JP2004085584A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板検査装置Xが、導体パターン5の個々の検査対象電極に対して接続されたコンタクトプローブ3と、被検査IC6のリード7群に近接して対置された多電極プローブ8と、多電極プローブ8により検出した電磁界のレベル差を波形処理回路10を介して評価し、被検査IC6の各リード7に対する多電極プローブ8の位置関係を把握し、かつ、その足浮きの有無と当該導体パターン5の良否を1対多の接続関係とともに判別する測定手段12とを具備したものとされる。
【選択図】 図1
Description
更に、複数の検出プローブで一つの検査信号検出部位よりの検査信号を検出することにより、より信頼性の高い検査が可能となる。
(実施例1)
2 コンタクトプローブ駆動制御リレー
3 コンタクトプローブ
4 基板
5 導体パターン
6 被検査IC
7 被検査ICのリード(足)
8 多電極プローブ
9 多電極プローブ駆動制御リレー
10 波形処理回路
110 フィルタ
111 アンプ
11 A/Dコンバータ
12 パーソナルコンピュータ(測定手段)
X 基板検査装置
Claims (9)
- 検査信号供給部位と検査信号検出部位との間において少なくとも2つに分岐する分岐配線を含む検査対象配線に交流検査信号を供給して検査対象配線の導通状態を検査可能な検査装置であって、
前記検査対象配線の検査信号供給部位に前記交流検査信号を供給可能な供給プローブと、
前記供給プローブに前記検査信号を印加する信号供給手段と、
前記検査対象配線の検査信号検出部位近傍に位置決めされ、前記検査信号検出部位と非接触で電気的に結合される検出プローブと、
前記検出プローブの検出結果により配線の導通状態を判別する判別手段とを備え、
前記分岐配線の分岐した検査信号検出部位毎にそれぞれ異なる検出プローブが電気的に結合された状態に配置されることを特徴とする検査装置。 - 前記検出プローブは、前記交流検査信号の供給されている検査対象配線より発生した電磁界を捕捉する電極プローブで構成されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記電極プローブは、列状に構成されており、前記検査信号検出部位よりの交流検査信号を複数の電極プローブで検出することを特徴とする請求項2記載の検査装置。
- 前記電極プローブは、一つの検査信号検出部位よりの交流検査信号を3乃至5本の電極プローブで検出することを特徴とする請求項3記載の検査装置。
- 前記電極プローブからは捕捉した電磁界の強度に応じた電圧が検出され、前記判別手段は、前記電極プローブから検出される電圧レベル差より前記交流検査信号を供給された配線を特定することを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の検査装置。
- 前記判別手段は、各検査信号検出部位毎に交流検査信号を検出する前記電極プローブを設定し、設定した前記電極プローブにおいて前記交流検査信号が検出されたか否かで配線の導通状態を判別することを特徴とする請求項3乃至請求項5のいずれかに記載の検査装置。
- 検査信号供給部位と検査信号検出部位との間において少なくとも2つに分岐する分岐配線を含む検査対象配線に交流検査信号を供給して検査対象配線の導通状態を検査可能な検査装置における検査方法であって、
前記検査対象配線の検査信号供給部位に前記交流検査信号を供給可能な供給プローブを位置決めし、前記供給プローブに前記検査信号を印加すると共に、
前記検査対象配線の分岐配線の分岐した検査信号検出部を含む各検査信号検出部位近傍にそれぞれ異なる検出プローブを前記検査信号検出部位と非接触で電気的に結合されるように位置決めし、
前記検出プローブによる前記交流検査信号の検出結果により配線の導通状態を判別することを特徴とする検査方法。 - 前記検出プローブは、前記交流検査信号の供給されている検査対象配線より発生した電磁界を捕捉する列状電極プローブで構成されており、前記検査信号検出部位よりの交流検査信号を複数の電極プローブで検出することを特徴とする請求項7記載の検査方法。
- 各検査信号検出部位毎に交流検査信号を検出する前記電極プローブを設定し、設定した前記電極プローブにおいて前記交流検査信号が検出されたか否かで配線の導通状態を判別することを特徴とする請求項8記載の検査方法。
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JP2003409040A JP2004085584A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 検査装置及び検査方法 |
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JP2003409040A Pending JP2004085584A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 検査装置及び検査方法 |
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2003
- 2003-12-08 JP JP2003409040A patent/JP2004085584A/ja active Pending
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