CN107883773A - 基板承载装置及烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种基板承载装置，包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构，所述升降机构与承载架一一对应设置，升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。本发明还提供了一种烘烤设备，包括烘烤室，所述烘烤室内设有所述的基板承载装置，所述烘烤室设有基板进入口，所述升降机构设于烘烤室与基板进入口相对的一侧内壁上。与现有技术相比，通过设置与承载架一一对应设置的升降机构，实现相邻两层承载架的间距可调节，满足机器人手臂的交换片所需空间高度的要求；同时还可以使烘烤设备中放置的基板数量提高，从而提高设备的产能，降低设备的采购成本以及占地空间。

Description

基板承载装置及烘烤设备

技术领域

本发明涉及一种显示面板生产技术，特别是一种基板承载装置及烘烤设备。

背景技术

基板的生产中，对于高温制程，为了提高设备产能(capa)，业内通常采用烤炉(Furnace)类型设备进行烘烤。但是受限于设备高度的限制，烘烤室(Chamber)可以容纳的基板数量受到限制。

目前，烘烤室内基板承载架均为固定式，每层基板承载架需满足机器人手臂交换片的空间高度要求，因此，在设计时，相邻两层基板承载架之间间隙较大，从而满足机器人手臂交换片的空间要求，这样导致每个烘烤室可容纳基板的数量较少，造成设备产能较低。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种基板承载装置及烘烤设备，使得能够自由调节相邻两层基板承载架之间间距，从而在不影响机器人手臂交换片的空间要求下，提高产能。

本发明提供了一种基板承载装置，包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构，所述升降机构与承载架一一对应设置，升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。

进一步地，还包括控制器，所述控制器与升降机构连接并对升降机构的启停进行控制。

进一步地，每层承载架上设有用于获知与相邻承载架距离的传感器，传感器与控制器连接。

进一步地，所述升降机构为直线电机，所述直线电机具有动子座，所述承载架与动子座连接固定。

进一步地，所述承载架包括与升降机构垂直设置的主支架以及设于主支架背离升降机构一侧表面的多根支臂，所述支臂与主支架垂直。

进一步地，所述传感器设于每层承载架的下端。

进一步地，所述传感器为光电开关。

本发明还提供了一种烘烤设备，包括烘烤室，所述烘烤室内设有所述的基板承载装置，所述烘烤室设有基板进入口，所述升降机构设于烘烤室与基板进入口相对的一侧内壁上。

本发明与现有技术相比，通过设置与承载架一一对应设置的升降机构，实现相邻两层承载架的间距可调节，满足机器人手臂的交换片所需空间高度的要求；同时还可以使烘烤设备中放置的基板数量提高，从而提高设备的产能，降低设备的采购成本以及占地空间。

附图说明

图1是本发明基板承载装置的主视图；

图2是本发明基板承载装置中其中一个承载架与升降机构的连接示意图；

图3是本发明烘烤设备的烘烤室的内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1所示，本发明的基板承载装置包括多个以层叠的方式设置的承载架1，相邻两层承载架1之间存在间距，从而形成多层的承载架1，在承载架1上设有与之一一对应的升降机构2，一一对应的意思为每个承载架1设有一个升降机构2以驱动该承载架1升降。

所述基板承载装置还包括一控制器3，控制器3用于对升降机构2进行启动和停止控制，从而实现分别对多个升降机构2进行升降控制，达到调节相邻两层承载架1之间间距的作用，以满足机器人手臂对交换片空间高度的要求，具体地，控制器3可以为直线电机控制器或伺服驱动器。

本发明中，如图2所示，在每层承载架1上设有用于获知与相邻承载架1距离的传感器4，传感器4与控制器3连接，当控制器3接收到传感器4的信号后，对当前升降的升降机构2进行控制，停止继续升降，从而避免出现相邻两层承载架发生碰撞的问题，也保证了基板的安全。此处传感器4光电开关，但本发明并不限于此，还可以将传感器4替换为触动开关，通过设置在升降机构2与相邻的升降机构2最小间隙所对应的位置处，从而实现对该层升降机构2的停止控制；本发明还可以采用去掉传感器4，由于承载架1的升降并不会出现较大的跨度，因此，可以根据实际的升降距离设置相应长度的升降机构2，以此替代需要传感器4。

本发明中，升降机构2可采用现有技术中的带传动、蜗杆传动或齿条传动等方式实现，仅需实现升降动作即可；如图2所示，在本发明中，所述升降机构2为直线电机，所述直线电机具有动子座5，承载架1与动子座5连接固定。

如图1和图2所示，作为本发明承载架1的一种实施方式，所述承载架1包括与升降机构2垂直设置的主支架11以及设于主支架11背离升降机构2一侧表面的多根支臂12，所述支臂12与主支架11垂直，支臂12与主支架11连接固定。

本发明中所述传感器4设于每层承载架1的上端，传感器4用于对该层承载架1进行监控，但是本发明不限于此，例如设置在承载架1的下端，当设置在承载架1的下端时，传感器4用于监控下一层承载架1；本发明中传感器4的设置位置仅需遵循用于对相邻两层承载架1的间距进行监控，因此设置位置可根据需要进行设置。

如图3所示，本发明所公开的烘烤设备中除增加了基板承载装置外，其余组件并未进行改变，因此下面仅针对改进之处进行阐述；

本发明的烘烤设备包括烘烤室6，烘烤室6内设有基板承载装置，所述基板承载装置包括多层承载架1，相邻两层承载架1之间存在间距，从而形成多层的承载架1，在承载架1上设有与之一一对应的升降机构2，所述烘烤室6设有基板进入口7，所述升降机构2设于烘烤室6与基板进入口7相对的一侧内壁上。

所述基板承载装置还包括一控制器3，控制器3用于对升降机构2进行启动和停止控制，从而实现分别对多个升降机构2进行升降控制，达到调节相邻两层承载架1之间间距的作用，以满足机器人手臂对交换片空间高度的要求，控制器3设于烘烤室6外。

本发明中，如图2所示，在每层承载架1上设有用于获知与相邻承载架1距离的传感器4，传感器4与控制器3连接，当控制器3接收到传感器4的信号后，对当前升降的升降机构2进行控制，停止继续升降，从而避免出现相邻两层承载架发生碰撞的问题，也保证了基板的安全。此处传感器4光电开关，但本发明并不限于此，还可以将传感器4替换为触动开关，通过设置在升降机构2与相邻的升降机构2最小间隙所对应的位置处，从而实现对该层升降机构2的停止控制；本发明还可以采用去掉传感器4，由于承载架1的升降并不会出现较大的跨度，因此，可以根据实际的升降距离设置相应长度的升降机构2，以此替代需要传感器4。

所述传感器4设于每层承载架1的上端，传感器4用于对该层承载架1进行监控，但是本发明不限于此，例如设置在承载架1的下端，当设置在承载架1的下端时，传感器4用于监控下一层承载架1；本发明中传感器4的设置位置仅需遵循用于对相邻两层承载架1的间距进行监控，因此设置位置可根据需要进行设置。

本发明烘烤设备中，升降机构2为直线电机，所述直线电机具有动子座5，承载架1与动子座5连接固定，直线电机的定子8(即底座部分固定于烘烤室6与基板进入口7相对的一侧内壁上)。

当根据实际的升降距离设置相应长度的升降机构2时，升降机构2的设置位置则根据相应的高度固定在烘烤室6的内壁上。

所述承载架1包括与升降机构2垂直设置的主支架11以及设于主支架11背离升降机构2一侧表面的多根支臂12，所述支臂12与主支架11垂直，支臂12与主支架11连接固定。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (8)

1.一种基板承载装置，其特征在于：包括多层承载架(1)以及与承载架(1)连接驱动的升降机构(2)，所述升降机构(2)与承载架(1)一一对应设置，升降机构(2)用于调节每层承载架(1)与相邻承载架(1)之间的间距。

2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：还包括控制器(3)，所述控制器(3)与升降机构(2)连接并对升降机构(2)的启停进行控制。

3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：每层承载架(1)上设有用于获知与相邻承载架(1)距离的传感器(4)，传感器(4)与控制器(3)连接。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的基板承载装置，其特征在于：所述升降机构(2)为直线电机，所述直线电机具有动子座(5)，所述承载架(1)与动子座(5)连接固定。

5.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于：所述承载架(1)包括与升降机构(2)垂直设置的主支架(11)以及设于主支架(11)背离升降机构(2)一侧表面的多根支臂(12)，所述支臂(12)与主支架(11)垂直。

6.根据权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于：所述传感器(4)设于每层承载架(1)的上端。

7.根据权利要求3或6所述的基板承载装置，其特征在于：所述传感器(4)为光电开关。

8.一种烘烤设备，包括烘烤室(6)，其特征在于：所述烘烤室(6)内设有如权利要求1-7任意一项所述的基板承载装置，所述烘烤室(6)设有基板进入口(7)，所述升降机构(2)设于烘烤室(6)与基板进入口(7)相对的一侧内壁上。