JPH09254058A - 物品搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安定で塵の発生量を少なくし占有面積が少な
く搬送距離の長い、半導体基板或いはガラス基板等の物
品の搬送装置を提供する。 【解決手段】 本体部３１に設けられた垂直軸４に沿っ
て上下に摺動する可動ベース部３、該可動ベース部３に
その一端部３２が枢着せしめられた、垂直面内で揺動可
能な平行リンク機構２、２’、該平行リンク機構２、
２’の他の端部３３が枢着せしめられている物品保持用
ハンド部１とから構成されており、且つ該平行リンク機
構２、２’の揺動に応答して、該可動ベース部３を該垂
直軸４に沿って上下に摺動せしめる制御回路部３４が設
けられている物品搬送装置３０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品搬送装置に関
するものであり、特に詳しくは、重量のある搬送物品、
例えば、大型の半導体装置、液晶やプラズマディスプレ
イ製造用の大型のガラス基板等の搬送に適した物品搬送
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、物品の製造工程に於いて、当
該物品の搬送を如何に効率的に、しかもゴミ、埃等が発
生せず、専有スペースの小さなハンドリング機構を持つ
物品搬送装置が、種々開発されて来ている。例えば、半
導体基板や液晶表示装置或いはプラズマディスプレイ装
置などを製造する工程においては、それらの物品におけ
るウェハ表面或いはガラス基板等に設けられた微細パタ
ーン形成面が塵付着等の汚染を受けない様にするため
に、クリーンルーム内でハンドリングされる事が必要で
ある。

【０００３】そして、クリーンルーム内で、ウェハ或い
はガラス基板等を搬送する手段として、ベルトコンベア
や、ロボットによる搬送が利用されている。特に、製造
管理や品質管理を行う上でウェハ或いはガラス基板を１
枚づつハンドリングし、ウェハ或いはガラス基板の選
別、仕分けやカセットと装置間の移載等が行われるが、
専用のハンドリング機構が一般的に使用されている。

【０００４】特に、半導体装置を製造する工程に於いて
使用されている枚葉処理専用のハンドリング機構は、安
定した搬送、クリーン度維持の要求を満たすために、次
に示す性能を有することが望まれる。即ち、（１）占有
スペースが小さく、使用時における搬送距離が大きいこ
と、（２）使用時における塵の発生量が少ないこと、
（３）搬送時の振動が少ないこと、一方、従来から、い
くつかの上記した物品搬送用の搬送アームが実用化され
ているが、通常、それらの構成は搬送アーム全体を旋回
させる旋回軸、搬送アームを上下させる上下軸、ガラス
基板等の物品を把持するハンドを具備し、半径方向に伸
び縮みする伸縮軸の３軸より構成される円筒座標型の構
成を有するものである。

【０００５】そのうち伸縮軸の構成は一般的に大きく２
つに分類できる。つまり、一つは、後述する図５に示さ
れる様な、ハンドの伸縮方向に直線ガイドを配置した直
線型、もう一つは、後述する図６に示される様な複数ア
ームを水平方向に折り畳み駆動する水平多関節型であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の搬送装置は、特に半導体ウェハ搬送用のロボット
アームを目的に実用化されたものを発展的に改造してき
たものであり、必ずしも大きさ・重量の大きいガラス基
板搬送用に最適とはいえない。近年、ディスプレイの大
型化や、生産性向上のために一枚のガラス基板に、ディ
スプレイ数枚分を形成させる様にする効率化が進むにつ
れて、ガラス基板は一層大型化する傾向にあり、前記し
た性能を満たす枚葉処理装置に使用される物品搬送装置
の実現は一つの技術課題である。

【０００７】又、図６に示す様な、従来一般的な水平多
関節型の伸縮軸のロボットアームは関節構造であるた
め、関節部を磁性流体シール等でシールすることによ
り、塵の発生を防ぐことが比較的容易であるが、ガラス
基板やアーム自体の重量によりアームが撓みやすく、複
雑なリンク構造のため、ガタや柔らかい構造に起因し、
物品搬送中のハンドの先端部の振動や、ハンド先端の軌
跡の直進性が問題になる。

【０００８】これは、基板が大型化しアームサイズが大
きくなるほど顕著になる。また、図５に示す様な、従来
一般的な直線型の伸縮軸のロボットアームは、直線ガイ
ドにより、剛性が確保され、ハンド先端の軌跡の直進性
や低振動化はある程度確保されるものの、ハンドの駆動
部に大きな開口部があり、摺動部を密閉することがむず
かしく塵の発生を防ぐことがむずかしい。

【０００９】また、アームが伸縮する為のストローク分
としての直線ガイドが必要で、搬送距離が長くなると伸
縮軸が大きくなるとともに、最小回転半径が大きくなる
ため、占有スペースが大きくなってしまう。又、図６に
示す様な構造の物品搬送装置の具体例は特開平０１−１
５７５４７号公報に示されており、その具体的な構成
は、複数段の関節部を有し且つ該複数段の関節部を複数
段以上の平行リンク機構からなるアームを介して互いに
回動可能となる様に組み合わせて構成したものであり、
各関節部の駆動機構が個別に必要であると共に、機構全
体が複雑で、従ってコンパクトで省スペースの構造を実
現する事が難しく、更に各駆動部からのゴミ、塵等の発
生が避けえない事に加えて、ハンド先端部の撓みと設定
条件とのずれによる位置決めの困難さを有しており、特
に搬送アームの剛性が低く重量の大きな物品を搬送する
のには適さないものである。

【００１０】また、他の従来例である特開昭５９−１３
８５１５号公報には、平行リングを構成するアームと該
アームの一端を揺動自在に懸架する揺動リンク部とから
構成され、該アームを横方向の直線運動に変える横移動
駆動手段と、該揺動リンク部を介してアームを上下の直
線運動させるアクチュエータとからなり、該揺動リンク
部の揺動角を検出すると共に該横移動駆動手段の回転角
を検出して、そのデータからアームの上下動の運動軌跡
からのずれを演算して、その演算結果によりアームの横
移動量を制御する方法が示されている。

【００１１】然しながら、係る従来の物品搬送装置に於
いても、機構が複雑でしかも埃、塵の発生する部分が多
く、小型化が出来ないと言う問題を有している事から、
クリーンルーム内の搬送としては適さないものである。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を改良し、非
使用時における占有スペースが小さく、かつ被搬送物品
の搬送可能エリアが大きなアーム機構を実現する物品の
搬送装置を提供することにある。

【００１２】更には、本発明の他の目的は、物品の搬送
時における塵の発生量が少ない物品の搬送装置を提供す
ることにある。又、本発明の別の目的は、構造的に安定
で搬送精度が高く、振動しにくい構造を有する物品搬送
装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には以下に記載されたような技術
構成を採用するものである。即ち、本体部に設けられた
垂直軸に沿って上下に摺動する可動ベース部、該可動ベ
ース部にその一端部が枢着せしめられた、垂直面内で揺
動可能な平行リンク機構、該平行リンク機構の他の端部
が枢着せしめられている物品保持用ハンド部とから構成
されている物品搬送装置であり、より具体的には、上記
の構成を有する物品搬送装置に於いて、該平行リンク機
構の揺動に応答して、該可動ベース部を該垂直軸に沿っ
て上下に摺動せしめる制御回路部が設けられている物品
搬送装置であって、特には、ハンド部の予め定められた
所定の往復摺動を規制する様に該ベース部を該垂直軸に
沿って上下に摺動せしめる制御回路部を設けたものであ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明に係る物品搬送装置は、上
記した様な技術構成を有しているので、物品搬送用のハ
ンドは、垂直面内で揺動可能な平行リンク機構の一端に
配置されており、当該平行リンク機構は、閉ループ構造
であるため、剛性が高く、ハンド先端のたわみを小さく
することが出来、さらに低振動を実現する事が可能であ
る。

【００１５】また、平行リンク機構は、回転関節で構成
されるので、磁性流体シール等で回転関節部からの発塵
を防止することが容易であり、使用時の塵の発生量を少
なくすることができ、然かも、ハンド取り付け部をコン
パクトにすることが出来、伸縮方向にアクチュエータ等
を配置しなくすむため、非使用時の占有スペースが小さ
くでき、かつ、最大リンク長さに等しい搬送範囲を設定
することが出来るため、物品の搬送範囲を大きくとるこ
とができる。

【００１６】又、本発明に於いては、前記平行リンク機
構が上下方向の垂直軸に沿って配置され、前記制御回路
部によりその上下方向の動きを制御されることにより、
ハンド先端の軌跡を所定の軌跡が実現出来る様に制御で
きることから、物品搬送用のハンドを、水平方向若しく
は垂直方向或いは水平方向と同時に垂直方向等への動き
を制御して、任意の物品搬送軌跡を実行させる事が出来
ると同時に、水平面内或いは立体空間での安定した物品
の搬送が可能になる。

【００１７】更に本発明に係る物品搬送装置は、真空
系、密閉系内での使用に限らず、大気系に於いても物品
の搬送の為に使用することが可能である。

【００１８】

【実施例】以下に、本発明に係る物品搬送装置の具体例
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明
に係る物品搬送装置の一具体例の構成を示す斜視図であ
り、図中、本体ベース部５を有する本体部３１に設けら
れた垂直軸４に沿って上下に摺動する可動ベース部３、
該可動ベース部３にその一端部３２、３２’が枢着せし
められた、垂直面内で揺動可能な平行リンク機構２、
２’、該平行リンク機構２、２’の他の端部３３、３
３’が枢着せしめられている物品保持用ハンド部１とか
ら構成されており、且つ該平行リンク機構２、２’の揺
動に応答して、該ハンド部１が水平方向に往復摺動する
様に該可動ベース部３を該垂直軸４に沿って上下に摺動
せしめる制御回路部３４が設けられている物品搬送装置
３０が示されている。

【００１９】より具体的には、該可動ベース部３の本体
部３１との係合部３’が、該本体部３１の中心に設けら
れた円筒形の垂直開口部に嵌合する様に構成されてお
り、当該係合部３’の中心軸が、該本体部３１の円筒形
の垂直開口部に設けられた垂直軸４と一致する様にはめ
込まれ、制御回路部３４に併設された適宜の駆動手段８
により、該係合部３’が該本体部３１の円筒形垂直開口
部内を上下に摺動する様に構成される。

【００２０】つまり、本発明に係る該物品搬送装置３０
をより具体的に示すならば、半導体基板或いは、液晶デ
ィスプレイ若しくはプラズマディスプレイ等のガラス基
板等の物品を搬送する為の搬送用のハンド１を垂直面内
で揺動可能な平行リンク機構２、２’の一端に配置し、
さらに前記平行リンク機構２、２’が可動ベース部３を
介して上下駆動手段８により垂直軸４の沿って上下動さ
せると共に、平行リンク機構２、２’の揺動動作に対
し、該平行リンク機構２、２’の一端のハンド部１が水
平運動を行えるように垂直軸４に沿って該可動ベース部
３の上下動の範囲を制御しえる制御装置３４を設けたも
のである。

【００２１】即ち、本発明に係る物品搬送装置３０は、
図１に示すように、物品搬送用のハンド１は、可動ベー
ス３との間で、２つのリンク２、２’により構成され
た、水平面に対して垂直な面内で、矢印Ｂの方向に揺動
する平行リンク機構で互いに接続されており、図示の様
に、当該平行リンク機構２、２’の一端部３２、３２’
が、該可動ベース部３の一部と揺動自在に枢着せしめら
れており、又当該平行リンク機構２、２’の他の端部３
３、３３’が、該物品保持用ハンド部１の一部と揺動自
在に枢着せしめられている。

【００２２】又、当該平行リンク機構２、２’の一端部
３２に於ける枢軸に、当該平行リンク機構２、２’を当
該本体部３１に対して揺動させる為の平行リンク機構揺
動駆動手段６が設けられており、当該枢着軸２０を介し
て該平行リンク機構２、２’を揺動させる様に構成され
ている。係る平行リンク機構揺動駆動手段６は、当該平
行リンク機構２、２’の他の端部３３、３３’の枢軸２
０に設ける事も可能である。

【００２３】その為、該ハンド部１は平行リンク機構
２、２’の揺動に伴い、左右の方向に上下に変位しなが
ら移動する事になる。該平行リンク機構揺動駆動手段６
は、適宜のモーターで構成されても良く、又適宜の回転
カム、ラック・ピニオン等を使用した適宜の揺動機構で
構成されていても良い。

【００２４】本発明に係る制御回路部３４は、該可動ベ
ース部３を該垂直軸４に沿って矢印Ｃの方向に上下動さ
せる為の駆動機構８と当該駆動機構８の運動を制御する
為の制御回路を含むものである。係る駆動機構８として
は、適宜のモーターで構成されても良く、又適宜の回転
カム、ラック・ピニオン等を使用した適宜の揺動機構で
構成されていても良い。

【００２５】本発明に係る物品搬送装置３０に於いて
は、上記した平行リンク機構２、２’の揺動に応答して
該平行リンク機構の現在位置を検出する位置センサー７
が設けられるものであり、当該位置センサ７は、当該平
行リンク機構２、２’の位置若しくは揺動角度を常時検
出して、その検出データを上記した制御回路部３４に出
力するものである。

【００２６】係る位置センサ７は、前記した当該平行リ
ンク機構２、２’の一つの枢着軸２０の回転角度、当該
平行リンク機構揺動駆動手段に於けるモータ等の回転角
度を検出するものであっても良く、或いは物理的、磁気
的或いは光学的に当該平行リンク機構部の現在位置を直
接或いは間接的に検出しうる手段であれば何れのもので
も使用出来る。

【００２７】つまり、本発明に係る物品搬送装置３０に
於いては、該位置センサー７から出力される該平行リン
ク機構２、２’の位置情報に基づいて該物品保持用ハン
ド部１が、水平方向の動きを維持しうる様に、可動ベー
ス部３を上記垂直軸４に沿って、上下動させるに必要な
上下駆動量である補正指令値を演算し、上記可動ベース
部駆動手段８を介して可動ベース部に必要な上下動を行
わせるものである。

【００２８】より具体的には、該平行リンク機構揺動駆
動手段６が駆動される事によって、該平行リンク機構
２、２’が左右に揺動するが、該位置センサー７が、該
平行リンク機構２、２’の位置情報、或いは角度情報を
該制御回路部３４に出力し、当該制御回路部３４では、
上記位置センサ７からの位置情報に基づいて、例えば角
度検出手段１１により、当該平行リンク機構２、２’の
垂直軸に対する傾斜角度θに変換して、角度情報を求
め、該角度情報に基づいて該物品保持用ハンド部１が、
水平方向の動きを維持しうる様に、可動ベース３の上下
動に必要な補正指令値を補正指令値演算手段１２に於い
て演算し、該補正指令値に基づいて当該可動ベース部３
を駆動する当該制御回路部３４に併設された可動ベース
部駆動機構８に出力してその上下摺動を制御するもので
ある。

【００２９】図２は、本発明に係る物品搬送装置３０に
於けるハンド部１の水平方向移動を実現する為の制御回
路部３４と各駆動機構６及び８との関係を説明するブロ
ックダイアグラムであり、平行リンク機構２、２’はそ
の一端部３２が枢着されている軸２０を垂直軸４に対す
る角度θを変化させながら揺動する。 当該平行リンク
機構リンク２、２’の基本的な動作は、駆動信号例えば
当該ハンド部１のストローク範囲、ストローク速度、ス
トローク開始時期及びストローク停止時期等を含む駆動
信号Ｄ１を例えば平行リンク機構駆動手段の１例である
モータ６とモータ６の位置制御を行うサーボ機構１０と
で構成されている駆動系に入力される事により行われ
る。

【００３０】そして、図２の具体例に於いては、平行リ
ンク機構２、２’の揺動程度を当該モータ６の回転角度
を位置センサ７により検出し、その位置情報を上記した
制御回路部３４に設けられた角度検出回路１１に出力
し、該角度検出回路１１では、位置センサ７の出力に基
づいて、平行リンク機構２、２’の鉛直軸４に対する角
度θを計算する。補正指令演算回路１２では、係る角度
情報θに基づいて、所定の演算を行い、平行リンク機構
２、２’の揺動に伴ってにハンド部１が水平直線の軌跡
で運動するように、該可動ベース部３を垂直軸４に沿っ
て上下方向に補正的に移動させる可動ベース部位置補正
量Ｄ２を計算する。そして、係る可動ベース部位置補正
量Ｄ２が、図２に示す様なモータ２８、サーボ機構１４
及び位置センサ９から構成されている該可動ベース部３
の駆動手段８に出力される事になる。

【００３１】その結果、該可動ベース部３は該ハンド部
１が水平直線の軌跡で左右に運動しうる様に、当該平行
リンク機構２、２’の揺動に応答して当該垂直軸４に沿
って上下方向に駆動される事になる。本発明に係る物品
搬送装置３０に於いては、前記本体部３１に該可動ベー
ス部３を該垂直軸４を中心に矢印Ｄに示す方向に、旋回
せしめる可動ベース部旋回駆動手段３６が設けられてい
ても良い。

【００３２】該可動ベース部旋回駆動手段３６は、適宜
のモーターで構成されても良く、又適宜の回転カム、ラ
ック・ピニオン等を使用した適宜の旋回駆動手段を使用
する事が出来る。係る構成を採用する事により、本発明
に係る物品搬送装置３０の行動範囲が拡大し、その適用
範囲も向上する。

【００３３】然も、上記の様な構成を採用する事によっ
て、ハンド部１の上下動と旋回動とを同一の垂直軸４を
共用する事により実現されるので、装置全体の寸法をコ
ンパクトに出来ると同時に、モーターの数の増加を抑制
させる事が可能となる。次に、本発明に係る物品搬送装
置３０に於ける動作制御方法の具体的を説明する。

【００３４】即ち、図３は、本発明に於ける物品搬送装
置３０に於いて使用される各種の駆動信号及び補正信号
を示すものであって、図３（Ａ）は、図２に於ける当該
物品搬送用ハンド部１に対して１方向の１ストローク
（衝程）分を行わせる場合の実際の駆動信号Ｄ１であ
り、図中、縦軸は電圧を示し、例えば該ハンド部１の駆
動速度を表す。

【００３５】又、横軸は、時間を示すものであり、例え
ば当該ハンド部１の１ストローク（衝程）分のサイクル
時間を示すものである。図３（Ｂ）は、図２に於ける角
度検出手段１１から出力される各サンプリング時刻に於
ける検出角度信号を示すものであり、本具体例に於いて
は、当該ハンド部１の１ストロークの中間部に於いて平
行リンク機構２、２’の揺動角度θが０°（つまり、１
ストローク中の中間時点に於ける該平行リンク機構２、
２’の位置が鉛直方向になる場合）に設定される場合を
想定している。

【００３６】又、図３（Ｃ）は、前記した補正指令演算
回路１２で演算された各時刻毎の補正量値Ｄ２の演算結
果を示すものである。 尚、本発明に於いて、該角度検
出手段１１に於ける角度検出信号の出力と該補正指令演
算回路１２に於ける補正指令値Ｄ２の演算処理とは、予
め定められた所定のサンプリング周期で行われる事が望
ましい。

【００３７】いま、平行リンク機構２、２’の長さを
Ｌ、平行リンク機構２、２’の鉛直軸とのなす角度をθ
とすると、ハンド部１が水平直線運動を行う場合の補正
量Ｄ２は、 Ｄ２＝Ｌ（１ーｃｏｓθ） となる。このとき、θは時刻ｔの関数であるので、補正
指令値ΔＤ２は時間ｔで微分することにより以下の式に
よって得られる。

【００３８】ΔＤ２＝Ｌ＊ｓｉｎθ これより、図３（Ｂ）の検出された角度に対し、図３
（Ｃ）の補正指令値Ｄ２が得られる。この補正指令値Ｄ
２に基づいて、該可動ベース部３を該垂直軸４に沿って
上下動させる可動ベース部駆動手段８が上下に駆動制御
され、ハンド部１の平行リンク機構２、２’の揺動に伴
う高さ方向の位置補正が行われ、この結果、図４に示す
ようなハンド部１の水平直線運動が実現する。

【００３９】本発明に係る物品搬送装置３０に於いて使
用される可動ベース部３の形状或いは構造は、必ずしも
図１に示す様なＬ字型の部材を介して該垂直軸４と一致
するように本体部３１に嵌合しているものでなくても良
く、その構造は特に限定されるものではない。但し、図
１の形状を有する可動ベース部３に於いては、安定性の
面と外形寸法を小さくすると言う観点から優れたものと
言える。

【００４０】又、本発明に於ける平行リンク機構２、
２’のそれぞれの端部に於ける枢軸部から、埃、或いは
塵等が発生するのを防止する為に、それぞれ枢軸部２
０、２０’を磁性流体シール等を用いてシールする事が
望ましい。尚、上記した実施例は、物品を１つの水平面
内で安定して搬送する場合の例を示したものであるが、
本発明は係る具体例に限定されるものではなく、物品を
前向きに或いは後向きに移動させながら、少なくとも上
下方向の何れかの方向に積極的に上昇若しくは下降させ
る事によって、立体的な物品の搬送軌跡を設定する事も
出来る。

【００４１】係る場合には、図２に示す様に、平行リン
ク機構２、２’の揺動に伴い、可動ベース部３の該垂直
軸４に沿った上下動を制御する前記補正指令値Ｄ２に対
して、必要な物品搬送ハンド部の上昇量又は下降量を指
示する制御データＤ３をサーボ１４で加算若しくは減算
させる事によって実現させる事が出来る。

【００４２】

【発明の効果】本発明に係る物品搬送装置３０は、上記
した構成を有しているので、非使用時における占有スペ
ースが小さく、かつ被搬送体である物品の搬送可能エリ
アを大きくとることができる。つまり、本発明に於いて
は、ハンド部１の周辺に、従来必要とされていた駆動ア
クチュエータ等のスペースを必要としないと同時に、駆
動アクチュエータを使用する場合でも、それを縦方向に
配置できるので非使用時における占有スペースを小さく
することができる。

【００４３】また、物品の搬送距離は平行リンク機構の
長さに比例するが、非使用時は平行リンク機構を立てて
いるので、平面のスペースに影響されずに広い搬送エリ
アをとることができる。更には、本発明に於いて、使用
時における塵の発生量を少なく抑えることができる。

【００４４】即ち、本発明に於いては、平行リンク機構
は回転関節だけであるので、塵の飛散を防ぐための回転
部分に於けるシール処置が比較的容易に行えるからであ
る。その他、本発明に於いては、物品の搬送に際して、
搬送精度や振動が少ない。つまり、本発明に於いては、
主な荷重が垂直方法にあり、且つ平行リンク機構の構成
が単純で、機械的なガタが少なく、物品搬送装置そのも
のの重量を軽くすることができ、機械的な剛性を高くす
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による物品搬送装置の一具体例
の構造を示す斜視図である。

【図２】図２は、本発明による物品搬送装置に使用され
る制御手段の一具体例を示すブロックダイアグラムであ
る。

【図３】図３は、本発明による物品搬送装置に於いて使
用される制御信号の例を示すものであり、図３（Ａ）
は、本発明に係る物品搬送装置に於けるハンド部１の駆
動制御信号の波形を示し、図３（Ｂ）は、本発明に係る
物品搬送装置に於ける角度検出手段からの出力信号波形
を示すものであり、又、図３（Ｃ）は、本発明に係る物
品搬送装置に於ける補正指令値演算手段から出力される
補正指令値の波形を示すものである。

【図４】図４は、本発明による物品搬送装置の動作を説
明する図である。

【図５】図５は、従来に於ける物品搬送装置の一例の構
造を示す斜視図である。

【図６】図６は、従来に於ける物品搬送装置の他の例の
構造を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…ハンド部 ２、２’…平行リンク機構 ３…可動ベース部 ４…垂直軸 ５…本体ベース部 ６…平行リンク機構駆動手段 ７…位置センサ ８…可動ベース部駆動手段 ９…位置センサ １０、１４…ザーボ機構 １１…角度検出手段 １２…補正指令値演算手段 １８…アーム １９…アーム ２０、２０’…枢軸 ３０…物品搬送装置 ３１…本体部 ３２…平行リンク機構の一端部 ３３…平行リンク機構の他端部 ３４…制御回路部 ３６…旋回駆動手段

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体部に設けられた垂直軸に沿って上下
   に摺動する可動ベース部、該可動ベース部にその一端部
   が枢着せしめられた、垂直面内で揺動可能な平行リンク
   機構、該平行リンク機構の他の端部が枢着せしめられて
   いる物品保持用ハンド部とから構成されている事を特徴
   とする物品搬送装置。
2. 【請求項２】 本体部に設けられた垂直軸に沿って上下
   に摺動する可動ベース部、該可動ベース部にその一端部
   が枢着せしめられた、垂直面内で揺動可能な平行リンク
   機構、該平行リンク機構の他の端部が枢着せしめられて
   いる物品保持用ハンド部とから構成されており、且つ該
   平行リンク機構の揺動に応答して、派生する該ハンド部
   の垂直方向の運動を補償する様に該ベース部を該垂直軸
   に沿って上下に摺動せしめる事を特徴とする物品搬送装
   置。
3. 【請求項３】 少なくとも当該平行リンク機構の一方の
   端部に於ける何れかのリンク部の枢軸部に、当該平行リ
   ンク機構揺動駆動手段が設けられている事を特徴とする
   請求項１又は２の何れかに記載の物品搬送装置。
4. 【請求項４】 該平行リンク機構の揺動角度を検出する
   位置センサーが設けられている事を特徴とする請求項１
   乃至３の何れかに記載の物品搬送装置。
5. 【請求項５】 該本体部に該可動ベース部を該垂直軸に
   沿って上下動せしめる可動ベース部駆動手段が設けられ
   ている事を特徴とする請求項１記載の物品搬送装置。
6. 【請求項６】 該位置センサーから出力される該平行リ
   ンク機構の角度情報に基づいて当該可動ベース部の上下
   摺動を制御するものである事を特徴とする請求項４記載
   の物品搬送装置。
7. 【請求項７】 該本体部に該可動ベース部を該垂直軸を
   中心に旋回せしめる可動ベース部旋回駆動手段が設けら
   れている事を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載
   の物品搬送装置。
8. 【請求項８】 物品保持用ハンド部と、該ハンド部を一
   端に具備し垂直面内で揺動可能な平行リンク機構と、該
   平行リンク機構の駆動手段を具備した可動ベース部と、
   該可動ベース部に上下の直線運動を行わせる上下駆動手
   段とからなり、該平行リンク機構の揺動角度を検出する
   位置センサと該位置センサより得られる出力から該物品
   保持用ハンド部の上下方向の運動量を演算して該上下駆
   動手段への補正指令値に変換する制御回路を具備し、該
   補正指令値を該上下駆動手段に入力して該平行リンク機
   構動作時の該物品保持用ハンド部の上下移動量を補正制
   御する事を特徴とする物品搬送装置。
9. 【請求項９】 当該物品が、半導体基板、液晶表示若し
   くはプラズマディスプレイ等のガラス基板から選択され
   た一つである事を特徴とする請求項１乃至８の何れかに
   記載の物品搬送装置。