JP2006289555A - 多関節型ロボット - Google Patents
多関節型ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006289555A JP2006289555A JP2005114028A JP2005114028A JP2006289555A JP 2006289555 A JP2006289555 A JP 2006289555A JP 2005114028 A JP2005114028 A JP 2005114028A JP 2005114028 A JP2005114028 A JP 2005114028A JP 2006289555 A JP2006289555 A JP 2006289555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- workpiece
- articulated robot
- arm part
- hand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 ワーク30をカセットにロード/アンロードする多関節型ロボット1において、ワーク30を保持するハンド部7と、ハンド部7を回転可能に保持するアーム部6と、アーム部6の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部6の基端側の移動軌跡が、ワーク30をロード/アンロードする方向とはほぼ直交する方向の直線となるように動作するリンク機構3と、アーム部6(又はアーム部6の先端側)を、リンク機構3の移動に整合させてワーク30をロード/アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段(アーム部モータ51や上支持フレームモータ6b)と、を備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット1の縦断面図である。また、図2は、図1に示す多関節型ロボット1の横断面図である。特に、図2(a)は、図1におけるA−A'線に沿う断面図であって、図2(b)は、図1におけるB−B'線に沿う断面図である。
図3は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット1の機械動作を説明するための説明図である。図3では、ワーク(円形の半導体ウェハ)30を図中下のカセットから取り出して、図中上のカセットに載置する動作について説明する。
2 基台
3 リンク機構
4 基台側リンク部
5 アーム部側リンク部
6 アーム部
7 ハンド部
8 昇降筒
Claims (2)
- ワークをカセットにロード/アンロードする多関節型ロボットにおいて、
ワークを保持するハンド部と、
前記ハンド部を回転可能に保持するアーム部と、
前記アーム部の基端側を回転可能に保持するとともに、前記アーム部の基端側の移動軌跡が、前記ロード/アンロードする方向とは略直交する方向の直線となるように動作するリンク機構と、
前記アーム部を、前記リンク機構の移動に整合させて前記ロード/アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を備えることを特徴とする多関節型ロボット。 - 前記リンク機構は、前記多関節ロボットの基端側に位置する基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、が連結されており、
前記基台側リンク部と前記アーム部側リンク部との長さが略同一であって、
前記基台側リンク部と前記アーム部側リンク部との回転角度比が1:2であることを特徴とする請求項1記載の多関節型ロボット。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114028A JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
KR1020077023207A KR20080002818A (ko) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 다관절형 로보트 |
TW095112782A TW200642812A (en) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | Articulated robot |
US11/918,306 US8136422B2 (en) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | Articulated robot |
CN2006800114805A CN101156239B (zh) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 多关节机器人 |
PCT/JP2006/307626 WO2006109791A1 (ja) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 多関節型ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114028A JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006289555A true JP2006289555A (ja) | 2006-10-26 |
JP4595053B2 JP4595053B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=37410694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005114028A Active JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4595053B2 (ja) |
CN (1) | CN101156239B (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008065747A1 (ja) * | 2006-11-27 | 2010-03-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム |
JP2011000658A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板搬送ロボット |
JP2013016843A (ja) * | 2012-09-10 | 2013-01-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体処理設備 |
US8668428B2 (en) | 2010-04-21 | 2014-03-11 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Horizontal articulated robot and substrate transfer system provided with the same |
JP2014123758A (ja) * | 2007-05-18 | 2014-07-03 | Brooks Automation Inc | 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
JP2014144527A (ja) * | 2013-01-07 | 2014-08-14 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
JP2014522742A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法 |
JP2014236036A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ワーク搬送ロボット |
JP2020074440A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5576911B2 (ja) * | 2012-08-20 | 2014-08-20 | ファナック株式会社 | 両持ち式のアーム部材を備えた多関節ロボット |
JP6630727B2 (ja) * | 2015-05-25 | 2020-01-15 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
JP6962790B2 (ja) * | 2017-11-09 | 2021-11-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム及びその制御方法 |
CN110962157A (zh) * | 2019-01-29 | 2020-04-07 | 昀智科技(北京)有限责任公司 | 快速稳定的智能化三关节机械臂 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164402A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
WO2003007129A2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Broks Automation, Inc. | Trajectory planning and motion control strategies for a planar three-degree-of-freedom robotic arm |
JP2003220586A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-05 | Nissin Electric Co Ltd | 物品搬送ロボット及び真空処理装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5064340A (en) * | 1989-01-20 | 1991-11-12 | Genmark Automation | Precision arm mechanism |
-
2005
- 2005-04-11 JP JP2005114028A patent/JP4595053B2/ja active Active
-
2006
- 2006-04-11 CN CN2006800114805A patent/CN101156239B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164402A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
WO2003007129A2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Broks Automation, Inc. | Trajectory planning and motion control strategies for a planar three-degree-of-freedom robotic arm |
JP2003220586A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-05 | Nissin Electric Co Ltd | 物品搬送ロボット及び真空処理装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008065747A1 (ja) * | 2006-11-27 | 2010-03-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム |
US8371795B2 (en) | 2006-11-27 | 2013-02-12 | Nidec Sankyo Corporation | Workpiece transfer system |
JP5199117B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2013-05-15 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム |
JP2014123758A (ja) * | 2007-05-18 | 2014-07-03 | Brooks Automation Inc | 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
JP2011000658A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板搬送ロボット |
US8668428B2 (en) | 2010-04-21 | 2014-03-11 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Horizontal articulated robot and substrate transfer system provided with the same |
JP2014522742A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法 |
JP2013016843A (ja) * | 2012-09-10 | 2013-01-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体処理設備 |
JP2014144527A (ja) * | 2013-01-07 | 2014-08-14 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
JP2014236036A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ワーク搬送ロボット |
JP2020074440A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4595053B2 (ja) | 2010-12-08 |
CN101156239B (zh) | 2010-05-19 |
CN101156239A (zh) | 2008-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4595053B2 (ja) | 多関節型ロボット | |
JP4852719B2 (ja) | 多関節型ロボット | |
WO2006109791A1 (ja) | 多関節型ロボット | |
TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
JP3999712B2 (ja) | 多関節ロボット | |
JP4970128B2 (ja) | 産業用ロボット及び集合処理装置 | |
US20110135437A1 (en) | Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same | |
JP2019084652A (ja) | 水平多関節型ロボット及びその原点復帰方法 | |
JP2014034109A (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 | |
US10580681B2 (en) | Robotic apparatus and method for transport of a workpiece | |
JP2010184333A (ja) | 基板搬送用ロボット及びそれを備えた基板搬送装置、半導体製造装置 | |
JP2019084651A (ja) | ワーク搬送システム及びその制御方法 | |
JP2009136981A (ja) | ロボット制御装置 | |
JP2001217300A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP3539537B2 (ja) | 多関節ロボット | |
JPH07122620A (ja) | 動力伝達機構 | |
JP2006281269A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
KR101682465B1 (ko) | 기판이송로봇 | |
TWI750741B (zh) | 產業用機器人 | |
JP2000243809A (ja) | 多関節ロボット装置 | |
JP2018183836A (ja) | パラレルリンクロボット | |
KR101700660B1 (ko) | 반송 로봇의 교시방법 | |
JP3124886U (ja) | ハンドリング装置 | |
JP2017185625A (ja) | ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100628 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100730 |
|
A59 | Written plea |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A59 Effective date: 20100914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4595053 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |