KR100971288B1 - 어레이 테스트 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 어레이 테스트 장비에 관한 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비는: 기판의 이송방향을 따라서 나란히 배치된 적어도 하나의 반송 플레이트를 구비하여, 기판이 상기 반송 플레이트로부터 일정 간격을 가지고 부양되도록 지지하는 반송부와; 반송부 일측에 배치되며, 기판의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부와; 반송부의 반송 플레이트보다 상측으로 돌출되어 상기 기판을 안착시키는 기판 안착 패드를 구비하며, 기판을 상기 반송부로부터 테스트부로 또는 상기 테스트부로부터 반송부로 이송시키는 기판 이송부와; 기판이 반송 플레이트로부터 일정한 유격을 가지도록, 기판 안착 패드의 높이를 제어하는 높이 제어부;를 구비한다.
어레이 테스트 장비, 반송부, 기판

Description

어레이 테스트 장비{An array tester}
본 발명은 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 디스플레이 기판에 구비된 전극의 전기적 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.
통상 평판 디스플레이 기판에는, 상부 및 하부 기판 중 적어도 하나에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT LCD 기판은, TFT가 형성된 TFT 기판과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 필터 기판과, 상기 TFT 기판과 필터 기판 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다.
상기 TFT 기판과 같은 기판의 결함은 어레이 테스트 장비에 의하여 검사되며, 이 경우 상기 기판을 테스트하기 위하여 테스트 위치로 반송할 필요할 수 있다.
예를 들어 일본 특허 공개공보 번호 2006-266722호에 개재된 어레이 테스트 장비는 기판 적치대와, 기판 반송기구와, 검사부와, 반송 단부를 구비한다.
기판 적치대는 유리기판을 지지한다. 이 경우, 상기 기판 적치대에는 상측으로 에어를 분출하기 위한 다수의 에어 홀들이 형성되어 있어서, 상기 기판 적치 대 상의 유리기판은 상기 기판 적치대에 부상되어서 지지된다. 기판 반송기구는, 상기 기판 적치대 상에 부상(浮上)한 기판의 단부를 지지하고 일방향으로 반송한다. 검사부는 상기 기판의 표면을 광학적으로 확대하고 관찰한다.
반송 단부는 상기 한쌍의 슬라이드에 설치되어 리니어 모터에 따라서 반송방향 및 그 역방향에 이동가능하며,유리기판을 흡착하는 흡착 패드를 구비한다. 상기 흡착 패드는 상기 반송 방향에 따르는 유리 기판의 양단부에 위치하는 유리 기판의 하면을 흡착 유지한다.
이 경우, 상기 기판 적치대는 유리 기판을 일정한 유격을 가지고 부상시키기 위하여 최대한 편평하여야 한다. 그러나, 가공상, 재질상 및/또는 기후상 조건 등으로 인하여 상기 기판 적치대는 조금이라마 어느 정도 굴곡을 가질 수 밖에 없다. 또한, 상기 기판 적치대들 사이간에 높이 또한 미세한 차이가 있을 수 있다.
반면, 상기 흡착 패드는 항상 일정한 높이로 유리 기판을 지지하고 있다. 이에 따라서 상기 유리 기판과 기판 적치대 사이의 유격이 변동하게 되며, 최악의 경우에는 유리 기판과 기판 적치대가 서로 맞닿게 되어서, 유리 기판에 스크래치 등 손상이 발생하게 된다. 이를 방지하기 위해서는 필요 이상의 에어를 에어 홀을 통하여 상측으로 분출하여야 한다.
또한, 반송 단부는 유기기판의 외곽에 형성되어 있으며, 이에 따라서 상기 반송 단부에 구비된 흡착 패드 또한 기판 끝 부분에 형성될 수밖에 없다. 이에 따라서 종래의 어레이 테스트는, 기판을 중앙부에서 흡착시키지 못하므로 반송되는 유리기판이 처지는 현상이 발생할 수밖에 없다. 이러한 현상은 기판의 크기가 커 질수록 더 심각해진다. 이와 더불어, 상기 반송 단부가 설치된 슬라이더는 상기 기판의 바깥쪽 양측에 각각 위치하여야 하며, 어레이 테스트 장비의 폭이 클 수밖에 없다.
본 발명은 기판과 기판 적치대 사이의 간격이 항상 일정할 수 있는 구조를 갖는 어레이 테스트 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 반송되는 기판의 처짐 현상이 발생하지 않고 어레이 테스트 장비의 사이즈를 감소시킬 수 있는 구조를 갖는 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비는: 기판의 이송방향을 따라서 배치된 적어도 하나의 반송 플레이트를 구비하여, 기판이 상기 반송 플레이트로부터 일정 간격을 가지고 부양되도록 지지하는 반송부와; 상기 반송부 일측에 배치되며, 상기 기판의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부와; 상기 반송부의 반송 플레이트보다 상측으로 돌출되어 상기 기판을 안착시키는 기판 안착 패드를 구비하며, 상기 기판을 상기 반송부로부터 테스트부로 또는 상기 테스트부로부터 반송부로 이송시키는 기판 이송부와; 상기 기판이 반송 플레이트로부터 일정한 유격을 가지도록, 상기 기판 안착 패드의 높이를 제어하는 높이 제어부;를 구비한다.이 경우, 상기 높이 제어부는, 상기 기판 안착 패드를 하측에서 지지하는 피스톤과, 그 내부를 피스톤이 왕복 운동하는 것으로, 상기 피스톤에 의하여 내부 공간이 서로 밀폐된 상측 공간 및 하측 공간으로 구분되는 실린더 튜브와, 상기 실린더 튜브의 상기 피스톤의 하측 공간과 연결되어서, 상기 하측 공간이 일정한 압력을 유지하도록 하는 레귤레이터를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 높이 제어부는, 상기 실린더 튜브의 상측 공간에 설치된 에어 부쉬와, 상기 에어 부쉬에 에어를 공급하는 에어 공급 라인을 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 반송부는 기판의 이송방향으로 이격 배치된 복수의 반송 플레이트들을 구비하고, 상기 기판 안착 패드는 서로 인접하는 반송 플레이트들 사이의 이격 공간 중 적어도 하나에 배치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 반송 플레이트에는 상측으로 기체를 분사하는 에어 홀들이 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 높이에 따라서 상기 기판을 흡착하는 기판 안착 패드의 높이가 변화되도록 함으로써, 기판이 반송 플레이트 상에서 반송 중에, 상기 기판과 반송 플레이트 사이의 간격이 항상 일정하게 유지되며, 이에 따라서 상기 기판이 상기 반송 플레이트와 접촉으로 인한 스크래치의 발생 위험이 없어진다.
또한, 상기 기판 안착 패드가 반송 플레이트들 사이의 공간에 배치되어서 상기 기판을 안착시킴으로써, 어레이 테스트 장비의 사이즈가 감소하고 기판의 처짐 현상을 방지할 수 있다.
이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 사시 도이고, 도 2는 도 1 중 후술할 로딩부에서 로딩 플레이트를 제외한 사시도이다.
이 경우, 어레이 테스트 장비(100)란 기판(2)에 형성된 기판 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다. 이 경우, 기판(2)이란 전광기기에 구비된 기판일 수 있으며, 예를 들어 TFT LCD 기판 중 TFT 전극들이 형성된 TFT 기판일 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 반송부(110, 130)와, 테스트부(120)와, 기판 이송부(160)와, 높이 제어부(170)를 구비한다. 이 경우, 반송부란 기판의 이송방향을 따라서 일정 유격을 가지고 나란히 배치된 적어도 하나의 반송 플레이트(112, 132)를 구비하여, 상기 기판(2)이 상기 반송 플레이트(112, 132)로부터 일정 간격을 가지고 부양되도록 지지한다. 도면에서는 반송부가 로딩부(110) 및 언로딩부(130)으로 구분되어 있고, 반송 플레이트가 로딩 플레이트(112) 및 언로딩 플레이트(132)로 구분되어 있으며, 이하에서도 편의상 반송부를 로딩부와 언로딩부로 구분지어서 설명한다.
로딩부(110)에는 테스트받을 기판(2)이 로딩된다. 상기 로딩부(110)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(112)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩 플레이트(112)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트받을 기판(2)이 그 상측에 부양된 상태로 지지된다.
상기 로딩 플레이트(112)의 상면에는 복수의 에어 홀(114)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는, 상기 에어 홀(114)들을 통하여 상기 기판의 하면에 정압을 공급하여 상기 기판이 상기 로딩 플레이트(112)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비 할 수 있다.
테스트부(120)는 상기 로딩부(110)의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩부(110)를 따라 이송된 기판의 전기적 결함이 테스트된다. 상기 테스트부(120)는 테스트 플레이트(122) 및 상기 테스트 플레이트(122) 상에 배치된 기판의 오류 여부를 검출하는 테스트 모듈(150)을 구비할 수 있다.
테스트 플레이트(122)는 적어도 기판의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어서, 기판(2)이 상기 테스트 플레이트(122) 상측에서 테스트받도록 한다.
테스트 모듈(150)은 상기 기판(2)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 테스트 모듈(150)은 고정되어 있을 수도 있고, 이와 달리 모듈 이동 기구(125)를 따라서 제2축 방향으로 이동할 수 있다. 이는 상기 기판이 기판 이송부(160)에 의하여 제1축 방향으로 이동되므로, 상기 테스트 모듈(150)을 적어도 제1축 방향으로는 이동시킬 필요가 없기 때문이다. 이 경우 상기 모듈 이동 기구(125)는 상기 어레이 테스트 장비의 본체에 설치된 겐트리일 수 있다.
기판 이송부(160)는 상기 기판(2)을 하부로부터 지지한 채로 상기 로딩부(110)로부터 상기 테스트부(120)로 이송시킨다. 상기 기판 이송부(160)는 기판 안착 패드(166)들을 구비한다. 상기 기판 안착 패드(166)는 상기 로딩 플레이트보다 상측으로 돌출된 상태에서 상기 기판(2)을 지지한다.
상기 기판 안착 패드(166)에는 적어도 하나의 흡착 홀(167)이 형성되어서, 상기 기판을 흡착할 수 있다. 이 경우, 상기 기판 이송부(160)는 상기 흡착 홀(167)에 부압을 제공하는 부압 제공 라인(168)을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩부(110)는, 기판 이송방향으로 일정 유격을 가지고 나란하게 배치된 복수의 로딩 플레이트(112)들을 구비하고, 상기 기판 안착 패드(166)는 인접한 로딩 플레이트(112)들 사이의 공간에 배치될 수 있다.
이에 따라서, 상기 기판 안착 패드(166)가 상기 기판(2) 중앙부를 지지하게 됨으로써 기판의 처짐 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 전체 어레이 테스트 장비의 사이즈를 줄일 수 있다.
상기 기판 이송부(160)는 적어도 두 개의 가이드 레일(162)들을 더 구비할 수 있다. 상기 가이드 레일(162)들은 상기 로딩부(110)에 상기 기판(2)의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된다. 이 경우, 상기 기판 안착 패드(166)는 상기 가이드 레일(162) 각각에 설치될 수 있다. 상기 기판 안착 패드는 상기 로딩 플레이트보다 상측으로 돌출되어 상기 기판을 안착시킨다. 이 경우 상기 기판 안착 패드는 상기 가이드 레일(162)과 동일한 방향을 가진 제1축(도 2에서는 Y축) 방향과 함께, 상기 제1축 방향과 교차하는 제2축(도 2에서는 X축) 방향으로 어느 정도 이동 가능하게 설치될 수 있다.
높이 제어부(170)는 상기 기판(2)이 상기 로딩 플레이트(112)로부터 일정한 유격을 가지도록, 상기 기판 안착 패드(166)의 높이를 제어한다. 즉, 상기 로딩 플레이트(112)의 굴곡에 맞추어 기판(2)의 높이를 제어함으로써, 상기 기판(2)과 로딩 플레이트(112) 사이의 간격이 항상 일정하게 한다.
이로 인하여 상기 기판(2)과 로딩 플레이트(112)가 서로 맞닿지 않게 되어서, 상기 기판에 스크래치 등 손상이 발생하지 않게 되고, 에어 홀에서 필요 이상 의 에어를 상측으로 분출할 필요가 없게 된다.
도 3은 도 2에서 기판 이송부(160) 및 높이 제어부(170)를 확대 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 높이 제어부(170)는 피스톤(172)과, 실린더 튜브(174)와, 레귤레이터(176)를 구비할 수 있다. 상기 피스톤(172)은 상기 기판 안착 패드(166)를 하측에서 지지한다. 상기 실린더 튜브(174)는, 그 내부를 피스톤(172)이 왕복 운동하는 것으로, 상기 피스톤(172)에 의하여 내부 공간이 서로 밀폐된 상측 공간(174H) 및 하측 공간(174L)으로 구분된다. 레귤레이터(176)는 상기 실린더 튜브(174)의 상기 하측 공간(174L)과 연결되어서, 상기 하측 공간(174L)이 일정한 압력을 유지하도록 한다. 한편, 상기 레귤레이터(176)는 상기 기판(2)이 안착되지 않은 상태에는 하측 공간의 압력을 낮게 하여서 상기 기판 안착 패드(166)를 하강시킬 수도 있다.
이에 따라서 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(2)이 기준 높이에 있는 경우, 상기 레귤레이터(176)는 상기 실린더 튜브(174)의 하측 공간(174L; 도 4 참조)에 설정 압력을 부가하여, 상기 기판 안착 패드(166)에 안착된 기판(2)과 로딩 플레이트(112) 사이가 일정한 간격(G)을 가지고 부양되도록 한다. 이 경우, 도시되지는 않으나 상기 로딩 플레이트의 에어 홀을 통해서도 기판을 부양하기 위한 에어가 상측으로 공급되며, 이에 따라서 상기 간격(G)은 상기 기판의 중량이 상기 에어 홀에로부터 기판 하측에 제공하는 에어 압 및 기판 안착 패드로부터의 지지력을 합한 힘과 평형을 이루는 간격이다.
만약, 상기 기판(2)이 기준 높이보다 일정 높이(ℓ1)가 높은 로딩 플레이트(112)의 일부분을 반송 중인 경우에는, 기판(2)과 로딩 플레이트(112) 간격이 좁혀지게 되어서 기판 하측에 미치는 에어 홀로부터의 에어 압이 상대적으로 커지게 된다. 이 경우, 상기 실린더 튜브(174)의 하측 공간(174L; 도 4 참조)은 일정한 압력이 있으므로, 상기 기판은 일정 높이(L1)만큼 상승하게 되어서, 결과적으로는 상기 로딩 플레이트(112)는 상기와 같은 일정한 간격(G)를 가지고 부양된다.
만약, 상기 기판(2)이 기준 높이보다 일정 높이(ℓ2)가 낮은 로딩 플레이트(112)의 일부분을 반송 중인 경우에는, 기판(2)과 로딩 플레이트(112) 간격이 커지게 되어서 기판 하측에 미치는 에어 홀로부터의 에어 압이 상대적으로 작아지게 된다. 이 경우, 상기 실린더 튜브(174)의 하측 공간(174L; 도 4 참조)은 일정한 압력이 있으므로, 상기 기판은 일정 높이(L1)만큼 하강하게 되어서, 결과적으로는 상기 로딩 플레이트(112)는 상기와 같은 일정한 간격(G)를 가지고 부양된다.
이에 따라서 상기 로딩 플레이트에 미세한 굴곡이 있거나, 로딩 플레이트들 사이의 높이 차가 있는 경우에도 상기 기판과 로딩 플레이트는 항상 일정한 간격을 유지함으로써, 기판에 스크래치 등의 손상이 발생하지 않으며 필요 이상의 에어를 로딩 플레이트로부터 상측으로 공급할 필요가 없다.
한편, 상기 높이 제어부(170)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 에어 부쉬(air bush)(178) 및 에어 공급 라인(179)을 더 구비할 수 있다. 에어 부쉬(178)는 상기 실린더 튜브의 상측 공간(174H)에 원형 튜브 형상으로 배치되며, 그 내부에는 압축 공기가 충진되어 있다. 상기 에어 부쉬(178)는 상기 피스톤(172)이 미세한 떠림없 이 안정적으로 승하강 가능하도록 측면을 지지한다. 상기 에어 공급 라인(179)는 상기 에어 부쉬(178)의 내측 공간으로 공기를 제공한다.
다시 도 1로 되돌아가서, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장비는 언로딩부(130)를 더 구비할 수 있다. 언로딩부(130)는 상기 테스트부(120) 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 기판(2)이 상기 테스트부(120)로부터 이송되어 언로딩된다. 이 경우 언로딩부(130)는 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)는 상기 테스트 완료된 기판(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 한다.
상기 언로딩부(130)는 적어도 두 개 이상의 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 완료된 기판이 그 상측에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 기판 이송부(160)는 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에도 배치될 수도 있다. 즉, 가이드 레일(162)이 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에 상기 기판의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치되고, 기판 안착 패드(166)가 상기 가이드 레일(162) 상측에 설치되며 상기 테스트용 기판을 하측으로부터 흡착하도록 배치될 수 있다. 이로 인하여 로딩부(110)에 배치된 기판 이송부(160)가 상기 기판을 흡착하여 테스트부(120)로 이동시키고, 상기 테스트부(120)로부터 언로딩부(130)로는 언로딩부(130)에 배치된 기판 이송부(160)이 기판을 이동시킬 수 있게 된다.
이로 인하여 기판을 테스트부(120)로 이동시키는 작업과, 테스트 완료된 기판을 언로딩부(130)로 이동시키는 작업을 연동하여 실시할 수 있으며, 결과적으로 상기 어레이 테스트 장비의 작업 속도가 증가하게 된다.
이와 함께, 상기 언로딩 플레이트(132)에도 복수의 에어 홀(134)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비는, 상기 언로딩 플레이트에 형성된 에어 홀(134)들을 통하여 상기 기판의 하면에 정압을 공급하여 상기 기판이 상기 언로딩 플레이트(132)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비의 작동을 설명한다.
기판이 사용자나 로딩 장비에 의하여 먼저 로딩 플레이트(112) 상측으로 이동된다. 이 경우, 로딩 플레이트(112)의 상측에는 에어 홀(114)을 통하여 정압이 형성되어 있으며, 이로 인하여 기판(2)이 로딩 플레이트(112) 상측에 일정 유격을 가지고 부양된다.
그 상태에서 기판 안착 패드(166)가 상승하여 상기 기판(2)을 지지한 상태에서, 상기 기판(2)을 테스트부(120)로 이동하게 된다. 이때에 상기 높이 제어부(170)은, 상기 기판이 로딩 플레이트(112)에 항상 일정한 간격을 가지고 부양되도록 제어한다.
상기 테스트부(120)에 이동된 기판(2)은 테스트부(120)에 설치된 테스트 모듈(150)에 의하여 결함 여부를 테스트받게 된다. 이 경우 상기 테스트 모듈(150)은 테스트부 상측에 고정된 상태로 또는 모듈 이동 장치에 의하여 제2축 방향(도면에서는 X축 방향)으로 이동하면서 기판의 결함 여부를 검출한다.
그 후에 테스트 완료된 기판(2)은 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(132) 상 측으로 이동된다. 이 경우 상기 언로딩 플레이트(132) 상측에도 에어 홀(134)을 통한 정압이 형성되어 있으므로, 상기 기판(2)은 상기 언로딩 플레이트(132)에 부양된다. 기판의 일정 부분 이상이 언로딩부(130)에 위치하게 되면, 상기 언로딩부에 배치된 기판 이송부(160)가 상기 기판의 선단을 지지하여서 이동시킨다. 이때에도 상기 높이 제어부(170)가 상기 기판이 언로딩 플레이트(112)에 항상 일정한 간격을 가지고 부양되도록 제어한다.
그 후에 작업자나 언로딩 장치에 의하여 기판이 상기 어레이 테스트 장비로부터 언로딩 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 사시도이다.
도 2는 도 1의 로딩부에서 로딩 플레이트를 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에서 기판 이송부 및 높이 제어부를 확대 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 어레이 테스트 장비에 구비된 높이 제어부의 작동을 도시한 단면도이다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 기판의 이송방향을 따라서 나란히 배치된 적어도 하나의 반송 플레이트를 구비하여, 기판이 상기 반송 플레이트로부터 일정 간격을 가지고 부양되도록 지지하는 반송부;
    상기 반송부 일측에 배치되며, 상기 기판의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부;
    상기 반송부의 반송 플레이트보다 상측으로 돌출되어 상기 기판을 안착시키는 기판 안착 패드를 구비하며, 상기 기판을 상기 반송부로부터 테스트부로 또는 상기 테스트부로부터 반송부로 이송시키는 기판 이송부; 및
    상기 기판이 반송 플레이트로부터 일정한 유격을 가지도록, 상기 기판 안착 패드의 높이를 제어하는 높이 제어부;를 구비하며,
    상기 높이 제어부는:
    상기 기판 안착 패드를 하측에서 지지하는 피스톤과;
    그 내부를 피스톤이 왕복 운동하는 것으로, 상기 피스톤에 의하여 내부 공간이 서로 밀폐된 상측 공간 및 하측 공간으로 구분되는 실린더 튜브와;
    상기 실린더 튜브의 상기 피스톤의 하측 공간과 연결되어서, 상기 하측 공간이 일정한 압력을 유지하도록 하는 레귤레이터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 높이 제어부는:
    상기 실린더 튜브의 상측 공간에 설치된 에어 부쉬; 및
    상기 에어 부쉬에 에어를 공급하는 에어 공급 라인을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 반송부는 기판의 이송방향으로 이격 배치된 복수의 반송 플레이트들을 구비하고,
    상기 기판 안착 패드는 서로 인접하는 반송 플레이트들 사이의 이격 공간 중 적어도 하나에 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 반송 플레이트에는 상측으로 기체를 분사하는 에어 홀들이 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 반송부는, 기판의 이송방향을 따라서 일정 유격을 가지고 나란히 배치된 복수의 반송 플레이트들을 구비하며,
    상기 기판 안착 패드는 상기 이웃하는 반송 플레이트들 사이의 유격을 따라서 이동되도록 설치된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
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