JP2002299416A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
する。 【解決手段】 搬送アーム2には搬送方向と平行に伸び
る3つの保持部3,4,5が等間隔で設けられ、各保持
部3,4,5はそれぞれ一対の棒材6,6にて構成さ
れ、また保持部3,4,5の先端部と基端部には保持部
の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部7…が設けら
れ、更に保持部4の中間部には固定の吸着部13を設け
ている。
Description
用のガラス基板等の角基板を搬送する装置に関する。
寸法のガラス基板にホトレジストを塗布・乾燥し、更に
露光、現像等の処理を施し、最終的に製品寸法のガラス
基板を切り出している。
は、1つの処理ステーションでの処理が終了した後、搬
送装置で他の処理ステーションへ大寸法のガラス基板を
搬送するようにしている。
板は、厚みが0.7mm程度と薄く大面積となるので、
搬送中に自重によって基板周縁部や中央部が撓んで大き
く垂れ下がり、支持治具に干渉して搬送できなくなった
り、ガラス基板に割れが発生する。
08587号公報として、基板の撓みが少なくなる搬送
装置を提案している。この搬送装置は図5に示すよう
に、水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド
移動可能な一対の搬送アーム100,200のそれぞれ
に、搬送方向と平行な第1の保持部101,201と第
2の保持部102,202を設け、ステージS1での処
理が終了したらピン103でガラス基板Wを上昇させ、
この状態で一対の搬送アーム100,200を接近せし
めるとともにガラス基板Wの下に潜りこませ、ガラス基
板Wを下降させて第1の保持部101,201と第2の
保持部102,202でガラス基板Wの四隅を支持し、
このままの状態で搬送装置によってガラス基板Wをステ
ージS2のピン103上方まで移動し、ピン103を上
昇せしめてガラス基板Wを受け取る。
れば、ガラス基板中央部の撓み量を抑えることができ、
他の部材との干渉や基板の割れが防止できるが、更にガ
ラス基板が大型化(一辺が1m以上)した場合には、基
板中央部の撓みが大きくなってしまう。更にガラス基板
の搬送装置から食み出る寸法が大きくなると、中央部だ
けでなく周縁部の撓みも無視できなくなる。
ス基板が大型化した場合だけでなく、基板の形状が変更
されると充分に対応できない。
発明に係る基板搬送装置は、少なくとも3本の保持部が
平行に配置され、各保持部には少なくとも2つの吸着部
が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央
の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定された構
成とした。斯かる構成とすることで、基板中央部の撓み
量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れ
が防止できる。
行に伸びる一対の棒で構成することで、保持部の軽量化
と剛性アップの両方を同時に図ることができ、しかも吸
着部を移動可能に取り付けやすい。
の保持部と下段の保持部とを独立して駆動可能とするこ
とで、例えば同一のステーションにおいて処理済ガラス
基板の受け取りと、未処理ガラス基板の受け渡しを連続
して行うことが可能になる。
源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブル
チュ−ブを覆うパッドから構成することで、ガラス基板
を傷つけることなく確実に吸着することができる。な
お、パッドの材質としてはPPS(ポリフェニレンスル
フィド)などが好ましい。
隣接してスケールを設けることで、微調整が容易にな
る。
図面に基づいて説明する。ここで、図1は本発明に係る
基板搬送装置の待機状態を示す斜視図、図2は同基板搬
送装置の平面図、図3は同基板搬送装置の側面図、図4
は吸着部の分解斜視図である。
ョンS1,S2に沿ってガイドレール1が設けられ、こ
のガイドレール1に搬送方向と直交する方向に搬送アー
ム2、2が取り付けられている。なお、実施例の搬送装
置は同一構成の機構が上下2段に設けられているので、
上段について詳述し下段については説明を省略する。
3つの保持部3,4,5が等間隔で設けられている。各
保持部3,4,5はそれぞれ一対の棒材6,6にて構成
され、また保持部3,4,5の先端部と基端部には保持
部の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部7…が設け
られている。
6,6間にスライド可能に架設されたプレート8に開口
9が形成され、この開口9に真空ポンプなどにつながる
フレキシブルチューブ10の先端部が止着され、更にこ
の先端部をPPS製のパッド11で覆う構成としてい
る。
意であるが、図示例のようにプレート8のスプリング作
用によって棒材6に取り付けるようにすれば、構造が簡
単になる。
取り付け、吸着部7の微調整の目安にし、更に保持部4
の中間部には固定の吸着部13を設けている。
説明すると、先ず処理ステーションS1のピン14が上
昇している図1の待機状態から、搬送アーム2が図中左
方へ移動し、ガラス基板Wの下側に保持部3,4,5が
潜り込む。
保持部3,4,5上に移載する。すると、ガラス基板W
の四隅と中央部は吸着部7、13によって吸引保持され
る。なお、吸着部7の位置はガラス基板Wの寸法に合わ
せて予め位置が微調整されている。
持したまま処理ステーションS2のピン15上方まで移
動して停止する。そしてピン15が上昇し、保持部3,
4,5からガラス基板Wを受け取る。なお、このとき吸
着部7,13による吸引状態は解除しておく。
ているので各段にガラス基板Wを保持し、処理ステーシ
ョンS2へのガラス基板の受け渡しが終了した後、図示
しない他の処理ステーションに残りのガラス基板を搬送
することもできる。
板を搬送する基板搬送装置によれば、3本の保持部を平
行に配置し、各保持部の先端と基端に吸着部を長手方向
に沿って位置調整可能に設け、また中央の保持部の長手
方向の中間部に吸着部を固定した構成にしたので、基板
の大きさ及び形状に関わりなく、搬送中の基板中央部及
び周縁部の撓み量を抑え、他の部材との干渉や基板の割
れが防止できる。
視図
部、6…棒材、7…位置調整可能な吸着部、8…プレー
ト、9…開口、10…フレキシブルチューブ、11…パ
ッド、12…スケール、13…固定された吸着部、1
4,15…ピン、S1,S2…処理ステーション、W…
ガラス基板。
Claims (5)
- 【請求項1】 角基板を搬送する基板搬送装置におい
て、この搬送装置は少なくとも3本の保持部が平行に配
置され、各保持部には少なくとも2つの吸着部が長手方
向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部
の長手方向の中間部には吸着部が固定されていることを
特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の基板搬送装置におい
て、前記保持部は平行に伸びる一対の棒から構成される
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項3】 請求項1に記載の基板搬送装置におい
て、前記保持部は上下に2段設けられ、上段の保持部と
下段の保持部とは独立して駆動可能とされていることを
特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項4】 請求項1に記載の基板搬送装置におい
て、前記吸着部は減圧源につながるフレキシブルチュ−
ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドからなるこ
とを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項5】 請求項1に記載の基板搬送装置におい
て、前記長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してス
ケールを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006264948A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移送装置 |
KR100971288B1 (ko) * | 2008-08-22 | 2010-07-20 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
US9653337B2 (en) | 2012-12-14 | 2017-05-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Transport arm, transport apparatus and transport method |
CN107883773A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-04-06 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板承载装置及烘烤设备 |
CN111791255A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-10-20 | 维信诺科技股份有限公司 | 机械手 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101023729B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법 |
KR100780718B1 (ko) | 2004-12-28 | 2007-12-26 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 도포액 공급장치를 구비한 슬릿코터 |
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KR100700181B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐대기부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법 |
TWI602257B (zh) * | 2015-11-03 | 2017-10-11 | 亞智科技股份有限公司 | 吸附式移載設備與移載基板的方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5593515U (ja) * | 1978-09-08 | 1980-06-28 | ||
JPH0241499U (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-22 | ||
JPH0466129U (ja) * | 1990-10-08 | 1992-06-10 | ||
JPH05198997A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Citizen Watch Co Ltd | 電子部品自動装着装置 |
JPH0677244U (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-28 | 神鋼電機株式会社 | ウエハ移載用ペンシルの交換治具 |
JPH08139153A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット |
JPH08297279A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JPH09162264A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH09167750A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板端縁部の洗浄装置及び洗浄方法 |
JPH115627A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送システム |
JPH11188681A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Canon Inc | 基板搬送用ハンド及びその吸着機構 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10146784A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送用ロボットハンド |
-
2001
- 2001-04-02 JP JP2001103202A patent/JP4004239B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
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- 2002-03-28 KR KR1020020016936A patent/KR100786233B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5593515U (ja) * | 1978-09-08 | 1980-06-28 | ||
JPH0241499U (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-22 | ||
JPH0466129U (ja) * | 1990-10-08 | 1992-06-10 | ||
JPH05198997A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Citizen Watch Co Ltd | 電子部品自動装着装置 |
JPH0677244U (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-28 | 神鋼電機株式会社 | ウエハ移載用ペンシルの交換治具 |
JPH08139153A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット |
JPH08297279A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JPH09162264A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH09167750A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板端縁部の洗浄装置及び洗浄方法 |
JPH115627A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送システム |
JPH11188681A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Canon Inc | 基板搬送用ハンド及びその吸着機構 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006264948A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移送装置 |
KR100971288B1 (ko) * | 2008-08-22 | 2010-07-20 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
US9653337B2 (en) | 2012-12-14 | 2017-05-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Transport arm, transport apparatus and transport method |
KR20190009403A (ko) | 2012-12-14 | 2019-01-28 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 반송 아암, 반송 장치 및 반송 방법 |
CN107883773A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-04-06 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板承载装置及烘烤设备 |
CN111791255A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-10-20 | 维信诺科技股份有限公司 | 机械手 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100786233B1 (ko) | 2007-12-17 |
JP4004239B2 (ja) | 2007-11-07 |
TWI260062B (en) | 2006-08-11 |
KR20020077814A (ko) | 2002-10-14 |
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