、センサと回路配線を静電結合させた非接触に構成
した場合にも適用でき、あるいは複数の回路配線と静電
結合されているセンサよりの出力値の決定制御にそのま
ま適用することができ、この場合にもノイズの影響を低
減し、信頼性の高い検査結果を得ることができる。(Fifth Embodiment) In the above description, the case of simultaneously inspecting a plurality of circuit wirings has been described as an example. However, when the inspection signal is not applied in the third and fourth embodiments. The determination control of the sensor output value and the sensor output value when the inspection signal is applied can reduce the influence of the noise component, and a highly reliable inspection result can be obtained. The determination control of the sensor output value is not limited to the case of being applied to the inspection device shown in FIGS. 1 to 5 or FIGS. 7 and 8, and other than the case where the sensor is electrically connected to the circuit wiring. , Can be applied to the case where the sensor and the circuit wiring are electrostatically coupled in a non-contact manner, or can be directly applied to the determination control of the output value from the sensor which is electrostatically coupled to a plurality of circuit wirings. Also in this case, the influence of noise can be reduced, and highly reliable inspection results can be obtained.
【００７０】この場合には、検査信号として例えばパル
ス信号を用いればよい。センサと回路配線とを非接触の
静電結合で構成した本発明にかかる第５の実施の形態例
を以下図９も参照して説明する。図９は第５の実施の形
態例のセンサ２２ａ〜ｅ検出制御を説明するためのタイ
ミングチャートである。なお、他の検査装置の構成は上
述した実施の形態例の構成を適用できる。以下は上述し
た実施の形態例と異なる部分を説明する。In this case, for example, a pulse signal may be used as the inspection signal. A fifth embodiment of the present invention in which the sensor and the circuit wiring are configured by non-contact electrostatic coupling will be described below with reference to FIG. 9 as well. FIG. 9 is a timing chart for explaining the detection control of the sensors 22a to 22e according to the fifth embodiment. Note that the configurations of the above-described embodiments can be applied to the configurations of other inspection devices. The parts different from the above-described embodiment will be described below.
【００７１】第５の実施の形態例においても、コンピュ
ータ２７に検査制御プログラムを格納し、該プログラム
を実行させ、第７図の構成であれば回路配線毎にセレク
タ２５を切り換えて、Ａ/Ｄ変換器２６に各回路配線毎
の変換結果を時系列に記録させ、すべての回路配線に対
する制御が終了した後に以下に示す読み出し制御を行
う。Also in the fifth embodiment, the inspection control program is stored in the computer 27, the program is executed, and in the case of the configuration shown in FIG. 7, the selector 25 is switched for each circuit wiring and the A / D The converter 26 is caused to record the conversion results for each circuit wiring in time series, and after the control for all the circuit wirings is completed, the following read control is performed.
【００７２】まず図９の（Ａ）に示すＡ/Ｄ変換器２６
の動作許可信号を出力し、Ａ/Ｄ変換器２６を付勢して
動作可能状態に制御する。これにより以降変換指示信号
が入力されるごとにそのときの入力アナログ信号を対応
するデジタル信号に変換して保持可能となる。First, the A / D converter 26 shown in FIG.
The operation permission signal of is output, and the A / D converter 26 is energized to control the operation ready state. As a result, every time a conversion instruction signal is input thereafter, the input analog signal at that time can be converted into a corresponding digital signal and held.
【００７３】Ａ/Ｄ変換器２６の動作許可信号出力後Ａ/
Ｄ変換器２６の動作が安定し、且つセンサ検出信号の、
レベルも安定している時間（例えば３０μｓの時間）経
過後（ＬＯＷ時間範囲経過後）Ａ/Ｄ変換器２６に所定
回、例えば２μｓ間隔で数回（例えば５回）Ａ/Ｄ変換
を行わせ、夫々の変換デジタル値を保持させる。このＬ
ＯＷ時間は例えば複数の基準回路配線よりの検査結果を
調べ、検査結果を勘案して決めればよい。After the operation permission signal of the A / D converter 26 is output, A /
The operation of the D converter 26 is stable, and the sensor detection signal
After the time when the level is stable (for example, 30 μs) has elapsed (after the LOW time range has elapsed), the A / D converter 26 is caused to perform A / D conversion a predetermined number of times, for example, several times at intervals of 2 μs (for example, 5 times). , Hold each converted digital value. This L
The OW time may be determined, for example, by examining the inspection results from a plurality of reference circuit wirings and considering the inspection results.
【００７４】センサ２２ａ〜ｅよりの検出アナログ信号
は（Ｃ）に示す波形となり、図９においてはＡ/Ｄ変換
タイミング（アベレージング範囲）を楕円で示してい
る。The detected analog signals from the sensors 22a to 22e have the waveforms shown in (C), and the A / D conversion timing (averaging range) is shown by an ellipse in FIG.
【００７５】このＡ/Ｄ変換処理が終了後（Ｂ）に示す
タイミングでプローブ２１ａ〜ｅに検査用パルス信号を
印加する。検査用パルス信号が回路配線に印加される
と、所定の遅延時間経過後例えばセンサ２２ａ〜ｅより
（Ｃ）に示す波形が検出される。After completion of the A / D conversion process, the inspection pulse signal is applied to the probes 21a to 21e at the timing shown in FIG. When the inspection pulse signal is applied to the circuit wiring, the waveforms shown in (C) are detected by the sensors 22a to 22e after a predetermined delay time has elapsed.
【００７６】このため、検査用パル視信号印加後のセン
サ２２ａ〜ｅよりの検出信号波形の変化率のの安定する
時間（例えば１００μｓの時間）経過後（Ｈｉｇｈ時間
範囲経過後）Ａ/Ｄ変換器２６に所定回、例えば数回Ａ/
Ｄ変換を行わせ、夫々の変換デジタル値を保持させる。
アベレージング範囲は同じく楕円で示している。For this reason, A / D conversion is performed after a lapse of a stable time (for example, 100 μs) of the rate of change of the detection signal waveform from the sensors 22a to e after application of the inspection pulse signal (after a lapse of the High time range). To the container 26 a predetermined number of times, for example, several times
D conversion is performed and each converted digital value is held.
The averaging range is also indicated by an ellipse.
【００７７】このＨｉｇｈ時間範囲は、例えば複数の基
準回路配線よりの検査結果を調べ、センサ出力の変化率
が少ない時間帯を検査し、検査信号の検出波形値が一定
以上のレベルを保持していながら変化率の少ない時間帯
を求めて決めればよい。In this High time range, for example, the inspection result from a plurality of reference circuit wirings is checked, the time zone in which the change rate of the sensor output is small is inspected, and the detected waveform value of the inspection signal is kept at a certain level or higher. However, it may be determined by obtaining a time period in which the rate of change is small.
【００７８】なお、このＬＯＷ時間範囲、あるいはＨｉ
ｇｈ時間範囲は以上のように固定的に決めるのではな
く、検査ごとに操作者が変更できるものであってもよ
い。この場合には基準回路配線に対する検査を行って良
否を決定する閾値を決定することが望ましい。Note that this LOW time range or Hi
The gh time range is not fixedly determined as described above, but may be changed by the operator for each examination. In this case, it is desirable to inspect the reference circuit wiring to determine the threshold value for determining the quality.
【００７９】以上説明したように回路配線に非接触のセ
ンサよりの検出結果に上記検査結果決定処理を適用する
ことにより、より信頼性の高い検査結果が得られる。As described above, by applying the above inspection result determination processing to the detection result from the sensor which is not in contact with the circuit wiring, a more reliable inspection result can be obtained.
【００８０】（他の実施の形態例）以上の説明は、セン
サを各回路配線端部ごとに配置した例について説明した
が、第３及び第４の実施の形態例の低レベル値及び高レ
ベル値の算出制御は、独立して他の検査装置に用いて
も、ノイズなどの影響を抑え、信頼性の高い検査結果が
得られる。(Other Embodiments) In the above description, the sensor is arranged at each end of each circuit wiring, but the low level value and the high level of the third and fourth embodiments are described. Even if the value calculation control is independently used for another inspection apparatus, the influence of noise or the like is suppressed and a highly reliable inspection result can be obtained.
【００８１】従って、例えば図６に示すような構成の検
査装置のセンサ出力に対して第３及び第４の実施の形態
例の低レベル値及び高レベル値の算出制御を行ってセン
サ検出値を決定することにより、信頼性の高い検査結果
を得ることができる。このように、所定量の変換値をＡ
/Ｄ変換器に保持させておき、回路配線への検査電圧の
印加制御が終了してから一括して変換結果を読み出すこ
とができ、コンピュータの処理に余裕のある時に検査結
果を算出することができるため、コンピュータの性能も
低く抑えることができ廉価な検査装置が提供できる。Therefore, for example, the sensor output of the inspection device having the configuration shown in FIG. 6 is controlled to calculate the low level value and the high level value of the third and fourth embodiments, and the sensor detection value is obtained. By making a decision, a highly reliable test result can be obtained. In this way, the converted value of the predetermined amount is A
The conversion result can be read in a batch after the control of the application of the inspection voltage to the circuit wiring is completed, and the inspection result can be calculated when the computer processing has a margin. Therefore, the performance of the computer can be suppressed to a low level and an inexpensive inspection device can be provided.
【００８２】[0082]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、あ
らゆる回路配線に対して信頼性が高く、且つ高速検査可
能な検査装置及び検査方法を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide an inspection apparatus and an inspection method which are highly reliable and can inspect at high speed for all circuit wirings.
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の概
略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る検査の対象と
なる回路基板の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a circuit board to be inspected according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置のコ
ンピュータの概略ハードウェア構成を示したブロック図
である。FIG. 3 is a block diagram showing a schematic hardware configuration of a computer of the inspection device according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置によ
り枝分かれを有する回路配線の検査を行う様子を示す図
である。FIG. 4 is a diagram showing how the inspection device according to the first embodiment of the present invention inspects a circuit wiring having a branch.
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る検査装置の概
略構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】従来の検査装置の概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional inspection device.
【図７】本発明に係る第３実施の形態例の検査装置の構
成を説明するためのブロック図である。FIG. 7 is a block diagram for explaining the configuration of an inspection device according to a third embodiment of the present invention.
【図８】本発明に係る第４の実施の形態例の検査装置の
構成を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the configuration of an inspection device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図９】本発明に係る第５の実施の形態例のセンサ検出
制御を説明するためのタイミングチャートである。FIG. 9 is a timing chart for explaining sensor detection control according to a fifth embodiment of the present invention.
Claims (16)
能な供給手段と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給手段
により供給された前記検査信号を検出可能な検出手段
と、 前記検出手段による検出検査信号より検査結果を決定す
る検査結果決定手段と、 を有し、 前記検査結果決定手段は前記検出手段で検出される前記
検査信号の最大値を抽出する最大値抽出手段を含み、前
記最大値抽出手段で抽出した最大値を検査結果とし、 前記他方端部が複数存在する場合には、 前記他方端部のそれぞれに対して前記検出手段及び前記
最大値抽出手段を設けることを特徴とする検査装置。1. An inspection device for inspecting circuit wiring, comprising: a supply means capable of supplying an inspection signal from the vicinity of one end of the inspection target circuit wiring; and a supply means from the vicinity of the other end of the inspection target circuit wiring. And a test result determining unit that determines a test result from the test signal detected by the detecting unit. The test result determining unit detects the test result by the detecting unit. Including a maximum value extraction means for extracting the maximum value of the inspection signal, the maximum value extracted by the maximum value extraction means as the inspection result, if there are a plurality of the other end, each of the other end An inspection apparatus comprising: the detection means and the maximum value extraction means.
で前記検査信号を検出可能であることを特徴とする請求
項１に記載の検査装置。2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the detection means can detect the inspection signal without contacting with the vicinity of the other end portion.
に検出した検査信号を増幅させる増幅手段を有し、 前記増幅手段は前記検出手段のそれぞれに対して設けら
れることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検
査装置。3. An amplifying means for amplifying the detected inspection signal is provided between the detecting means and the maximum value extracting means, and the amplifying means is provided for each of the detecting means. The inspection apparatus according to claim 1 or 2.
であり、前記供給手段により供給される検査信号を読み
出しまで抽出したピーク値を保持することを特徴とする
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の検査装置。4. The maximum value extraction means is a peak hold circuit, and holds the peak value obtained by extracting the inspection signal supplied by the supply means until reading. Inspection device described in.
電気信号を同時に入力し、該電気信号から、前記回路配
線を検査する検査手段を更に有することを特徴とする請
求項１乃至請求項４のいずれかに記載の検査装置。5. The method according to claim 1, further comprising an inspection unit that inputs the electric signals output from the plurality of maximum value extraction units at the same time and inspects the circuit wiring from the electric signals. The inspection apparatus according to any one of 4 above.
する場合、前記供給手段は複数の前記一方端部に同時に
検査信号を印加可能であり、前記検出手段は複数の前記
他方端部のそれぞれから検査信号を同時に検出可能であ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに
記載の検査装置。6. When a plurality of said one end portion and said other end portion are present, said supply means can simultaneously apply an inspection signal to a plurality of said one end portions, and said detection means is a plurality of said other end portions. The inspection device according to any one of claims 1 to 5, wherein inspection signals can be simultaneously detected from each of the above.
であって、 検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給する
供給工程と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給される検査信号を検出する検出工程と、 前記検出工程で検出された前記検査信号の最大値を抽出
して検査結果とする検査結果決定工程と、 を有し、 前記他方端部が複数存在する場合には前記他方端部のそ
れぞれに対して前記検出工程及び前記検査結果決定工程
を同時に行うことを特徴とする検査方法。7. An inspection method for inspecting circuit wiring on a circuit board, comprising a step of supplying an inspection signal near one end of the circuit wiring to be inspected, and a step of near the other end of the circuit wiring to be inspected. A detection step of detecting the inspection signal supplied in the supply step, and an inspection result determination step of extracting the maximum value of the inspection signal detected in the detection step as an inspection result, and the other end When there are a plurality of parts, the detecting method and the inspection result determining step are simultaneously performed for each of the other end portions.
号として供給可能な供給手段と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記検査信号
を検出可能な検出手段と、 前記検査信号供給前の前記検出手段検出結果と、前記検
査信号供給後の前記検出手段検出結果を比較し、比較結
果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較して検査対
象回路配線の良否を判断する判断手段とを有することを
特徴とする検査装置。8. An inspection device for inspecting circuit wiring, comprising: a supply means capable of supplying a pulse signal as an inspection signal to one end portion of the inspection target circuit wiring; and a portion near the other end portion of the inspection target circuit wiring. The detection means capable of detecting the inspection signal, the detection means detection result before the inspection signal is supplied, and the detection means detection result after the inspection signal is supplied are compared, and the comparison result is detected in the case of normal circuit wiring. An inspection apparatus comprising: a determination unit that determines whether the inspection target circuit wiring is good or bad by comparing with the result.
回収集させて収集信号の平均を検出結果とする検査結果
決定手段を備え、前記判断手段は、前記検査結果決定手段
による検出結果を前記検出手段検出結果として処理する
ことを特徴とする請求項８記載の検査装置。9. The apparatus further comprises inspection result determining means for collecting the inspection signals from the detecting means a plurality of times and averaging the collected signals as a detection result, and the judging means determines the detection result by the inspection result determining means. 9. The inspection device according to claim 8, wherein the inspection device is processed as a detection result.
な供給手段と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記検査信号
を検出可能な検出手段と、 前記検出手段よりの検査信号を複数回収集させて収集信
号の平均を検出結果とする検査結果決定手段とを有する
ことを特徴とする検査装置。10. An inspection device for inspecting a circuit wiring, comprising: a supply means capable of supplying an inspection signal near one end portion of the inspection target circuit wiring; and the inspection signal from near the other end portion of the inspection target circuit wiring. An inspection apparatus comprising: a detection unit capable of detecting the inspection signal; and an inspection result determination unit that collects the inspection signals from the detection unit a plurality of times and uses the average of the collected signals as a detection result.
検出する複数の検査信号の最大値と最小値を除去し残余
の検出結果の平均値を求め検出結果とすることを特徴と
する請求項９又は請求項１０に記載の検査装置。11. The inspection result determining means removes the maximum value and the minimum value of a plurality of inspection signals detected by the detecting means and obtains the average value of the remaining detection results as the detection result. The inspection device according to claim 9 or 10.
の検出結果を対応するデジタル信号に変換するＡ/Ｄ変
換部を含み、前記Ａ/Ｄ変換部で変換したデジタル値の
平均を検出結果とするものであり、 前記Ａ/Ｄ変換部は前記検出手段よりの前記検査信号の
検出処理時におけるＡ/Ｄ変換した前記検出手段の検出
値を複数保持可能であり、検出処理終了後に保持してい
る変換結果を出力することを特徴とする請求項９乃至請
求項１１のいずれかに記載の検査装置。12. The inspection result determining means includes an A / D conversion section for converting the detection result of the detection means into a corresponding digital signal, and the average of the digital values converted by the A / D conversion section is the detection result. The A / D conversion unit can hold a plurality of detection values of the detection means that have been A / D converted during the detection processing of the inspection signal by the detection means, and hold the detection values after the detection processing ends. The inspection device according to any one of claims 9 to 11, wherein the inspection result is output.
査方法であって、 検査対象回路配線の一方端部近傍にパルス信号を検査信
号として供給する供給工程と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、 前記検査信号供給前の前記検出工程での検出結果と、前
記検査信号供給後の前記検出工程での検出結果を比較
し、比較結果を正常な回路配線の場合の検出結果と比較
して検査対象回路配線の良否を判断する検査結果決定工
程とを有することを特徴とする検査方法。13. An inspection method in an inspection device for inspecting circuit wiring, comprising a step of supplying a pulse signal as an inspection signal near one end of the inspection target circuit wiring, and the other end of the inspection target circuit wiring. A detection step of detecting the inspection signal supplied in the supply step from the vicinity, a detection result in the detection step before the inspection signal supply, and a comparison of the detection result in the detection step after the inspection signal supply, And an inspection result determining step of comparing the comparison result with the detection result in the case of normal circuit wiring to judge pass / fail of the inspection target circuit wiring.
程により検査信号の検出を複数回の行わせ、複数回の検
出結果の平均を検出結果とすることを特徴とする請求項
１３記載の検査方法。14. The inspection according to claim 13, wherein in the inspection result determining step, the inspection signal is detected a plurality of times in the detecting step, and an average of the plurality of detection results is used as a detection result. Method.
査方法であって、 検査対象回路配線の一方端部近傍に検査信号を供給する
供給工程と、 前記検査対象回路配線の他方端部近傍から前記供給工程
で供給された検査信号を検出する検出工程と、 前記検出工程により検査信号の検出を複数回の行わせ、
複数回の検出結果の平均を検出結果とする検査結果決定
工程とを有することを特徴とする検査方法。15. An inspection method in an inspection device for inspecting circuit wiring, comprising a step of supplying an inspection signal to the vicinity of one end portion of the inspection target circuit wiring, and A detection step of detecting the inspection signal supplied in the supply step, and detection of the inspection signal by the detection step is performed a plurality of times,
An inspection result determining step of using an average of a plurality of detection results as a detection result.
検出する複数の検査信号の最大値と最小値を除去し残余
の検出結果の平均値を求め検出結果とすることを特徴と
する請求項１４又は請求項１５に記載の検査方法。16. The inspection result determining step removes the maximum value and the minimum value of a plurality of inspection signals detected in the detecting step, and obtains an average value of the remaining detection results as a detection result. The inspection method according to claim 14 or claim 15.
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