KR100971288B1 - 어레이 테스트 장비 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 삭제
- 기판의 이송방향을 따라서 나란히 배치된 적어도 하나의 반송 플레이트를 구비하여, 기판이 상기 반송 플레이트로부터 일정 간격을 가지고 부양되도록 지지하는 반송부;상기 반송부 일측에 배치되며, 상기 기판의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부;상기 반송부의 반송 플레이트보다 상측으로 돌출되어 상기 기판을 안착시키는 기판 안착 패드를 구비하며, 상기 기판을 상기 반송부로부터 테스트부로 또는 상기 테스트부로부터 반송부로 이송시키는 기판 이송부; 및상기 기판이 반송 플레이트로부터 일정한 유격을 가지도록, 상기 기판 안착 패드의 높이를 제어하는 높이 제어부;를 구비하며,상기 높이 제어부는:상기 기판 안착 패드를 하측에서 지지하는 피스톤과;그 내부를 피스톤이 왕복 운동하는 것으로, 상기 피스톤에 의하여 내부 공간이 서로 밀폐된 상측 공간 및 하측 공간으로 구분되는 실린더 튜브와;상기 실린더 튜브의 상기 피스톤의 하측 공간과 연결되어서, 상기 하측 공간이 일정한 압력을 유지하도록 하는 레귤레이터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
- 제2항에 있어서,상기 높이 제어부는:상기 실린더 튜브의 상측 공간에 설치된 에어 부쉬; 및상기 에어 부쉬에 에어를 공급하는 에어 공급 라인을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 반송부는 기판의 이송방향으로 이격 배치된 복수의 반송 플레이트들을 구비하고,상기 기판 안착 패드는 서로 인접하는 반송 플레이트들 사이의 이격 공간 중 적어도 하나에 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 반송 플레이트에는 상측으로 기체를 분사하는 에어 홀들이 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 반송부는, 기판의 이송방향을 따라서 일정 유격을 가지고 나란히 배치된 복수의 반송 플레이트들을 구비하며,상기 기판 안착 패드는 상기 이웃하는 반송 플레이트들 사이의 유격을 따라서 이동되도록 설치된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
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KR1020080082572A KR100971288B1 (ko) | 2008-08-22 | 2008-08-22 | 어레이 테스트 장비 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020080082572A KR100971288B1 (ko) | 2008-08-22 | 2008-08-22 | 어레이 테스트 장비 |
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2008
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