JP2002299416A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の角基板を搬送する際の撓み量を小さく
する。 【解決手段】 搬送アーム２には搬送方向と平行に伸び
る３つの保持部３，４，５が等間隔で設けられ、各保持
部３，４，５はそれぞれ一対の棒材６，６にて構成さ
れ、また保持部３，４，５の先端部と基端部には保持部
の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部７…が設けら
れ、更に保持部４の中間部には固定の吸着部１３を設け
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば液晶表示装置
用のガラス基板等の角基板を搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置用のガラス基板は１枚の大
寸法のガラス基板にホトレジストを塗布・乾燥し、更に
露光、現像等の処理を施し、最終的に製品寸法のガラス
基板を切り出している。
【０００３】大寸法のガラス基板に各種処理を施すに
は、１つの処理ステーションでの処理が終了した後、搬
送装置で他の処理ステーションへ大寸法のガラス基板を
搬送するようにしている。
【０００４】しかしながら、液晶表示装置用のガラス基
板は、厚みが０．７ｍｍ程度と薄く大面積となるので、
搬送中に自重によって基板周縁部や中央部が撓んで大き
く垂れ下がり、支持治具に干渉して搬送できなくなった
り、ガラス基板に割れが発生する。
【０００５】そこで、本出願人は先に特開２０００−２
０８５８７号公報として、基板の撓みが少なくなる搬送
装置を提案している。この搬送装置は図５に示すよう
に、水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド
移動可能な一対の搬送アーム１００,２００のそれぞれ
に、搬送方向と平行な第１の保持部１０１，２０１と第
２の保持部１０２，２０２を設け、ステージＳ１での処
理が終了したらピン１０３でガラス基板Ｗを上昇させ、
この状態で一対の搬送アーム１００,２００を接近せし
めるとともにガラス基板Ｗの下に潜りこませ、ガラス基
板Ｗを下降させて第１の保持部１０１，２０１と第２の
保持部１０２，２０２でガラス基板Ｗの四隅を支持し、
このままの状態で搬送装置によってガラス基板Ｗをステ
ージＳ２のピン１０３上方まで移動し、ピン１０３を上
昇せしめてガラス基板Ｗを受け取る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した搬送装置によ
れば、ガラス基板中央部の撓み量を抑えることができ、
他の部材との干渉や基板の割れが防止できるが、更にガ
ラス基板が大型化（一辺が１ｍ以上）した場合には、基
板中央部の撓みが大きくなってしまう。更にガラス基板
の搬送装置から食み出る寸法が大きくなると、中央部だ
けでなく周縁部の撓みも無視できなくなる。
【０００７】また、上述した搬送装置にあっては、ガラ
ス基板が大型化した場合だけでなく、基板の形状が変更
されると充分に対応できない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る基板搬送装置は、少なくとも３本の保持部が
平行に配置され、各保持部には少なくとも２つの吸着部
が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央
の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定された構
成とした。斯かる構成とすることで、基板中央部の撓み
量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れ
が防止できる。
【０００９】上記の基板搬送装置において、保持部を平
行に伸びる一対の棒で構成することで、保持部の軽量化
と剛性アップの両方を同時に図ることができ、しかも吸
着部を移動可能に取り付けやすい。
【００１０】また、前記保持部を上下に２段とし、上段
の保持部と下段の保持部とを独立して駆動可能とするこ
とで、例えば同一のステーションにおいて処理済ガラス
基板の受け取りと、未処理ガラス基板の受け渡しを連続
して行うことが可能になる。
【００１１】また、前記吸着部は真空ポンプなどの減圧
源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブル
チュ−ブを覆うパッドから構成することで、ガラス基板
を傷つけることなく確実に吸着することができる。な
お、パッドの材質としてはＰＰＳ（ポリフェニレンスル
フィド）などが好ましい。
【００１２】更に、長手方向に位置調整可能な吸着部に
隣接してスケールを設けることで、微調整が容易にな
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
基板搬送装置の待機状態を示す斜視図、図２は同基板搬
送装置の平面図、図３は同基板搬送装置の側面図、図４
は吸着部の分解斜視図である。
【００１４】実施例の搬送装置の構成は、処理ステーシ
ョンＳ１，Ｓ２に沿ってガイドレール１が設けられ、こ
のガイドレール１に搬送方向と直交する方向に搬送アー
ム２、２が取り付けられている。なお、実施例の搬送装
置は同一構成の機構が上下２段に設けられているので、
上段について詳述し下段については説明を省略する。
【００１５】搬送アーム２には搬送方向と平行に伸びる
３つの保持部３，４，５が等間隔で設けられている。各
保持部３，４，５はそれぞれ一対の棒材６，６にて構成
され、また保持部３，４，５の先端部と基端部には保持
部の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部７…が設け
られている。
【００１６】前記吸着部７は、図４に示すように、棒材
６，６間にスライド可能に架設されたプレート８に開口
９が形成され、この開口９に真空ポンプなどにつながる
フレキシブルチューブ１０の先端部が止着され、更にこ
の先端部をＰＰＳ製のパッド１１で覆う構成としてい
る。
【００１７】プレート８の棒材６に対する移動機構は任
意であるが、図示例のようにプレート８のスプリング作
用によって棒材６に取り付けるようにすれば、構造が簡
単になる。
【００１８】また、吸着部７の側方にはスケール１２を
取り付け、吸着部７の微調整の目安にし、更に保持部４
の中間部には固定の吸着部１３を設けている。
【００１９】以上の搬送装置を用いた搬送方法について
説明すると、先ず処理ステーションＳ１のピン１４が上
昇している図１の待機状態から、搬送アーム２が図中左
方へ移動し、ガラス基板Ｗの下側に保持部３，４，５が
潜り込む。
【００２０】次いで、ピン１４が下降しガラス基板Ｗを
保持部３，４，５上に移載する。すると、ガラス基板Ｗ
の四隅と中央部は吸着部７、１３によって吸引保持され
る。なお、吸着部７の位置はガラス基板Ｗの寸法に合わ
せて予め位置が微調整されている。
【００２１】次いで、搬送装置はガラス基板Ｗを吸着保
持したまま処理ステーションＳ２のピン１５上方まで移
動して停止する。そしてピン１５が上昇し、保持部３，
４，５からガラス基板Ｗを受け取る。なお、このとき吸
着部７，１３による吸引状態は解除しておく。
【００２２】また、図示例の搬送装置は上下２段になっ
ているので各段にガラス基板Ｗを保持し、処理ステーシ
ョンＳ２へのガラス基板の受け渡しが終了した後、図示
しない他の処理ステーションに残りのガラス基板を搬送
することもできる。
【００２３】
【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る角基
板を搬送する基板搬送装置によれば、３本の保持部を平
行に配置し、各保持部の先端と基端に吸着部を長手方向
に沿って位置調整可能に設け、また中央の保持部の長手
方向の中間部に吸着部を固定した構成にしたので、基板
の大きさ及び形状に関わりなく、搬送中の基板中央部及
び周縁部の撓み量を抑え、他の部材との干渉や基板の割
れが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜
視図
【図２】同基板搬送装置の平面図
【図３】同基板搬送装置の側面図
【図４】吸着部の分解斜視図
【図５】従来の搬送装置の斜視図
【符号の説明】
１…ガイドレール、２…搬送アーム、３，４，５…保持
部、６…棒材、７…位置調整可能な吸着部、８…プレー
ト、９…開口、１０…フレキシブルチューブ、１１…パ
ッド、１２…スケール、１３…固定された吸着部、１
４，１５…ピン、Ｓ１，Ｓ２…処理ステーション、Ｗ…
ガラス基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS02 CU08 CV04 CY03 DS02 DS10 ES17 FS01 FT07 FT11 FU01 HS01 LV07 MS05 MT05 NS09 NS21 5F031 CA05 FA02 FA09 FA12 GA04 GA08 GA35 HA33 MA06 PA13 PA16

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 角基板を搬送する基板搬送装置におい
    て、この搬送装置は少なくとも３本の保持部が平行に配
    置され、各保持部には少なくとも２つの吸着部が長手方
    向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部
    の長手方向の中間部には吸着部が固定されていることを
    特徴とする基板搬送装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記保持部は平行に伸びる一対の棒から構成される
    ことを特徴とする基板搬送装置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記保持部は上下に２段設けられ、上段の保持部と
    下段の保持部とは独立して駆動可能とされていることを
    特徴とする基板搬送装置。
  4. 【請求項４】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記吸着部は減圧源につながるフレキシブルチュ−
    ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドからなるこ
    とを特徴とする基板搬送装置。
  5. 【請求項５】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してス
    ケールを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006264948A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Toppan Printing Co Ltd 基板移送装置
KR100971288B1 (ko) * 2008-08-22 2010-07-20 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비
US9653337B2 (en) 2012-12-14 2017-05-16 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Transport arm, transport apparatus and transport method
CN107883773A (zh) * 2017-11-06 2018-04-06 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 基板承载装置及烘烤设备
CN111791255A (zh) * 2020-08-14 2020-10-20 维信诺科技股份有限公司 机械手

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101023729B1 (ko) * 2004-06-30 2011-03-25 엘지디스플레이 주식회사 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법
KR100780718B1 (ko) 2004-12-28 2007-12-26 엘지.필립스 엘시디 주식회사 도포액 공급장치를 구비한 슬릿코터
KR100675643B1 (ko) 2004-12-31 2007-02-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 슬릿코터
KR100700180B1 (ko) 2004-12-31 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 예비토출부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법
KR100700181B1 (ko) 2004-12-31 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노즐대기부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법
TWI602257B (zh) * 2015-11-03 2017-10-11 亞智科技股份有限公司 吸附式移載設備與移載基板的方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5593515U (ja) * 1978-09-08 1980-06-28
JPH0241499U (ja) * 1988-09-12 1990-03-22
JPH0466129U (ja) * 1990-10-08 1992-06-10
JPH05198997A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Citizen Watch Co Ltd 電子部品自動装着装置
JPH0677244U (ja) * 1993-04-06 1994-10-28 神鋼電機株式会社 ウエハ移載用ペンシルの交換治具
JPH08139153A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット
JPH08297279A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置及び基板搬送方法
JPH09162264A (ja) * 1995-12-05 1997-06-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JPH09167750A (ja) * 1995-12-14 1997-06-24 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板端縁部の洗浄装置及び洗浄方法
JPH115627A (ja) * 1997-06-12 1999-01-12 Dainippon Printing Co Ltd 基板搬送システム
JPH11188681A (ja) * 1997-12-24 1999-07-13 Canon Inc 基板搬送用ハンド及びその吸着機構

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10146784A (ja) * 1996-11-19 1998-06-02 Dainippon Printing Co Ltd 基板搬送用ロボットハンド

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5593515U (ja) * 1978-09-08 1980-06-28
JPH0241499U (ja) * 1988-09-12 1990-03-22
JPH0466129U (ja) * 1990-10-08 1992-06-10
JPH05198997A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Citizen Watch Co Ltd 電子部品自動装着装置
JPH0677244U (ja) * 1993-04-06 1994-10-28 神鋼電機株式会社 ウエハ移載用ペンシルの交換治具
JPH08139153A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット
JPH08297279A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置及び基板搬送方法
JPH09162264A (ja) * 1995-12-05 1997-06-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JPH09167750A (ja) * 1995-12-14 1997-06-24 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板端縁部の洗浄装置及び洗浄方法
JPH115627A (ja) * 1997-06-12 1999-01-12 Dainippon Printing Co Ltd 基板搬送システム
JPH11188681A (ja) * 1997-12-24 1999-07-13 Canon Inc 基板搬送用ハンド及びその吸着機構

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006264948A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Toppan Printing Co Ltd 基板移送装置
KR100971288B1 (ko) * 2008-08-22 2010-07-20 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비
US9653337B2 (en) 2012-12-14 2017-05-16 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Transport arm, transport apparatus and transport method
KR20190009403A (ko) 2012-12-14 2019-01-28 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 반송 아암, 반송 장치 및 반송 방법
CN107883773A (zh) * 2017-11-06 2018-04-06 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 基板承载装置及烘烤设备
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