JPH1076487A - 移載ロボット - Google Patents
移載ロボットInfo
- Publication number
- JPH1076487A JPH1076487A JP24894796A JP24894796A JPH1076487A JP H1076487 A JPH1076487 A JP H1076487A JP 24894796 A JP24894796 A JP 24894796A JP 24894796 A JP24894796 A JP 24894796A JP H1076487 A JPH1076487 A JP H1076487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- hand
- transfer robot
- drive
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造の簡素化を図る。
【解決手段】 駆動腕14の先端部には、揺動アーム2
0を構成している平行リンクの一方のリンク28の中間
部が摺動ピン18を介して枢着してある。摺動ピン18
は、駆動腕14に形成した長孔16を貫通して基板70
に設けた放物線状カム溝に挿入してある。駆動モータ8
2によって駆動腕14を矢印24のように揺動させる
と、摺動ピン18がカム溝22に沿って放物線運動を
し、揺動アーム20が下部枢着点を中心に揺動するとと
もに、揺動アーム20の下端部がガイド40に沿って上
下動し、また揺動アーム20の上端部に取り付けたハン
ド36が水平方向に直線往復運動をする。
0を構成している平行リンクの一方のリンク28の中間
部が摺動ピン18を介して枢着してある。摺動ピン18
は、駆動腕14に形成した長孔16を貫通して基板70
に設けた放物線状カム溝に挿入してある。駆動モータ8
2によって駆動腕14を矢印24のように揺動させる
と、摺動ピン18がカム溝22に沿って放物線運動を
し、揺動アーム20が下部枢着点を中心に揺動するとと
もに、揺動アーム20の下端部がガイド40に沿って上
下動し、また揺動アーム20の上端部に取り付けたハン
ド36が水平方向に直線往復運動をする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを所望位置
に移送する多関節移載ロボットに係り、特に液晶ガラス
基板などの取り扱いに好適な移載ロボットに関する。
に移送する多関節移載ロボットに係り、特に液晶ガラス
基板などの取り扱いに好適な移載ロボットに関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ガラス基板や半導体ウエハ、または
プリント配線基板を検査装置等に搬入したりする場合、
移載ロボットまたはハンドリングロボットと称する装置
が使用されている。そして、液晶ガラス基板や半導体ウ
エハなどは、一般に専用のラックに狭い間隔をあけて縦
方向に多数枚を積重ねるように配置してあり、これらを
移送するロボットのハンドを狭いワーク間に挿入できる
必要があり、ハンドを水平方向に移動することができる
アームを備えた直交型またはスカラー型の移載ロボット
が使用されている。
プリント配線基板を検査装置等に搬入したりする場合、
移載ロボットまたはハンドリングロボットと称する装置
が使用されている。そして、液晶ガラス基板や半導体ウ
エハなどは、一般に専用のラックに狭い間隔をあけて縦
方向に多数枚を積重ねるように配置してあり、これらを
移送するロボットのハンドを狭いワーク間に挿入できる
必要があり、ハンドを水平方向に移動することができる
アームを備えた直交型またはスカラー型の移載ロボット
が使用されている。
【0003】直交型移載ロボットは、昇降、旋回可能な
軸の上端に水平方向に配置したガイドレールを取り付
け、このガイドレールに、液晶ガラス基板などのワーク
を支持するハンドを先端に設けたアームを装着し、アー
ムに設けた駆動モータを駆動することによって、アーム
をガイドレールに沿って水平移動させてワークを水平方
向に移送できるようにしている。また、スカラー型移載
ロボットは、昇降、旋回可能な軸の上端に、水平面内で
屈曲可能な関節を備えたアームを取り付け、このアーム
の先端に水平面内で揺動するハンドを設け、このハンド
やアームの関節にサーボモータを配置するか、または別
に配置した駆動系からアームとハンドとを屈曲させるこ
とにより、ワークを水平面内の所望の位置に移送できる
ようにしている。
軸の上端に水平方向に配置したガイドレールを取り付
け、このガイドレールに、液晶ガラス基板などのワーク
を支持するハンドを先端に設けたアームを装着し、アー
ムに設けた駆動モータを駆動することによって、アーム
をガイドレールに沿って水平移動させてワークを水平方
向に移送できるようにしている。また、スカラー型移載
ロボットは、昇降、旋回可能な軸の上端に、水平面内で
屈曲可能な関節を備えたアームを取り付け、このアーム
の先端に水平面内で揺動するハンドを設け、このハンド
やアームの関節にサーボモータを配置するか、または別
に配置した駆動系からアームとハンドとを屈曲させるこ
とにより、ワークを水平面内の所望の位置に移送できる
ようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の直交
型移載ロボットは、アームを水平方向に案内するガイド
レールが設けてあるとともに、アームに設けた駆動モー
タの給電ケーブル等を配設する必要があるため、構造が
複雑で大型となり、アームを旋回させる場合にガイドレ
ールと一体に旋回させるために旋回半径が大きく、広い
設置スペースを必要とする。また、従来のスカラー型移
載ロボットは、各関節に屈曲用の駆動系を配設してある
ため、構造が複雑であるばかりでなく、アームとハンド
とを屈曲させながら、ワークを載せたハンドの先端を直
線運動させなければならないところから制御も複雑とな
る。そして、液晶ガラス基板や半導体ウエハは、塵埃が
付着すると不良の原因となるため、一般にクリーンルー
ム内で取り扱われるが、上記した従来の移載ロボット
は、アームの駆動部やガイドレール等の駆動部をロボッ
トの上方、ワークに近接して設けてあり、移載ロボット
をクリーンルーム内で使用する場合に、駆動部やガイド
部などから摺動に伴うゴミが発生してクリーンルーム内
を汚し、液晶ガラス基板や半導体ウエハの不良の原因と
なるおそれがある。
型移載ロボットは、アームを水平方向に案内するガイド
レールが設けてあるとともに、アームに設けた駆動モー
タの給電ケーブル等を配設する必要があるため、構造が
複雑で大型となり、アームを旋回させる場合にガイドレ
ールと一体に旋回させるために旋回半径が大きく、広い
設置スペースを必要とする。また、従来のスカラー型移
載ロボットは、各関節に屈曲用の駆動系を配設してある
ため、構造が複雑であるばかりでなく、アームとハンド
とを屈曲させながら、ワークを載せたハンドの先端を直
線運動させなければならないところから制御も複雑とな
る。そして、液晶ガラス基板や半導体ウエハは、塵埃が
付着すると不良の原因となるため、一般にクリーンルー
ム内で取り扱われるが、上記した従来の移載ロボット
は、アームの駆動部やガイドレール等の駆動部をロボッ
トの上方、ワークに近接して設けてあり、移載ロボット
をクリーンルーム内で使用する場合に、駆動部やガイド
部などから摺動に伴うゴミが発生してクリーンルーム内
を汚し、液晶ガラス基板や半導体ウエハの不良の原因と
なるおそれがある。
【0005】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、構造の簡素化を図ることができ
る移載ロボットを提供することを目的としている。
ためになされたもので、構造の簡素化を図ることができ
る移載ロボットを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る移載ロボットは、ワークを支持する
ハンドを直線的に移動可能なアームを備えた移載ロボッ
トにおいて、前記アームを平行リンクによって構成する
とともに、前記アームを揺動させてアームに設けた前記
ハンドを直線移動させるカム機構を設けた構成となって
いる。カム機構は、一端が駆動モータに接続されて他端
部にアームを枢着した駆動腕と、この駆動腕とアームと
の枢着部を案内してアームを揺動させる放物線状カム溝
とを有するように構成できる。駆動腕には、枢着部の放
物線運動を可能にするための長孔を長手方向に設ける。
めに、本発明に係る移載ロボットは、ワークを支持する
ハンドを直線的に移動可能なアームを備えた移載ロボッ
トにおいて、前記アームを平行リンクによって構成する
とともに、前記アームを揺動させてアームに設けた前記
ハンドを直線移動させるカム機構を設けた構成となって
いる。カム機構は、一端が駆動モータに接続されて他端
部にアームを枢着した駆動腕と、この駆動腕とアームと
の枢着部を案内してアームを揺動させる放物線状カム溝
とを有するように構成できる。駆動腕には、枢着部の放
物線運動を可能にするための長孔を長手方向に設ける。
【0007】
【作用】上記のごとく構成した本発明は、カム機構によ
ってアームを揺動させるだけでアームに設けたハンドを
直線移動させることができ、構造の簡素化を図ることが
できる。しかも、アームを平行リンクによって構成する
ことにより、アームを揺動させてハンドを直線移動させ
たとしても、その姿勢が常に一定に維持されるため、例
えばハンドにワークを載せてワークを水平方向に移送す
る場合に、ワークが落下することがない。また、主要な
摺動を伴う駆動系が、平行リンクのアーム側摺動ピン以
外は、ワークから離れた下方に位置するため、ワークへ
のゴミの付着等の悪影響が避けられる。
ってアームを揺動させるだけでアームに設けたハンドを
直線移動させることができ、構造の簡素化を図ることが
できる。しかも、アームを平行リンクによって構成する
ことにより、アームを揺動させてハンドを直線移動させ
たとしても、その姿勢が常に一定に維持されるため、例
えばハンドにワークを載せてワークを水平方向に移送す
る場合に、ワークが落下することがない。また、主要な
摺動を伴う駆動系が、平行リンクのアーム側摺動ピン以
外は、ワークから離れた下方に位置するため、ワークへ
のゴミの付着等の悪影響が避けられる。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る移載ロ
ボットの好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細
に説明する。
ボットの好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細
に説明する。
【0009】図2は、アームに取り付けたハンドを直線
運動させるアーム駆動機構の原理を示す図である。図に
おいて、カム機構10は、本図に図示しない駆動モータ
の回転軸12に一端を固定した駆動腕14を有してい
る。そして、駆動腕14は、他端部に駆動腕14の長手
方向に沿って長孔16が形成してあり、長孔16を貫通
させた摺動ピン18を介して、揺動アーム20の中間部
が枢着してある。また、摺動ピン18は、カム溝22に
挿入してあって、駆動腕14が矢印24のように揺動し
た際に、カム溝22に沿って移動するようになってい
る。このカム溝22は、回転軸12の鉛直上方の点Fを
焦点とする放物線に形成してあって、回転軸12の中心
と焦点Fとを結ぶ直線26の延長線がカム溝22を形成
している放物線の頂点を通るようになっている。さら
に、カム溝22は、直線26に対して線対称に形成して
ある。そして、駆動腕14に設けた長孔16は、駆動腕
14の揺動に伴う摺動ピン18の放物線運動(放物線移
動)を可能にする。
運動させるアーム駆動機構の原理を示す図である。図に
おいて、カム機構10は、本図に図示しない駆動モータ
の回転軸12に一端を固定した駆動腕14を有してい
る。そして、駆動腕14は、他端部に駆動腕14の長手
方向に沿って長孔16が形成してあり、長孔16を貫通
させた摺動ピン18を介して、揺動アーム20の中間部
が枢着してある。また、摺動ピン18は、カム溝22に
挿入してあって、駆動腕14が矢印24のように揺動し
た際に、カム溝22に沿って移動するようになってい
る。このカム溝22は、回転軸12の鉛直上方の点Fを
焦点とする放物線に形成してあって、回転軸12の中心
と焦点Fとを結ぶ直線26の延長線がカム溝22を形成
している放物線の頂点を通るようになっている。さら
に、カム溝22は、直線26に対して線対称に形成して
ある。そして、駆動腕14に設けた長孔16は、駆動腕
14の揺動に伴う摺動ピン18の放物線運動(放物線移
動)を可能にする。
【0010】揺動アーム20は、長さの等しい一対のリ
ンク28、30を平行配置した平行リンクとなってい
て、その一方のリンク28の中間部が駆動腕14に摺動
ピン18を介して枢着してある。そして、各リンク2
8、30の上端部には、取付け台32が水平となるよう
に枢着してあって、この取付け台32に液晶ガラス基板
などのワーク34を支持するハンド36が固定してあ
る。また、リンク28、30と取付け台32との枢着点
35、37を結ぶ直線の延長線39は、線26と直交す
るとともに、点Fを通るようになっている。さらに、各
リンク28、30の下端部は、取付け台32と平行にな
っているブラケット38に枢着してある。このブラケッ
ト38は、上下方向に立設したガイド40に沿って昇降
するスライダ42に固定してある。そして、駆動腕14
に連結したリンク28とブラケット38との枢着点44
は、回転軸12の中心と点Oとを結ぶ直線26の延長線
上に位置している。
ンク28、30を平行配置した平行リンクとなってい
て、その一方のリンク28の中間部が駆動腕14に摺動
ピン18を介して枢着してある。そして、各リンク2
8、30の上端部には、取付け台32が水平となるよう
に枢着してあって、この取付け台32に液晶ガラス基板
などのワーク34を支持するハンド36が固定してあ
る。また、リンク28、30と取付け台32との枢着点
35、37を結ぶ直線の延長線39は、線26と直交す
るとともに、点Fを通るようになっている。さらに、各
リンク28、30の下端部は、取付け台32と平行にな
っているブラケット38に枢着してある。このブラケッ
ト38は、上下方向に立設したガイド40に沿って昇降
するスライダ42に固定してある。そして、駆動腕14
に連結したリンク28とブラケット38との枢着点44
は、回転軸12の中心と点Oとを結ぶ直線26の延長線
上に位置している。
【0011】このように構成したアーム駆動機構は、駆
動腕14を矢印24のように揺動させると、摺動ピン1
8が放物線カム溝22に沿って移動する。そして、摺動
ピン18がカム溝22を移動するのにともなって、スラ
イダ42が矢印46のようにガイド40に沿って上下動
するとともに、揺動アーム20がブラケット38との枢
着点を中心に図の左右方向に揺動し、揺動アーム20の
上部に枢着して取付け台32を矢印48のように直線3
9に沿って水平方向に往復移動させる。また、ハンド3
6は、取り付けた揺動アーム20がリンク28、30に
よる平行リンクによって構成してあるため、姿勢を一定
に保持したまま水平方向に直線運動し、保持したワーク
をそのまま水平方向に平行移動させる。
動腕14を矢印24のように揺動させると、摺動ピン1
8が放物線カム溝22に沿って移動する。そして、摺動
ピン18がカム溝22を移動するのにともなって、スラ
イダ42が矢印46のようにガイド40に沿って上下動
するとともに、揺動アーム20がブラケット38との枢
着点を中心に図の左右方向に揺動し、揺動アーム20の
上部に枢着して取付け台32を矢印48のように直線3
9に沿って水平方向に往復移動させる。また、ハンド3
6は、取り付けた揺動アーム20がリンク28、30に
よる平行リンクによって構成してあるため、姿勢を一定
に保持したまま水平方向に直線運動し、保持したワーク
をそのまま水平方向に平行移動させる。
【0012】図1は、上記のアーム駆動機構を備えた移
載ロボットの要部斜視図である。
載ロボットの要部斜視図である。
【0013】図1において、移載ロボット50は、台座
52の上方に旋回台54が配置してある。この旋回台5
4は、台座52に回転自在に設けた図示しない支持軸を
介して台座52に支持されている。そして、台座52に
は、図示しないブラケットを介して旋回モータ56が取
り付けてあって、この旋回モータ56の出力軸に固定し
たプーリ58と、旋回台54を支持している支持軸に設
けたプーリ60との間にタイミングベルト62が巻掛け
してあり、旋回モータ56を駆動して駆動プーリ58を
矢印64のように回転させることにより、旋回台54を
水平面内で旋回できるようにしてある。
52の上方に旋回台54が配置してある。この旋回台5
4は、台座52に回転自在に設けた図示しない支持軸を
介して台座52に支持されている。そして、台座52に
は、図示しないブラケットを介して旋回モータ56が取
り付けてあって、この旋回モータ56の出力軸に固定し
たプーリ58と、旋回台54を支持している支持軸に設
けたプーリ60との間にタイミングベルト62が巻掛け
してあり、旋回モータ56を駆動して駆動プーリ58を
矢印64のように回転させることにより、旋回台54を
水平面内で旋回できるようにしてある。
【0014】旋回台54の上面には、モータブラケット
(図示せず)を介して昇降モータ66が配設してある。
さらに、旋回台44の上面には、ボールねじ軸68が回
転自在に立設してある。このボールねじ軸68は、カム
機構10を設けた基板70を昇降させるもので、基板7
0の前面下部に固定したボールナット72が螺合してい
るとともに、基端部にプーリ74が取り付けてある。そ
して、このプーリ74と、昇降モータ66の回転軸に取
り付けたプーリ76との間には、タイミングベルト78
が巻掛けしてあって、昇降モータ66を駆動することに
よりボールねじ軸68を回転させてボールナット72を
昇降し、ボールナット72を介して基板70を矢印80
のように昇降させることができるようにしてある。
(図示せず)を介して昇降モータ66が配設してある。
さらに、旋回台44の上面には、ボールねじ軸68が回
転自在に立設してある。このボールねじ軸68は、カム
機構10を設けた基板70を昇降させるもので、基板7
0の前面下部に固定したボールナット72が螺合してい
るとともに、基端部にプーリ74が取り付けてある。そ
して、このプーリ74と、昇降モータ66の回転軸に取
り付けたプーリ76との間には、タイミングベルト78
が巻掛けしてあって、昇降モータ66を駆動することに
よりボールねじ軸68を回転させてボールナット72を
昇降し、ボールナット72を介して基板70を矢印80
のように昇降させることができるようにしてある。
【0015】基板70は、面が旋回台54の面と直交す
るように配置してあって、ボールナット72を固定した
前面に、ボールねじ軸68と平行にガイド40が取り付
けてある。このガイド40は、嵌合しているスライダ4
2を矢印46のように上下方向に案内する。そして、ス
ライダ42には、揺動アーム20の下端部を枢着したブ
ラケット38が設けてある。さらに、基板70には、ボ
ールナット72を設けた側と反対側の側部下部に一対の
スライダ84が固定してある。これらのスライダ84
は、旋回台54に立設した支柱86に嵌合していて、ボ
ールねじ軸68を回転させた際の基板70の回転を阻止
するとともに、ボールねじ軸68の回転に伴って矢印8
8のように支柱86に沿って昇降する。
るように配置してあって、ボールナット72を固定した
前面に、ボールねじ軸68と平行にガイド40が取り付
けてある。このガイド40は、嵌合しているスライダ4
2を矢印46のように上下方向に案内する。そして、ス
ライダ42には、揺動アーム20の下端部を枢着したブ
ラケット38が設けてある。さらに、基板70には、ボ
ールナット72を設けた側と反対側の側部下部に一対の
スライダ84が固定してある。これらのスライダ84
は、旋回台54に立設した支柱86に嵌合していて、ボ
ールねじ軸68を回転させた際の基板70の回転を阻止
するとともに、ボールねじ軸68の回転に伴って矢印8
8のように支柱86に沿って昇降する。
【0016】基板70の背面上端部には、駆動モータ8
2が取り付けてある。そして、駆動モータ82の回転軸
12には、駆動腕14の一端が固定してある。この駆動
腕14は、揺動アーム(ロボットアーム)20を揺動さ
せるためのもので、他端部に揺動アーム20を構成して
いるリンク28の中間部が摺動ピン18を介して枢着し
てある。そして、摺動ピン18は、駆動腕14が矢印2
4のように揺動することにより、基板70の前面上部に
設けた放物線カム溝22に沿って移動するとともに、駆
動腕14の長手方向に形成した長孔16内を移動するよ
うになっている。
2が取り付けてある。そして、駆動モータ82の回転軸
12には、駆動腕14の一端が固定してある。この駆動
腕14は、揺動アーム(ロボットアーム)20を揺動さ
せるためのもので、他端部に揺動アーム20を構成して
いるリンク28の中間部が摺動ピン18を介して枢着し
てある。そして、摺動ピン18は、駆動腕14が矢印2
4のように揺動することにより、基板70の前面上部に
設けた放物線カム溝22に沿って移動するとともに、駆
動腕14の長手方向に形成した長孔16内を移動するよ
うになっている。
【0017】揺動アーム20は、前記したようにリンク
28、30からなる平行リンクからなり、これらのリン
ク28、30の下端部がスライダ42に設けたブラケッ
ト38に枢着してある。また、リンク28、30の上端
部には、枢着した取付け台32を介してフォーク状のハ
ンド36が設けてあり、このハンド36の上に大型の液
晶ガラス基板などのワーク34を載せることができるよ
うになっている。
28、30からなる平行リンクからなり、これらのリン
ク28、30の下端部がスライダ42に設けたブラケッ
ト38に枢着してある。また、リンク28、30の上端
部には、枢着した取付け台32を介してフォーク状のハ
ンド36が設けてあり、このハンド36の上に大型の液
晶ガラス基板などのワーク34を載せることができるよ
うになっている。
【0018】このように構成した移載ロボット50は、
基板70以下の部分が図示しないケース内に収納され
る。そして、駆動モータ82を駆動すると、その回転駆
動力が回転軸12を介して駆動腕14に伝達され、駆動
腕14が矢印24のように揺動して揺動アーム20を下
端枢着点を中心に揺動させる。この際、摺動ピン18
は、放物線カム溝22に沿って移動するとともに、駆動
腕14の長孔16内を移動し、これに伴って揺動アーム
20の下端部を枢着したブラケット38を取り付けたス
ライダ42が矢印46のように、ガイド40に沿って昇
降する。そして、揺動アーム20の上部に取り付けたハ
ンド36は、水平の姿勢を保持した状態で矢印48のよ
うに水平方向に直線往復運動を行う。
基板70以下の部分が図示しないケース内に収納され
る。そして、駆動モータ82を駆動すると、その回転駆
動力が回転軸12を介して駆動腕14に伝達され、駆動
腕14が矢印24のように揺動して揺動アーム20を下
端枢着点を中心に揺動させる。この際、摺動ピン18
は、放物線カム溝22に沿って移動するとともに、駆動
腕14の長孔16内を移動し、これに伴って揺動アーム
20の下端部を枢着したブラケット38を取り付けたス
ライダ42が矢印46のように、ガイド40に沿って昇
降する。そして、揺動アーム20の上部に取り付けたハ
ンド36は、水平の姿勢を保持した状態で矢印48のよ
うに水平方向に直線往復運動を行う。
【0019】一方、ハンド36の上下方向の位置は、昇
降モータ66を駆動してボールねじ軸68を回転させ、
ボールナット72を介して基板70を昇降させることに
よって制御される。また、ハンド36の向きは、旋回モ
ータ56を駆動して旋回台54を旋回させ、基板70の
向きを変えることにより制御される。
降モータ66を駆動してボールねじ軸68を回転させ、
ボールナット72を介して基板70を昇降させることに
よって制御される。また、ハンド36の向きは、旋回モ
ータ56を駆動して旋回台54を旋回させ、基板70の
向きを変えることにより制御される。
【0020】このように実施の形態においては、カム機
構10によってロボットアームである揺動アーム20を
揺動させることにより、揺動アーム20に設けたハンド
36を水平面内で直線運動させることができ、移載ロボ
ットの機構の簡素化が図れて小型化とコストの低減を図
ることができる。しかも、旋回半径も小さくすることが
でき、設置スペースも小さくすることができる。また、
実施の形態に係る移載ロボット50は、揺動アーム20
の上部しかケースから露出せず、駆動部分がケース内に
収納されるため、露出する摺動部が極めて少なく、例え
ば液晶ディスプレイの製造工程などのクリーンルームで
使用するような場合、摺動部からのゴミの発生を低減で
きてクリーンルームの汚染を少なくすることができる。
構10によってロボットアームである揺動アーム20を
揺動させることにより、揺動アーム20に設けたハンド
36を水平面内で直線運動させることができ、移載ロボ
ットの機構の簡素化が図れて小型化とコストの低減を図
ることができる。しかも、旋回半径も小さくすることが
でき、設置スペースも小さくすることができる。また、
実施の形態に係る移載ロボット50は、揺動アーム20
の上部しかケースから露出せず、駆動部分がケース内に
収納されるため、露出する摺動部が極めて少なく、例え
ば液晶ディスプレイの製造工程などのクリーンルームで
使用するような場合、摺動部からのゴミの発生を低減で
きてクリーンルームの汚染を少なくすることができる。
【0021】なお、前記の実施形態においては、ハンド
36を水平面内で直線的に移動させる場合について説明
したが、揺動アーム20を鉛直な部材に枢着してハンド
36を鉛直な面内で直線移動させるなどしてもよい。こ
の場合、ハンド36には、把持機構や吸着機構を設け
る。そして、前記実施の形態においては、揺動アーム2
0が1つである場合について説明したが、1台の移載ロ
ボット50に、必要に応じて複数の揺動アーム20を設
けるとともに、これらの揺動アームに対応して相互に独
立駆動可能な複数のカム機構10を設置してもよい。
36を水平面内で直線的に移動させる場合について説明
したが、揺動アーム20を鉛直な部材に枢着してハンド
36を鉛直な面内で直線移動させるなどしてもよい。こ
の場合、ハンド36には、把持機構や吸着機構を設け
る。そして、前記実施の形態においては、揺動アーム2
0が1つである場合について説明したが、1台の移載ロ
ボット50に、必要に応じて複数の揺動アーム20を設
けるとともに、これらの揺動アームに対応して相互に独
立駆動可能な複数のカム機構10を設置してもよい。
【0022】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、カム機構によってアームを揺動させるだけでアーム
に設けたハンドを直線移動させることができ、構造の簡
素化を図ることができる。しかも、アームを平行リンク
によって構成しているため、アームを揺動させてハンド
を直線移動させたとしても、その姿勢が常に一定に維持
されるため、例えばハンドにワークを載せてワークを水
平方向に移送する場合に、ワークの落下を防止すること
ができる。
ば、カム機構によってアームを揺動させるだけでアーム
に設けたハンドを直線移動させることができ、構造の簡
素化を図ることができる。しかも、アームを平行リンク
によって構成しているため、アームを揺動させてハンド
を直線移動させたとしても、その姿勢が常に一定に維持
されるため、例えばハンドにワークを載せてワークを水
平方向に移送する場合に、ワークの落下を防止すること
ができる。
【図1】本発明の実施の形態に係る移載ロボットの要部
斜視図である。
斜視図である。
【図2】本発明のハンドを直線運動させるアーム駆動機
構の原理の説明図である。
構の原理の説明図である。
10 カム機構 14 駆動腕 16 長孔 18 枢着部(摺動ピン) 20 アーム(揺動アーム) 22 カム溝 28、30 リンク 34 ワーク 36 ハンド 40 ガイド 42 スライダ 54 旋回台 56 旋回モータ 66 昇降モータ
フロントページの続き (72)発明者 田中 信吾 東京都中央区築地5丁目6番4号 三井造 船株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 ワークを支持するハンドを直線的に移動
可能なアームを備えた移載ロボットにおいて、前記アー
ムを平行リンクによって構成するとともに、前記アーム
を揺動させてアームに設けた前記ハンドを直線移動させ
るカム機構を設けたことを特徴とする移載ロボット。 - 【請求項2】 前記カム機構は、一端が駆動モータに接
続されて他端部に前記アームを枢着した駆動腕と、この
駆動腕と前記アームとの枢着部を案内してアームを揺動
させる放物線状カム溝とを有していることを特徴とする
請求項1に記載の移載ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24894796A JPH1076487A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 移載ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24894796A JPH1076487A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 移載ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1076487A true JPH1076487A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=17185790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24894796A Pending JPH1076487A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 移載ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1076487A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008520449A (ja) * | 2004-11-23 | 2008-06-19 | スクリプトプロ エルエルシー | 薬剤使用単位の搬送および保管システムに用いるロボットアーム |
JP2011193996A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Hitachi Medical Corp | 移動型x線装置 |
CN105563479A (zh) * | 2016-03-02 | 2016-05-11 | 戴毅 | 流水线传送快速搬运机械手 |
CN106041905A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-10-26 | 马鞍山工蜂智能科技有限公司 | 一种三轴机器人及其手臂和使用方法 |
JP2017057027A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社椿本チエイン | ワーク搬送装置 |
CN107309904A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-11-03 | 广西大学 | 一种多自由度夹持臂机器人 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP24894796A patent/JPH1076487A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008520449A (ja) * | 2004-11-23 | 2008-06-19 | スクリプトプロ エルエルシー | 薬剤使用単位の搬送および保管システムに用いるロボットアーム |
JP2011193996A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Hitachi Medical Corp | 移動型x線装置 |
JP2017057027A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社椿本チエイン | ワーク搬送装置 |
CN105563479A (zh) * | 2016-03-02 | 2016-05-11 | 戴毅 | 流水线传送快速搬运机械手 |
CN106041905A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-10-26 | 马鞍山工蜂智能科技有限公司 | 一种三轴机器人及其手臂和使用方法 |
CN107309904A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-11-03 | 广西大学 | 一种多自由度夹持臂机器人 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7396199B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US5438647A (en) | Multi-manipulator robot apparatus | |
US5536135A (en) | Material transfer apparatus | |
JP4729499B2 (ja) | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 | |
JPH1076487A (ja) | 移載ロボット | |
JP2002166377A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
KR100288085B1 (ko) | 기판 반송용 스칼라형 로보트 | |
JPH07205067A (ja) | 物品の移送機構 | |
JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
JP3365781B2 (ja) | 基板外観検査装置 | |
KR100354104B1 (ko) | 엘시디 패널 위치 정렬장치 | |
JPH1167624A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH11300659A (ja) | 薄型基板搬送多関節ロボット | |
JP4286461B2 (ja) | 移載機 | |
JPH09102697A (ja) | 部品装着装置 | |
JPH11163096A (ja) | 基板移載機のピッチ可変機構 | |
JPH06298309A (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP2000254881A (ja) | ウェハー搬送用パラレルリンク機構ロボット | |
JP2008053737A (ja) | 基板処理装置 | |
CN220456381U (zh) | 一种设有防划伤结构的晶圆搬运装置 | |
JPH09148395A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2005081423A (ja) | トランスファプレスのワーク搬送装置 | |
JP2004323165A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2530489Y2 (ja) | ボンディング装置 | |
JPS61270839A (ja) | ウエフア−目視検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20051017 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060405 |