KR100854072B1 - 기판 검사 장치 - Google Patents

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KR100854072B1 KR1020070066159A KR20070066159A KR100854072B1 KR 100854072 B1 KR100854072 B1 KR 100854072B1 KR 1020070066159 A KR1020070066159 A KR 1020070066159A KR 20070066159 A KR20070066159 A KR 20070066159A KR 100854072 B1 KR100854072 B1 KR 100854072B1
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이정덕
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주식회사 디네트웍스
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Abstract

기판 검사 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 기판 검사 장치는, 베이스;
상기 베이스 상에 제 1 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 1 수평 구동 유닛;
상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 1 수평 방향과 직교하는 제 2 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 2 수평 구동 유닛;
상기 제 2 수평 구동 유닛 상에 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 유닛;
상기 제 1 회전 유닛 상부 양측에 장착되어, 기판을 지지하는 홀더를 상기 수직 방향을 따라 비대칭적으로 승강시키는 한 쌍의 수직 구동 유닛;
상기 홀더를 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전시키는 제 2 회전 유닛; 및
상기 한 쌍의 수직 구동 유닛이 비대칭적으로 구동되는 경우, 검사 매체의 틀어짐을 방지하기 위하여, 상기 적어도 하나의 수직 구동 유닛과 그 상부의 제 2 회전 유닛 사이에 상기 제 2 회전 유닛의 위치를 변경하는 슬라이드를 포함하는 기판 검사 장치. 베이스, 상기 베이스 상에 제 1 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 1 수평 구동 유닛, 상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 1 수평 방향과 직교하는 제 2 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 2 수평 구동 유닛, 상기 제 2 수평 구동 유닛 상에 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 유닛, 상기 제 1 회전 유닛 상에 장착되어, 기판을 지지하는 홀더를 상기 수직 방향을 따라 이동시키는 수직 구동 유닛, 및 상기 홀더를 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전시키는 제 2 회전 유닛을 포함한다.
디스플레이, 기판, 매크로, 검사

Description

기판 검사 장치{Apparatus for inspecting glass}
본 발명은 디스플레이 검사 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 디스플레이 소자를 구성하는 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 패널, 예를 들어 액정 디스플레이 패널을 제조하는 공정에서는 디스플레이 패널에 대한 검사로서, 육안으로 이루어지는 매크로 검사와, 현미경과 같은 장비를 이용하는 마이크로 검사를 수행하여야 한다.
여기서, 매크로 검사는 디스플레이 패널 표면에 조명광을 조사하거나 혹은 유리 기판의 뒷면에 백라이트를 조사하여, 작업자가 육안으로 기판 표면에 존재하는 흠 또는 오염들을 검사하는 방법이다.
현재의 디스플레이 소자는 휴대 부품에 채용되기 위하여 소형화가 이루어짐과 동시에, 초대형 TV에 적용될 수 있도록 고품질을 겸비한 대형화 추세에 있다. 현재에는 1870× 2200mm2의 면적을 가진 8세대 기판 내지 1950× 2250mm2의 면적을 가진 9세대 기판이 출시되었다.
이와 같은 대형화 기판은 여러 장의 유리 기판을 부착하여 얻어질 수도 있고, 또는 한 장의 단일 유리 기판으로 이루어질 수도 있어, 운반 및 취부에 어려움 이 있고, 이를 검사하는 이전의 장비는 전후, 좌우 방향으로만 이동이 가능하여 다양한 방향으로의 검사를 수행하기 어려웠다.
종래에는 다관절 로봇이라는 검사 장치가 제안되었다. 이 다관절 로봇 검사 장치는 다양한 방향으로 구부러지는 로봇 암을 이용하므로써, 대형 기판을 여러 각도로 움직일 수 있다는 장점을 갖는다.
이러한 다관절 로봇은 상기와 같은 대형 기판을 지지하여야 하므로 하중을 버티기 위해 비교적 큰 사이즈가 요구된다. 그런데, 이렇게 대형 관절 로봇에 의한 기판 이송은 작업자에게 불안감을 유발할 뿐만 아니라, 다관절 로봇의 오동작시 기판의 파손은 물론 작업자의 안전을 보장할 수 없다는 심각한 문제점을 유발할 수 있다. 더욱이 이러한 다관절 로봇은 매우 고가이기 때문에, 기판 검사 비용, 나아가, 디스플레이 제조 원가를 상승시키는 원인이 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 고가의 다관절 로봇을 사용하지 않고도 다양한 방향으로 기판을 이송시킬 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 베이스, 상기 베이스 상에 제 1 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 1 수평 구동 유닛, 상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 1 수평 방향과 직교하는 제 2 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 2 수평 구동 유닛, 상기 제 2 수평 구동 유닛 상에 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 유닛, 상기 제 1 회전 유닛 상에 장착되어, 기판을 지지하는 홀더를 상기 수직 방향을 따라 이동시키는 수직 구동 유닛, 및 상기 홀더를 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전시키는 제 2 회전 유닛을 포함한다.
상기 제 1 수평 구동 유닛은 상기 베이스 상에 상기 제 1 수평 방향을 따라 배열된 제 1 볼 스크류, 상기 제 1 볼 스크류에 나사 결합된 제 1 블록, 및 상기 제 1 볼 스크류로 회전력을 전달하는 제 1 구동원을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 2 수평 구동 유닛은 상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 2 수평 방향을 따라 배열된 제 2 볼 스크류, 상기 제 2 볼 스크류에 나사 결합된 제 2 블록, 및 상기 제 2 볼 스크류로 회전력을 전달하는 제 2 구동원을 포함할 수 있다.
상기 제 1 회전 유닛은 상기 제 2 회전 유닛 상에 상기 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 블록, 및 상기 제 1 회전 블럭에 회전력을 전달하는 제 3 구동원을 포함할 수 있다.
상기 수직 구동 유닛은 제 4 구동원을 포함하고, 상기 제 4 구동원으로부터 동력 전달시, 상기 수직 구동 유닛이 상기 수직 방향으로 연장되어, 상기 홀더를 승강시킬 수 있다. 이러한 상기 수직 구동 유닛은, 상기 제 1 회전 유닛 상에 장착된 중공형 수직 지지대, 및 상기 중공형 수직 지지대 내에 상기 수직 방향을 따라 이동 가능하게 삽입된 하부를 갖고, 상부는 상기 제 2 회전 유닛에 연결된 로드를 포함하고, 상기 로드는 상기 제 4 구동원으로 부터 동력을 전달받아 동작된다.또한, 상기 수직 구동 유닛은 상기 제 1 회전 유닛의 양측에 배치되어, 상기 홀더의 양측을 지지할 수 있으며, 상기 각각의 수직 구동 유닛의 연장 길이는 서로 비대칭적일 수 있다.
상기 제 2 회전 유닛은 상기 수직 구동 유닛에 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결되고, 상기 홀더들이 고정된 제 2 회전 블록, 및 상기 제 2 회전 블럭으로 회전력을 전달하는 제 5 구동원을 포함할 수 있다. 이때, 상기 수직 구동 유닛이 상기 제 1 회전 유닛 양측에 위치되고, 상기 제 2 회전 유닛이 상기 수직 구동 유닛 각각에 설치되는 경우, 상기 각각의 제 2 회전 유닛은 서로 다른 회전력을 가지고 동작될 수 있다.
또한, 상기 제 1 수평 구동 유닛, 상기 제 2 수평 구동 유닛, 상기 제 1 회전 유닛, 상기 수직 구동 유닛 및 상기 제 2 회전 유닛 중 적어도 2개가 동시에 복 합적으로 구동될 수 있다.
본 발명에 의하면, 고가의 관절 로봇을 사용하지 않고도 전 방향으로 기판을 이송시킬 수 있어, 작업자가 안정감있게 기판 검사를 실시할 수 있으며, 나아가 검사 비용을 크게 절감할 수 있다.
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)는 베이스(110), 제 1 수평 구동 유닛(120), 제 2 수평 구동 유닛(130), 제 1 회전 유닛(140), 수직 구동 유닛(150), 제 2 회전 유닛(160) 및 홀더(170)로 구성될 수 있다.
제 1 수평 구동 유닛(120)은 도 1, 도 2, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 베이스(110) 상부에 위치되며, 베이스의 제 1 수평 방향, 예컨대 x 방향으로 상기 홀더(170)를 이송시킨다. 이러한 제 1 수평 구동 유닛(120)은 제 1 볼 스크류(122), 제 1 블록(124) 및 제 1 구동원(126)으로 구성될 수 있다. 즉, 제 1 수평 구동 유닛(120)은 소위 리니어 모션 가이드(linear motion guide:LM 가이드) 형태로 구성될 수 있다. 상기 제 1 볼 스크류(122)는 상기 베이스(110) 상에 제 1 수평 방향을 따라 배열되고, 제 1 블록(124)은 상기 제 1 볼 스크류(122)와 나사 결합되어 실질적으로 제 1 수평 구동 유닛(120)을 구동시키고, 제 1 구동원(126)은 제 1 볼 스크류(122)로 회전력을 전달한다.
제 2 수평 구동 유닛(130)은 도 1, 도 2, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 홀더(170)를 제 1 수평 방향(x 방향)과 직교하는 제 2 수평방향, 예컨대 y 방향으로 이동시킨다. 이러한 제 2 수평 구동 유닛(130)은 제 2 볼 스크류(132), 제 2 블록(134) 및 제 2 구동원(136)을 포함할 수 있다. 제 2 볼 스크류(132)는 상기 제 1 수평 구동 유닛(120)상에 제 2 수평 방향을 따라 배열되고, 제 2 블록(134)은 상기 제 2 볼 스크류(132)와 나사 결합되어 있으며, 제 2 구동원(136)은 상기 제 2 볼 스크류(132)에 회전력을 전달한다.
제 1 회전 유닛(140)은 도 1, 도 2, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 수평 구동 유닛(130)상에 위치되어, 상기 홀더(170)를 수직 방향, 예컨대 z 방향을 중심으로 회전시킨다. 이러한 제 1 회전 유닛(140)은 제 2 수평 구동 유닛(130) 상에 상기 수직 방향(z 방향)을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 블록(142) 및 상기 제 1 회전 블록(142)에 회전력을 전달하는 제 3 구동원(144)을 포함할 수 있다.
수직 구동 유닛(150)은 도 1, 도 2, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 제 1 회전 유닛(140)에 장착되어, 상기 홀더(170)를 상기 수직 방향을 따라 이동시킨다. 이러한 수직 구동 유닛(150)은 홀더(170) 양측을 지지할 수 있도록 2개가 구비될 수 있다. 상기 각각의 수직 구동 유닛(150)은 예컨대, 중공형 수직 지지대(152), 로드(154) 및 제 4 구동원(156)을 포함할 수 있다. 상기 로드(154)는 상기 중공형 수직 지지대(152) 내에 내장되어, 수직 방향을 따라 이동 가능하게 삽입되어 있는 하부를 갖고, 그것의 상부는 상기 제 2 회전 유닛(160)에 연결될 수 있 다. 즉, 수직 지지대(152) 및 로드(154)는 텔레스코픽(telescopic) 형태를 가지며, 상기 제 4 구동원(156)은 상기 수직 지지대(152) 내의 로드(154)에 구동력(예컨대 직선운동력으로 변환된 구동력)을 전달하도록 설치되어, 구동력 전달시 로드(154)가 상승하게 된다. 이때, 상기 수직 구동 유닛(140)은 도면에 도시되지는 않았지만, 리니어 모션 가이드, 타이밍 벨트(timing belt) 및/또는 볼 스크류를 추가로 포함할 수 있다. 상기 타이밍 벨트 및 볼 스크류는 상기 제 4 구동원(156)과 함께 상기 로드(154)에 구동력을 전달할 수 있다. 여기서, 상기 한 쌍의 수직 구동 유닛(150)은 서로 대칭을 이루며 홀더(170)를 승강시킬 수 있다. 수직 구동 유닛(150)의 승강 높이는 제 4 구동원(156)으로부터 제공되는 동력의 크기로부터 제어될 수 있다. 예를 들어, 제 4 구동원(156)은 회전력을 발생시킬 수 있으며, 상기 회전력은 기판 검사 장치내에 내장된 기어 장치(도시되지 않음)에 의해 직선운동을 진행하게 하는 동력으로 변환되어 로드(154)에 제공된다. 이렇게 로드(154)에 인가되는 동력은 로드(154)의 상승 높이를 제어한다.
또한, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 수직 구동 유닛(150)은 비대칭적으로 구동될 수 있다. 즉, 하나의 수직 구동 유닛(150)만이 동작되거나, 각각의 수직 구동 유닛(150)이 서로 다른 높이로 동작될 수 있다. 이는 제 4 구동원(156)의 선택적 동작 혹은 제 4 구동원(156)의 서로 다른 구동력 제공에 의해 달성된다.
이때, 상기 각각의 수동 구동 유닛(150)이 정상적인 비대칭적으로 구동을 위해, 더 승강된 측의 제 2 회전 유닛(160)이 소정 길이(M)만큼 이송되어야 한다. 즉, 도 7b에 도시된 바와 같이, 수직 구동 유닛(150)이 대칭적으로 구동되는 경우의 제 2 회전 유닛(160)간의 거리(A)와 수직 구동 유닛(150)이 비대칭적으로 구동되는 경우의 제 2 회전 유닛(160)간의 거리(B) 사이에 M 만큼의 거리 차가 발생된다. 이러한 거리차(M)는 유리 기판(도시되지 않음)이 끼워진 홀더(170)을 뒤틀이게 하는 원인이 될 수 있다. 그러므로, 상대적으로 더 승강된 측의 수직 구동 유닛(150) 상의 제 2 회전 유닛(160)을 상기 거리차(M)만큼 이송시켜야 한다.
본 실시예에서는 상기 M 만큼의 거리차를 감소시키기 위하여, 수직 구동 유닛(150)과 상기 제 2 회전 유닛(160) 사이에, 상기 제 2 회전 유닛(160)을 이송시키기 위한 슬라이드(190)가 구비된다. 상기 슬라이드(190)는 적어도 일측에 설치될 수 있으며, 수직 구동 유닛(150)이 비대칭적으로 구동시, 상기 유리 기판이 끼워진 홀더(170)를 정상적으로 요동시킬 수 있다.
제 2 회전 유닛(160)은 도 1, 도 2, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 홀더(170)를 상기 제 1 수평 방향(x 방향)을 중심으로 회전시킨다. 이러한 제 2 회전 유닛(160)은 수직 구동 유닛(150) 각각에 설치될 수 있으며, 상기 제 2 회전 블록(162) 및 제 5 구동원(164)으로 구성되거나, 혹은 단순 회전 베어링 만으로 구성될 수 있다. 제 2 회전 블록(162)은 상기 수직 구동 유닛(150)에 상기 제 1 수평 방향(x 방향)을 중심으로 회전가능하게 연결되며, 상기 홀더(170)에 고정된다. 상기 제 5 구동원(164)은 상기 제 2 회전 블록(160)에 회전력을 전달한다. 여기서, 도면 부호 166은 상기 제 5 구동원(164)의 회전 속도를 조절하기 위한 감속 기어부이다. 이때, 제 2 회전 유닛(160)은 상기 수직 구동 유닛(150) 상에 설치됨 에 의해, 상기 수직 구동 유닛(150)과 함께 상기 홀더(170)를 종속 지지할 수 있다. 이에 따라, 수직 구동 유닛(150)의 비대칭적인 구동을 고려하여, 제 2 회전 유닛(160) 및 상기 수직 구동 유닛(150)의 적어도 일측은 유니버셜 조인트(universal joint)와 같은 수동 지지 부재에 의해 홀더(170)에 고정될 수 있다. 여기서, 상기 수동 지지부재는 실질적으로 회전 블록(162)이 될 수 있다.
홀더(170)는 유리 기판(180)을 지지하기 위한 것으로, 예를 들어 틀(frame) 형태를 가질 수 있고, 상기 틀로 구획된 공간에 예컨대 상하, 좌우, 대각선 방향으로 연장된 지지 바(174)가 설치될 수 있다.
또한, 도면에서 200은 상기 기판 검사 장치를 제어하는 제어부로서, 제어부(200)는 각각의 구동 유닛(120-160)에 동작을 제어하여 상기 홀더(170)의 움직임을 총괄적으로 제어한다.
이와 같은 구성을 갖는 본 실시예의 기판 검사 장치는 다음과 같이 구동된다.
먼저, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제 1 수평 구동 유닛(120)은 제 1 구동원(126)으로부터 회전력을 전달받은 제 1 볼 스크류(122)가 동작함에 의해, 상기 제 1 볼 스크류(122)와 나사 결합된 제 1 블록(125)이 제 1 볼 스크류(122) 연장 방향인 제 1 수평 방향(x방향)으로 움직이게 된다. 이에 따라, 홀더(170)를 제 1 수평 방향인 x 방향으로 움직이게 된다. 이에 따라, 작업자는 위치 변동을 최소화한 상태에서 기판의 좌우면을 검사할 수 있다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제 2 수평 구동 유닛(130)은 제 2 구동원(136)으로부터 회전력을 전달받은 제 2 볼 스크류(132)가 동작함에 의해 상기 제 2 볼 스크류(132)와 나사 결합된 제 2 블록(134)이 제 2 볼 스크류(132)의 연장 방향인 제 2 수평 방향(y 방향)으로 움직이므로써 동작된다. 이에 따라, 상기 홀더(170)가 제 2 수평 구동 유닛(130)에 의해 제 2 수평 방향인 y 방향으로 움직이게 된다. 이에 따라, 작업자의 위치 변동을 최소화한 상태에서 기판(180)의 원근을 조절해가며 검사를 할 수 있다.
제 1 회전 유닛(140)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 수직 방향(z 방향)을 중심으로 홀더(170)를 회전시킬 수 있다. 이러한 제 1 회전 유닛(140)은 제 3 구동원(144)에 의해 부여받은 회전력에 의해 제 1 회전 블록(142)이 도면의 화살표 방향으로 회전함으로써 동작된다. 상기 제 1 회전 유닛(140)은 감속기(146), 예를 들어, 유성치차 감속기를 추가로 포함하여, 제 1 회전 유닛(140)의 회전 속도를 제어할 수 있다. 이에 따라, 작업자는 기판(180)을 세운 채로 회전시켜가며 검사를 진행할 수 있다.
상기 수직 구동 유닛(150)은 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 홀더(170)를 수직 방향(z축 방향)으로 승강시킨다. 이러한 수직 구동 유닛(150)은 제 4 구동원(156)의 동력 공급에 따라 타이밍 벨트(도시되지 않음) 및 볼 스크류(도시되지 않음)에 의해 중공형 수직 지지대(152)내의 로드(154)가 상승함으로써, 상기 홀더(170)가 승강된다. 이때, 상기 한 쌍의 수직 구동 유닛(150)은 상술한 바와 같이 개별적으로(즉, 비대칭적으로) 제어될 수 있다. 즉, 도 6b에 도시된 바와 같 이, 상기 수직 구동 유닛(150)은 같은 높이로 승강(연장)될 수도 있고, 개별적인 제어에 의해 도 7a에 도시된 바와 같이 서로 다른 높이로 연장될 수도 있다. 이러한 개별적인 제어는 상기 제어부(200)를 구동 명령에 의해 수행될 수 있다. 이러한 수직 구동 유닛(150)에 의해 작업자는 큰 움직임 없이, 기판(180)의 상하면을 상세히 검사할 수 있고, 기판을 요동시켜가면서 검사를 수행할 수 있다.
제 2 회전 유닛(160)은 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 제 1 수평 방향(x축 방향)을 중심으로 하여 상기 홀더(170)를 회전시킨다. 제 2 회전 유닛(160)은 상기 한 쌍의 수직 구동 유닛(150)에 각각 설치되어, 제 5 구동원(164)으로부터 제 2 회전 블록(162)에 동력 전달시, 홀더(170)를 회전시킨다. 이러한 제 2 회전 유닛(160) 역시 감속기(도시되지 않음), 예컨대 유성 치차 감속기를 포함할 수 있어, 회전 속도를 제어할 수 있다. 이에 따라, 작업자는 기판(180)을 x 방향을 기준으로 360° 회전시켜가며 검사를 수행할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 기판 검사 장치는 적어도 두 개의 구동 유닛을 복합적으로 구동시킬 수도 있다.
도 9를 참조하면, 제 1 수평 구동 유닛(120)을 원하는 위치로 이동시킨 상태에서, 수직 구동 유닛(150)을 구동시키므로 작업자 위치에 맞게 기판을 움직일 수 있다. 제 1 수평 구동 유닛(120) 및 수직 구동 유닛(150)의 구동 순서는 제 1 수평 구동 유닛(120)이 먼저 구동된 후 수직 구동 유닛(150)이 구동될 수도 있고, 수직 구동 유닛(150)이 먼저 구동되고 제 1 수평 구동 유닛(120)이 구동될 수도 있으며, 혹은 동시에 구동될 수도 있다. 이러한 순서는 제어부(200)의 조작에 의해 가변될 수 있다.
또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 제 2 수평 구동 유닛(130)과 수직 구동 유닛(150)도 복합적으로 구동시킬 수 있다. 이 역시, 구동 순서는 가변될 수 있다.
본 실시예에 의하면, 기판을 x 방향(제 1 수평 방향), y 방향(제 2 수평 방향), z 방향(수직 방향), z축을 기준으로 회전하는 방향, x축을 기준으로 회전하는 방향으로 이송시킴은 물론, 상기 기판을 사선 방향(수직 이동 유닛의 비대칭 동작)으로 이동시킬 수 있어 보다 자세히 기판의 결함을 검사할 수 있다. 이에 따라, 고가의 관절 로봇을 구입하지 않고도, 전 방향으로 기판을 이송시켜가며 검사를 행할 수 있고, 작업자가 보다 안정감 있게 기판을 검사할 수 있다.
본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 각 구동 유닛의 일부분에 점선으로 구동원들을 표시하였으나, 본 실시예의 구동원들은 구동 유닛내에 내장되거나, 다양한 위치에 설치가능하다.
이상 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.
고가의 관절 로봇을 사용하지 않고도 전 방향으로 기판을 이송시킬 수 있어, 검사 비용을 크게 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 평면도,
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정단면도로서 기판 검사 장치의 x축 방향으로의 움직임을 보여주는 도면,
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 측단면도로서 기판 검사 장치의 y축 방향으로의 움직임을 보여주는 도면,
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정단면도로서, z축 방향을 기준으로 하여 기판 검사 장치의 회전을 보여주는 도면,
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정단면도로서, 기판 검사 장치의 z축 방향으로의 움직임을 보여주는 도면,
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정단면도로서, 수직 구동 유닛의 비대칭 동작을 설명하기 위한 도면,
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치의 측단면도로서, x축 방향을 기준으로 하여 기판 검사 장치의 회전을 보여주는 도면,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정단면도, 및
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 검사 장치의 측단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 베이스 120 : 제 1 수평 구동 유닛
130 : 제 2 수평 구동 유닛 140 : 제 1 회전 유닛
150 : 수직 구동 유닛 160 : 제 2 회전 유닛
170 : 홀더 180 : 기판

Claims (14)

  1. 베이스;
    상기 베이스 상에 제 1 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 1 수평 구동 유닛;
    상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 1 수평 방향과 직교하는 제 2 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결된 제 2 수평 구동 유닛;
    상기 제 2 수평 구동 유닛 상에 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 유닛;
    상기 제 1 회전 유닛 상부 양측에 장착되어, 기판을 지지하는 홀더를 상기 수직 방향을 따라 비대칭적으로 승강시키는 한 쌍의 수직 구동 유닛;
    상기 홀더를 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전시키는 제 2 회전 유닛; 및
    상기 한 쌍의 수직 구동 유닛이 비대칭적으로 구동되는 경우, 검사 매체의 틀어짐을 방지하기 위하여, 상기 적어도 하나의 수직 구동 유닛과 그 상부의 제 2 회전 유닛 사이에 상기 제 2 회전 유닛의 위치를 변경하는 슬라이드를 포함하는 기판 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 수평 구동 유닛은,
    상기 베이스 상에 상기 제 1 수평 방향을 따라 배열된 제 1 볼 스크류;
    상기 제 1 볼 스크류에 나사 결합된 제 1 블럭; 및
    상기 제 1 볼 스크류로 회전력을 전달하는 제 1 구동원을 포함하는 기판 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 수평 구동 유닛은,
    상기 제 1 수평 구동 유닛 상에 상기 제 2 수평 방향을 따라 배열된 제 2 볼 스크류;
    상기 제 2 볼 스크류에 나사 결합된 제 2 블럭; 및
    상기 제 2 볼 스크류로 회전력을 전달하는 제 2 구동원을 포함하는 기판 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 회전 유닛은,
    상기 제 2 수평 구동 유닛 상에 상기 수직 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제 1 회전 블럭; 및
    상기 제 1 회전 블럭에 회전력을 전달하는 제 3 구동원을 포함하는 기판 검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 수직 구동 유닛은 제 4 구동원을 포함하고,
    상기 제 4 구동원으로부터 동력 전달시, 상기 수직 구동 유닛이 상기 수직 방향으로 연장되어, 상기 홀더를 승강시키는 기판 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 수직 구동 유닛은 내부에 로드를 구비하며, 상기 로드는 상기 제 4 구동원으로 부터 동력을 전달받아 동작되는 기판 검사 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 회전 유닛은,
    상기 수직 구동 유닛에 상기 제 1 수평 방향을 중심으로 회전 가능하게 연결되고, 상기 홀더들이 고정된 제 2 회전 블럭; 및
    상기 제 2 회전 블럭으로 회전력을 전달하는 제 5 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 회전 블록은 유니버셜 조인트인 기판 검사 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 수평 구동 유닛, 상기 제 2 수평 구동 유닛, 상기 제 1 회전 유닛, 상기 수직 구동 유닛 및 상기 제 2 회전 유닛 중 적어도 2개가 동시에 복합적으로 구동되는 기판 검사 장치.
  13. 삭제
  14. 삭제
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