JP2003057840A - 光重合性樹脂組成物の製造方法 - Google Patents
光重合性樹脂組成物の製造方法Info
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Abstract
なアルカリ現像型プリント回路板作製用光重合性樹脂組
成物の製造方法を提供する。 【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で1
00〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜5
0万であるバインダ−用樹脂、(b)光重合可能な不飽
和化合物、(c)光重合開始剤、(d)塩基性染料を含
み、これらの成分を混合溶媒で均一に溶解した調合液で
あって、前記混合溶媒はアルコール成分とそれ以外の成
分との混合物であり、該アルコール成分の比率が2〜5
0wt%であり、かつ前記調合液中の組成物の濃度が3
0〜80wt%であり、かつその調合液の粘度が25℃
で500〜4000mPa・secである調合液を用い
て光重合性樹脂組成物を製造する。
Description
に用いるアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物の製造
方法に関する。
物の製造方法はバインダー用樹脂、光重合可能な不飽和
化合物、光重合開始剤、染料等を含む成分を、メチルエ
チルケトンに代表されるケトン類、酢酸エチルに代表さ
れるエステル類、テトラヒドロフランに代表されるエー
テル類等を主成分とする溶媒で均一に攪拌溶解すること
が一般的である。また、得られた調合液を、支持層であ
るポリエステルフィルム等上にダイコーター等を用いて
均一に塗布し、乾燥工程で溶媒を乾燥させて光重合性樹
脂組成物積層体を得ることもできる。さらに保護層とし
てポリエチレンフィルム等でラミネートして3層構造の
光重合性樹脂組成物積層体を得ることもできる。これら
の積層体を、一般にはドライフィルムフォトレジスト
(以下DFRと略す)と呼ぶ。
代表されるケトン類等を、溶媒の主成分として用いる従
来の製造方法では、バインダー用樹脂と光重合可能な不
飽和化合物の溶解性及び染料等の添加剤の溶解性が不充
分であり、調合液を濾過する際にフィルターが詰まるこ
とがしばしばあった。そこで本発明は、特に溶解性が良
好で生産性が向上し、有用なプリント回路板作製用の光
重合性樹脂組成物の製造方法を提供することを目的とす
る。
鋭意検討を重ねた結果、上記の調合液を作製する際に、
アルコール成分を含む混合溶媒を用いて、光重合性樹脂
組成物を作製すると、染料等の添加剤成分の溶解性が向
上し、かつ生産性が向上することを見いだし、本発明を
完成するに至った。すなわち、本発明は以下のものを提
供する。
あって、該組成物は(a)カルボキシル基含有量が酸当
量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2
万〜50万であるバインダー用樹脂、(b)光重合可能
な不飽和化合物、(c)光重合開始剤、(d)塩基性染
料を含み、これらの成分を混合溶媒で均一に溶解した調
合液から製造され、前記混合溶媒はアルコール成分とそ
れ以外の成分との混合物であり、該アルコール成分の比
率が2〜50wt%であり、かつ前記調合液中の組成物
の濃度が30〜80wt%であり、かつその調合液の粘
度が25℃で500〜4000mPa・secである調
合液を用いることを特徴とする光重合性樹脂組成物の製
造方法。
外の成分が、(i)メチルエチルケトンに代表されるケ
トン類、(ii)酢酸エチルに代表されるエステル類、
(iii)テトラヒドロフランに代表されるエーテル類
の群から選ばれる1種類以上であることを特徴とする、
(1)記載の光重合性樹脂組成物の製造方法。
として、炭素数3以下であるアルコールが用いられてい
ることを特徴とする(1)記載の光重合性樹脂組成物の
製造方法。
記一般式(I)及び/または(II)で表される化合物
を用いることを特徴とする(1)記載の光重合性樹脂組
成物の製造方法。
C2H5を表す)
C2H5を表す)
乾燥することでDFRを製造する方法も提供する。
成物層の表面に保護層を積層して、3層構造としたDF
Rを製造する方法も提供する。
明する。本発明に用いられるアルコールとしては炭素数
が3以下のものが好ましく、メタノール、エタノール、
イソプロピルアルコール等がある。溶解性、沸点、取り
扱い上の安全性等を考慮すると、上記アルコールの中で
も特にエタノールが好ましく、エタノールはメタノール
等で変性してあるものでも良い。極性溶媒であるアルコ
ールと、メチルエチルケトンに代表されるケトン類等と
の混合溶媒を用いた調合液は、メチルエチルケトンに代
表されるケトン類等のみを用いた調合液と比較すると、
染料等の溶解性が向上する。
ると調合液の粘度を下げることが可能となり、塗工時最
低限必要な所定の粘度に合わせると、調合液中の組成物
の濃度を、メチルエチルケトンに代表されるケトン類等
のみを溶媒とした調合液を用いた場合と比較すると、高
くすることが可能となる。この調合液を用いて塗工、乾
燥し成膜する。アルコールとの混合溶媒を用いることに
より、乾燥工程での溶媒を除去する能力が向上するた
め、塗工速度が上がり生産性を向上させることが可能と
なる。
とにより溶解性が向上し、調合液の濾過時のフィルター
(目開き3〜20μm)詰まりも低減することが可能と
なる。
は懸濁重合によって得られるが、溶液重合によって得ら
れるバインダー用樹脂は溶媒としてアルコールを含んで
いても良い。その場合の溶媒は、調合液の溶媒としても
作用するので、調合液中の組成物の濃度や粘度を求める
ときには、溶媒として計算に加えるものとする。
混合溶媒中のアルコール比率は、溶解性の観点から2w
t%以上であることが必要であり、レジストとしての感
度の観点から50wt%以下であることが必要である。
好ましいアルコール比率は2〜25wt%であり、さら
に好ましくは2〜10wt%である。
媒に溶解した調合液中の組成物の濃度は、30〜80w
t%である必要がある。塗工速度向上の効果を得るため
には、乾燥・蒸発させる溶媒の量をコントロールする必
要があり、その観点から調合液中の組成物の濃度は30
wt%以上であることが必要である。また、調合液の均
一性の観点から、調合液中の組成物の濃度は80wt%
以下であることが必要である。より好ましい調合液中の
組成物の濃度は、40〜60wt%である。
4000mPa・secである必要がある。塗工時の塗
工性(調合液と支持層との親和性)の観点から、調合液
の25℃での粘度は500mPa・sec以上であるこ
とが必要である。また、調合液の均一性の観点から、4
000mPa・sec以下であることが必要である。よ
り好ましい範囲は、1000〜3000mPa・sec
である。
バインダー用樹脂(a)の量は20〜90wt%の範囲
であり、好ましくは30〜70wt%である。バインダ
ー用樹脂(a)の量が20wt%未満または90wt%
を超えると、露光によって形成される硬化画像が充分に
レジストとしての特性、例えばテンティング、エッチン
グ、各種めっき工程において充分な耐性を有しない。本
発明に用いられるバインダー用樹脂は、下記の二種類の
単量体の中より各々一種またはそれ以上の単量体を共重
合させることにより得られる。第一の単量体は分子中に
重合性不飽和基を一個有するカルボン酸または酸無水物
である。例えば(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮
酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレ
イン酸半エステル等である。第二の単量体は非酸性で、
分子中に重合性不飽和基を一個有し、光重合性樹脂組成
物層の現像性、エッチング及びめっき工程での耐性、硬
化膜の可とう性等の種々の特性を保持するように選ばれ
る。例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−
エチルヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メ
タ)アクリレート類がある。また、フェニル基を有する
ビニル化合物(例えばスチレン)も用いることができ
る。
キシル基の量は酸当量で100〜600である必要があ
り、好ましくは300〜400である。ここで酸当量と
はその中に1当量のカルボキシル基を有するポリマーの
重量を言う。なお、酸当量の測定は電位差滴定法により
行われる。バインダー用樹脂中のカルボキシル基はDF
Rにアルカリ水溶液に対する現像性や剥離性を与えるた
めに必要である。現像耐性、解像性、密着性の観点から
酸当量は100以上であることが必要であり、現像性や
剥離性の観点から600以下であることが必要である。
2万〜50万である必要がある。50万を超えると現像
性が低下し、2万未満ではテンティング膜強度、エッジ
フューズ性が悪化する。より好ましくは3万〜30万で
ある。分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィ
ー(GPC)により重量平均分子量(ポリスチレン換
算)として求められる。
光重合可能な不飽和化合物(b)の量は3〜70wt%
の範囲であり、好ましくは5〜60wt%である。3w
t%未満では感度の点で充分ではなく、70wt%を越
えると保存時の光重合性樹脂組成物層のはみ出しが著し
くなるため好ましくない。本発明で製造される光重合性
樹脂組成物を構成する光重合可能な不飽和化合物(b)
としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリ
レート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)ア
クリレート、またテトラプロピレングリコールジアクリ
レート等のポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリ
レート、ノナエチレングリコールジアクリレート等のポ
リエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリオ
キシエチレンポリオキシプロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート等のポリオキシアルキレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェ
ニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロール
トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパント
リ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチ
ロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシ
エチルトリメチロールプロパントリアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリ
メチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メ
タ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエー
テルジ(メタ)アクリレート及びウレタン基を含有する
多官能(メタ)アクリレート等がある。
タ)アクリレートには例えば平均8モルのプロピレンオ
キサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレ
ンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均3モル付加し
たグリコールのジメタクリレート等がある。
リレートには例えばヘキサメチレンジイソシアネートと
オリゴプロピレングリコールモノメタクリレート(日本
油脂(株)製ブレンマーPP1000)とのウレタン化
物等がある。
(アクリロイルキシ)プロピルフタレート、フェノキシ
ポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキ
シポリエチレングリコールアクリレート等の単官能モノ
マーが挙げられる。
光重合開始剤(c)の量は、0.01〜30wt%であ
り、好ましくは、0.05〜10wt%である。光重合
開始剤が30wt%を超えると光重合性組成物の活性吸
収率が高くなり、光重合性樹脂積層体として用いた場
合、光重合層の底の部分の重合による硬化が不充分にな
る。また、光重合開始剤の量が0.01wt%未満では
充分な感度がでなくなる。本発明で製造される光重合性
樹脂組成物を構成する光重合開始剤(c)としては、各
種の活性光線、例えば紫外線などにより活性化された重
合を開始する公知の化合物が挙げられる。例えば2−エ
チルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキ
ノン等のキノン類、ベンゾフェノンなどの芳香族ケトン
類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテルなどのベンゾインエーテル類、ベンジ
ルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタールなどが
ある。また例えばチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサ
ントン類と、ジメチルアミノ安息香酸アルキルエステル
化合物等の三級アミン化合物との組み合わせもある。ま
た例えば9−フェニルアクリジン等のアクリジン類、1
−フェニル−1、2−プロパンジオン−2−o−ベンゾ
イルオキシム、1−フェニル−1、2−プロパンジオン
−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム等のオキシ
ムエステル類、2,4,5−トリアリ−ルイミダゾール
二量体には例えば2−(o−クロロフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフ
ェニル)−4,5−ビス−(m−メトキシフェニル)イ
ミダゾール二量体、2−(p−メトシキフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等がある。2,
4,5−トリアリールイミダゾール二量体とp−アミノ
フェニルケトンを併用する系は好ましく、p−アミノフ
ェニルケトンとしては例えば、p−アミノベンゾフェノ
ン、p−ブチルアミノフェノン、p−ジメチルアミノア
セトフェノン、p−ジメチルアミノベンゾフェノン、
4,4’−ビス(エチルアミノ)ベンゾフェノン、4,
4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン[ミヒラ
ーズケトン]、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4,4’−ビス(ジブチルアミノ)ベンゾ
フェノンなどが挙げられる。
成物の熱安定性、保存安定性を向上させるために、光重
合性組成物にラジカル重合禁止剤を含有させることは好
ましいことである。このようなラジカル重合禁止剤とし
ては、例えば、p−メトキシフェノール、ハイドロキノ
ン、ピロガロール、ナフチルアミン、tert−ブチル
カテコール、塩化第一銅、2,6−ジ−tert−ブチ
ル−p−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−エ
チル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−
メチレンビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェ
ノール)、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニ
ウム塩、ジフェニルニトロソアミン等が挙げられる。
塩基性染料(d)の量は0.005〜10wt%であ
り、好ましくは0.01〜5wt%である。塩基性染料
が0.005wt%未満では色相が安定せず、10wt
%を超えると充分な感度が出なくなる。本発明に用いら
れる塩基性染料(d)としては、例えば、オーラミン塩
基、カルコキシドグリーンS,パラマジエンタ、クリス
タルバイオレット、メチルバイオレット、メチルオレン
ジ、マリーンブルー、ナイルブルー2B、ベイシックブ
ルー20、ビクトリアブルー(保土ヶ谷化学)、マラカ
イトグリーン(保土ヶ谷化学)、ダイヤモンドグリーン
(保土ヶ谷化学)等が挙げられる。
5であるダイヤモンドグリーンが好ましい。また、一般
式(II)においてはR2がすべてCH3であるマラカイ
トグリーンが好ましい。
発明の光重合性組成物に含有させることもできる。発色
系染料としては、ロイコ染料またはフルオラン染料と、
ハロゲン化合物の組み合わせがある。ロイコ染料として
は、例えば、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチル
フェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレット]、
トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メ
タン[ロイコマラカイトグリーン]等が挙げられる。一
方ハロゲン化合物としては臭化アミル、臭化イソアミ
ル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニル
メチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチ
ルフェニルスルフォン、4臭化炭素、トリス(2,3−
ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセトア
ミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−ト
リクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)エタ
ン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物、等が挙げ
られる。
リス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4
−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジンが挙げられる。
ブロモメチルフェニルスルフォンとロイコ染料との組み
合わせや、トリアジン化合物とロイコ染料との組み合わ
せが有用である。また本発明の光重合性組成物に必要に
応じて可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。そ
のような添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート
等のフタル酸エステル類が挙げられる。
上記光重合性樹脂組成物の成分を含む調合液を支持層上
に塗工する。支持層としては、活性光を透過する透明な
ものが望ましい。活性光を透過する支持層としては、ポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコ
ールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共
重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビ
ニリデン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共
重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロ
ニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリア
ミドフィルム、セルロース誘導体フィルム、等が挙げら
れる。これらのフィルムは必要に応じ延伸されたものも
使用可能である。厚みは薄い方が画像形成性、経済性の
面で有利であるが、強度を維持する必要から10〜30
μmのものが一般的である。
表面に、必要に応じて保護層を積層してもよい。支持層
よりも保護層の方が光重合性樹脂組成物層との密着力が
充分小さく容易に剥離できることがこの保護層としての
重要な特性である。このような保護層としては、例え
ば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等
が挙げられる。
が、プリント回路板作製用には5〜100μm、好まし
くは、5〜50μmであり、光重合性樹脂組成物層が薄
いほど解像力は向上する。また、光重合性樹脂組成物層
が厚いほど膜強度が向上する。DFRを用いたプリント
回路板の作製工程はエッチング法、めっき法等公知の技
術により行われる。
物の成分を調合し、溶解槽において攪拌溶解し、フィル
ターを通して調合液を濾過した。次いで調合液をポンプ
でダイコーターに送液し支持層であるポリエチレンテレ
フタレートフィルム上に均一に塗布し、乾燥ゾーンに送
り溶媒を乾燥させた。その後、保護層であるポリエチレ
ンフィルムでラミネートし、感光層が40μmのDFR
を得た。上記過程において下記に示す方法で溶解性評
価、塗工速度、塗工性評価、感度試験を行った。結果を
表1に示す。
詰まり具合を下記のランクで評価した。詰まりが少ない
場合は溶解性が良好で有ることを示す。なお、フィルタ
ーの目開きは5μmである。 ○ :全く詰まりが無く良好である。 △ :やや詰まりが生じるが濾過可能である。 △×:フィルター詰まりが生じ、1時間以内に濾過が不
可能となる。 × :濾過する際に10分以内に詰まりが生じて濾過が
不可能となる。
て、その比率で速度を示す。1より大であるときは、メ
チルエチルケトンのみの溶媒時に比べて塗工速度が速い
ことを示す。
ル上に塗布する際の塗布された感光層の状態を下記ラン
クで評価した。 ○:未塗工部分がなく均一かつ平滑に塗布されている。 △:一部未塗工部分がある。 ×:未塗工部分が殆どである。
ール(スリーエム社製、商品名スコッチブライト#60
0 2連)研磨した表面に上記工程で得られたDFRの
保護層であるポリエチレンフィルムを剥がしながら光重
合性樹脂組成物層をホットロールラミネーターにより1
05℃でラミネートして積層体を得た。次いでこの積層
体にステップタブレット(ストーファー社製21段ステ
ップタブレット)を通して超高圧水銀ランプ(オーク製
作所、HMW−201KB)により80mJ/cm2で
露光した。その後、支持層であるポリエチレンテレフタ
レートフィルムを剥離した後、積層体に30℃、1wt
%炭酸ナトリウム水溶液を50秒間スプレーした。この
時のステップタブレットの完全に膜が残っている最大段
数を読む。
1と同様の方法により、表1記載の組成の光重合性樹脂
組成物の成分を調合し、DFRを得、溶解性評価、塗工
速度、塗工性評価、感度試験を行った。結果を表1に示
す。
t%、メタクリル酸23wt%、アクリル酸ブチル7w
t%の三元共重合体のメチルエチルケトン溶液(固形分
重量比率30%、重量平均分子量10万、酸当量37
4) P−2:溶液重合で得られるメタクリル酸メチル70w
t%、メタクリル酸23wt%、アクリル酸ブチル7w
t%の三元共重合体のメチルエチルケトンとエタノール
混合溶液(溶媒重量比率:メチルエチルケトン/エタノ
ール=90/10、固形分重量比率40%、重量平均分
子量10万、酸当量374) P−3:懸濁重合で得られるメタクリル酸メチル70w
t%、メタクリル酸23wt%、アクリル酸ブチル7w
t%の三元共重合(固形分重量比率100%、重量平均
分子量10万、酸当量374) M−1:トリメチロールプロパントリアクリレート M−2:ノナエチレングリコールジアクリレート M−3:β−ヒドロキシプロピル−β’−(アクリロイ
ルキシ)プロピルフタレート M−4:平均8モルのプロピレンオキサイドを付加した
ポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさら
に両端にそれぞれ平均3モル付加したグリコールのジメ
タクリレート M−5:ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロ
ピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)
製ブレンマーPP1000)とのウレタン化物 A−1:ベンゾフェノン A−2:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン A−3:2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェ
ニルイミダゾール二量体 B−1:マラカイトグリーン B−2:ダイヤモンドグリーン B−3:ロイコクリスタルバイオレット B−4:トリブロモメチルフェニルスルフォン S−1:メチルエチルケトン S−2:エタノール
は溶解性が良好で、調合液の濾過時のフィルター詰まり
を低減することが可能で且つ生産性が向上し、アルカリ
現像型プリント回路板作製用DFRの製造方法として有
用である。
Claims (4)
- 【請求項1】 光重合性樹脂組成物の製造方法であっ
て、該組成物は(a)カルボキシル基含有量が酸当量で
100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜
50万であるバインダー用樹脂、(b)光重合可能な不
飽和化合物、(c)光重合開始剤、(d)塩基性染料、
を含み、これらの成分を混合溶媒で均一に溶解した調合
液から製造され、前記混合溶媒はアルコール成分とそれ
以外の成分との混合物であり、該アルコール成分の比率
が2〜50wt%であり、かつ前記調合液中の組成物の
濃度が30〜80wt%であり、かつ前記調合液の粘度
が25℃で500〜4000mPa・secである調合
液を用いることを特徴とする光重合性樹脂組成物の製造
方法。 - 【請求項2】 前記混合溶媒中の、アルコール以外の成
分が、(i)メチルエチルケトンに代表されるケトン
類、(ii)酢酸エチルに代表されるエステル類、(i
ii)テトラヒドロフランに代表されるエーテル類の群
から選ばれる1種類以上であることを特徴とする請求項
1記載の光重合性樹脂組成物の製造方法。 - 【請求項3】 前記混合溶媒中のアルコール成分とし
て、炭素数3以下であるアルコールが用いられているこ
とを特徴とする請求項1記載の光重合性樹脂組成物の製
造方法。 - 【請求項4】 前記(d)塩基性染料として、下記一般
式(I)及び/または(II)で表される化合物を用い
ることを特徴とする請求項1記載の光重合性樹脂組成物
の製造方法。 【化1】 (式中R1は同一でも異なっていてもよく、CH3または
C2H5を表す) 【化2】 (式中R2は同一でも異なっていてもよく、CH3または
C2H5を表す)
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WO2008015983A1 (en) * | 2006-08-03 | 2008-02-07 | Asahi Kasei Emd Corporation | Photosensitive resin composition and laminate |
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