JP2002217269A

JP2002217269A - 移載機

Info

Publication number: JP2002217269A
Application number: JP2001013913A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Fukuwatari; 一郎福渡
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date: 2001-01-23
Filing date: 2001-01-23
Publication date: 2002-08-02
Anticipated expiration: 2021-01-23
Also published as: JP4286461B2

Abstract

(57)【要約】【課題】リンク機構で円滑に死点を通過できるように
構成することにより、発塵を抑制し、かつ高速での移載
を可能とし、さらに、移載先の装置のレイアウト上、移
載時に旋回が必要な場合でも簡単な方法で、被搬送物を
反転させることができるようにした移載機を提供するこ
と。【解決手段】両端と略中間に支点を有し、一端の支点
を直線上を移動する移動体４に、他端の支点を搬器３
に、それぞれ軸着した主レバー１と、この主レバー１の
略２分の１の長さで、両端に支点を有し、一端の支点を
移動体４が移動する直線の延長上のフレーム６に軸着
し、他端の支点を主レバー１の略中間位置に軸着した副
レバー２と、主レバー１及び副レバー２、この主レバー
１及び副レバー２にそれぞれ平行な２本の平行リンクＬ
１，Ｌ３並びにこれらを接続する平行リンクＬ２からな
り、フレーム６及び搬器３を接続する平行四辺形の形状
をした２組の平行リンク体と、この平行リンク体の駆動
装置としての副レバー駆動装置７とで構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移載機に関し、特
に、クリーンルーム内を高速で搬送される液晶などの大
形の基板の移載を、発塵を抑制しつつ、高速で、精度良
く行うことができるようにした移載機に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、クリーンルーム内を液晶などの大
形の基板の搬送を行う場合、その移載機として、例え
ば、図５〜図６に示すように、先端にピックアップフォ
ークを備えた水平多関節を用いたり、テレスコピックア
ームを用いたロボットが汎用されている。そして、この
いずれの方式においても、本体Ｈに昇降機構及び旋回機
構を備え、フォーク又はアームの出入、昇降、旋回の各
動作を組み合せて、搬器３を、図５において、左右方向
へ移動して、液晶などの移載を行うようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の移載
機は、水平多関節を用いたものにおいては、水平多関節
のリンク機構Ａの死点を回避するために、ギア、ベル
ト、ロープなどを利用するようにしている。また、クリ
ーンルームでは、液晶のガラス基板や半導体のウエーハ
などの薄板状の被搬送物を移載するため、ピックアップ
フォークやテレスコピックアームの先端は、狭い場所に
挿入する必要があり、このため、片持ち梁の形式の薄型
に形成し、これを支持する水平多関節のリンク機構Ａや
フレームは、その外側に配置されている。

【０００４】このため、従来の移載機は、次のような問
題点があった。ピックアップフォークやテレスコピックアームの先
端を支持する水平多関節のリンク機構Ａやフレームは、
剛性を高めるため、所定の高さ方向の寸法が必要であ
り、ピックアップフォークやテレスコピックアームの外
側に配置せざるを得ないため、被搬送物の移載に際し
て、旋回動作が不可欠で、旋回動作のために時間がかか
り、高速での移載に限度がある。旋回時に被搬送物及び移載機の最大半径のスペース
を確保する必要があり、工場全体のレイアウト上の制約
が生じる。水平多関節を用いたものにおいては、リンク機構に
死点があり、これを回避するため、ギア、ベルト、ロー
プなどを利用すると、発塵、給油、伸び等の点から保
守、停止精度、耐久性などにおいて、高精度のクリーン
ルームでの使用上の難点がある。テレスコピックアームを用いたものにおいては、多
段式にすることにより、旋回せずに被搬送物を移載する
ようにすることができるが、移載機の構造が複雑にな
り、また、その駆動装置を完全にシールすることが難し
く、クリーン度を維持することに限界があり、給油及び
信頼性の点から保守上の難点がある。

【０００５】本発明は、上記従来の移載機の有する問題
点に鑑み、ギア、ベルト、ロープなどによる旋回動作を
なくし、リンク機構で円滑に死点を通過できるように構
成することにより、発塵を抑制し、かつ高速での移載を
可能とし、さらに、移載先の装置のレイアウト上、移載
時に旋回が必要な場合でも簡単な方法で、被搬送物を反
転させることができるようにした移載機を提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の移載機は、両端と略中間に支点を有し、一
端の支点を直線上を移動する移動体に、他端の支点を搬
器に、それぞれ軸着した主レバーと、該主レバーの略２
分の１の長さで、両端に支点を有し、一端の支点を前記
移動体が移動する直線の延長上のフレームに軸着し、他
端の支点を前記主レバーの略中間位置に軸着した副レバ
ーと、前記主レバー及び副レバー、該主レバー及び副レ
バーにそれぞれ平行な２本の平行リンク並びにこれらを
接続する平行リンクからなり、フレーム及び搬器を接続
する平行四辺形の形状をした２組の平行リンク体と、該
平行リンク体の駆動装置とで構成したことを特徴とす
る。

【０００７】この移載機は、移載機の旋回動作なしで、
移載機の反対側に被搬送物を移載するようにしているの
で、移載の時間を短縮できるとともに、移載点には枢軸
となるピン形式の支点のみが移動するため、高度のクリ
ーン度が維持でき、ガイドレールが移載機の中央にあ
り、前後の移動がないので、発塵源が固定され、塵埃の
巻き上げがわずかで、クリーン度対策がテレスコピック
アームにくらべ容易で、軽量かつ安価に対策でき、ま
た、出入り動作の両先端ではリンク機構上、緩起動緩停
止が可能でショックが少なく、高速化が容易であり、さ
らに、リンク機構のため、構造が単純となり、寿命や保
守の点で有利である。

【０００８】この場合において、平行リンク体の死点通
過時に、平行リンク体の形状を制御する形状制御機構を
備えることができる。そして、この形状制御機構は、平
行リンク体の形状の維持又は非維持を、選択的に行うこ
とができるようにすることができる。

【０００９】これにより、搬器を安定的に平行に移動又
は反転させながら移動して、被搬送物の移載を行うこと
ができる。

【００１０】また、形状制御機構を、電磁石と、該電磁
石と相対位置関係にある永久磁石とで構成することがで
きる。

【００１１】これにより、形状制御機構を、構造が単純
で、制御が容易で、信頼性が高く、発塵のない構造とす
ることができる。

【００１２】また、搬器を含むフレーム全体を昇降させ
る昇降装置を備えることができる。

【００１３】これにより、発塵源が固定され、塵埃の巻
き上げがわずかで、クリーン度対策が一層容易となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の移載機の実施の形
態を図面に基づいて説明する。

【００１５】図１〜図４に、本発明の移載機の一実施例
を示す。この移載機は、次のように構成されている。

【００１６】被搬送物Ｇを移載する移載距離に適した長
さを備えた主レバー１の基端側をピンＰ７を介して移動
体４に軸着するとともに、先端側をピンＰ１を介して搬
器３に軸着する。

【００１７】この搬器３には、その上にガラス基板など
の被搬送物Ｇを、必要に応じて、吸盤（図示省略）によ
り吸着等させることにより、載置可能に構成する。な
お、本実施例において、搬器３の形状は、Ｈ形のものを
示したが、特にこれに限定されるものではなく、パン状
のもの、チャック式のもの等、任意の形状のものを採用
することができる。そして、この搬器３は、その中心位
置で、ピンＰ１を介し主レバー１に軸着するようにす
る。また、搬器３は、その移動方向Ｙと直角方向Ｘにピ
ンＰ１より適当な距離をおいて、主レバー１と平行に配
設する平行リンクＬ１の先端に、ピンＰ２を介して軸着
するようにする。

【００１８】主レバー１の基端側には、ピンＰ７を介し
て移動体４を軸着し、この移動体４を、搬器３の移動方
向Ｙと直角方向Ｘに自由に移動できるように、ガイドレ
ール５にて案内するように構成する。また、ガイドレー
ル５は、リニアベアリング、車輪式のもの等を採用する
ことができ、必要に応じて、給電線、制御線を連結する
ケーブルキャリア（図示省略）を側面に取付けることが
できる。

【００１９】平行リンクＬ１は、主レバー１の略２分の
１の長さで、主レバー１の下方に配設し、搬器３が移動
方向Ｙに移動中に、互いに干渉しないように配置され
る。また、平行リンクＬ１は、搬器３のピンＰ１，Ｐ２
を結ぶ方向と平行となるように配設する平行リンクＬ２
とピンＰ３を介して軸着する。

【００２０】この平行リンクＬ２は、平行リンクＬ１の
下方位置に配設し、搬器３が移動方向Ｙに移動中に、互
いに干渉しないように配置される。また、平行リンクＬ
２の一端は、主レバー１の略中間位置に、ピンＰ４を介
して軸着されるとともに、平行リンクＬ２を平行リンク
Ｌ１の下方位置に配設し、同様に搬器３が移動方向Ｙに
移動中に干渉しないように配置される。このようにし
て、ピンＰ１，ピンＰ２，ピンＰ３及びピンＰ４を介し
て、軸着される主レバー１、平行リンクＬ１、平行リン
クＬ２及び搬器３により、平行四辺形の形状をした平行
リンク体を形成し、これにより、搬器３と平行リンクＬ
２は、移動方向Ｙに移動中も平行の位置関係を維持する
ようにする。

【００２１】そして、平行リンクＬ２には、ピンＰ３を
介して主レバー１の略２分の１の長さを有する平行リン
クＬ３を軸着する。この平行リンクＬ３は、平行リンク
Ｌ２の下方に位置し、移動方向Ｙに移動中に干渉しない
ように配置される。平行リンクＬ３は、フレーム６にピ
ンＰ５を介して軸着されている。

【００２２】また、副レバー２は、平行リンクＬ３と平
行に配設され、主レバー１の略中間位置にてピンＰ４を
介して軸着され、この副レバー２の他端は、フレーム６
に揺動可能にピンＰ６を介して軸着される。この副レバ
ー２は、平行リンクＬ３と同様に、主レバー１の略２分
の１の長さで、平行リンクＬ３の下方位置に配設し、移
動方向Ｙに移動中に干渉しないように配置される。

【００２３】また、平行リンクＬ３の基端側をフレーム
６に軸着するピンＰ５及び副レバー２の基端側をフレー
ム６に軸着するピンＰ６は、移動体４の移動方向Ｘの延
長上に配置され、これらのピンＰ３、ピンＰ４、ピンＰ
５及びピンＰ６にて連結される平行リンクＬ２、平行リ
ンクＬ３、副レバー２及びフレーム６の一部により、平
行四辺形の形状をした平行リンク体を形成し、これによ
り、平行リンクＬ２は、搬器３が移動方向Ｙに移動中に
おいても移動体４の移動方向Ｘと平行の位置関係を維持
するようにする。

【００２４】そして、この副レバー２の基端側は、ピン
Ｐ６を介して、副レバー駆動装置７の回転軸に固定さ
れ、副レバー駆動装置７を駆動することにより、ピンＰ
６を中心として揺動するようにする。これにより、副レ
バー駆動装置７は、上記ピンＰ１，ピンＰ２，ピンＰ３
及びピンＰ４を介して、軸着される主レバー１、平行リ
ンクＬ１、平行リンクＬ２及び搬器３により形成される
平行四辺形の形状をした平行リンク体、及びピンＰ３、
ピンＰ４、ピンＰ５及びピンＰ６にて連結される平行リ
ンクＬ２、平行リンクＬ３、副レバー２及びフレーム６
の一部により形成される平行四辺形の形状をした平行リ
ンク体の駆動装置を構成する。なお、平行リンク体の駆
動装置としては、副レバー２をピンＰ６を中心として揺
動させるもののほか、平行リンクＬ３をピンＰ５を中心
として揺動させるものや移動体４を搬器３の移動方向Ｙ
と直角方向Ｘに移動させるものを、任意に採用すること
ができる。

【００２５】また、フレーム６は昇降装置８に連結さ
れ、搬器３、主レバー１、副レバー２、及び平行リンク
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３などと共に、昇降可能に構成する。

【００２６】また、搬器３には、平行リンク体の死点通
過時に、平行リンク体の形状を制御する形状制御機構と
して、ピンＰ１とピンＰ２を結ぶ延長上位置に永久磁石
Ｍ１を、フレーム６上には電磁石Ｅ１をそれぞれ取り付
け、この永久磁石Ｍ１と電磁石Ｅ１とは相対して平行リ
ンクＬ１、Ｌ３の死点通過時に互いに作用するように相
対位置関係を有するようにする。

【００２７】また、平行リンクＬ２の先端又はその延長
上に電磁石Ｅ２を、平行リンクＬ３上に永久磁石Ｍ２を
それぞれが取りつけ、この電磁石Ｅ２と永久磁石Ｍ２と
は、相対して平行リンクＬ２、平行リンクＬ３の死点通
過時に互いに作用するように相対位置関係を有するよう
にする。この場合、電磁石Ｅ１，Ｅ２は、図３に示すよ
うに、それぞれ１対のコイルＥＣ１，ＥＣ２からなり、
平行リンクＬ１、平行リンクＬ２及び平行リンクＬ３の
移動方向を制御できるように構成されている。

【００２８】また、フレーム６内には、副レバー駆動装
置７を配設し、副レバー２を介して平行リンク体が屈伸
動作をするようにするとともに、ガイドレール５を側方
方向へ突設し、移動体４の移動方向を規制しつつ移動可
能に支持し、さらには、昇降装置８によりフレーム６全
体を昇降するようにする。

【００２９】なお、主レバー１、副レバー２及び平行リ
ンクＬ１，Ｌ２，Ｌ３の形状は、図示のものに限定され
ず、丸棒、パイプ形状、Ｈ形、湾曲したもの等を任意に
採用することができる。また、主レバー１、副レバー２
及び平行リンクＬ１，Ｌ２，Ｌ３の寸法を変更すること
により、移載点や旋回角度の調整が可能となる。このた
め、平行リンク体の主レバー１、副レバー２及び平行リ
ンクＬ１，Ｌ２，Ｌ３に、必要に応じて、長さ調整用手
段、例えば、調整ねじ等を付設することもできる。

【００３０】平行リンク体の形状を制御する形状制御機
構としての永久磁石Ｍ１，Ｍ２及び電磁石Ｅ１，Ｅ２
は、図１に示すように、左右方向、上下方向、挟み込
み、円弧状等各種の配設形態を採用することができる。

【００３１】次に、この移載機の動作について、図２〜
図４に基づいて説明する。搬器３上に載置された被搬送
物Ｇを移載する場合、副レバー駆動装置７により副レバ
ー２を揺動させることにより行うことができる。例え
ば、図２に示す実線位置からピンＰ６を中心に副レバー
２を揺動させ、副レバー２を破線位置まで移動させる
と、副レバー２は主レバー１の略２分の１の長さを有す
るので、ピンＰ１，Ｐ４，Ｐ６間を結んで形成される三
角形と、ピンＰ４，Ｐ６，Ｐ７間を結んで形成される三
角形は、いずれも二等辺三角形となる。この場合、主レ
バー１、副レバー２及び平行リンク、ガイドレール等の
なす角度は、２α＋γ＝２β＋δ＝１８０°、γ＋δ＝
１８０°となる。したがって、α＋β＝９０°となるの
で、ピンＰ７は移動体と共に直線状のガイドレール５上
を移動するので、ピンＰ１の位置は常にガイドレール５
に直角の位置にあり、直線上を移動することとなる。

【００３２】また、主レバー１は片側のガイドレール５
上に支持されているので、これにより、剛性が高く、マ
ニュピュレータ方式に比べ、レバーの断面寸法を小さく
でき、軽量化が可能で、小型化、高速化に適している。
ピンＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４間を結んで形成される四角
形と、ピンＰ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６間を結んで形成され
る四角形は、いずれも平行四辺形の形状をした平行リン
ク体からなるため、ピンＰ１，Ｐ２を結ぶ線は固定点で
あるピンＰ５，Ｐ６を結ぶ線と常に平行であり、したが
って、搬器３の方向も一定となる。これにより、副レバ
ー２がガイドレール５上を越え、さらに揺動させること
により、平行リンク体の平行四辺形が維持されると、搬
器３は向きを変えることなく、ガイドレール５の反対側
へ移動するものとなる。

【００３３】このように、平行リンク体の平行四辺形が
維持されると、搬器３はそのまま方向を変えずに連続し
て移動が可能となり、したがって、旋回動作を行うこと
なく、高速で被搬送物の移載が可能となる。

【００３４】ところで、主レバー１及び副レバー２がガ
イドレール５上にあるときは、平行リンク体が死点上に
あり、平行四辺形が維持される保証がない。このため、
本実施例においては、平行リンク体が死点上を通過する
時に、平行リンク体の形状を制御する形状制御機構とし
て、永久磁石Ｍ１，Ｍ２及び電磁石Ｅ１，Ｅ２を相対的
に配設するようにしている。

【００３５】この形状制御機構の作用を、永久磁石Ｍ１
及び電磁石Ｅ１を例に説明する。永久磁石Ｍ１は、Ｎ極
とＳ極を有し、例えば、Ｎ極を図３（ａ）に示すように
配置する。一方、電磁石Ｅ１は、２個のコイルＥＣ１，
ＥＣ２から形成され、それぞれ独立して励磁することが
できるようにされ、その中心をガイドレール５の中心に
一致するように配置する。そして、永久磁石Ｍ１が図３
（ａ）に示す方向に移動し、コイルＥＣ１，ＥＣ２を中
央がＮ極、両端がＳ極となるように励磁すると、そのと
きの反発力は、図３（ｂ）に示す曲線のようになる。永
久磁石Ｍ１の中心が略コイルコイルＥＣ１，ＥＣ２の中
心を通過する時に、力の方向が反転するので、永久磁石
Ｍ１の中心が略コイルＥＣ１の中心を通過する時に励磁
し、永久磁石の中心が略コイルＥＣ２の中心を通過する
時に消磁すると、永久磁石Ｍ１は平行リンク体の死点通
過時に反発力を受け、ピンＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４間を
結んで形成される平行リンク体の四角形は、図４（ａ）
に示すように、平行四辺形が維持される。

【００３６】また、永久磁石Ｍの移動方向が逆の場合も
同様である。

【００３７】また、同様に、永久磁石Ｍ２及び電磁石Ｅ
２からなる形状制御機構も、同様の制御により、ピンＰ
３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６間を結んで形成される平行リンク
体の四角形は、平行四辺形を維持できる。

【００３８】一方、レイアウト上、搬器３の前後を、例
えば、１８０°反転して、被搬送物を移載する必要があ
る場合がある。この場合は、平行リンク体の死点通過時
に、電磁石Ｅ１（又は電磁石Ｅ２）のコイルＥＣ１，Ｅ
Ｃ２の励磁方向を逆にして、中央をＳ極、両端をＮ極と
なるように励磁すると、吸引力を生じ、図４（ｂ）に示
すように、ピンＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４間を結んで形成
される平行リンク体の四角形は、平行四辺形が維持され
ず、向かい合った平行リンク１，Ｌ１が交差する形とな
り、結果的に搬器３を旋回させることができる。この場
合、平行リンク体の主レバー１、副レバー２及び平行リ
ンクＬ１，Ｌ２，Ｌ３の長さを適当に選定することによ
り、旋回角度を調整することができる。

【００３９】また、永久磁石Ｍの移動方向が逆の場合も
同様である。

【００４０】これにより、リンク機構にギア、ベルト、
ロープなどを利用することなく、平行リンク体の形状を
制御して死点を通過させることができ、摩耗部品もな
く、長寿命、発塵のないクリーンルーム用に適した移載
機を得ることができる。

【００４１】以上、本発明の移載機について、その一実
施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載
した構成に限定されるものではなく、例えば、平行リン
ク体の死点通過時に、平行リンク体の形状を制御する形
状制御機構に、上記実施例の電磁石と永久磁石の組み合
わせ以外の任意の機構を用いることができる等、その趣
旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更するこ
とができるものである。また、本発明の移載機は、固定
側に設置して用いるほか、被搬送物の搬送装置側に設置
して用いることもできるものである。

【００４２】

【発明の効果】本発明の移載機によれば、移載機の旋回
動作なしで、移載機の反対側に被搬送物を移載するよう
にしているので、移載の時間を短縮できるとともに、移
載点には枢軸となるピン形式の支点のみが移動するた
め、高度のクリーン度が維持できる。また、ガイドレー
ルが移載機の中央にあり、前後の移動がないので、発塵
源が固定され、塵埃の巻き上げがわずかで、クリーン度
対策がテレスコピックアームにくらべ容易で、軽量かつ
安価に対策できる。また、出入り動作の両先端ではリン
ク機構上、緩起動緩停止が可能でショックが少なく、高
速化が容易であり、さらに、リンク機構のため、構造が
単純となり、寿命や保守の点で有利である。これによ
り、クリーンルーム内を高速で搬送される液晶などの大
形の基板の移載を、発塵を抑制しつつ、高速で、精度良
く行うために好適な移載機を、低コストで得ることがで
きる。

【００４３】また、平行リンク体の死点通過時に、必要
に応じて、平行リンク体の形状の維持又は非維持を、選
択的に行うことができる形状制御機構を備えることによ
り、搬器を安定的に平行に移動又は反転させながら移動
して、被搬送物の移載を行うことができる。

【００４４】また、形状制御機構を、電磁石と、この電
磁石と相対位置関係にある永久磁石とで構成することに
より、形状制御機構を、構造が単純で、制御が容易で、
信頼性が高く、発塵のない構造とすることができる。

【００４５】また、搬器を含むフレーム全体を昇降させ
る昇降装置を備えることにより、発塵源が固定され、塵
埃の巻き上げがわずかで、クリーン度対策が一層容易と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の移載機の一実施例を示す外観斜視図で
ある。

【図２】移載機のスケルトンである。

【図３】電磁石と永久磁石との関係を示す説明図であ
る。

【図４】移載機の動作状態を示し、（ａ）は平行リンク
体の形状を維持する場合を、（ｂ）は平行リンク体の形
状を維持しない場合を、それぞれ示す。

【図５】従来の移載機を示す平面図である。

【図６】従来の移載機を示す外観図である。

【符号の説明】

１主レバー２副レバー３搬器４移動体５ガイドレール６フレーム７副レバー駆動装置（平行リンク体の駆動装置）８昇降装置Ｇ被搬送物Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３平行リンクＥ１，Ｅ２電磁石（形状制御機構）Ｍ１，Ｍ２永久磁石（形状制御機構）Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７ピンＸ移動体の移動方向Ｙ搬器の移動方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】両端と略中間に支点を有し、一端の支点
を直線上を移動する移動体に、他端の支点を搬器に、そ
れぞれ軸着した主レバーと、該主レバーの略２分の１の
長さで、両端に支点を有し、一端の支点を前記移動体が
移動する直線の延長上のフレームに軸着し、他端の支点
を前記主レバーの略中間位置に軸着した副レバーと、前
記主レバー及び副レバー、該主レバー及び副レバーにそ
れぞれ平行な２本の平行リンク並びにこれらを接続する
平行リンクからなり、フレーム及び搬器を接続する平行
四辺形の形状をした２組の平行リンク体と、該平行リン
ク体の駆動装置とで構成したことを特徴とする移載機。
【請求項２】平行リンク体の死点通過時に、平行リン
ク体の形状を制御する形状制御機構を備えたことを特徴
とする請求項１記載の移載機。
【請求項３】形状制御機構が、平行リンク体の形状の
維持又は非維持を、選択的に行うものであることを特徴
とする請求項２記載の移載機。
【請求項４】形状制御機構が、電磁石と、該電磁石と
相対位置関係にある永久磁石とからなることを特徴とす
る請求項２又は３記載の移載機。
【請求項５】搬器を含むフレーム全体を昇降させる昇
降装置を備えたことを特徴とする請求項１、２、３又は
４記載の移載機。